【課題】安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の中性粒子ビーム処理装置は、被処理物Ｘを保持する保持部２０と、高周波電圧の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことにより、真空チャンバ３内に正イオンと負イオンとを含むプラズマを生成するプラズマ生成部と、真空チャンバ内であって、プラズマ生成部と被処理物との間に配置され、プラズマから放出される紫外線を遮蔽するオリフィス電極４と、真空チャンバ内にオリフィス電極に対して上流側に配置されたグリッド電極５と、オリフィス電極とグリッド電極との間に電圧を印加することで、プラズマ生成部により生成されたプラズマから正イオンと負イオンとを交互に引き出すバイポーラ電源１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの電子線で被照射物を効果的に滅菌処理でき、装置全体を簡素化して経済的に製作できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】被照射物である容器１が搬送され電子線照射室４４部分に、電子線照射手段４０を設けてる。この電子線照射手段４０の電子線発生室４１と電子線照射室４４間の電子線照射窓４３に、薄膜４６を取り付けて両者を区画し、薄膜４６を透過する電子線により容器１を滅菌処理する。電子線照射室４４内は減圧手段により減圧状態を維持させており、薄膜４６として厚さ１５〜２５μｍのグラファイトシート４８を用いている。 （もっと読む）

【課題】 燃料や燃焼用空気の活性化を図ることのできる燃費向上装置を提供する。
【解決手段】 燃料や燃焼用空気である処理物質Ｓを電離作用によって活性化させ、燃費の向上を図るための装置であって、蓋部１２を有するケース１１の中心部に、下端を閉塞し、少なくとも下部に通口１４を有する筒壁１３を貫通させて通路部１５を形成し、蓋部に処理物質Ｓの入口１６を設け、通路部の上端開口部を処理物質Ｓの出口１７とした容器体１０と、容器体に、筒壁を囲むようにして内装され、網目状で略筒形状の網体２１と、網体に収納され、少なくとも、タングステンを主成分とし、残部に１〜５重量パーセントの酸化トリウムを含有する材料を焼結して形成したところの外径１〜６ｍｍで且つ所望長さに切断したα線放射棒状体３１とセラミックス３２とを混在させた活性材３０と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】水素透過性基材とプロトン伝導性膜を有する水素透過構造体において、水素透過性基材とプロトン伝導性膜間の剥離を防止し、安定した性能を有し、耐久性に優れた水素透過構造体を提供するとともに、この水素透過構造体を使用した、耐久性に優れる燃料電池を提供する。
【解決手段】プロトン伝導性膜、該プロトン伝導性膜に密着する第１中間層、該第１中間層に密着する第２中間層、及び該第２中間層に密着する水素透過性基材からなる水素透過構造体であって、第１中間層が、鉄及びクロムから選ばれる１種以上の金属又はそれらの合金よりなり、かつ第２中間層が、ニッケル、銅、コバルト及び亜鉛から選ばれる１種以上の金属、又はそれらの合金よりなることを特徴とする水素透過構造体、及びこの水素透過構造を用いる燃料電池。 （もっと読む）

【課題】任意の微小領域にのみ、ナノメーターサイズの担体一体型貴金属微粒子をドライプロセスで選択的に形成する方法、この方法を用いて作製した担体一体型貴金属触媒、この担体一体型貴金属触媒を有するマイクロリアクタ及びマイクロリアクタの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクタ１０の微小流路１４上に白金酸化物２６の薄膜を形成し、この白金酸化物２６の薄膜の、任意の領域のみをレーザビーム等で加熱還元することにより、白金酸化物２６の薄膜と一体の白金微粒子２８を得る。 （もっと読む）

