【課題】 実用に耐えうる耐摩耗性を備えた撥油性膜を持つ撥油性基材を製造することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】 成膜方法は、基板１０１の表面にエネルギーを持つ粒子を照射する第１の照射工程と、前記第１の照射工程後の基板１０１の表面に乾式法を用いて第１の膜１０３を成膜する第１の成膜工程と、第１の膜１０３の表面に撥油性を有する第２の膜１０５を成膜する第２の成膜工程とを、有する。
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【課題】 マスクを被処理対象物に対して位置合わせ後、基台にマスクを設置固定する際に、高精度にマスクと被処理対象物の相対的な位置のずれを無くすること。
【解決手段】保持装置は、基板が載置される基台と、マスクを支持する為に、基板が載置される保持面の外側の周辺部に少なくとも３個配置され、マスクが基板の上に載置されるときには保持面から突き出ているマスク支持部材と、マスク支持部材により支持されているマスクの位置を調整する調整機構と、調整機構により位置が調整されたマスクを基台に固定する固定機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 成膜工程で加熱された保持装置を冷却し、蓄熱による熱変形の影響を軽減して、基板とマスクとを高精度に位置合わせることが可能な技術を提供すること。
【解決手段】 基板、及び、基板の上に配置されるマスクパターンが形成されているパターン形成部と、パターン形成部の周囲を支持するマスク枠とを有するマスクを保持する保持装置は、基板と、マスク枠とを、保持面で保持する基台と、保持面に沿って配置され、磁気吸着によりマスクを吸着することにより、基板とマスクとを基台に固定する永電磁石と、保持面の裏面側で、冷却媒体により冷却された冷却体を基台と接触させて基台を冷却する冷却機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】材料の損出の少ない経済性のよい、または、生産性の高い、あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または及び同製造方法あるいは成膜装置または及び成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内にN(Nは２以上)枚の基板を内在させ、第１枚目の第１の基板を前記蒸発源で蒸着中に、第N枚目の第Nの基板を前記真空チャンバ内に搬入し、第２枚目の第２の基板を前記蒸発源で蒸着中に前記第１の基板を前記真空チャンバ内から搬出する、あるいは第１の前記基板を蒸着中に第２の前記基板の前記位置合せを終了させ、前記蒸着時と同一の蒸発源で前記第２の基板の蒸着中に前記第１の基板を前記真空チャンバ内から搬出させることを特徴とする。また、前記真空チャンバを複数に分割することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】永電磁石を用いて被処理体（基板）を保持する場合において、被処理体の位置ズレを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】被処理体、及び、前記被処理体の上に配置されるマスクパターンと、前記マスクパターンの周囲において前記マスクパターンを支持するマスク枠とを含むマスクを保持する保持機構であって、前記被処理体、及び、前記マスク枠を保持面で保持する基台と、前記基台の保持面に沿って配置され、前記マスクを磁気吸着して前記被処理体及び前記マスクを前記基台に固定する永電磁石と、前記マスクパターンの外周部の上に配置され、前記永電磁石に磁気吸着される被吸着部分を含み、前記被吸着部分が前記永電磁石に磁気吸着されることにより前記マスクパターンの外周部を前記基台の方向に押し付ける押し付け部と、を有することを特徴とする保持機構を提供する。 （もっと読む）

【課題】
アウトガスや配管の疲労損傷の問題を払拭できる、あるいは、真空排気の必要のない真空内配線・配管機構を有する信頼性の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。
【解決手段】
本発明は、複数の真空チャンバと、前記複数の真空チャンバ内のうち少なくとも一つの真空チャンバ内に移動部を有し、蒸着材料を基板に蒸着する有機ＥＬデバイス製造装置あるいは成膜装置において、前記中空のリンク内に前記移動部への配線または流体を流す配管のうち少なくとも一方を敷設し、一端を大気に開放し、他端を前記移動部に接続した真空内配線・配管機構を有することを特徴とする （もっと読む）

【課題】
クラスタ構造を有し、ライン長を短くできる、あるいは、スペース効率のよい有機ＥＬデバイス製造装置または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
蒸着材料を基板に蒸着する処理部を具備する真空処理チャンバと、前記基板を搬入または搬出する受渡室と、前記基板を前記受渡室と前記複数の処理部との間を搬送する搬送手段とを具備する真空チャンバであるクラスタを複数直列に設け、前記処理部を一つの前記真空処理チャンバあるいは複数の前記真空処理チャンバに複数設け、前記複数の処理部のうち少なくとも２つ以上の処理部を前記搬送手段の片側に隣接して配置し、基板を搬入ロード室から搬入し、前記各クラスタを介して、搬出ロード室へと搬送する途中で前記搬送基板の搬送角度を補正する。 （もっと読む）

