【課題】吸着塔内における吸着剤の動作寿命を検出する装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は、圧力スイング吸着処理による精製水素ガスの製造装置および方法であって、当該装置においては、未精製水素ガスに不活性ガスを添加するガス供給部３と、吸着塔１から排出される精製水素ガス中の不活性ガスを測定する検出器５を備える。不活性ガスはＡｒガスであることが好ましい。 （もっと読む）

【解決課題】製造コストが低く、運転管理及び装置管理が簡便な多結晶シリコンの製造方法を提供すること。
【解決手段】高純度四塩化珪素と亜鉛との反応により生成する排出ガスから分離した該塩化亜鉛及び未反応亜鉛の混合物を酸化する酸化処理と、塩化亜鉛及び酸化亜鉛の混合物を塩酸水溶液に溶解させる塩酸水溶液溶解処理と、酸性抽出剤により亜鉛成分を抽出する亜鉛成分抽出処理と、硫酸水溶液により亜鉛成分を逆抽出する亜鉛成分逆抽出処理と、硫酸亜鉛水溶液を水溶液電解する硫酸亜鉛水溶液電解処理と、該亜鉛成分抽出処理で得られる塩酸水溶液のうちの一部の塩酸水溶液中の塩酸を分解して、塩素ガスを得る塩酸分解処理を有し、該亜鉛成分抽出処理で得られる該塩酸水溶液のうちの他部、該亜鉛成分逆抽出処理で得られた酸性抽出剤を含有する有機溶媒、及び該硫酸亜鉛水溶液電解処理で得られた該硫酸水溶液を循環使用する高純度多結晶シリコンの製造方法。 （もっと読む）

【課題】亜鉛還元法によって四塩化珪素を還元して多結晶シリコンを製造する際に、連続して還元を行うと共に未反応の四塩化珪素と亜鉛の発生を抑えて多結晶シリコンの生成効率を高め、かつ未反応亜鉛と四塩化珪素、反応副生成物である塩化亜鉛を効率的に回収、再利用を行なう多結晶シリコンの連続精製方法の提供。
【解決手段】亜鉛還元法による多結晶シリコンの連続精製方法において、連続して精製四塩化珪素と亜鉛を接触させることにより、精製四塩化珪素を還元して高純度多結晶シリコンと塩化亜鉛を連続して生成する工程、生成した塩化亜鉛に水を添加して亜鉛濃度が規定内の塩化亜鉛水溶液を生成する湿式反応工程、前記塩化亜鉛水溶液を電気分解して亜鉛と塩素に分離する電解工程、前記工程の未反応精製四塩化珪素および亜鉛を回収する工程、前記工程により回収された亜鉛、塩素、四塩化珪素のリサイクルの工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

トリクロロシラン等の熱分解性を有したケイ素化合物から多結晶シリコンを生成する流動床リアクター・システムおよび分配器並びに方法が開示されている。この方法は、概して四ハロゲン化ケイ素を使用することによって、多結晶シリコンの生成の間リアクター壁上のケイ素付着物の低減を含んで成る。 （もっと読む）

本発明は、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造するための多段階の方法に関し、その際、第一の段階において、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造し、かつ、第二の段階において、四塩化ケイ素を最終生成物のトリクロロシランへとさらに処理する。そのうえまた、本発明は、係る方法が組み込まれて実施されることができる装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、トリクロロシランの合成システム及び方法に向けられる。開示されたシステム及び方法は、気化された金属塩を回収又は分離し、トリクロロシラン合成中の下流操作で金属塩の凝固によって生じる閉塞を削減するために、スラリー中の固形物濃度を増大することを含みうる。加熱して温度を上げてクロロシラン化合物を気化し、その後気化クロロシラン化合物を凝縮するのではなく、本発明は、水素などの非凝縮性ガスを利用してクロロシラン成分を気化することによって、スラリーストリーム中の固形分濃度を増大させることを含みうる。この方法は、結果的に、スラリー温度を低下できる蒸発条件を促進できる。低いスラリー温度によって金属塩は気化しにくくなり、このことが下流のユニット操作へのキャリーオーバーの可能性を削減する。 （もっと読む）