本発明は、３次元の成形部品（２）の特性変化を電子によって行うための装置および方法に関し、加速された電子を生成するための少なくとも１つの電子加速器（３ａ；３ｂ）と２つの電子出射窓（５ａ；５ｂ）とを有し、両電子出射窓（５ａ；５ｂ）は相互に対向して配置されており、両電子出射窓（５ａ；５ｂ）と少なくとも１つの反射器（７ａ１；７ａ２；７ｂ１；７ｂ２）とが処理室の境界を決定し、該処理室内で、該成形部品（２）の表面または縁部層に電極が印加され、センサシステムによって、該処理室内部のエネルギー密度分布が少なくとも１つの空間的次元において検出されるように構成されていることを特徴とする。
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【課題】本発明は、非接触で電気伝導特性を測定し得るクラスタ、クラスタ生成装置及び方法、並びに、クラスタ又は分子の電気伝導特性測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明のクラスタαは、互いに異なる第１乃至第３原子又は分子（原子等）Ａ、Ｂ、Ｃから成り、第２原子等Ｂが第１原子等Ａと第３原子等Ｃとの間に存在している。クラスタαは、蒸気ビームを断熱膨張させることで生成した初期クラスタに順次に第１乃至第３原子等Ａ、Ｂ、Ｃの蒸気を供給することで生成し得る。そして、クラスタαにＸ線を照射してクーロン爆発を生じせしめ、これにより生じたイオンを電界Ｅで加速して２次元ポジションセンサで計測することでクーロン爆発から２次元ポジションセンサに到達するまでの飛行時間と２次元ポジションセンサへの到達位置に基づいてその電気伝導特性を計測する。また、クラスタαに代え分子を用いることでその電気伝導特性も計測できる。 （もっと読む）

【課題】高強度の電子線を広範囲に走査させて、ワーク表面の広い領域に均一に電子線を照射することができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置１を、複数の真空チャンバー３と、真空チャンバー３のうちの最終チャンバー３ｃ内に電子線ＥＢを射出する電子線発生装置２と、最終チャンバー３ｃに設けられて最終チャンバー３ｃから外部への電子線ＥＢの通過を許容する電子線射出口９と、電子線ＥＢを最終チャンバー３ｃ内でビーム軸線に直交する一方向に走査させる走査磁石１６とを有する構成とする。電子線射出口９を、走査磁石１６による電子線ＥＢの走査方向に沿って設けられたスリットによって構成する。走査磁石１６の鉄心１７を、磁極をなす一対の端部が対向させられたＣ字形状とし、各端部を、最終チャンバー３ａ内に挿入して、互いの間に前記電子線の軌道を挟み込むように近接配置する。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さい粒子を容易に取り除いて粉体粒子の粒径をそろえることができる粉体の製造方法及びその粉体を用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】この製造方法は、一群の粉体粒子を原料粉として準備する工程（ａ）と、一群の粉体粒子にエネルギーを与えることにより、粉体粒子間の合体を起こさせる工程（ｂ）とを具備し、得られた粉体を用いて成膜するもので、粉体の製造に用いられる粉体製造室１１に配置された容器１８中の粒径分布を有する粉体粒子にマグネトロン１５からマイクロ波を発生させ上記粒子に照射することにより小粒子が大粒子に取り込まれ、微粉が取り除かれることにより粒径が制御された粉体が得られ、この粉体を用いてエアロゾルデポジション法により緻密で強固な安定した高品質の膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 低エネルギーとなるにつれて電子線の照射窓での透過効率が極めて悪くなるという問題がある。照射窓での透過効率を良くして、エネルギー損失が少なく大容量照射が可能となる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】 照射窓の窓箔に、チタンやアルミニュームより密度が小さく、３μｍ〜３０μｍ程度に薄く製造出来る無機質のグラファイトなどの配向性フィルムを用いる。それが絶縁体の場合には、その表面に極薄い金属などの導電膜をつけるか、カーボンシートの上にフィルムを形成して電極の役割を得る。また、材料に炭素繊維や金属などの導電体のフィラーを混入し、このフィルムを半導電体化して、窓箔に必要な程度の導電性を確保する。こうして真空度を維持し高温にも耐え透過効率のよい照射窓を得て効率の良い電子線照射装置に適用する。 （もっと読む）