【課題】
搬送チャンバを小型化できる、生産性の高い、あるいは、稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または成膜装置あるいはシャドウマスク交換装置または同交換方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバであって、基板とシャドウマスクとの位置合せを行い、真空チャンバ内で蒸発源内の蒸着材料を基板に蒸着する真空蒸着チャンバと大気雰囲気部とに隣接し、前記２つの隣接部を介して前記真空蒸着チャンバに前記シャドウマスクを搬入出する手段を有するシャドウマスク交換室を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に対して完全に非接触状態で有機ＥＬ用マスクに付着した蒸着物を除去するクリーニングを提供する。
【解決手段】複数の開口部を形成した有機ＥＬ用マスク２に付着した蒸着物質２０を除去するマスククリーニング装置１であって、有機ＥＬ用マスク２の表面にレーザ光源１５から発振したレーザ光をガルバノミラー１６によりＹ方向に走査し、移動部１４によりＸ方向に移動することによりマスク板の全面の走査を行う。有機ＥＬ用マスク２の上方には送風部１７と吸引部１８とによる空気流が形成されており、レーザ走査により蒸着物質２０を破砕して遊離生成物として上方に向けて飛散させ、空気流により搬送されて除去されるようにしてクリーングを行う。 （もっと読む）

【課題】蒸着により重合膜を成膜する際に、原料を加熱して供給する際の上記不都合が生じない重合膜の成膜方法および成膜装置を提供すること。
【解決手段】原料形成面に重合膜を形成するための複数の原料を所定パターンで形成した第１の基板１６と、重合膜を形成すべき成膜面を有する第２の基板１５とを、原料形成面と成膜面とが向き合うように処理容器２内に対向して設け、処理容器２内を真空雰囲気とし、第１の基板１６を前記複数の原料１７，１８が蒸発する第１の温度に加熱して蒸発させるとともに、第２の基板１５を複数の原料が重合反応を生ずる第２の温度に加熱し、第１の基板１６から蒸発した複数の原料１７，１８を第２の基板１５の成膜面で反応させ、成膜面に所定の重合膜を形成する。 （もっと読む）

フレキシブル基板上に堆積させる有機材料を気化させるための蒸発器について記載する。本蒸発器は、有機材料を気化させるためのキャビティを取り囲む壁を有する蒸発管と、壁に隣接して配置され、蒸発管を加熱する少なくとも１つの加熱デバイスと、蒸発管から突き出した少なくとも１つのノズルアセンブリであって、開口部を有するノズルカバーをさらに備えたノズルアセンブリと、ノズルカバーの開口部を選択的に開閉するためのシャッタであって、ノズルカバーの温度がシャッタ温度範囲内になるように、蒸発管の動作中、１４０℃のシャッタ温度範囲内の温度を有するシャッタとを含む。
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有機材料を気化させるための蒸発器について記載する。その蒸発器は、被覆すべき基板に向けられるように構成されるノズルを有する第１のチャンバーと、有機材料を気化させるための少なくとも１つの第２のチャンバーと、気化有機材料を少なくとも１つの第２のチャンバーから第１のチャンバーへ案内するための少なくとも１つの蒸気チャネルとを包含し、第１のチャンバーは、第１の仮想昇華表面に対応するノズルに気化有機材料を提供するように構成され、少なくとも１つの第２のチャンバーは、操作の間は第２の昇華表面積を提供するように構成され、第２の昇華表面積は、第１の仮想昇華表面の少なくとも７０パーセントに相当する。
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【課題】蒸着マスクの開口部に補強用の梁を形成することにより、精密なパターンの形成を実現すると共に、前記梁による蒸着材料の遮蔽領域を少なくし、蒸着パターンの膜厚均一性を最大限高めることができるようにした蒸着マスクを提供する。
【解決手段】本発明の蒸着マスク１は、被成膜基板１０上に蒸着を用いて形成される薄膜パターン１５に対応して、蒸着材料４０を通過させるための開口部３が設けられ、開口部３が平行に所定の間隔をもって複数配列された薄板状の蒸着マスク１において、開口部３を横切る位置に複数の補強梁４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが形成され、複数の補強梁４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅは、開口部３の中央部で相対的に密に形成され、開口部３の端部で相対的に粗に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に多層膜／コーティングを形成する改善された気相堆積方法及び装置を開示する。
【解決手段】多層コーティングを堆積するために使用されるものであって、基板と直接的に接触する酸化物層の厚さが、基板の化学組成に相関するものとして制御される。これにより、後に堆積される層は、酸化物層により良好に結合される。改善された方法は、多層コーティングを堆積するために使用されるが、この多層コーティングでは、酸化物層が基板上に直接的に堆積され、有機物層が酸化物層上に直接的に堆積される。典型的には、酸化物層及び有機物層が交互に配置される一連の層を形成する。 （もっと読む）

