【課題】自動車部品等の製品に対する真空蒸着、スパッタリング、塗装等の手法による被覆において、作業性に優れ、かつ、安価に製造することができるマスク取付具を提供する。
【解決手段】マスク取付具１ａ自体をマスク３ａに着脱自在に取り付けるためのマスク取付部５ａと、製品７ａを係脱自在に係止するための製品係止部９ａとを備え、該マスク取付部と製品係止部とはそれぞれ弾性を有することを特徴とするマスク取付具。前記マスク取付部は、マスクの縁部３ａ’を挟持するための挟持手段である。挟持手段は係止爪１３ａを備えている。製品係止部は係止爪を備えている。マスク取付具は合成樹脂により一体的に形成する。 （もっと読む）

【課題】高温の排気ガスによる変色や酸化を防止することができる内燃機関用排気管を提供する。
【解決手段】本発明による内燃機関用排気管は、内燃機関からの排気ガスが通過する通路６を囲む金属管５と、金属管５の外側を覆っており、金属管５の表面に主として含まれる金属元素の含有率が０．５質量％以下であるセラミックス膜１０とを備えている。セラミックス膜１０は、３０質量％以下のＯおよび１０質量％以上のＮを含むＳｉＯＮ膜である。 （もっと読む）

【課題】 高硬度から低硬度の材料まで広範囲の基材に対し、高硬度のＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜を最表面側に含むＤＬＣ多層膜を約３μｍ以上厚く形成しても、基材およびＤＬＣ膜の双方に対して優れた密着性を備えており、耐摩耗性にも優れたＤＬＣ成形体を提供する。
【解決手段】 基材１と、ＤＬＣ系膜３と、基材１とＤＬＣ系膜３との間の中間層２とからなるＤＬＣ硬質多層膜成形体である。ＤＬＣ系膜３は、基材１側から順に、第１のＤＬＣ系膜３ａと第２のＤＬＣ系膜３ｂとからなり、第１のＤＬＣ系膜３ａの表面硬度は、ナノインデンテーション試験で１０ＧＰａ以上４０ＧＰａ以下の範囲内にあり、第２のＤＬＣ系膜３ｂの表面硬度は、ナノインデンテーション試験で４０ＧＰａ超９０ＧＰａ以下の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】従来のポンプのケーシングにおいては寸法のばらつきにより密閉に不具合が生じた場合、ケーシングの接合部から水漏れが発生していた。
【解決手段】羽根車１を、モータ２に回転可能に軸支して、第１ケーシング３内に装填する。第１ケーシング３には水や湯を取り込む吸水口４と、水や湯を吐き出す吐水口５が設けられており、モータ２は第２ケーシング６に螺合されている。第１ケーシングと第２ケーシングとの接合面７にはゴムパッキン（図示せず）が固定されている。上記のように構成されたポンプ用ケーシング８に真空蒸着を施すと、蒸着に使用されるアルミ粉がケーシング全体をコーティングすることになるので、上記接合面もコーティングされ、ゴムパッキンだけでは不十分な防水効果を補うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の機械部材は耐摩耗性、耐焼き付き性及び耐腐蝕性に劣る欠点があった。
【解決手段】本発明の窒素含有Ｃｒ被膜においては、窒素を含有するＣｒ膜中に１００原子当たり５０〜９９のクロム原子及び５０〜１の窒素原子を含むＣｒ_X Ｎ_Y 結晶を点在せしめる。この被膜は窒素の雰囲気中でクロムをスパッタリングすることによって形成する。また、このスパッタリングを行う際、イオンボンバード処理を行う。また、機械部材、特に自動２輪車、自動３輪車、自動４輪車等の摩擦摩耗部品の表面に被膜を設ける。 （もっと読む）

【課題】 合金鋼などからなる母材とダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）皮膜との密着性が良好なダイヤモンドライクカーボン皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 処理装置１０の真空処理室１２内において、ターゲット２２としてクロムターゲットを使用してスパッタリングすることにより、母材２０上にクロム皮膜を介して窒素含有クロム皮膜を形成した後、ターゲット２２としてカーボンターゲットを使用してスパッタリングすることにより、窒素含有クロム皮膜上にＤＬＣ皮膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物をセラミックマトリックス中に組み込むことにより熱障壁被覆の熱伝導率を低減する方法が提供される。
【解決手段】熱障壁被覆の熱伝導率を低減する方法は、一つまたは複数の層を形成するように基体上に、セラミックマトリックスと、金属酸化物を形成できる金属分散質とを含む混合物を堆積させ、金属分散質を酸化して一つまたは複数の層の熱障壁被覆を形成するのに十分な温度および時間で、一つまたは複数の層を加熱する、各工程を含む。熱障壁被覆は概略、セラミックマトリックスと、このセラミックマトリックス全体に亘って分散された金属酸化物とを含む。 （もっと読む）

