【課題】現像性が改善され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好なパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で示される繰り返し単位を有する樹脂（Ｂ）と、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。


（式中、Ｘは、置換基を有していてもよいアルキレン基、酸素原子または硫黄原子を表す。Ｙは、電子求引性基を表す。Ｒｆは、構成炭素上の水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状または環状の炭化水素基を表す。ｎは、０以上の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】酸分解性基を含有するラクトン化合物を高収率で得ることができる製造方法、及び、レジスト性能が改善された感活性光線性または感放射線性樹脂組成物の製造方法を提供すること
【解決手段】下記一般式（ＩＢ）で表される化合物の製造方法であって、下記一般式（ＩＡ）で表される化合物を用いる製造方法。
【化１】


式中、Ｑは、重合性基を表す。Ｌ_１は、ｍが２以上の場合は各々独立に、連結基を表す。Ｌｃはラクトン構造を有する基を表す。Ａ_１は酸の作用により脱離する基、又は酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する基を有する基を表す。ｍは０以上の整数を表す。 （もっと読む）

【課題】優れたラインエッジラフネスを有するレジストパターンを形成することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される構造単位及び式（ＩＩ）で表される構造単位を含む樹脂と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。［Ａ^１は単結合、−Ｏ−又は−ＣＯ−を表す。Ａ^２は炭素数１〜６のアルキレン基を表す。Ｒ^６はハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を表す。ｍａは０〜４の整数を表す。］
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【課題】硬化感度、透過率、ＩＴＯスパッタ適性、及び、コンタクトホールの形成性に優れた感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）カルボキシ基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位、又は、フェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位（ａ１）と、架橋基を有するモノマー単位（ａ２）と、を含有する共重合体、（Ｂ）光酸発生剤、（Ｃ）式（ｃ１）で表される部分構造を分子内に少なくとも２つ有し、分子量が６００以上２，０００以下である化合物、及び、（Ｄ）溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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【課題】
塗布量が低減でき、経時における異物を生じにくく、さらにＢｌｏｂ欠陥を生じにくい上層膜を得ることができる上層膜形成用組成物を提供すること。
【解決手段】
溶剤としてエーテル系溶剤を含む上層膜形成用組成物に特定の繰り返し単位を含む重合体を用いること。 （もっと読む）

【課題】貯蔵安定性に優れ、かつ、低光沢で撥水性、耐水性等が良好な塗膜を形成可能な水系塗料組成物を提供する。
【解決手段】本発明は、ヒドロキシル基含有重合性単量体を２〜１５質量％含有する（メタ）アクリル系単量体を重合してなる（メタ）アクリル系重合体エマルジョン（Ａ）、シリコーン樹脂水分散体（Ｂ）、及びＨＬＢが１６〜２０である高ＨＬＢ界面活性剤（Ｃ）を含む水系塗料組成物であって、この高ＨＬＢ界面活性剤（Ｃ）を（メタ）アクリル系重合体エマルジョン（Ａ）１００質量部に対し０．２〜２質量部含有する水系塗料組成物である。 （もっと読む）

【解決手段】酸の作用により分解するアセタール保護基で保護されたカルボン酸部分を有する樹脂成分（Ａ）と活性光線又は放射線に感応して酸を発生する化合物（Ｂ）とを含有し、樹脂成分（Ａ）のアセタール保護基で保護されたカルボン酸部分の脱保護がβ−脱離反応に依らないポジ型レジスト材料であって、
上記樹脂成分（Ａ）が、下記一般式（１−３）で示される単位の１種以上と、更に下記一般式（２）、（３）、（４）及び（５）から選ばれる１種以上の繰り返し単位を含有するものであることを特徴とするポジ型レジスト材料。


