【課題】金属酸化物膜を良好にパターニングすることが可能な金属酸化物膜の形成方法を提供する。
【解決手段】酸化チタン膜３の形成方法は、基材１上に、基材１の一部表面を選択的に露出させるために銅を主成分とするメタルマスク２を形成するステップと、メタルマスク２上と露出された基材１の一部表面上とにＣＶＤ法によって酸化チタン膜３を形成するステップと、メタルマスク２上に形成された酸化チタン膜３を剥離によって除去するステップと、酸化チタン膜３を剥離した後、メタルマスク２を除去するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】良好な結晶性を有する単分散状態の金属酸化物超微粒子を容易に得ることができるようにした。
【解決手段】界面活性剤３で包囲された金属酸化物超微粒子２を疎水性溶媒中に分散させたマイクロエマルジョン原溶液を作製し、前記疎水性溶媒を、４００μＳ／ｃｍ以上の高導電率を有する高導電率溶媒９と置換して置換溶液１０を作製し、その後、前記置換溶液１０を静電噴霧させて微小液滴を発生させる。そしてこの後、キャリアガスにより微小液滴を下流側に搬送し、放射性同位体（例えば、²⁴¹Ａｍ）等の両イオン発生体１８を通過させ、その後加熱炉１９内で微小液滴を分散させた状態で熱処理し、界面活性剤３を燃焼させて除去して金属酸化物超微粒子２を得る。 （もっと読む）

ナノファイバー、およびこのナノファイバーの作製方法について開示する。多孔質の金属酸化物ナノファイバー、および、エレクトロスピニング法によって作製された、金属ナノ粒子を含む多孔質の金属酸化物ナノファイバーについてさらに開示する。
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【課題】ジャストインタイムで加水分解物を生産できる金属アルコキシドの加水分解物製造装を提供する。
【解決手段】前記金属アルコキシドと水と反応触媒とからなる原料の供給部と、前記原料が導入される複数のスタティックミキサーと前記複数のスタティックミキサーを連設する配管とからなり、前記スタティックミキサーは、前記配管によって前記原料がアップフローで流れるように連設されることを特徴とする。撹拌性に優れ、連設するスタティックミキサーの配管数を調整して、ジャストインタイムで金属アルコキシドの加水分解物を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】平均粒径が５０ｎｍ〜２００ｎｍ程度で、かつ、従来よりも分散度の低い金属酸化物ナノ粒子を、高い生産性で製造することが可能な金属酸化物ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属アルコキシド及び水を含む原料からゾル−ゲル反応により金属酸化物ナノ粒子を製造する金属酸化物ナノ粒子の製造方法において、少なくとも水及び第１極性溶媒を含む母液並びに少なくとも金属アルコキシド及び第２極性溶媒を含む子液を準備する準備工程と、母液を撹拌しながら、母液中に注入孔を配置したノズルから子液を母液に注入することにより母液と子液とを混合する混合工程とを含むことを特徴とする金属酸化物ナノ粒子の製造方法。 （もっと読む）

少なくとも１種の金属酸化物前駆体が１種以上の対応する金属酸化物水酸化物を得るために加水分解処理にかけられ、そのようにして得られた金属酸化物水酸化物が金属−酸化物−金属化合物を形成するために縮合処理にかけられる金属−酸化物−金属化合物の混合物を製造するためのゾル−ゲル法であって、封入触媒の存在下に実施され、それによって触媒活性化学種が外部刺激への暴露によって封入構成単位から放出され、そしてここで、かかる外部刺激への暴露後に放出された触媒活性化学種がそのようにして得られた金属酸化物水酸化物中に存在する金属−水酸化物基の縮合を触媒することができる方法。 （もっと読む）

