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【課題】 層間絶縁膜平坦化、シャロートレンチ分離形成、金属埋め込み配線形成等のCMP技術において、酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷を発生させずに短時間でCMPが実施できる球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子を用いた研磨材、研磨材を用いて研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 球状前駆体を加熱処理することを特徴とする球状酸化物微粒子の製造方法、球状酸化物微粒子用いた研磨材、研磨材を用いて所定の基板を研磨する基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法。 (もっと読む)


本発明は、ゴムならびに第一の官能基及び第二の官能基を有する、電荷をバランスする有機イオン、ここで有機アニオンの少なくとも一部は第二の官能基を通じてゴムに化学的に結合されている、及び/又は少なくとも1のアルコキシシラン基及び少なくとも1の反応性基を有するシランカップリング剤、ここで少なくとも1のアルコキシシラン基は層状複水酸化物に化学的に結合されており、少なくとも1の反応性基はゴムに化学的に結合されている、を含むところの変性された層状複水酸化物を含むナノコンポジット物質に関する。本発明はさらに、ナノコンポジット物質又はその前駆体を製造する方法にも関する。 (もっと読む)


本発明は、電荷をバランスする2以上の有機アニオンを有する層状複水酸化物と、その利用に関する。本発明はさらには、これらの層状複水酸化物を含むナノコンポジット物質と、その利用に関する。 (もっと読む)


【課題】 有機合成の属する分野、医療、エネルギー、機械、情報分野、および他の分野において要求されている磁性流体、磁性イオン液体を提供すること。
【解決手段】 有機オニウムカチオンとテトラハロゲノジスプロサートアニオンから成るジスプロシウム誘導体を合成し、上記課題を解決した。 (もっと読む)


【課題】半導体製造装置のプラズマエッチィングチャンバー、液晶デバイスなどのプラズマ処理装置などに求められる高い耐プラズマ腐食性を有する部材を提供する。
【解決手段】体積平均粒径が10nm〜300nmであるY23粒子の凝集体からなるY23皮膜。分散時の体積平均粒径が10nm〜300nmであるY23スラリーを乾燥、熱処理して得られてなるY23皮膜。Y23スラリーの分散媒が多価アルコール誘導体である。Y23スラリーが分散剤としてβ−ジケトンを含む。Y23スラリーがバインダーとしてβ−ジケトン金属錯体を含む。Y23スラリーが、体積平均粒径の異なる分散粒径を有する2種類以上のスラリーの混合スラリーである。分散時の体積平均粒径が10nm〜300nmであり、Y23濃度が0.1質量%〜40質量%であるY23スラリーを、基材上に、一回の皮膜形成厚さが10nm〜5μmとなるように塗布し、皮膜形成後の熱処理を100℃〜300℃で、10分〜5時間で行う皮膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】官能基化されたアルミナ粒子、その製造方法及びそれを含有する組成物を提供する。
【解決手段】この粒子は、式A−R−Qの少なくとも1つの酸であって、式中、AがSO3H、PO32又はPO22であり、Rが有機接続基であり、QがOH、NH2、ビニル、アクリルオキシ、メタクリルオキシ、NCO、CO2H、SH又はエポキシなどの反応性部分である少なくとも1つの酸によって表面処理されたアルミナ粒子を含む。この粒子をポリマーマトリクスに組み込んで優れた機械的性能特性を有する複合材料を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】成形加工性、熱伝導性及び耐水性に優れる成形品を与える樹脂配合用酸化マグネシウムフィラー及びそれを含む熱伝導性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂配合用酸化マグネシウムフィラーは、純度が95.0質量%以上の酸化マグネシウムからなり、BET比表面積が5.0m/g以下、体積平均粒子径(Dv)が0.5〜60μm、且つ、体積平均粒子径(Dv)と数平均粒子径(Dn)との比Dv/Dnが10〜55である。 (もっと読む)


【課題】 配向複屈折性を有し、針状乃至棒状であり、樹脂中に存在させた際に、凝集が少なく、該樹脂の光透過率を低減させない炭酸ストロンチウム結晶及びその製造方法、並びに該炭酸ストロンチウム結晶を含有する樹脂組成物の提供。
【解決手段】 下記一般式(1)で表される化合物により表面修飾されていることを特徴とする炭酸ストロンチウム結晶である。一般式(1)におけるAが、脂肪族基又は芳香族基を表す態様が好ましい。
【化6】