【課題】成膜粒子の入射エネルギー及び相分離の度合いの制御性を向上させることが可能な、相分離膜の製造方法を提供する。
【解決手段】陰極アーク放電により陰極材料のアークプラズマ２４を発生させる工程と、前記アークプラズマ中のイオンを基板２３に照射する工程と、該イオンにより該基板２３上に相分離する組成の材料から成る膜を形成する工程を含む相分離膜の製造方法。前記相分離する組成の材料が、Ａｌ_X（Ｓｉ_YＧｅ_1-Y）_1-X（０．３≦Ｘ≦０．８、０≦Ｙ≦１）の組成を有するアルミニウム及びシリコン、アルミニウム及びゲルマニウム、またはアルミニウム及びシリコン及びゲルマニウムからなる。 （もっと読む）

本発明は、構造の表面上に蒸気を凝縮させて固体凝縮物層とし、次に凝縮物層の選択領域にエネルギーのビームを照射することでその選択領域の局所除去を行うことによって、構造上にパターニング材料層を形成する方法を提供する。その構造を、構造表面上のパターニング固体凝縮物層の少なくとも一部について加工し、次に固体凝縮物層を除去することができる。さらに、凝縮物層の少なくとも一つの選択領域でエネルギーのビームを照射することによって、固体凝縮物層と構造との間に誘導局所反応を起こさせることができる。 （もっと読む）

本発明は、ポリマ化学の分野に関係し、ポリマを流動性の状態で電子放射線によって連続的に改質するための装置であって、ポリマが、改質の前、改質の間および改質の後に成形部分または半製品を形成するように加工可能である形式のものに関する。本発明の課題は、溶融体形成と溶融体改質との組合せが連続的な方法で行われて、ポリマの改善された特性をもたらすような装置を提供することである。この課題は、当該装置が、ポリマを流動性の状態に変えるための装置構成要素と、電子照射のための放射線シールドと、冷却装置とから成っており、放射線シールドの内部に電子放射線のための照射装置ならびに流入・流出管路が設けられており、放射線シールド内部で、変形加工されかつ改質された固形のポリマを製造する場合には、放射線シールドの内部に形状付与装置が設けられており、流動性のポリマが、前記形状付与装置の後ろで照射範囲内に、空間内を自由に浮動するように存在していることを特徴とする、ポリマを流動性の状態で電子放射線によって連続的に改質するための装置により解決される。
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【課題】 高温の反応場を生成して処理効率を高めることができるプラズマ発生装置を提供すること。
【解決手段】 プラズマ発生装置１１は、液体を導入可能な容器１２と、超音波発生装置１３と、マイクロ波発生装置１４と、中性子照射装置１６とを備える。超音波発生装置１３は、容器１２内の液体中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせる。マイクロ波発生装置１４は、液体におけるキャビテーション発生領域にマイクロ波を照射して放電プラズマを発生させる。中性子照射装置１６は、液体における放電プラズマ発生領域に中性子を照射する。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化することなしに、低コストで電子線によるワークの処理を容易かつ良好に行うことができる電子線照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 真空チャンバー３と、真空チャンバー３内に電子線を発生させる電子線発生装置と、真空チャンバー３の内外を接続して電子線発生装置が発する電子線ＥＢを真空チャンバー３外に通過させる電子線射出口８と、真空チャンバー３外で電子線射出口８の周囲を囲むとともに電子線射出口８に対向する部位に開口部２２ａを有するノズル２２と、ノズル２２内に不活性ガスを供給する第一プロセスガス供給装置１１と、ノズル２２内に乾燥空気を供給する第二プロセスガス供給装置１２とを設ける。ノズル２２に、第一プロセスガス供給装置１１が供給する不活性ガスと第二プロセスガス供給装置１２が供給する乾燥空気とが供給されてこれらが混合される拡径部２２ｃ（混合器）を設ける。 （もっと読む）

