【課題】均質で耐食性に優れた被膜特性が得られ、成膜効率および再現性に優れ、かつ長寿命の硬質被膜および硬質被膜部材を提供する。
【解決手段】ＡｌおよびＳｉの少なくとも一方の合計含有量が１〜５０原子％であり、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｗ，Ｍｏ，Ｂの少なくとも１種の元素の合計含有量が１〜５０原子％であるＣｒ合金から成るスパッタリングターゲットであって、このスパッタリングターゲットの、２００μｍ四方の組織領域をＸ線マイクロアナライザーにより加速電圧１５ｋＶでＣｒ元素のマッピングを実施したときに、カウント数が６００以上であるＣｒの偏析部の直径が５０μｍ以下であるスパッタリングターゲットを用いて成膜されたことを特徴とする硬質被膜である。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンドライクカーボン膜（以下、ＤＬＣ膜という）よりなる被覆層を有する成形金型であって、ＤＬＣ膜の除膜、再生工程でのＤＬＣ膜の除膜に際し、エッチングによる成形金型基材の粗面化が生じ難い成形金型を提供する。
【解決手段】ＤＬＣ膜よりなる被覆層を有する成形金型であって、この被覆層と成形金型基材との間に下記の中間層を有することを特徴とする成形金型。
中間層：（Ｃｒ_1-a Ｓｉ_a ）（Ｂ_x Ｃ_y Ｎ_1-x-y ）からなり、下記の式(1) 〜(3) を満たす皮膜層であって、成膜時のガス圧力：０．２〜０．５Ｐａで成膜された皮膜層。
0.5 ≦ａ≦0.95 --- 式(1) 、０≦ｘ≦0.2 --- 式(2) 、０≦ｙ≦0.5 --- 式(3)
但し、上記式(1) 〜(3) において、ａはＳｉの原子比、ｘはＢの原子比、ｙはＣの原子比を示すものである。 （もっと読む）

【課題】かじり防止の為の貴金属の被覆を形成されたボルトやナット等の締結具を真空中で用いる場合、脱脂洗浄した締結具とは同程度のガス放出量がある為、より良い真空雰囲気を得るにはガス放出量の低減、特に水素のガス放出量の低減が求められていた。
【解決手段】脱脂洗浄したステンレス鋼のボルト部品１の雄ネジ部４の表面に１μｍ程度貴金属である金の被覆５を施し、１５０℃以上３００℃以下で、３０分以上真空加熱、又は窒素雰囲気中加熱を行う。これにより、低ガス放出量、特に水素のガス放出量の少ないボルト部品１にすることができる。このようにして製造されたボルト部品１は、真空処理装置の組立てや真空配管の接続に好適である。また、本発明はボルトに限らず、ナットや雌ネジ部を有する板材等の締結具にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】金型を多結晶ダイヤモンド膜(ＵＮＣＤ)でコーティングする技術を提供する。
【解決手段】グラファイトで構成されたカソード電極１４２とトリガ電極１４４の間にトリガ放電を発生させ、アノード電極１４１とカソード電極１４２の間にアーク放電を誘起させ、カーボン蒸気のイオンを真空槽１０内に放出させる。真空槽１０内は水素ガス雰囲気にしておき、電荷を有するカーボン蒸気を金型２０に到達させる。金型２０の表面にＳｉＣ膜から成る中間層２１を形成しておくと、ウルトラ・ナノ・結晶・ダイヤモンド（ＵＮＣＤと呼称）が成長する。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム物理蒸着を用いて、各皮膜間の界面の組成が連続的に変化する傾斜組成組織が形成され、遮熱特性、熱サイクル寿命に優れたセラミックス被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス被覆部材は、金属またはセラミックスからなる基材２０に、少なくとも熱応力緩和層２２、遮熱層２３をこの順に積層して構成される。また、熱応力緩和層２２と遮熱層２３との境界部２４とその近傍において、熱応力緩和層２２から遮熱層２３に向かって、熱応力緩和層２２を形成する酸化ジルコニウムの濃度が連続的に減少するとともに、遮熱層２３を形成する酸化ハフニウムの濃度が連続的に増加する。 （もっと読む）

【課題】チタンまたはチタン合金の摩擦攪拌加工用の安価なツールおよびこのツールを用いてチタンまたはチタン合金を安価に接合あるいは改質するチタンまたはチタン合金からなる摩擦攪拌加工品の製造方法を提供する。
【解決手段】、ニッケル合金からなる摩擦攪拌加工用ツールの表面を、ふっ素イオン注入により表面処理してなるチタンまたはチタン合金用の摩擦攪拌加工用ツール。ふっ素イオン注入は、パルス周波数１〜２ｋＨｚ、室温にて、注入時間１５０〜４００分、好ましくは３００〜４００分の条件で行われる。この摩擦攪拌加工用ツールを用いてチタンまたはチタン合金を摩擦攪拌加工して摩擦攪拌加工品を製造する。 （もっと読む）