【課題】トリクロロシランを製造するための方法および設備を提供する。
【解決手段】流動床反応器（１０１）中でシリコン粒子が四塩化ケイ素および水素および任意に塩化水素と反応されてトリクロロシラン含有生成物ガス流を形成し、トリクロロシラン含有生成物ガス流が出口（１１７）とその前にある特定の最大粒径以下のシリコン粒子のみが選択的通過することができる少なくとも１つの粒子分離機（１１８）備えている流動床反応器（１０１）からら排出され、そしてシリコン粒子が粒子分離機なしに、少なくとも１つのさらなる出口（１０９、１１２）を通って一定の間隔で又は連続的に反応器（１０１）から排出されることを特徴とする、前記方法、およびそのような方法を実施するのに適した第１の反応器（１０１）から排出されたシリコンが第２の反応器（１０２）に移され得るように接続されている第１の反応器（１０１）および第２の反応器（１０２）を有する、設備。 （もっと読む）

【課題】インキ吸収速度が速く、高解像度を保持できるための、紙用の多孔質のインキ受理性コーティング形成用、または摩擦特性を改質するためのポリエステルフィルムの細孔構造形成用などに用いられる分散液を提供する。
【解決手段】分散液は多孔質のシリカゲルを含み、シリカゲルは中央粒度が０．０５〜３ミクロン、一次粒子径が５ｎｍ未満、分散液乾燥後のシリカゲルの６００Å以下の細孔サイズの細孔容積が０．５ｃｃ／ｇ以上で、３００Å以下の細孔サイズが全体の細孔の８０％から１００％の範囲にある。この分散液は、シリカゲルスラリーを形成し、ミリング後、分散液の上澄み液相が０．１〜１ミクロンの範囲の中央粒度を有するように上澄み液相と沈降相とを分離して上澄み液を取り出す工程によって製造される。 （もっと読む）

【課題】トリクロロシランの分解とポリマーの生成を効果的に抑制し、トリクロロシランの回収率が高いトリクロロシランの製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】トリクロロシランの製造装置１０は、テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスを転換反応させて反応生成ガスを生成する転換炉２０と、転換炉２０から反応生成ガスを供給され、この反応生成ガスを冷却してトリクロロシランを含む反応生成物を回収する冷却器３０とを備え、冷却器３０には、反応生成ガスを冷却する冷却液を噴霧するノズル４０，４２が２以上備えられ、これらノズル４０，４２は冷却液の平均液滴径が異なるものを有し、その噴霧量がそれぞれ調整可能である。 （もっと読む）

本発明における四ハロゲン化ケイ素および冶金グレードのケイ素からトリハロシランへの水素化のための反応器は、冶金用ケイ素粒子の床と、１つまたは複数の気体流入ポートと、１つまたは複数の固体流入ポートと、１つまたは複数の固体排出管と、トリハロシランを反応器から取り出すための１つまたは複数のポートとを含む。
反応器に流入する四ハロゲン化ケイ素／水素供給流中に供給ケイ素粒子を同伴させ、その流れをケイ素粒子の床に衝突させることの結果としての内部研磨および摩耗によって、床粒子の上に新しい表面が創出される。
本発明は、トリハロシランの収率が高く、ＭＧＳの燃焼速度が速く、反応器から流出するトリハロシラン流出物中の微細な粉塵キャリーオーバーとしての使用済みＭＧＳの除去、および床を除去するためのシャットダウンの間の時間が長い、という利点を有する。
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【課題】金属級Ｓｉから太陽電池級Ｓｉを製造すべく、低純度Ｓｉから高純度Ｓｉへの精製を効率良く行い得るＳｉ精製方法、Ｓｉ精製装置及びＳｉ精製膜製造装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ精製方法は、低純度Ｓｉを原子状水素と化学反応させることにより、除去したいボロン（Ｂ）からなる水素化ガスＢ_２Ｈ_６とＳｉからなる水素化ガスＳｉＨ_４とを含む水素化ガス母集団を生成する工程と、水素化ガス母集団を、除去したいボロン（Ｂ）からなる水素化ガスＢ_２Ｈ_６の分解温度以上、かつＳｉからなる水素化ガスＳｉＨ_４の分解温度以下となる範囲に温度制御された加熱物体表面に衝突させることにより、除去したいボロン（Ｂ）を加熱物体表面に固着させて水素化ガス母集団から除去して、低純度Ｓｉよりも純度の高い高純度Ｓｉを得る工程とを含む。 （もっと読む）

