【課題】成膜用ワークの形状、構造に拘わらず、成膜室に搬入すると、直ちに成膜動作に入ることができる成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜用ワーク（Ｗ）を射出成形するときに、該成膜用ワークを成膜室（１１）内に搬入して成膜台（１２）に載置すると、その成膜面あるいは成膜部（Ａ’、Ｂ’、Ｃ’）がターゲット材料（１４）と対面する所定姿勢に保持するアシスト部材（１、２）を成膜用ワーク（Ｗ）と一体的に成形し、これを成膜室（１１）に搬入して成膜する。 （もっと読む）

【課題】ターゲットを長期間に亘って均一に使用できると共に、成膜速度を向上させることができるマグネトロンスパッタ装置によって、ＬａＢ_６膜を下地である基体上に成膜した場合、ＬａＢ_６膜が剥離し易いことが判明した。
【解決手段】基体の表面を窒化した後、引き続き同一処理装置内にて、基体の窒化された前記表面にスパッタによりＬａＢ_６の膜を形成することによって、基体から剥離し難いＬａＢ_６膜を成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬａＢ_６膜の結晶性を更に改善でき、剥離も少ないスパッタ形成方法を提供する。
【解決手段】タングステン又はモリブデンと、希土類元素の酸化物を含む材料からなる基体にスパッタリングによってＬａＢ_６膜を成膜する際、アルゴンに窒素ガスを０．０１〜５体積％添加した雰囲気でＬａＢ_６ターゲットのスパッタリングを行うことにより、結晶性の優れたＬａＢ_６膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】照明器具において、変色原因のガスを確実に遮断することで、銀反射膜が変色し難くなり、高い反射率を維持する。
【解決手段】照明器具１は、基材３と、基材３に収容される反射鏡２と光源と、を備える。反射鏡２は、基材３上に設けられ、銀を有する銀反射膜８と、銀反射膜８の片面又は両面上に設けられる酸化物膜７、９と、酸化物膜７、９の銀反射膜８が配置されている側と反対側の面上に設けられる金属膜６、１０と、を備える。酸化物膜７、９は、酸化物膜７、９とそれぞれ接している金属膜６、１０が有する金属元素と同じ金属元素の酸化物を有する。反射鏡２は、高い密着性で銀反射膜８と第１酸化物膜７と第１金属膜６が順に接し、かつ、高い密着性で銀反射膜８と第２酸化物膜９と第２金属膜１０が順に接しているので、酸化物膜７、９と、酸化物膜７、９よりも緻密な金属膜６、１０の２種類の膜で変色原因のガスを確実に遮断することができる。 （もっと読む）

【課題】低スパッタリング圧力にすることなく、簡便に平坦性の高い膜が得られるスパッタリング膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】本発明のスパッタリング膜の成膜方法は、基材上へのスパッタリング膜の成膜方法であって、スパッタリングターゲットのエロージョン位置における前記スパッタリング表面に対して垂直な方向の磁場強度（単位；ガウス［Ｇ］）が下記関係式（１）を満足することを特徴とする。
磁場強度［Ｇ］≧スパッタリングターゲット表面の面積［ｃｍ^２]×１４…式（１） （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって優れた硬度および美的外観を保持することができる装飾品を提供すること、前記装飾品を提供することができる製造方法を提供すること、また、前記装飾品を備えた時計を提供すること。
【解決手段】 本発明の装飾品１の製造方法は、基材２上に、主としてＴｉＮで構成された第１の被膜３を形成する第１の被膜形成工程と、第１の被膜３上に、Ａｕを主成分とし、６．０〜８．０ｗｔ％のＰｄ、６．０〜８．０ｗｔ％のＡｇ、３．０〜５．０ｗｔ％のＩｎ、および、３．０〜５．０ｗｔ％のＺｎを含むＡｕ−Ｐｄ−Ａｇ−Ｉｎ−Ｚｎ系合金をターゲットとして用いた乾式めっき法により、第２の被膜４を形成する第２の被膜形成工程とを有する。 （もっと読む）

本発明は、真空処理チャンバに容器を送り込み、該チャンバから容器を取り出すためのロック装置であって、容器のためのキャリアプレートを備え、該プレートが、回転輸送手段に締結され、該輸送手段の直線部分に設けられるロックチャンネルを通じて輸送され、それにより、該チャンネルと共にシール効果を得るロック装置に関する。該プレートは、ロックチャンネルの吸引孔または換気孔を通過して移動される。このようにして、差圧ステージを形成できる。装置は、柔軟に寸法設定できるとともに、高い費用効率で製造できる。 （もっと読む）