【課題】１２００℃以上の高温でも熱伝導率が安定しており、かつ焼結による皮膜の割れや剥離が発生しない遮熱コーティング層を備え、耐熱性および耐久性に優れた耐熱部材を提供する。
【解決手段】金属またはセラミックス部材から成る基材１と、この基材１の表面に被覆される遮熱コーティング層４とから成り、上記遮熱コーティング層４が、結合層として機能する金属層２と、この金属層２の上面に被覆された少なくとも１層のセラミックス層３とから構成される耐熱部材において、上記セラミックス層３のうちの少なくとも１層が酸化ハフニウムを主成分とするセラミックス層から成るとともに、このセラミックス層は酸化ハフニウムを８５％以上含有することを特徴とする耐熱部材である。 （もっと読む）

【課題】鋳造すべき溶融金属によって表面にクラックやコーティング層の剥離が生じにくく、耐ヒートチェック性に優れたダイカスト金型、およびその表面処理方法を提供する。
【解決手段】溶融金属の鋳造に用いられるダイカスト金型であって、係るダイカスト金型における表面３のうち、少なくともキャビティを含む表面３に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属（例えば、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ）またはこれらの合金からなり、マイクロビッカース硬さが１０００Ｈｖ以下で且つ厚みが１〜３０μｍの第１層４と、係る第１層４の表面上に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属との炭化物（例えば、ＴｉＣ）、窒化物（例えば、ＴｉＮ）、酸化物（例えば、Ｃｒ_２Ｏ_３）、あるいは炭窒化物（例えば、ＴｉＣＮ）からなる第２層６と、を含む、ダイカスト金型１。 （もっと読む）

【課題】耐浸食性コーティング組成物及びコーティング方法を含むタービンエンジン構成要素を提供する。
【解決手段】被覆されたタービンエンジン１００構成要素は、タービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２と、電子ビーム物理蒸着又はイオンプラズマカソードアーク蒸着を用いてタービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２の表面の少なくとも一部分上に配置された耐浸食性コーティングとを含んでいる。耐浸食性コーティングは、セラミック、サーメット、又は以上のものを少なくとも１つ含む組合せからなることができる。 （もっと読む）

【課題】従来までの表面改質方法では成し得なかった高温雰囲気中、または高負荷の加わる環境下においても優れた耐久性と耐摩耗性を付与した機械部品、工具、金型等を提供し、またその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明では、機械部品、工具、金型等は、鋼系材料を母材とするもので、この鋼系材料表面にイオン窒化処理を施し、この上にＰＶＤ法により被覆したＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、ＡｌおよびＣｒの少なくとも１種以上の窒化物、炭化物または炭窒化物からなる硬質被膜を形成し、さらに前記硬質被膜上に被覆したＡｌ−Ｃｒ系窒化物からなる耐酸化特性に優れた高硬度な被膜または前記硬質被膜との傾斜層を介したＡｌ−Ｃｒ系窒化物からなる耐酸化特性に優れた高硬度な被膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド膜あるいはダイヤモンド状炭素膜に代わって、工具、金型、機械部品などの耐磨耗性および耐久性を向上させるための炭素膜を提供する。
【解決手段】カソードアークイオンプレーティング法で、固体炭素である等方性グラファイトを原料とし、真空度０．０５Ｐａ以下の雰囲気下で、合成温度１００〜３００℃で成膜され、密度が２．８〜３．３ｇ／ｃｍ³、スピン密度が１×１０¹⁸〜１×１０²¹spins／ｃｍ³、ヌープ硬度が１５００〜６０００である炭素膜。炭素濃度が９９．５原子％以上、水素濃度が０．５原子％以下、希ガス元素濃度が０．５原子％以下、ヌープ硬度が２０００〜６０００であることが好ましい。この炭素膜が被覆された炭素膜被覆部材は、耐磨耗性および耐久性に優れている。 （もっと読む）

【課題】被処理体の表面の所望の位置に所望の密着強度を有する表面処理を行うことができる表面処理装置、及びそれによって表面処理された光学素子成形用型、さらにこの光学素子成形用型から製造された光学素子を提供すること。
【解決手段】絶縁物を介してトリガー電極と接続されたターゲットと、ターゲットの周囲にアーク放電を誘起させるアーク電極とを有し、アーク放電によって生じるターゲットイオンを含むプラズマ８をターゲットの先端方向に放出する蒸着源１０と、蒸着源１０近傍におけるプラズマ８の放出方向に対して傾いて配されたキュベット心金母材１１に向かって、プラズマ８の進行方向を偏向させる偏向部１３とを備え、偏向部１３が、キュベット心金母材１１の表面に可変の磁束密度分布を生じさせて、プラズマ８に空間磁場を与える磁場付与部２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐溶損性、耐摩耗性を有した、高寿命の鋳造用部材を提供する。
【解決手段】 金属を母材とする鋳造用部材の、その少なくとも作業面に物理蒸着法による被覆層を有した鋳造用部材であって、該被覆層は、最表層にａ層、母材直上にｃ層、ａ層とｃ層の間にｂ層の少なくとも３層が被覆されており、硬さ記号ＨＶ０．０２５による各層の硬さが、
２５００＞（ａ層の硬さ）＞１０００、
３５００＞（ｂ層の硬さ）＞２３００、
２５００＞（ｃ層の硬さ）＞１０００かつ、
（５００＋ａ層の硬さ）＜（ｂ層の硬さ）、
（５００＋ｃ層の硬さ）＜（ｂ層の硬さ）であり、
層厚にてｂ層＜ｃ層であり、被覆層の層厚の合計が５〜１５μｍの鋳造用部材である。 （もっと読む）