多結晶シリコンを作製する当該プロセスには、反応チャンバーにおいて、熱分解可能なシリコン化合物をシリコン粒子に接触させることが含まれる。熱分解可能なシリコン化合物の一部が分解されシリコンダストが生成される。当該シリコンダストを、上記反応チャンバーから排出し、当該反応チャンバーへ再循環させる。取り出されたシリコンダストは、シリコン粒子と凝集する。
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【課題】フィルターに固着したポリマー化合物を安全に除去して、その再利用を容易にする。
【解決手段】クロロシランを含む原料ガスを高温下で反応させて多結晶シリコンを析出させるとともに、その排ガス中のポリマー化合物を含むミスト分をフィルター１３によって捕集した後、これらミスト分が捕集された後の排ガスを気液分離工程により気液分離し、そのガス分及び液分を精製・蒸留することにより原料ガスの一部とする多結晶シリコン製造方法において、フィルター１３の整備工程を有し、該整備工程は、フィルター１３を収容するハウジング１２の前後の流路を閉鎖しておき、該ハウジング１２内にクロロシランを注入するとともに、該ハウジング１２の内部を加熱することにより気化したガスをハウジング１２から排出し、排出したガスを気液分離工程に案内する。 （もっと読む）

【課題】安全で運転や保守が簡便な方法で、副生塩化亜鉛から亜鉛を回収し再利用できる亜鉛還元法によるシリコン製造方法を提供する。
【解決手段】四塩化珪素ガスと亜鉛とを接触させて、シリコンと塩化亜鉛ガスとを得る還元工程Ｓ１と、還元工程で生成する塩化亜鉛ガスが塩化亜鉛水溶液として回収された後、酸性抽出剤を含み水溶液と混合しない有機溶媒と塩化亜鉛水溶液とを接触させて、亜鉛成分を有機溶媒相へ抽出する亜鉛抽出工程Ｓ２、Ｓ２‘と、亜鉛抽出工程で得た亜鉛成分を含む有機溶媒を希硫酸で逆抽出して、硫酸亜鉛水溶液を得る亜鉛逆抽出工程Ｓ３と、亜鉛逆抽出工程で得た硫酸亜鉛水溶液を電解して、亜鉛を得る電解工程Ｓ４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水素ガスを循環しながらトリクロロシランを反応器に供給して反応器内にシリコンを生成させるシリコン製造プロセスにおいて、排出される水素ガス中に含まれるトリクロロシランなどの凝縮による漏洩や、ガスの組成変動による温度上昇による不都合が有効に解消され、シリコンの製造を連続して安定に行う。
【解決手段】水素ガスを反応器に循環して連続供給すると同時にトリクロロシランを該反応器に供給し、該反応器内での反応によりシリコンを生成せしめるシリコン製造プロセスにおいて、水素ガスの循環供給を、コンプレッサーを用いて行い、循環される水素ガスに含まれる塩化水素ガスを吸着処理により除去すると共に、水素ガスに含まれる他のガス成分を、コンプレッサーの上流側での低圧深冷及びコンプレッサーの下流側での高圧深冷により除去する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの堆積からの高沸点物の再利用を可能にする、廉価な方法を提供する。
【解決手段】水素及び含ケイ素ガスを含有する反応ガスを反応室に導入し、加熱シリコン上で熱分解させ、シリコン上に堆積させ、排ガスをトリクロロシラン及びより低沸点のクロロシランを含む第一の排ガスフラクションとトリクロロシランより高沸点の成分を含む第二の排ガスフラクションとに分離し、そして前記第一のフラクションを反応ガスに供給し、かつ前記第二のフラクションを、テトラクロロシランと、高沸点物からなる高沸点物フラクションとに分離する多結晶シリコンの製造方法において、前記高沸点物フラクションを反応ガスに供給し、そして該反応ガスを、前記高沸点物フラクションが堆積反応器の反応室への入口で気体状で存在する温度に加熱することを特徴とする方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】プロセスの流れにおける自然発火性及び高沸点のジシラン濃度を低減すること。
【解決手段】（Ａ）トリクロロシランを水素と反応させることにより、シリコンと、テトラクロロシラン及び式Ｈ_nＣｌ_6-nＳｉ₂（式中、ｎは０から６までの値）で表されるジシランを含む流出混合物とを生成させる工程と、（Ｂ）８００℃〜１２００℃の範囲の温度で前記流出混合物及び水素を反応器に同時供給することにより、テトラクロロシランからトリクロロシランへの水素化及びジシランからモノシランへの転化をもたらす工程とを含む多結晶シリコンの製造方法である。 （もっと読む）