【課題】基材の凹状成膜面に対して成膜面の曲率が異なっても均一な膜厚の皮膜を容易に形成することができ、しかも量産性に優れた成膜装置を提供する。
【解決手段】回転自在とされた円筒状のホルダ本体６を有し、前記ホルダ本体６の保持凹部７に凹状成膜面Ｓを外側に向けて基材Ｗを保持する基材ホルダ２を備える。また、ホルダ本体６の中心軸と平行に設けられた中心軸回りに回転自在とされた円筒状ターゲット１１を備え、前記円筒状ターゲット１１の軸方向にレーストラック状磁場を発生させる磁場発生手段１２が設けられ、成膜時に円筒状ターゲット１１の表面に前記レーストラック状磁場に沿って成膜粒子が蒸発するエロージョン領域が形成される円筒状蒸発源３を備える。前記磁場発生手段１２は円筒状ターゲット１１の周方向に移動可能に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】ハウジング部に光源を組み込んで、ハウジング部内側面と、光源先端部とに反射面を成膜するにあたり、成膜にムラができず、光源先端部のみを成膜できるように構成する。
【解決手段】固定金型となる第一金型６に、ターゲット室１１ａの溝奥側に、成膜方向の直進性が低減され、よりムラのない成膜ができるような装置として汎用されるマグネトロンスパッタリング装置９ａを設けた成膜装置９を配設し、ターゲット室１１ａの開口部に、貫通孔１０ａが開設された円板体１０ｂを備えたマスキング部材１０を設けて、一次の射出工程の後、前記ターゲット室１１ａにバルブ３を組み込んだハウジング部４を突き当てることにより、マスキング部材１０の貫通孔１０ａにバルブ先端部３ｂを貫通させ、この状態において成膜する構成とする。 （もっと読む）

【課題】複数の種類の成膜材料を用いて、様々な成膜構造を実現することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成形体が載置された金型を型締めすることで成形体を成膜するための成膜空間が形成される成膜チャンバ５７と、成膜チャンバ５７内に配置された成膜材料と、成膜材料を成形体に成膜させるためのヒータとして機能する電極４５とを備えた成膜装置４０において、成膜材料が複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】均質で耐食性に優れた被膜特性が得られ、成膜効率および再現性に優れ、かつ長寿命の硬質被膜および硬質被膜部材を提供する。
【解決手段】ＡｌおよびＳｉの少なくとも一方の合計含有量が１〜５０原子％であり、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗ，Ｍｏ，Ｂの少なくとも１種の元素の合計含有量が１〜５０原子％であるＣｒ合金から成るスパッタリングターゲットであって、このスパッタリングターゲットの、２００μｍ四方の組織領域をＸ線マイクロアナライザーにより加速電圧１５ｋＶでＣｒ元素のマッピングを実施したときに、カウント数が６００以上であるＣｒの偏析部の直径が５０μｍ以下であるスパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴とする硬質被膜である。 （もっと読む）

本発明は、物品２の開口部にて蒸着／真空蒸着させることのできる材料にて膜壁３を生成する方法に関する。この方法は、蒸着可能な材料に対して剥離性のある層５にて被覆された裏打ち面４に接するように、開口部を画定する縁部配置する工程と、蒸着可能な材料を物品２及び裏打ち面４上に蒸着させて１つの要素を形成する工程と、要素と一体的な膜３が残しるようにして要素を裏打ち面４から分離する工程と、を含む。本発明は、膜３が設けられた物品、特に、前面側膜３が設けられた超音波トランスデューサ１１にも関する。
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【課題】真空容器内部がマイクロ波の波長に比べて十分に広い空間になっていたとしても、そのマイクロ波を用いて、その真空容器内部でプラズマを効率良くかつ容易に発生できる装置、或いは、その真空容器内部で効率良くかつ容易にプラズマを発生させて高品質な薄膜の形成ができる装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波を発生する発振器（６）と、マイクロ波を伝播させる導波管（１）と、マイクロ波のインピーダンスを調整する整合器（７）と、真空容器（８）と、前記導波管（１）と前記真空容器（８）とを分離する誘電体（２）と、前記誘電体（２）に接しているアース電極（３）と、前記アース電極（３）と垂直に設置され前記真空容器（８）にガスを導入するガスパイプ（４）とを備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。 （もっと読む）