【課題】金属製薄板材である蒸着マスクに安定した張力を付与してマスクフレームに固定することのできる蒸着マスク張力付与装置を提供する。
【解決手段】金属製薄板材からなる蒸着マスク１をマスクフレーム２の上に載置し、蒸着マスク１の周縁部をクランパー５によって把持してバネ１０による張力を付与する。この状態で、蒸着マスク１をマスクフレーム２に接着等の方法で固定し、有機ＥＬ素子等の成膜に使用する。クランパー５は、固定片６と可動片７からなり、少なくとも一方の把持部には、蒸着マスク１に対する摩擦力を向上させるための粗面層８が、タングステンカーバイドなどの高硬度な材質の溶射によって形成される。 （もっと読む）

【課題】高精細なマスクを効率よく製造する。
【解決手段】本発明のマスクの製造方法は、膜パターンの形成に用いられ、膜材料を通過させるマスク開口２１を有するマスク２０の製造方法であって、表面にシリコン層３３を有する基板のシリコン層３３に凹部２１を形成する凹部形成工程と、基板を裏面３０ｂ側から薄肉化して裏面３０ｂ側に凹部２１を開通させて凹部２１をマスク開口２１にする薄肉化工程と、を有している。 （もっと読む）

【課題】有機電界発光素子などに有機薄膜や導電層を形成するために用いられる薄膜蒸着用マスク及びこれを用いた有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース部材１１と；ベース部材を厚さ方向に貫通し、所定の長さを有して第１方向に延びる複数のスリット１３と；複数のスリットのうち第１方向と所定の角度を有する第２方向において最外側に位置する最外郭のスリット１４と、最外郭のスリットに隣接するリブ１６との間に設けられるリブ支持部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 成膜室に流入される蒸発ガスの供給量を制御して成膜レートを一定に保ち、かつ、高品質な高分子膜を形成できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜対象Ｓが設置される真空成膜室１０と、原料モノマーＭａ、Ｍｂが封入されている蒸発源２１ａ、２１ｂと、前記蒸発源に設けられた加熱手段２２ａ、２２ｂとを備え、前記真空成膜室と前記蒸発源とを接続する原料管にコンダクタンス可変バルブ３１ａ、３１ｂ及び圧力計３２ａ、３２ｂを設けると共に、当該コンダクタンス可変バルブには、前記圧力計で測定された圧力値が前記コンダクタンス可変バルブの設定された圧力値と等しくなるようにコンダクタンス可変バルブの開度を制御する制御部３３ａ、３３ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】クリーニングガスとしてフッ素系ガスを使用することにより、処理容器自体や被処理体を保持する保持手段にダメージを与えることなく不要な高分子薄膜のみを選択的に且つ効率的に除去することが可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理体Ｗの表面に高分子薄膜を形成する成膜装置において、被処理体を収容する処理容器４と、処理容器内で被処理体を保持する保持手段６と、処理容器内を真空引きする真空排気系３０と、処理容器内へ高分子薄膜の複数の原料ガスを供給するガス供給手段２０と、処理容器内へクリーニングガスとしてフッ素ガスを供給するクリーニングガス供給手段２６と、処理容器を加熱する容器加熱手段１４とを備える。これにより、処理容器内をクリーニング処理するに際して、クリーニングガスとしてフッ素系ガスを使用する。 （もっと読む）

【課題】真空内を機構が簡単で基板の蒸着面を上面にして搬送ができ、前記上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ＥＬデバイス製造装または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】真空内を基板の蒸着面を上面にして搬送し、少なくとも前記基板が移動する場合には前記基板の搬送面が摺動しないように保持し、前記真空チャンバ内で前記基板を受渡し、その後前記基板を垂直にたてて蒸着する。 （もっと読む）