【課題】部品の直線的領域だけでなく、部品の非直線的領域にもコーティングを施すことができるシステムを提供する。
【解決手段】部品の非直線的コーティング用装置（１０）は、ハウジング（１４）と、蒸気源（２０）と、少なくとも１つのノズル（２４）と、真空排気システム（１６）と、を含む。蒸気源（２０）は、ハウジング（１４）内の部品（１２）に向かって蒸気雲を生成する。真空排気システム（１６）は、ハウジング（１４）内の圧力を維持する。 （もっと読む）

【課題】塩水噴霧試験において、変色や溶解を防ぐことができる、高い耐食性および耐塩水性を有する電磁波シールド膜を提供する。
【解決手段】真空蒸着法を用いて、モネル合金を蒸発させるための電流を低電流値より高電流値として第１層をＣｕ−Ｎｉ傾斜合金で形成し、その後、モネル合金をその合金組成で蒸発させて第２層をモネル合金で形成することで、第１層と第２層からなる二層構造である電磁波シールド膜を得る。 （もっと読む）

【課題】 基体の疲労特性に対する侵食被膜の有害な影響を緩和する方法を提供する。
【解決手段】 ガスタービンエンジンブレードのエアフォイルにおける磨耗や損傷を受けやすい径方向外側の領域に侵食被膜を適用する前に、被膜の疲労影響が緩和されるようにバニシングが施され（ステップ１０２）、次いでピーニングがその領域に対して実施され（ステップ１０４）、これに被膜が適用される（ステップ１０６）。これによりブレードの構造特性に有害な影響を与える侵食被膜がエアフォイルの一層広い領域にわたって適用できるようになる。 （もっと読む）

【課題】摩擦係数が一層低減され、潤滑油中でも低フリクション性を示し、歯面疲労強度に優れる高強度歯車、伝動機構及び高強度歯車の製造方法を提供すること。
【解決手段】浸炭処理又は浸炭窒化処理を行った鉄基合金から成り、被処理歯車の噛み合い面に、水素含有量が１０ａｔｍ％以下で、表面硬さが２０〜３０ＧＰａある第１ＤＬＣ膜と、該第１ＤＬＣ膜の少なくとも一部に且つイオンプレーティング法により被覆されており、水素含有量が１０ａｔｍ％以下、表面粗さがＲａ０．１〜０．２μｍである第２ＤＬＣ膜とを順に被覆して成る高強度歯車である。
上記高強度歯車を用い、該第２ＤＬＣ膜が隣接する歯車相互の噛み合い面に被覆されている高強度歯車伝動機構である。
カーボンターゲットに対して被処理歯車を回転させ、噛み合い面に、水素含有量１０ａｔｍ％以下の第１ＤＬＣ膜を形成した後に、歯車の回転を停止又は低速とし、該第１ＤＬＣ膜の一部に第２ＤＬＣ膜をイオンプレーティング法により形成して高強度歯車を製造する。 （もっと読む）

【課題】 被コーティング部品が微細な場合に、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくい構造の蒸着コーティング装置用バレルを提供する。
【解決手段】 被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレルとした。 （もっと読む）

本発明は、カーボンの基材上に耐摩耗層を備えた基材をコーティングするための、下記ステップｉ）カーボンに対する親和性を有する物質を含む基材を準備し、ｉｉ）該基材の表面を洗浄し、ｉｉｉ）該基材上に金属含有層を堆積し、ｉｖ）該コーティングされた表面にイオン衝撃を加え、ｖ）表面上にカーボン層を堆積する、を備えたプロセスに関する。さらに、本発明は、基材表面上にダイヤモンドライクカーボンコーティングを備えた基材、および該発明を実施するための装置に関する。
（もっと読む）

【課題】金型を再生使用するときに、損傷した皮膜を容易に除去できるような除膜性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】本発明の硬質皮膜は、下記一般式（１）で示される硬質皮膜であって、
（Ｗ，Ｍｏ）_aＣｒ_bＭ_1-a-b(Ｃ_1-xＮ_x) …（１）
［但し、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ａｌ，Ｓｉから選択される少なくとも１種の元素：添字ａ，ｂ，ｘは、夫々（Ｗ，Ｍｏ），ＣｒおよびＮの原子比を示す。］
０．０５≦ａ≦０．４、０．５≦ｂ、０≦ｘ≦１
である。 （もっと読む）