【課題】 被照射物が大型、または大型でかつ曲面もしくは凹凸面を有する場合に、設備コストおよびイナーティングコストを低減して電子線を照射することができる電子線照射装置を提供すること。
【解決手段】 電子線照射装置１００は、被照射物Ａに電子線を照射する電子線照射部１と、被照射物Ａに対して電子線照射部１を走査させる走査機構３と、電子線照射部１に設けられ、電子線照射部１と被照射物Ａとの空間を囲繞する囲繞部材２と、囲繞部材２で囲繞された空間に窒素ガスを供給する窒素ガス供給機構４とを具備し、窒素ガス供給機構４により囲繞部材２で囲繞された空間に窒素ガスを供給した状態で、走査機構３により電子線照射部１を走査させながら、電子線照射部１から被照射物Ａに電子線を照射する。 （もっと読む）

【課題】ノズル装置から窓箔への空気吹き出しに伴う結露水の発生を従来より抑制でき、ひいては、窓箔等の結露水付着による腐食等を抑制できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置本体の電子線照射窓部における窓箔に冷却用空気を吹きつけるノズル装置１２が冷却用空気供給装置４に連通接続されており、装置４は、冷却用送風機４１及び除湿機４３を含む。送風機４１は除湿機４３から供給される空気をノズル装置１２へ供給でき、除湿機４３は、冷媒を圧縮機で圧縮して凝縮器で凝縮させ、膨張機構を介して蒸発器へ導く冷媒回路と、外部から空気を吸引し、蒸発器に接触通過させて除湿機吐出口４３ｂから吐出する除湿機送風機とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である電子線照射装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ２０と、真空チャンバ２０内に設置された電子線源１０とを含み、真空チャンバ２０の開口枠部２１に電子線照射窓部３０を備えており、電子線照射窓部３０は、窓枠部材３１と、窓枠部材３１の電子線透過用開口部３１２を覆う窓箔３３と、窓箔押さえ部材３２とを有し、窓箔押さえ部材３２は、窓箔３３に冷却用ガスを吹きつけるためのノズル３２２を有している電子線照射装置であって、窓枠部材３１内部に、ノズル３２２に連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給するダクト部５が一体的に形成されている電子線照射装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】 電子線照射装置の運転状態を制御することによって、搬送装置上の被照射物の特性変化を防止できる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】 電子源４から引き出される電子を、加速電源２６から出力した加速電圧Ｖａによって加速して電子線５２として電子線照射領域５６に取り出す電子線加速装置２を備える。搬送装置３０は、被照射物５０を、電子線照射領域５６内で搬送する。Ｘ線測定部３２は、被照射物５０に電子線５２が照射されることによって発生する制動Ｘ線を検出し、その強度を測定する。Ｘ線量計測部は、加速電圧Ｖａが出力され、かつ搬送装置３０が停止した待機状態時における制動Ｘ線の強度を、単位時間当たりのＸ線量に変換する。制御部は、単位時間当たりのＸ線量の積算値と所定の閾値とを比較して、前者が後者以上のとき加速電源２６の出力を停止する。 （もっと読む）

本発明は、ウェブＷを電子ビーム照射する装置を通気する方法及び装置に関し、その方法は、ウェブ入口開口部１１５とウェブ出口開口部１２１を備える第１チャンバ１０７を設ける段階と、第１チャンバ１０７内部に延びる第２チャンバ１１１を設ける段階であって、第２チャンバ１１１が、ウェブ入口開口部１１４と、ウェブ出口開口部１１２と、電子線が適合されて第２チャンバ１１１内にそこを通って放射される電子線出口表面２１とを備える段階と、ウェブＷを、第２チャンバ１１１に通過させる段階と、気体流体を、第１チャンバ１０７のウェブ出口開口部１２１内に供給し、少なくとも１つの出口１１３をもたらすことによって、第１及び第２チャンバ１０７、１１１の両方を通して、ウェブＷの走行方向と反対方向に前記流体の流れを作り出す段階とを含む。
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