無線端末部品の無静電蒸着方法であって、無線端末部品の射出物の上に錫または錫−アルミニウム合金を蒸着するステップを含む方法を提供する。また、本発明は、無線端末部品の無静電蒸着方法であって、無線端末部品の射出物の上に錫または錫−アルミニウム合金を蒸着するステップと、蒸着された錫層または錫−アルミニウム合金層の上にＳｉ、ＳｉＯ₂、Ｔｉ、ＴｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃及びこれらの配合物よりなる群から選ばれる１または２以上の物質を蒸着するステップを含む方法に関するものである。本発明による無線端末部品の無静電蒸着方法は、従来の技術の問題点、すなわち、鏡効果のために無線端末部品にニッケル、クロムなどの金属を蒸着する場合、静電気が発生して無線端末の内部回路性能に悪影響を及ぼす恐れがあるという問題点を克服し、鏡効果とラジオ波性能が維持可能になるだけではなく、無線端末部品の射出物の上に蒸着された錫または錫−アルミニウム合金が剥がれることを防ぎ、無線端末部品の耐傷付き性及び耐衝撃性を高めることができるというメリットがある。
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【課題】比較的簡易なプロセスで、物品の表面に親水撥油性を付与することができ、しかも該親水撥油性の耐久性が良好である物品の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス、セラミックスおよびプラスチックからなる群から選択される材料からなる被処理物品の表面を、（Ａ）パーフルオロカーボンと、（Ｂ）酸素原子を有し、Ｃ−Ｈ結合およびハロゲン原子のいずれも有しない酸素含有化合物とが存在する雰囲気中で放電処理することによって、前記被処理物品の表面上に膜を形成する工程を有することを特徴とする物品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】離型性と耐久性が高いコーティング膜を提供する
【解決手段】成膜対象物４ａ、４ｂの表面にクロムを注入し、クロム膜を形成した後、クロム膜の表面に白金イオンを注入し、その表面に白金薄膜を形成し、その表面に白金イオンを注入する。本発明ではクロムイオンと白金イオンの注入は、トリガ電圧によって注入装置３２₁、３２₂内でトリガ放電を発生させ、アーク放電を誘起させ、カソード電極からクロムや白金のイオンを放出させると共に、成膜対象物４ａ、４ｂにはアーク放電と同期して負のバイアス電圧をパルス的に印加する。注入層と薄膜との間の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属箔並みの高度なガスバリア性をもつ実用性の高い内容物保存適性を有する透明積層体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明プラスチック基材に、少なくともガスバリア性被膜層を形成してなる内容物保存適性を有する透明積層体であって、前記ガスバリア性被膜層として、水酸基含有高分子化合物、金属アルコキシド及び／又はその加水分解物及び／又はその重合物の少なくとも１種類以上を成分に持つコーティング剤を塗布後、加熱乾燥して、水処理を施されてなることを特徴とする内容物保存適性を有する透明積層体及びその製造方法である。 （もっと読む）

プロセスチャンバコンポーネントは、使用中、チャンバ内で励起されたガスに露出され、パリレンコーティングを含む第１の表面と、使用中、励起されたガスに露出されない第２の表面とを含む。プロセスチャンバの内部表面は、イン・サイチュで、ポリマーコーティングによりコートすることができる。可搬性設備を用いて、プロセスチャンバにポリマーコーティングを形成することができる。前にコートしたチャンバコンポーネントはまた、ポリマーをオゾン及び／又は酸素により剥離し、ポリマーを再コートすることによって、再生することもできる。
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【課題】プラスチック容器内面に膜質が良好な炭素膜のようなバリヤ膜を高速度で形成することが可能なプラスチック容器の内面へのバリヤ膜形成装置を提供する。
【解決手段】回転式真空シール機構に排気管１１を通して連通され、プラスチック容器の内面にバリヤ膜を成膜するための複数の成膜チャンバを具備し、排気管は導電材料からなり、その内部の所望位置に通気性で導電性を有するハニカム形導体３９が配置され、かつ成膜チャンバは容器が挿入された時にその容器を取り囲む大きさの空洞を有する外部電極と、容器の口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶縁部材を介して取り付けられ、排気管が接続されと共に接地される導電性のチャンバヘッド部材と、外部電極内の容器内にチャンバヘッド部材側から挿入され、成膜ガスを吹き出すためのガス供給管と、外部電極と接地されたチャンバヘッド部材及び排気管との間に電界を付与するための電界付与手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ダイヤモンド状炭素薄膜を、原子レベルで稠密な構造とすることで、そのガスバリア性能を高めることである。また、ダイヤモンド状炭素薄膜の可視光における着色を抑制することである。さらに、この薄膜をプラスチックフィルム、プラスチックボトル等のプラスチック成形体の表面に成膜することで、プラスチック成形体に高いガスバリア性を付与することである。
【解決手段】本発明に係るダイヤモンド状炭素薄膜は、ダイヤモンド状炭素にイオン性結合材料を含有させた組成を有し、且つ、ダイヤモンド状炭素とイオン性結合材料とにより形成される相を主相として有することを特徴とする。この薄膜を成膜する基板を、例えばプラスチックフィルムやプラスチックボトルとする。 （もっと読む）