ただし、前記一般式(1)中、Mは一価の金属原子又は水素を表し、Aは有機基を表す。 (もっと読む)


【課題】高速研磨でありながら研磨傷の低減が達成できる研磨剤及びそれを用いた基板の研磨方法を提供する。
【解決手段】4価のセリウム化合物を原料として酸化セリウムを製造する研磨剤用酸化セリウムの製造方法、その方法により製造された酸化セリウムおよびそれを含有する研磨剤であって、4価のセリウム化合物が硝酸セリウムアンモニウム、硝酸セリウムアンモニウム水和物、硫酸セリウム、硫酸セリウム水和物、硫酸セリウムアンモニウム、硫酸セリウムアンモニウム水和物、セリウムイソプロポキシド、セリウムブトキシド及び水酸化セリウムからなる群より選択される一種類以上であると好ましく、また、4価のセリウム化合物を含有する溶液と、4価のセリウム水酸化物を含有する懸濁液との少なくとも一方を微細液滴化し、この液滴を熱処理して酸化セリウムを得るのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】極性基を有さないオレフィン系樹脂に対して多量の無機微粒子を容易にかつ均一に分散させるとともに、得られた熱可塑性樹脂組成物及び光学素子における透明性及び屈折率の温度依存性の向上を図る。
【解決手段】オレフィン系樹脂0.1〜20重量部及び樹脂添加剤0.1〜10重量部の少なくとも1つと、無機微粒子100重量部と、表面処理剤5〜20重量部とを含有する無機微粒子分散組成物と、環状ポリオレフィン樹脂とを混合させ、熱可塑性樹脂組成物を作製し、さらにこの熱可塑性樹脂組成物を用いて光学素子を作製する。 (もっと読む)


【課題】固体酸化物型燃料電池燃料極の高性能化を実現でき、かつ燃料としてメタンガス等の炭化水素ガスを使用して、燃料の予備改質や加湿を行うことなく効率よく発電を行うことができる、高性能な燃料電池の作製に有用な電極材料を提供する。
【解決手段】コバルトおよびニッケルからなる金属粒子ならびに固体酸化物からなる電解質粒子を含むサーメットで構成される多孔質体からなり、気体に対する吸着能を式:吸着分子数(モル)/多孔質体の単位面積(m)で表した場合、メタン、一酸化炭素及び水素のそれぞれの気体に対して約0.1〜10×10-6モル/mの吸着能を有することを特徴とする燃料極104用電極材料。 (もっと読む)


【課題】平均粒径3μm以下の水酸化カルシウムスラリーの製造において、所定の粒径のスラリーを得るために必要な高分子系分散剤の使用量を低減するとともに、粉砕後のスラリー粘性の経時的な変化を抑制する水酸化カルシウムスラリーの製造方法を提供する。
【解決手段】平均粒径3μm以下の水酸化カルシウムスラリーの製造において、スラリーの液相に存在する高分子系分散剤の量を、水酸化カルシウム1gあたり20mg以下になるよう、分散剤の添加量及び添加時期を調整しながら粉砕する。 (もっと読む)


【課題】樹脂への分散性が優れる、ナノオーダーレベルの無機微粒子を得る。
【解決手段】 表面に水酸基を有する粒子状金属酸化物とカップリング剤とを、常温での比重が1未満の有機溶媒A中で加熱して反応させ、前記有機溶媒A中で分散したカップリング剤反応物を得、次いで、前記カップリング剤反応物を前記有機溶媒Aと異なる有機溶媒Bで置換し、前記カップリング剤反応物を前記有機溶媒B中で分散させ、次いで、前記有機溶媒B中において、前記カップリング剤反応物に対し、そのカップリング剤成分と反応性を有する樹脂を加熱反応させて付加することにより、所定の樹脂変性金属酸化物粒子を得る。 (もっと読む)


【課題】表面を修飾したナノ粒子、その製造方法及びそれを使用した充填材を提供する。
【解決手段】表面を修飾したナノ粒子に関するものであり、該ナノ粒子は金属酸化物、半金属酸化物、金属水酸化物又は半金属水酸化物からなり、これらの表面を修飾剤と反応させ生成した共有結合を有する。該修飾剤がポリシロキサンである。また、該表面を修飾したナノ粒子を使用した分散物はコーティング材料、プラスチック、発泡体及びマニキュア液の充填材として使用できる。 (もっと読む)