【効果】本発明のレジスト材料は、微細加工技術、特にＡｒＦリソグラフィー技術において極めて高い解像性を有しており、精密な微細加工に極めて有用である。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れる共役ジエン系重合体組成物を得ることができる共役ジエン系重合体、及び、該共役ジエン系重合体と補強剤とを含有する共役ジエン系重合体組成物を提供すること。
【解決手段】共役ジエンに基づく構成単位と下記式（１）で表される化合物に基づく構成単位とを有する共役ジエン系重合体。
Ｒ¹Ｓｉ（−Ｒ²−Ａ）_mＲ³_3-m （１）
（式中、ｍは１〜３の数を表し、Ｒ¹は重合性炭素−炭素二重結合を有するヒドロカルビル基を表し、Ｒ²はヒドロカルビレン基を表し、Ｒ²が複数ある場合、複数あるＲ²は同一でも異なっていてもよく、Ａは置換アミノ基を表し、Ａが複数ある場合、複数あるＡは同一でも異なっていてもよく、Ｒ³はヒドロカルビル基、置換ヒドロカルビル基又は置換アミノ基を表し、Ｒ³が複数ある場合、複数あるＲ³は同一でも異なっていてもよい。） （もっと読む）

【課題】高い感度を有し、高い透明性及び優れたＩＴＯスパッタ耐性を有する硬化膜が得られる感光性樹脂組成物、高い透明性及び優れたＩＴＯスパッタ耐性を有する硬化膜及びその製造方法、並びに、かかる硬化膜を層間絶縁膜として具備する有機ＥＬ表示装置及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸によりカルボキシ基又はフェノール性水酸基を生成する残基を有するモノマー単位（ａ１）、及び、末端にエチレン性不飽和結合を有する炭素数３〜１６の基を有するモノマー単位（ａ２）を含有し、重量平均分子量が１，０００より大きい重合体、（Ｂ）光酸発生剤、並びに、（Ｃ）溶媒を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、有機ＥＬ表示装置、並びに、液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】広い波長域において一様の偏光変換が可能な光学フィルムを与える新しい化合物の提供。
【解決手段】式（１−１）又は式（１−２）で表される２価の基を含む化合物。［Ｚ１及びＺ２は、水素原子などを、Ｑ１及びＱ２は、−ＣＲ１Ｒ２−、−Ｓ−、−ＮＲ２−、−ＣＯ−又は−Ｏ−を、Ｇ１及びＧ２は、２価の脂環式炭化水素基を表す。］
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【課題】感光性樹脂組成物の保存安定性、感度及び溶剤除去工程の寛容度に優れ、かつ、透明性及び耐溶剤性に優れた硬化膜を与える感光性樹脂組成物を提供すること。また、前記感光性樹脂組成物により形成された硬化膜を層間絶縁膜として具備する、信頼性と生産性の高い、有機ＥＬ表示装置、及び、液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】（Ａ）カルボキシ基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位（１）と、フェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位（２）と、３員環及び／又は４員環の環状エーテル残基を有するモノマー単位（３）と、を含有する共重合体、（Ｂ）光酸発生剤、並びに、（Ｃ）溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】現像欠陥性能、液浸欠陥性能、及び限界解像力に優れ、且つ良好な形状を有したパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた第１繰り返し単位を含み且つ酸の作用により有機溶剤を含んだ現像液に対する溶解度が減少する樹脂と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、疎水性樹脂とを含有している。 （もっと読む）

