【課題】ＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズルにおいて、電極交換を容易にする。
【解決手段】同心状に配置される内側電極３５および外側電極３６を有し、導波管６２を介して伝搬されるマイクロ波を内側電極３５で受信することで電極３５，３６間にグロー放電を発生させ、電極３５，３６間に供給される空気をプラズマ処理してＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズル３１において、損耗する内側電極３５を交換可能にするために、該内側電極３５を、絶縁性を有する材料から成り、円筒状に形成される保持部材３７によって保持する。そして、保持部材３７の外周面と外側電極３６の内周面との間を、処理されたガスが漏れないようにＯリングなどの無端環状のシール部材３７３でシールするにあたって、そのシール部材３７３を保持部材３７側の周方向に形成した凹溝３７１１に嵌め込むようにする。したがって、保持部材３７ごとシール部材３７３を取り外せる。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素の注入や紫外線の照射を行なうことなく活性種を生成し、且つ活性種の生成率を制御可能な活性種の生成方法及び生成装置を提供する。
【解決手段】供給されるガスに電圧を印加することによって液外から液中に伸展する放電により活性種を生成する方法において、前記電圧を印加する際の周波数を制御することにより活性種の生成率を制御する。尚、前記活性種の生成率の制御の際には、周波数３〜２４ｋＨｚが使用される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定したグロー放電環境下での高濃度の窒素官能基を付与することを可能とした粉体のプラズマ処理方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、中心電極２と、中心電極２と所定の空隙部５を介して配置された筒状の周辺電極３と、中心電極２表面若しくは周辺電極３表面の少なくとも一方に設けられた誘電体４とを有する放電容器１を用いた粉体のプラズマ処理方法であって、不活性気体雰囲気とされた空隙部５内で、粉体と、粉体に窒素官能基を付加する窒素官能基供給部材にグロー放電によるプラズマ処理を行なう工程を備える。 （もっと読む）

【課題】低い電力であってもプラズマ処理を行い得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】準マイクロ波帯またはマイクロ波帯の高周波信号Ｓ１を生成して出力する高周波電源２と、入力した高周波信号Ｓ１に基づいてプラズマ放電用ガスＧをプラズマ化させると共にプラズマＰを導電性を有する処理対象体８に照射する放射器１４と、放射器１４の電位に対する処理対象体８の電位を所定電位に規定する電源部４（直流電源部や交流電源部）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の粒子が固着した複合粒子を従来より簡便に製造することが可能な複合粒子製造装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の複合粒子製造装置１００によれば、複数の粒子排出装置２０，２０から落下した粒子に側方からイオン風（ガス）が吹き付けられて、それら粒子が筒形加熱炉７０の上面開口の上方で合流する。各粒子には、イオン風に含まれる気体イオンが付着して互いに反対極性に帯電しているので、合流した粒子同士を静電吸着させることができる。そして、その静電吸着した合体粒子が筒形加熱炉７０を降下する間に加熱溶融されて複合化するので、複合粒子を従来より簡便に製造することができる。また、粒子に気体イオンを付着させることで帯電させているので、複数の粒子同士を衝突又は摩擦により帯電させた場合のように粒子が破壊されることもない。 （もっと読む）

【課題】処理領域が不連続に設定されたワークに対してプラズマ処理を施す際に、速やかに安定な活性種をワークの処理領域に供給することができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、１対の電極２、３と、電源回路７と、ガス供給手段８と、プラズマ噴出口５と、第１の状態と第２の状態とにプラズマ遮蔽部材５１を変位可能な遮蔽手段と、制御手段とを備え、制御手段により、遮蔽手段の作動を制御して、プラズマ遮蔽部材５１を第１の状態とすることにより、ワーク１０の被処理面１０１へのプラズマ処理を停止する非処理モードと、プラズマ遮蔽部材５１を第２の状態とすることにより、ワーク１０の被処理面１０１に活性種を接触させてプラズマ処理する処理モードとに切り替え可能なように構成されている。 （もっと読む）

【課題】長尺細管を含む種々の被処理物の内面処理が可能な表面処理装置を提供する。
【解決手段】 管状の被処理物２１の一端から導入された処理ガスを、被処理物２１の他端から排気してガス流を生成するための真空ポンプ３２と、被処理物２１の一端側に配置され、放電開始初期にガス流に初期プラズマを供給する励起粒子供給系（１６，１７，１８）と、被処理物２１を挟むように互いに対峙して配置された第１主電極１１及び第２主電極１２と、初期プラズマを維持し、被処理物２１の内部にプラズマ流を生成するデューティ比１０^−７〜１０^−１の電気パルス（主パルス）を第１主電極１１及び第２主電極１２間に印加するパルス電源１４とを備え、プラズマ流に含まれるラジカルにより、被処理物２１の内面を処理する。 （もっと読む）

【課題】常温において反応性及び反応効率に優れ、反応を安全に実施可能であるマイクロ流体デバイス、反応装置、並びに、反応方法を提供すること。
【解決手段】気体放電を用いるプラズマ生成機構を備えた気体用微小流路、液体用微小流路、並びに、気体用微小流路及び液体用微小流路が合流して形成される気液混相用微小流路を少なくとも有することを特徴とするマイクロ流体デバイス、前記マイクロ流体デバイスを用いた反応装置。また、前記反応装置を準備する工程、前記気体用微小流路に気体を供給する工程、前記液体用微小流路に被反応物を含む液体を供給する工程、前記プラズマ生成機構により前記気体由来のラジカルを発生させる工程、前記気液混相用微小流路において、被反応物を含む前記液体とラジカルを含む前記気体との気泡流又はスラグ流を形成する工程、並びに、前記被反応物と前記ラジカルとを反応させる工程を含む反応方法。 （もっと読む）