本発明は、環境に有害な物質を使用せず、より単純な膜構成で、高温高湿環境下での実用的な耐久性に優れ、しかも可視領域で９８％以上の分光反射率を有する銀鏡を提供することを課題とする。 本発明は、例えば図１に示すように、基体１上に少なくとも反射膜として銀膜３が形成されてなる銀鏡において、前記銀膜３の両面に直接酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が形成された構造を有することを特徴とする。また、前記銀膜３の両面側に形成された酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が、いずれも膜密度がバルク比０．９５以上（好ましくはバルク比０．９７以上）の膜であることを特徴とする。
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【課題】 高い撥水撥油性を有する均一な膜を形成するための表面処理方法を提供する。
【解決手段】 炭素数１〜５のフルオロアルキル基または分子量3000以下のパーフルオロポリエーテル基を有するフッ素化合物を含んでなる表面処理剤を気相中で基板表面に堆積することを特徴とする、表面処理された撥水撥油性基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 良好な耐摩耗性、高い硬度、基材への良好な密着性及び靭性等の特性を有し、且つ、適用可能な基材の範囲が広い、新規且つ有用な被膜を提供する。
【解決手段】 ＶｘＮｙ結晶を分散せしめた窒素含有バナジウム被膜である。前記ＶｘＮｙ結晶は、好ましくは、１００原子当たり５０〜９９のバナジウム原子及び５０〜１の窒素原子を含むものとする。前記窒素含有バナジウム被膜は、窒素の雰囲気中でバナジウムをスパッタリングすることによって形成することができる。好ましくは、前記スパッタリングを行う前にイオンボンバード処理を行う。 （もっと読む）

【課題】
酸化物磁性薄膜中の粒子の径をナノレベルで制御する。
【解決手段】
スパッタリングによって基板上に酸化物磁性薄膜を形成する際に、基板温度を所定の範囲内で制御することにより、酸化物磁性粒子の径をナノレベルで制御し、所望の粒径のナノ粒子が存在する酸化物磁性薄膜を得る。特に、スピネル系フェライト焼結体ターゲットを用い、基板温度を２００℃〜７００℃の間で制御することにより、数ｎｍ〜数十ｎｍの間での粒径制御が可能となる。粒径制御されたフェライト薄膜は、高周波帯域用の電磁干渉抑制体などの用途に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 鉛及びチタンを含む複合ペロブスカイト型化合物の膜であって、組成が精度良く制御された膜を、スパッタリングによって形成する成膜方法等を提供する。
【解決手段】 鉛及びチタンを構成元素として含む第１のターゲットに電力を供給することにより、第１のターゲットに含まれる成分をスパッタする工程（ａ）と、チタンを基準とした場合に０．５以下又は１．２以上のスパッタリング率を有する元素を構成元素として含む第２のターゲットに電力を供給することにより、第２のターゲットに含まれる成分をスパッタする工程（ｂ）と、第１及び第２のターゲットからスパッタされた成分を、所定の温度に加熱された基板に付着させる工程（ｃ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 潤滑油を介在させなくても位置決め精度を維持できる治具用クランプ装置を提供する。
【解決手段】 位置決め凹部１２を有するブッシュ１１と、この位置決め凹部１２に嵌合するクランプ軸２２を有するピン２１とを備え、このピン２１のクランプ軸２２がブッシュ１１の位置決め凹部１２に対して着脱可能に嵌合することによりピン２１とブッシュ１１が互いに結合する治具用クランプ装置において、ブッシュ１１の位置決め凹部１２とピン２１のクランプ軸２２の少なくとも一つの表面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜（３０）を形成した。 （もっと読む）

【課題】 高硬度、耐スクラッチ性、耐磨耗性、耐薬品性、耐熱性等を含む耐久性に優れ、可視光応答型光触媒として機能する多機能材が適用された鉄鋼製品を提供する。
【解決手段】 この鉄鋼製品は、鉄鋼によって形成されている心材と、該心材の表面に形成されている表面層であって、Ｔｉ−Ｃ結合の状態で炭素がドープされている酸化チタン又はチタン合金酸化物を含む表面層とを有する。 （もっと読む）

