【課題】本発明は、平均孔径が小さく、高い表面積を有する多孔質金属酸化物膜を簡便な方法で得ることができる多孔質金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、金属元素の異なる２種類以上の金属源を含有する多孔質金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより、上記基材上に多孔質金属酸化物膜を形成する多孔質金属酸化物膜の製造方法であって、上記多孔質金属酸化物膜形成用溶液に最も多く含まれる上記金属源の金属源モル分率が、７０％以下であることを特徴とする多孔質金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多孔度が段階的または連続的に変化した金属酸化物膜を、簡便な方法により得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、金属元素の異なる２種類以上の金属源を用い、上記２種類以上の金属源の金属源モル分率が異なる金属酸化物膜形成用溶液を、上記金属源モル分率を変化させつつ、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に、多孔度が変化した金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は結晶性や結晶構造の結晶状態が、段階的または連続的に変化した金属酸化物膜を、簡便な方法により得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、同一の金属元素および異なる非金属部を有する２種類以上の金属源を用い、上記２種類以上の金属源の金属源モル分率が異なる金属酸化物膜形成用溶液を、上記金属源モル分率を変化させつつ、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に、結晶状態が変化した金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】微細な連続気孔を持つ構造物あるいは膜を基板上に形成する方法を提供する。
【解決手段】平均微粒子径が０．１μｍ未満の脆性材料超微粒子を焼成し、これら脆性材料超微粒子同士を一部結合せしめて多孔質微粒子を形成する。次いでこの多孔質微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとし、このエアロゾルを基材に向けて吹き付けて多孔質微粒子を衝突させて、基材上に、多孔質微粒子同士が結合して堆積した多孔質構造物を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、固体ターゲット材料の超高速パルスレーザ融除を利用して、選択したサイズのナノ粒子を生成し、これを基板表面上に堆積させるためのワンステップ工程を提供する。
【解決手段】このシステムはパルスレーザ、光学系、及び真空室を含む。パルスレーザは数フェムト秒から数十ピコ秒までの多様なパルス時間を有する。光学系は、ビームを適切な平均エネルギー密度および適切なエネルギー密度分布にてターゲット表面上に集束できるようにレーザビームを成形する。真空室の内部にはターゲットと基板が設置され、バックグラウンドガスとその圧力が適切に調整される。 （もっと読む）

１種又はそれ以上の金属酸化物、例えば二酸化チタン、のヒドロゾルを製造する方法であって、水混和性の有機溶媒、例えばアルコール、中の金属アルコキシド溶液を提供すること；水性溶媒を提供すること；該金属アルコキシド溶液を該水性溶媒と、非イオン性ブロックポリマー界面活性剤の不存在下で水和金属酸化物の単相水性ゾルコロイド(ヒドロゾル)を形成する容量比又は量比で混合することを含む。また、対応するヒドロゲル；水和金属酸化物中にカプセル化された水不溶性粒子、及びそのカプセル化方法；カプセル化生成物の使用も開示される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属酸化物膜の結晶性や結晶構造等の膜質を調整可能な金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、同一の金属元素および異なる非金属部を有する２種類以上の金属源を含有し、かつ、上記２種類以上の金属源の少なくとも一つが単独で金属酸化物膜を形成可能な単独膜形成可能金属源である金属酸化物膜形成用溶液を用い、上記金属酸化物膜形成用溶液と、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材とを接触させることにより上記基材上に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

表面改質された基材は、表面および表面の少なくとも一部分の上に配置されたナノスケールの無機酸化物粒子の層を有する基材を含む。 （もっと読む）

基材の表面上の、金属酸化物のナノ粒子、複数の金属酸化物のナノ粒子およびそれらの混合物から選択されるナノ粒子の少なくとも1つのナノ多孔性層の調製のための方法であり、前記ナノ粒子が分散され安定化されている少なくとも1つのコロイド状ゾルが、前記ナノ粒子を前記表面上に投射する熱プラズマジェット中に注入される方法。ナノ多孔性層および装置特に前記層を含む分離装置。 （もっと読む）

【課題】複雑で大掛かりな設備を用いずに、比誘電率が高く、膜厚が任意に制御され得る複合酸化物膜の製造方法、その複合酸化物膜を基体表面に有する複合体、該複合体を含む誘電材料又は圧電材料、さらにこれら材料を含むコンデンサ又は圧電素子および、これら素子を備えた電子機器を提供する。
【解決手段】第一金属元素を含む基体表面の酸化被膜を除去し、次いで該酸化被膜が除去された基体に、大気圧下または減圧下で、蒸発、昇華及び熱分解のうちの少なくとも一つの手段で気体となる塩基性化合物と、第二金属元素のイオンとを含有する溶液を反応させて、基体表面に、第一金属元素及び第二金属元素を含有する複合酸化物膜を得る。 （もっと読む）