【課題】 ナノ粒子のような微粒子は様々な特有の優れた特性・機能を示すことから、ハイテク製品の開発に不可欠な材料として注目されているが、その表面に強固な結合を介して有機基を結合させる技術の開発が求められている。
【解決手段】 高温高圧水を反応場とすることで、金属酸化物微粒子表面と有機物との間で強結合せしめて有機修飾金属酸化物微粒子を得ることができる。同様な条件を使用すれば、金属酸化物微粒子の形成とその生成微粒子表面を有機修飾することもできる。得られた有機修飾金属酸化物微粒子は、優れた性状・特性・機能を発揮する。 (もっと読む)


本発明は、5〜60質量%の酸化セリウムを含有する、水性酸化セリウム分散液に関する。該分散液は、半導体工業においてSiOをポリッシングするために使用することができる。
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【課題】 亜鉛の回収や排ガスの無害化処理を安価に行えるものを提供する。
【解決手段】 ロータリーキルンなどの高温加熱用の炭化装置1に、雑多な一般ごみ、下水汚泥、産業廃棄物などのカルシウムを含有する有機物を投入し、燃焼設備2からの燃焼排ガス、更には、焼却施設や自家発電設備で発生した排ガスなどを炭化装置1に供給し、有機物を温度300〜700℃で蒸し焼きして炭化物を得る。炭化装置1で得られた炭化物を、ロータリーキルンなどの高温加熱用の炭酸化装置4に供給し、燃焼設備2からの燃焼排ガス、更には、焼却施設や自家発電設備で発生した排ガスなど、すなわち、二酸化炭素を含むガスを供給し、炭化装置1で得られた炭化物に二酸化炭素を含むガスを供給した状態で700〜1,000℃で加熱処理し、アルカリ機能を有する炭酸カルシウムと吸着能を有する炭素とを含んだ炭化物の炭酸化処理物を製造する。 (もっと読む)


【課題】球形度と比表面積の大きな無機質酸化物粉末を容易に製造する。
【解決手段】有機金属化合物と、この有機金属化合物に含まれる金属と同種類の金属粉末を、別々に又は同時に炉内に供給し、熱処理することを特徴とする球状無機質酸化物粉末の製造方法である。本発明においては、金属粉末を水及び/又はアルコール媒体によるスラリーとして供給することが好ましい。また、有機金属化合物が、有機ケイ素化合物及び/又は有機アルミニウム化合物であり、金属粉末が、シリコン粉末及び/又はアルミニウム粉末であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】
長時間あるいは繰り返しの熱履歴を経過しても、黄色度の増加が抑制され、かつ靭性などの機械物性が優れたポリアミド樹脂組成物およびその製造方法を提供。
【解決手段】
一般式AX Y 2 (Aは周期律表第1族金属元素あるいはCu、Ag、Ptのいずれかから選ばれる。BはAl、Fe、Te、Ti、Sc、In、Y、Ni、Co、Cr、Mn、Ga、Rhのいずれかから選ばれる。また0<X<4および0<Y<2である。)で示される金属化合物、および酸成分からなる金属化合物水溶液を、ポリアミド原料あるいはポリアミド溶融物の少なくとも一つに配合するポリアミド樹脂組成物を製造する方法であって、該金属化合物水溶液の金属化合物濃度が0.01〜10重量%でありかつ酸成分の含有量が金属化合物100重量部に対して10〜10000重量部であることを特徴とするポリアミド樹脂組成物の製造方法。 (もっと読む)


【課題】重質炭酸カルシウムを簡便に微粒化でき、分散安定に優れたスラリーの製造法を提供する。
【解決手段】(メタ)アクリル酸(共)重合体、(メタ)アクリル酸−(メタ)アクリル酸塩共重合体及び(メタ)アクリル酸塩共重合体からなる群より選ばれる少なくとも1種からなるポリマー(A)を含んでなり、(A)中に含まれる(メタ)アクリル酸塩単位がアルカリ金属塩単位49.9〜99モル部、アルカリ土類金属塩単位0.1〜10モル部及びアンモニウム塩単位0〜10モル部からなり、(A)を構成する全単量体単位の数に基づいて、(メタ)アクリル酸塩単位が50〜99個数%である重質炭酸カルシウム湿式粉砕工程用分散剤を用いて、
体積平均粒子径Yμmの重質炭酸カルシウムを体積平均粒子径0.0002Y〜0.5Yμmかつ0.9〜1.5μmの重質炭酸カルシウムに粉砕する湿式粉砕工程を含む重質炭酸カルシウムスラリーの製造方法を用いる。 (もっと読む)


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