液体亜鉛金属による四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ₄）の還元により、高純度シリコン（Ｓｉ）金属を製造する方法及び装置。ＺｎによるＳｉＣｌ₄の還元及びＺｎＣｂの電解によるＺｎの生成は、電解質として溶融塩を用いる共通の一体型リアクタ及び電解セルにおいて起こる。リアクタ及び電解セルは、好ましくは、第１の又は複数の隔壁（１５，８，７）によって２つ以上の連通する区画（１３，１，２）に分割される共通のハウジング内に設けられ得る。更に、好適な電極によって行われるＺｎＣｌ₂の電解は、少なくとも１つの区画（１，２）で起こり、且つＺｎによるＳｉＣｌ₄の還元は、少なくとも１つの他の区画（１３）で起こり、Ｚｎ金属は、ＺｎＣｌ₂の電解のチャンバ（１，２）間からＳｉＣｌ₄の還元のチャンバ（１３）へと流れ、且つ電解質は、ＺｎＣｌ₂の電解のチャンバ間からＳｉＣｌ₄の還元のチャンバへと循環する。電解が起きるチャンバの環境は、好ましくは、第１の隔壁（１５）によって他のチャンバの環境と分離されている。
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【課題】クルード蒸発缶および精留工程における蒸気使用効率を向上させ、蒸気使用量を大幅に低減することができる高純度トリクロロシランの製造方法を提供する。
【解決手段】原料ガスとして、塩化水素を含有するガス、または水素と四塩化珪素を含有するガスを使用し、流動層反応炉内で金属シリコン粉末と反応させ、生成ガス冷却工程、クルード蒸発缶による固液分離、精留工程を経て高純度のトリクロロシランを製造するに際し、缶内の液面上方に上部蒸留機能（棚段、充填層など）を有するクルード蒸発缶を使用して、上部蒸留機能から四塩化珪素の比率が高いサイドカット液を抜き取り、塔頂部からトリクロロシランの比率（濃度）を高めたクルード蒸発缶塔頂液を取り出し、これを原料液として精留工程へ送る。 （もっと読む）

【課題】アルミナ粉末の有する艶、伸び、密着性、カバー力等の物性を生かしながら、ぎらつき感や不自然な仕上がりを改善した粉体を提供する。
【解決手段】球状粉末の表面をアルミナ粉末で被覆したことを特徴とする複合粒子。 （もっと読む）