【課題】硬質皮膜被覆摺動部材において、耐摩耗性、潤滑特性に優れ、更に硬質皮膜内の残留圧縮応力が低減させて硬質皮膜の厚膜化を可能にし、過酷な摺動環境下においても部材の摩耗、焼き付き、相手材の攻撃性を低減させることのできる硬質皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】 硬質皮膜が被覆された硬質皮膜被覆摺動部材において、該硬質皮膜の少なくとも１層は（Ｃｒ_{（１００−α）}Ｓｉ_α）（Ｎ_{（１００−γ−η）}Ｂ_γＧ_η）で示され、但し、α、γ、ηは原子％を表し、金属成分のみの原子％を１００及び非金属成分の原子％を１００としたとき、０＜α≦４．７６、０≦γ＜４５、０≦η≦５５を満たし、ＧはＣ、Ｏ、Ｓから選択される少なくとも１種以上を有し、該硬質皮膜はＳｉ含有量の濃度変調を有していること、を特徴とする硬質皮膜被覆摺動部材である。 （もっと読む）

【課題】 工程がシンプルであって環境負荷物質を使用せず、かつ耐久性の高い物品の加飾方法、及びその加飾方法により加飾された自動車用部品を提供する。
【解決手段】 加飾方法は、基材の成形（Ｓ１）、基材表面の処理、脱脂洗浄及び除電ブローを含むスパッタリング前処理（Ｓ２）、光沢を有する材料の基材表面へのスパッタリング（Ｓ３）、基材表面への高分子例えば芳香族ポリユリアの蒸着重合（Ｓ４）、製品の取り出し（Ｓ５）及び製品の組付け（Ｓ６）を含む。Ｓ１〜Ｓ６のいずれの工程も、濃酸や６価クロム等の環境負荷の大きい物質を使用しない。さらに、Ｓ１〜Ｓ６の工程は物流が発生しない同期化生産とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】高温下での使用の際の剥離を抑制でき、しかも高い熱遮蔽効果を有する遮熱コート材料、遮熱コーティング部材とその製造方法、遮熱コーティング材により被覆されたタービン部材、及びガスタービンを提供する。
【解決手段】耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層が一般式Ａ_２Ｚｒ_２Ｏ_７（式中、Ａは希土類元素を表す。）で表されるセラミックスを含み、（ａ）気孔率１〜３０％、（ｂ）厚さ方向に耐熱基材上のボンドコート層を除く全膜の厚さの５〜１００％の間隔で亀裂、又は（ｃ）柱状晶、を有する遮熱コーティング部材を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ＡＤ法を用いて、高温プロセスを経ることなく結晶性の良い膜を作製できるセラミックス膜の製造方法等を提供する。
【解決手段】 この製造方法は、エアロゾルを利用したセラミックス膜の製造方法であって、非結晶性の成分を含有するセラミックス原料粉をガスに分散させることによってエアロゾルを生成する工程（ａ）と、工程（ａ）において生成されたエアロゾルを基板が配置されたチャンバ内に供給して、上記セラミックス原料粉を基板に堆積させることにより膜を形成する工程（ｂ）とを含む。 （もっと読む）

基板処理チャンバのコンポーネントは、プロセスチャンバ内の活性化されたガスに露出されうる。このコンポーネントは下地の構造及び第１、第２のコーティング層を有する。第１のコーティング層は下地の構造の上に形成され、約２５マイクロメーター未満の平均表面粗さを有する第１の表面を有する。第２のコーティング層は第１のコーティング層の上に形成され、少なくとも約５０マイクロメーターの平均表面粗さを有する第２の表面を有する。プロセスの残渣物は、処理される基板へのコンタミネーションを低減するために、第２のコーティング層の表面に付着しうる。

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【課題】 潤滑油を介在させなくても円滑な作動を維持できるボールトランスファを提供する。
【解決手段】 軸受面１２を有するケース１１と、この軸受面１２上に配置される複数の小ボール１５と、軸受面１２に対してこの小ボール１５を介して回転可能に支持される大ボール１６とを備え、大ボール１６が回転することにより大ボール１６に載せられた搬送物が移動する構成としたボールトランスファ１０において、ケース１１の軸受面１２の表面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜２０を形成した。 （もっと読む）