【課題】 光学素子に適した金属とセラミックの複合体の提供。
【解決手段】 SiO₂, B₂O₃, Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, Na₂O, CaO,及びSrOの中から選ばれる１つの成分を含む酸化物第１相１、酸化物第１相の粒界に形成された、Au, Ag, Cu, Pt, Pb,及びPdの中から選ばれる１つの金属を含む金属粒子（２）、及び、酸化物第１相（１）の粒界に形成された、ZnO, In₂O₃, または酸化物第１相（１）とは異なるSiO₂, B₂O₃, Al₂O₃, TiO₂, ZrO₂, Na₂O, CaO, 及びSrOの中から選ばれる１つと、金属粒子（２）と同種の金属とを含む酸化物第２相（３）を備えた金属とセラミックの複合体等。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ソフト溶液プロセスにより膜欠陥部の少ない金属酸化物膜を成膜できる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、スプレー装置により、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を液滴化した後、上記金属酸化物膜形成用溶液の液滴を金属酸化物膜形成温度以上に加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に金属酸化物膜を形成する金属酸化物膜の製造方法であって、上記基材はアースされ、かつ、上記金属酸化物膜よりも導電性が高いものであり、さらに上記液滴を帯電させた状態で上記基材に接触させることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、筒状基材の外周面に、厚みが均一で、透明性、緻密性、密着性等に優れた金属酸化物膜を得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、貫通孔を有する筒状の基材を用い、上記基材の外周面を金属酸化物膜形成温度以上に加熱し、さらに上記貫通孔を中心として上記基材を回転させた状態で、上記基材の外周面に金属酸化物膜形成用溶液をスプレー装置で噴霧することにより、上記基材の外周面に金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基材の形態に関わらず、透明性、緻密性、密着性等に優れた金属酸化物膜を得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、スプレー装置により、金属源として金属塩または金属錯体が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を霧化し、霧化された上記金属酸化物膜形成用溶液と金属酸化物膜形成温度以上の温度以上に加熱した基材とを接触させることにより、上記基材上に金属酸化物膜を形成する金属酸化物膜の製造方法であって、上記基材を上記金属酸化物膜が形成される成膜面側から加熱することを特徴とする、金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】亜酸化窒素（Ｎ_２Ｏ）の溶液を物質に接触させた状態で特定波長の紫外光を照射して前記物質を酸化する方法、装置およびこれら方法、装置によって得られる物質の提供。
【解決手段】クリプトン−ヨウ素エキシマランプＬによって発せられた紫外光、（２）亜酸化窒素を含む溶液Ｓによる吸光度が最も高い波長とほぼ同一の範囲内の波長の紫外光、（３）酸素分子による吸光度が周期的に変化する領域における同吸光度が極小となる波長とほぼ同一の範囲内の波長の紫外光、を溶液Ｓに照射することにより、物質Ｘの酸化を行う物質の酸化方法。 （もっと読む）

【課題】 大気圧または大気圧近傍の圧力で酸化物膜を形成する際に発生するクラックの問題を解決し、また生産性や絶縁特性に優れた酸化物膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 大気圧プラズマＣＶＤによる酸化物膜の形成方法であって、前記酸化物膜の金属成分を含む有機金属系化合物ガスと、プラズマを発生させ膜成分となる酸素を主成分とする動作ガスを供給するＡ工程と、前記有機金属系化合物ガスの供給を止め、前記動作ガスのみを供給するＢ工程を繰り返し行うことにより基板上に酸化物膜を形成する酸化物膜の形成方法であり、前術のＡ工程とＢ工程を繰り返し行うことにより、基板上に形成された酸化物膜中のＣ量を原子量で２％以下にすることができる。 （もっと読む）

【課題】真空紫外光を利用して、より低い温度で結晶性の金属酸化物膜を形成可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の金属酸化物膜製造方法は、熱分解により金属酸化物を形成可能な金属酸化物前駆体を含む前駆体皮膜を用意することを含む。また、Ｏ₂濃度７モル／ｍ³以上の雰囲気中で前記皮膜に向けて主波長１３０〜１８０ｎｍの真空紫外光を照射して該皮膜から結晶性の金属酸化物膜を形成させることを含む。かかる製造方法によると、例えば、８０℃以下の温度で前記真空紫外光の照射を行うことによって、結晶性の金属酸化物膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、第１に同位体酸素ガスを高温状態の炉芯管を通る循環系に導入することにより、第２に高温加熱可能な材料で炉心管を形成することにより、飛躍的に効率的な酸化物材料の酸素同位体置換を可能にした酸素同位体置換方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の酸化物材料の酸素同位体置換装置は、酸化物材料を収容する炉心管を炉体内部を貫通するように設置し、炉芯管、気体輸送ポンプ、可変流量バルブおよび気体流量計を結ぶ循環系を設け、該循環系に同位体酸素容器からの管路を接続することを特徴としている。
また、本願発明の酸化物材料の酸素同位体置換装置は、炉心管が高温加熱可能な高純度アルミナ管またはサファイヤ管であり、炉体の最高使用温度においても変形せず高温の同位体酸素ガスと反応を起こさないものであることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 均一で良質な金属酸化物の薄膜を低温で作製することができる薄膜作製方法を提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜作製方法は、基板上に、ＣＶＤ法により金属元素を含有する前駆体膜を作製する前駆体膜作製ステップと、前駆体膜を、容器内において、アルカリ性水溶液に浸漬する浸漬ステップと、容器を密閉する密閉ステップと、密閉された容器内において、水熱処理により前駆体膜を結晶化して、基板上に金属酸化物の薄膜を作製する水熱処理ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ホスト−ゲスト包接化合物の分子鋳型の形状が崩れることがないため、対象となる化学物質の分子認識の選択性が低下せず識別感度を高めることができ、また金属酸化物前駆体の有機溶媒中における溶解性や安定性等の問題がなく品質の安定性に優れ、さらに純度の高い金属酸化物層を形成できるとともに副反応等も極めて起こり難く品質の安定性に優れる化学物質識別膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板に蒸気状態の金属酸化物前駆体を接触させ前記基板の表面に前記金属酸化物前駆体の吸着層を形成する金属酸化物前駆体吸着工程と、前記金属酸化物前駆体吸着工程で形成された前記吸着層を加水分解して金属酸化物層を形成する金属酸化物層形成工程と、前記金属酸化物層形成工程で形成された前記金属酸化物層の表面に所定の化学物質を包接するホスト化合物を固定化し受容層を形成する第１受容層形成工程と、を備える。 （もっと読む）