【課題】気体中において安定してオゾンやラジカル等を生成し、その生成されたオゾンやラジカル等をこれらが消滅する前に微細な気泡として液体中へ拡散させるプラズマ発生装置と洗浄浄化装置等を提供する。
【解決手段】ケース部材３の内側に多孔質セラミックス部材６が配設されている。ケース部材３と多孔質セラミックス部材６との間の領域１５には液体３０が導入される。多孔質セラミックス部材６の内側の領域１４には、線状電極２１と円筒状電極２２が配設されて、少なくとも酸素を含むガスが供給される。線状電極２１と円筒状電極２２との間に所定の電圧を印加することで放電が生じ、ガスがプラズマ化されてオゾンや各種のラジカルが生成される。生成されたオゾンやラジカルを含んだガスは内側の領域１４から微細孔を経て、微細な気泡として液体３０中へ拡散される。 （もっと読む）

【課題】有用な透明酸化物薄膜を安定且つ高速に製造するためのスパッタリングターゲット用焼結体、透明酸化物薄膜、及びガスバリア性透明樹脂基板を提供すること。
【解決手段】焼結体は、導電性酸化物と炭化シリコンで構成されている。焼結体中のシリコン含有量が、焼結体中の全金属元素含有量に対して０．５〜９９．５原子％の割合であることを特徴とする。透明酸化物薄膜は、前記焼結体を原料として用いて、スパッタリング法で製造され、シリコンを含むことを特徴とする。ガスバリア性透明樹脂基板は、樹脂フィルム基材の少なくとも一方の面側に前記透明酸化物薄膜を形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】 形成蓄積された尿石を溶解除去可能な便器洗浄水生成装置及び便器洗浄システムを提供する。
【解決手段】 水洗便器に供給する洗浄水の流路を開閉する開閉弁と、少なくとも一対の電極の間に電圧を印加することにより放電を生じさせ酸化窒素ガスを生成可能な放電器と、前記洗浄水の流路に設けられ、前記放電器により生成された前記酸化窒素ガスを前記洗浄水に溶解させる溶解部と、前記開閉弁と前記放電器を制御可能な制御部と、を備え、前記制御部は、前記開閉弁を開いて前記溶解部を通過する洗浄水に前記酸化窒素ガスを溶解させ前記溶解部から排出させることを特徴とする便器洗浄水生成装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、加工物、特に中空体加工物のプラズマ処理の方法に関する。この方法によれば、反応室内で処理区域が少なくとも部分的に排気され、処理区域内、特に加工物の中空体内にプロセスガスが導入され、放射される電磁エネルギーを用いて処理区域に導入されたプロセスガスでプラズマが点火される。本発明は、プラズマ処理中に、処理区域の両端間を通ってプロセスガスが流れることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】なし
【解決手段】低エネルギー水素種を生成するためのプラズマ反応炉およびプロセスを提供する。 （もっと読む）

少なくとも一対の実質的に等間隔に離隔した電極（２）を備え、該電極（２）間の間隔はプロセスガスの導入時にプラズマゾーン（８）を形成するようになっており、必要に応じて、気体、液体及び／または固体前駆物質が通過できる大気圧プラズマアセンブリ（１）において、前記少なくとも一対の電極（２）は内壁（５）及び外壁（６）を有するハウジング（２０）を備え、前記内壁（５）は非多孔性の誘電体材料から形成され、前記ハウジング（２０）は実質的に、少なくとも実質的に非金属性導電性材料を有することを特徴とする。
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【解決課題】 酸素を含む内燃機関等からの排気ガス中のNOx及びすすや炭化水素の同時除去を、高効率、低コスト、乾式でアンモニアや尿素を使用せず、触媒を使用しない場合であっても低温で行うことができる小型簡単な排気浄化装置、排気浄化方法ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】 排気浄化装置１は、内燃機関１１の排気通路５上に配設され、吸着フィルタ７と、前記排気通路上又は排気通路外に配設されたプラズマリアクタ６とを有し、排気中の酸素濃度を検知する酸素センサ１０または空燃比センサ１０’と、前記酸素センサ１０または空燃比センサ１０’により検知された酸素濃度が所定値以上である場合は、吸着フィルタ７により排気浄化を行わせるとともに、吸着フィルタ７による吸着量が所定値以上になる場合は前記排気中の酸素濃度を低下させ、かつ、前記プラズマリアクタ6を作動させる電子制御部９とを備えている。 （もっと読む）

表面をプラズマ処理するプロセスにおいて、口及び出口を有すると共にプロセスガスが入口から出口へ流れる誘電体ハウジング内で、非平衡状態大気圧プラズマが発生する。少なくとも一部が誘電体材料で形成された配管が、誘電体ハウジングの出口から外側へ延び、配管の端部がプラズマの出口を形成する。処理される表面は、表面が非平衡状態大気圧プラズマと接触するようにプラズマの出口に隣接して配置され、プラズマの出口に対して移動する。
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