【課題】 酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷の発生を防止又は低減することが可能なＣＭＰが実施できる金属酸化物粒子、これを含む研磨材、この研磨材を用いた基板の研磨方法及び研磨して得られる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属化合物を１０００℃以上で加熱処理することによって作製され、かつ結晶子サイズが３０ｎｍ以上及び結晶歪が１％以下である金属酸化物微粒子、この金属酸化物微粒子を含む研磨材、該研磨材を用いて、所定の基板を研磨することを特徴とする基板の研磨方法及び酸化珪素膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする半導体装置の製造方法若しくは金属膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】金属化合物またはその金属化合物膜を製造するための金属化合物含有ゲルまたは金属化合物含有液体を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】本金属化合物含有ゲルの製造方法は、金属酸化物および金属水酸化物の少なくともいずれかを含む金属化合物含有ゲル１３の製造方法であって、金属アルコキシド１１にアルコキシ基含有液体と第１の過酸化水素含有水性液体を加えて金属水酸化物１２を生成させる工程と、金属水酸化物１２を含水状態で母液から分離する工程と、分離された含水状態の金属水酸化物１２に第２の過酸化水素含有水性液体を自己熱反応させて金属化合物含有ゲル１３を生成させる工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 金属酸化物超微粒子を高い効率で簡便に表面修飾し、金属酸化物微粒子の有する特徴を損なうことなく凝集を防止し、溶媒や樹脂中に均一分散させることができる表面修飾金属酸化物微粒子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明者は上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、一般式（１）
Ｒ_ａＳｉＸ_{（４−ａ）} （１）
（式中、Ｒは炭素数１〜１８の１価の有機基；Ｘは加水分解性基；ａは１、２、または３である）であらわされる加水分解性基含有シラン化合物（Ａ）一般式（２）
ＳｉＸ_４ （２）
（Ｘは加水分解性基である）であらわされる加水分解性基含有シラン化合物（Ｂ）を、金属酸化物微粒子と混合する、高度に表面修飾された金属酸化物微粒子の製造方法である。得られた表面修飾金属酸化物は、溶媒に透明かつ均一に分散し、得られた透明分散液は長期安定性に優れる。
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【課題】透過率の大幅な低減を容易にするセラミック電解質の加工法を提供する。
【解決手段】複数の微小亀裂１２を有するセラミック層１０を用意する工程と、上記複数の微小亀裂の少なくとも一部に１種以上の被酸化性金属イオンを含有する液体前駆体を浸透させる工程と、セラミック層をｐＨ値が約９以上の塩基に暴露し、被酸化性金属イオンを酸化物に化学転化して、セラミック層のポロシティを減少させる工程とを含む。また、固体酸化物型燃料電池は、アノード、カソード及びアノードとカソードの間に配置されたセラミック電解質を備え、セラミック電解質の微小亀裂の少なくとも一部に１種以上の被酸化性金属イオンを含有する液体前駆体を浸透させ、セラミック電解質をｐＨ値が約９以上の塩基に暴露し、被酸化性金属イオンを酸化物に化学転化して、セラミック電解質のポロシティを減少させる工程を含む方法で加工される。 （もっと読む）

湿式工程の可能な金属酸化物溶液の製造方法およびこれを用いたフィルムの製造方法を提供する。光触媒剤として広く用いられる金属酸化物を改善して、新しい機能を有する金属酸化物溶液を形成する。金属酸化物溶液は、透明であり、湿式工程が可能で、電子の伝達が容易な特性を有する。よって、電子素子において多様な形態で適用が可能で、特に有機物を用いた電子素子に高い適用性を有する。また、金属酸化物溶液の中、チタン酸化物溶液を用いたフィルムは、酸素と水分を遮断して除去する機能を有するため、酸素と水分に弱い有機物を用いる電子素子に適用する場合、素子の寿命を改善しうる効果がある。
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【課題】 分散性、分散安定性に優れた金属酸化物粒子の効率的な表面処理方法を提供す。
【解決手段】 金属酸化物粒子の水および／または有機溶媒分散液に、下記式(1)で表される有機ケイ素化合物を加えて加水分解し、ついで、下記式(2)で表される有機ケイ素化合物を加えて加水分解する。
（ＮＨ₂−Ｃ_nＨ_2n−Ｚ− Ｃ_mＨ_2m）_L −Ｓｉ−Ｙ_4-L （１）
（但し、式中、Ｚ：−ＮＨ、−ＣＨ₂、Ｙ：炭素数１〜４のアルコキシ基、水酸基、ハロゲン、水素。L：１〜３の整数，ｎ：０〜１０の整数、ｍ：０〜１０の整数。）
Ｒ_p-ＳiＸ_4-p （２）
（但し、式中、Ｒは炭素数１〜１０の非置換または置換炭化水素基であって、互いに同一であっても異なっていてもよい。Ｘ：炭素数１〜４のアルコキシ基、水酸基、ハロゲン、水素、ｐ：１〜３の整数、但し、アミノ基置換炭化水素基を除く。） （もっと読む）