【課題】フィルム基材等へ塗工した際にも硬度が得られ、且つ、硬化の際も低収縮でフィルムの反り（カール）が少ないコーティング用活性エネルギー線硬化型樹脂組成物、及び該組成物を硬化させた硬化層を有するフィルム基材に関するを提供する。
【解決手段】脂肪族構造を有するポリイソシアネートと水酸基を含有する（メタ）アクリレートとを反応させて得られ、エチレン性不飽和基を８〜１０ｍｍｏｌ／ｇとなる範囲で有するウレタン（メタ）アクリレート（Ａ）とペンタエリスリトールテトラアクリレート（Ｂ）とペンタエリスリトールトリアクリレート（Ｃ）とを含有し、（Ｂ）と（Ｃ）の合計の含有量が（Ａ）と（Ｂ）と（Ｃ）の合計１００重量部に対して１０〜３０重量部であり、且つ、（Ｂ）と（Ｃ）との含有量の比〔（Ｂ）／（Ｃ）〕が重量比で９５／５〜６５／３５である活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高い感度を有し、現像時における残渣の発生が抑制され、かつ、平滑性に優れた表面を有する硬化膜を形成し得るポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）式（１）で表される構成単位と酸性基を有する構成単位と架橋性基を有する構成単位とを有する樹脂、及び、（成分Ｂ）オキシムスルホネート基を有する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。Ｒ¹は水素原子又はアルキル基を表し、Ｌ¹はカルボニル基又はフェニレン基を表し、Ｒ²¹〜Ｒ²⁷はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表す。
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【課題】低色分散、高光線透過率等の優れた光学特性を有し、光学レンズ・プリズム材料に求められる種々の特性バランスに優れ、湿熱条件のような厳しい実使用条件でも、屈折率の分岐を生じることなく、高度の光学特性を維持した共重合体とその製造方法を提供する。
【解決手段】脂環式構造を有する単官能（メタ）アクリル酸エステル（ａ）、アルコール性水酸基を有する単官能（メタ）アクリル酸エステル（ｂ）、２官能（メタ）アクリル酸エステル（ｃ）と、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン（ｄ）を含む成分を共重合して得られる共重合体であって、側鎖に２官能（メタ）アクリル酸エステル由来の反応性の（メタ）アクリレート基を有し、末端に２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン由来の構造単位を有する可溶性多官能（メタ）アクリル酸エステル共重合体である。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性及び耐熱透明性に優れる硬化膜が得られ、高い感度を有するとともに、露光量の変化に対するパターン形状の変化が小さい感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、有機ＥＬ表示装置、並びに、液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸によりカルボキシ基を生成する式（Ia）で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式（Ib）で表される構造を有するモノマー単位（ａ１）、酸によりカルボキシ基を生成する式（IIa）で表される構造又は酸によりフェノール性水酸基を生成する式（IIb）で表される構造を有するモノマー単位（ａ２）、並びに、エポキシ基及び／又はオキセタニル基を有するモノマー単位（ａ３）、を含有する重合体、（Ｂ）光酸発生剤、並びに、（Ｃ）溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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【課題】トップロスを抑制して矩形性が良好であり、ＬＷＲ抑制能も満足し、かつパターン倒れが抑制されたレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物の提供。
【解決手段】［Ａ］側鎖に３級炭素を有するエステル基が窒素原子に結合する構造を含む構造単位（１）を有する重合体を含有する感放射線性樹脂組成物。上記構造単位（１）が、（メタ）アクリレートの側鎖に含まれている構造単位であることが好ましい。上記［Ａ］重合体が、ラクトン構造を含む構造単位及び環状カーボネート構造を含む構造単位からなる群より選択される少なくとも１種の構造単位をさらに有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】中途半端にしか清掃せずおよび／または湿った掘削孔内における表面の接着力を向上させる樹脂成分（Ａ）および硬化剤成分（Ｂ）で構成する化学的２成分モルタル物質を得る。
【解決手段】硬化可能な構成要素として、少なくとも１種類のラジカルに硬化可能な不飽和エチレン化合物（ａ）を含有する樹脂成分（Ａ）と、この不飽和エチレン化合物（ａ）から反応を阻止するよう分離させた状態で配置した硬化剤成分（Ｂ）とを有し、この硬化剤成分（Ｂ）は、樹脂成分（Ａ）における樹脂用の硬化剤を含有しており、無機質素地、例えばコンクリートにドリル掘削し、中途半端にしか清掃していないおよび／または湿った孔内における表面の接着力を向上させる、化学的２成分モルタル剤において、樹脂成分（Ａ）の他の構成要素（ｂ）として、（メタ）アクリロキシアルキルシロキサンおよびポリ（メタ）アクリロキシアルキルシルセスキオキサンのうち少なくとも一方を少なくとも１種類、０．２〜１０質量％含有する。 （もっと読む）

【課題】エッチング耐性及びＰＥＤに対する安定性に優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルコール性ヒドロキシ基を生じる基を備えた繰り返し単位を含んだ樹脂と、活性光線又は放射線の照射によりｐＫａ≧−１．５の酸を発生する化合物とを含有している。 （もっと読む）

【課題】露光ラチチュード、フォーカス余裕度及びパターン形状の改善、並びに、定在波の抑制を可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位（Ａ）を含んだ樹脂（Ｐ）と、下記一般式（１）乃至（５）の何れかにより表される化合物（Ｑ）とを含有している。
【化１】
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