【課題】２００℃以下の低温度での金属酸化物薄膜の製造、および均質な有機−無機複合体の製造に適した金属酸化物ゾルを提供するとともに、各種機能を有する金属酸化物薄膜および有機−無機複合体、特に高屈折率、高透明性を有する有機−無機複合体を提供すること。
【解決手段】有機溶媒中、酸、塩基、及び／または分散安定化剤の非存在下、金属アルコキシドに対し０．５〜１倍モル未満の水を用いて加水分解、または、−２０℃以下で金属アルコキシドに対し１．０〜２．０倍モル未満の水を用いて加水分解することで、有機溶媒中凝集せずに安定に分散している金属−酸素結合を有する分散質が得られ、該分散質を用いることで２００℃以下の低温度での製造される金属酸化物薄膜、および均質な有機−無機複合体が得られる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのアルコキシシラン化合物で表面処理された金属酸化物粒子、その製造方法およびそれを含むトナーを提供する。 （もっと読む）

【課題】屈折率が高く、可視光線の波長帯域における着色が無く、透明性に優れた複合ルチル微粒子と複合ルチル微粒子分散液及び高屈折率材料、高屈折率部材、並びに複合ルチル微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の複合ルチル微粒子は、平均粒子径が１ｎｍ以上かつ１８ｎｍ以下、格子定数がルチル型酸化チタンの−３０％以上かつ３０％以下であるルチル型構造の粒子Ａをルチル型酸化チタンからなる外殻層により被覆したコアシェル粒子であり、この粒子Ａは、Ｍｎ、Ｖ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｆｅの群から選択された１種または２種以上を含む酸化物、または、Ｍｎ、Ｖ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙ、Ｂａの群から選択された１種または２種以上を１モル％以上かつ２５モル％以下含む複合チタン酸化物である。 （もっと読む）

【課題】有機ハロゲン化物を回収、無害化し、さらに有用な化合物への変換をさせる微粒子の製造法、微粒子及び光学部材を提供する。
【解決手段】 微粒子を製造する方法において、副生成物として発生する有機ハロゲン化物を３価ホスフィンと反応させホスホニウムハライドとして回収することを特徴とする微粒子の製造法。 （もっと読む）

【課題】広範囲な無機微粒子／有機ポリマーの組み合わせに適用可能で、かつ、無機微粒子に表面処理を施すことなく有機ポリマーで被覆することが可能なカプセル微粒子の製造方法、およびそのような方法で得られたカプセル微粒子を提供すること。
【解決手段】本発明のカプセル微粒子は、無機のコア微粒子と、コア微粒子を被覆するポリマー被覆層とを有し、当該ポリマーがビニル化合物由来の残基を有する。本発明のカプセル微粒子の製造方法は、無機のコア微粒子、ビニル化合物由来の残基を有するポリマーおよび分散媒を混合し、当該ポリマーをコア微粒子に吸着させてポリマー被覆層を形成すること、および、コア微粒子に吸着しなかったポリマーを除去することを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折の半値幅が大きいにも関わらず、高い屈折率を有し、光触媒活性が低減された金属酸化物微粒子分散物の提供。
【解決手段】Ｘ線回折ピークの半値幅が３°以上であり、かつ屈折率が２．０以上である金属酸化物微粒子分散物である。該金属酸化物微粒子を構成する金属が、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バリウム及び錫のいずれかを含有する態様、該金属酸化物微粒子が、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタンとジルコニウムの複合酸化物、及びチタンと錫の複合酸化物のいずれかである態様、などが挙げられる。 （もっと読む）

【課題】分散物中での微粒子凝集が少なく、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察によるサイズと、動的光散乱法によるサイズとの不一致が小さい金属酸化物微粒子分散物の提供。
【解決手段】動的光散乱法で求めた粒子サイズＳ_Ａを、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）法で求めた粒子サイズＳ_Ｂで除した値（Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂ）が４以下である金属酸化物微粒子分散物である。該金属酸化物微粒子を構成する金属が、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バリウム及び錫のいずれかを含有する態様、該金属酸化物微粒子が、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタンとジルコニウムの複合酸化物、及びチタンと錫の複合酸化物のいずれかである態様などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物微粒子が高度に分散され、凝集が少なく透明性の高い金属酸化物微粒子分散物及び該金属酸化物微粒子分散物の製造方法の提供。
【解決手段】少なくとも金属酸化物微粒子と、強酸とを、アルコールを含む水溶液中で分散させてなる金属酸化物微粒子分散物であって、前記金属酸化物微粒子分散物における波長８００ｎｍでの光線透過率が９０％以上である金属酸化物微粒子分散物である。該金属酸化物微粒子分散物における波長５００ｎｍでの光線透過率が９０％以上である態様、該アルコールの水分散物における含有量が、６体積％〜６０体積％である態様などが好ましい。 （もっと読む）