本発明は、PVD法を用い、表面硬化処理と兼用の処理により、窒化チタンまたはダイヤモンド状カーボンDLCから実質的に成る低静摩擦かつ耐摩耗性の被膜をステンレス鋼の表面に付与する技術に関する。単一の処理により非常に硬質かつ耐摩耗性の表面に低静摩擦性が付与される。ワークピースが寸法変化しないので、カムフォロワ、シリンダチューブ、ショックアブソーバ用ピストンロッド等としての使用に適している。用いるステンレス鋼の組成(wt％)は、炭素約0.1以下、窒素約0.1以下、銅約0.5〜約4、クロム約10〜約14、モリブデン約0.5〜約6、ニッケル約7〜約11、コバルト0〜約9、タンタル約0.1以下、ニオブ約0.1以下、バナジウム約0.1以下、タングステン約0.1以下、アルミニウム約0.05以下、チタン約0.4〜約1.4、シリコン約0.7以下、マンガン約1.0以下、残部鉄と通常の製鋼添加物／不純物である。 （もっと読む）

【課題】支持基板の電極上に成膜される圧電体の膜応力を低減させ、支持基板の変形を抑制可能にする。
【解決手段】この圧電アクチュエータ６０は、１０−２０μｍ厚の振動板６２の電極６４上にエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により１０μｍ厚のＰＺＴ膜６８を成膜して構成されるが、この電極６４とＡＤ膜のＰＺＴ膜６８との間にスパッタ法により成膜される0.5 μｍ以上の厚みのＰＺＴ膜６６を介在させる。スパッタ膜のＰＺＴ膜６６は、ＡＤ膜のＰＺＴ膜６８と同一組成の材料で構成されているため、ＰＺＴ膜６８との界面に圧縮応力が溜め込まれず、ＰＺＴ膜６８の膜応力を低減させることができ、応力緩和層として機能するとともに、膜応力が少なく且つ膜密着性が強いため、ＡＤ膜のＰＺＴ膜６８の密着性向上層としての機能も併せ持つ。 （もっと読む）

【課題】 材料ガスによるプラズマガン内の汚染を防止する。
【解決手段】 プラズマガン１８内で発生されたプラズマ３４は、アパーチャ２４を介して真空槽１２内に供給される。この状態で、真空槽１２内に材料ガスとしてのＴＭＳガスおよびアセチレンガスが導入されると、これらのガスはプラズマ化され、プラズマ化されたガスは、被処理物５４，５４，…の表面において化学反応を起こす。これによって、被処理物５４，５４，…の表面に、シリコンを含有するＤＬＣ膜が形成される。
なお、ＴＭＳガスおよびアセチレンガスは、アパーチャ２４を介してプラズマガン１８内にも流入する。そして、特にアセチレンガスに含まれる炭素によって、プラズマガン１８内が汚染される。しかし、この炭素は、エッチングガスとしての酸素ガスと反応して、二酸化炭素となり、真空ポンプ１６によって真空槽１２の外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】 エアコンなどの各種空調機の冷暖房コイルの表面にナノシルバーで真空蒸着を行ってアルミニウム材質の腐食を防止し、冷暖房機体および流体を殺菌して高熱伝導率を維持するようにした、ナノシルバーの蒸着された空調機コイルの製造方法を提供する。
【解決手段】 １×１０^−３〜１×１０^−５Ｐａの真空度下で真空室圧力が１ＭＰａとなるまでアルゴンガスを流入させ、標的材料であるナノシルバー粒子に高負電圧（−５００〜−５０００Ｖ）をかけ、グロー放電により、アルゴンガスの陽イオンを、陰極として帯電された標的材料であるナノシルバー粒子表面に衝突させ、ナノシルバー粒子を原子形態として放出させることにより、蒸気相が冷暖房コイルの表面にナノシルバーコーティング層を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板（３０）と、基板（３０）を覆う保護構造（３４）とを含む保護物品を提供すること。
【解決手段】保護構造（３４）が、基板（３０）を覆う拡散障壁層（３６）であって、少なくとも約７０重量パーセントのイリジウムを含む拡散障壁層（３６）と、拡散障壁層（３６）が基板（３０）と保護層（４０）との間にあるように拡散障壁層（３６）を覆う保護層（４０）とを備える。保護層（４０）は、少なくとも約７０重量パーセントの白金族元素である。セラミック遮熱コーティング（４４）が保護層（４０）を覆う場合もある。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_１−ＸＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４５〜０．７５を示す）を満足するＴｉとＡｌの複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．８〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｗ_1-ＹＣｒ_Ｙ）Ｂ（ただし、原子比で、Ｙは０．１０〜０．４０を示す）を満足するＷとＣｒの複合硼化物層からなる上部層、以上（ａ）および（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

本発明は、ＡｌＮ域の膜厚が厚く、域内において均一であり、母材との密着性が高い、ＡｌＮ域を表面に有するアルミニウム材料、及びその製造方法を提供する。本発明は、ＣｕＡｌ２を有するアルミニウム材料を準備する工程、及び該アルミニウム材料をプラズマ窒化する工程を有し、これによりアルミニウム材料の表面に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）域を生成する、ＡｌＮ域を表面に有するアルミニウム材料の製造方法を提供する。
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【課題】軸方向の構成スペースが減じられ、クラッチジャダーが回避され、整合誤差が補償可能となり、動力断続クラッチの皿ばねとレリーズ軸受けとの間の接触範囲において摩耗が低減されるようなレリーズ装置を提供する。
【解決手段】ハウジング３に支持されたレリーズ軸受け７の内レース９に調節リング１６が対応配置されており、レリーズ軸受けを旋回可能に配置するために、内レースに対する調節リングの支持範囲に内レースおよび調節リングの相補的な球冠セグメント１９，２０の形でスライドエレメント２１が挿入されており、調節リングに設けられた環状フランジ１７に、ノイズおよび摩耗を低減する被覆体２２が対応配置されており、該被覆体に、動力断続クラッチに結合されたばねエレメント１８が支持されている。 （もっと読む）

【課題】 電力の遮断機や駐車場の遮断機および鉄道の遮断機等機械部品の固定軸として用いられているピンが作動中に焼きつかないよう現在、ピンにグリスが塗布されている。このグリスが固着して開閉不能となる障害が多発している。本発明は耐凝着生の良い表面層を付与したピンを提供することによって、グリスの使用を不用とし、グリス固着による開閉障害をなくすことを目的とする。
【解決手段】ピンの表面に金属薄層を被覆し、その上にW-C層を被覆するかあるいは、Si-Cからなる薄層を被覆し、その上に、Hを10%から40%含ませた炭素系皮膜を被覆させる。また、高い力を受ける用途に対しては、鋼材の表面層にNを浸透させて、高硬度とした上に該多層構造の炭素系皮膜を被覆する。
これによって、グリスを用いなくてもピンと回転体との凝着を防ぐことができ、グリスの固着による事故をなくすことができる。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着法を用いて空隙率が非常に低く、結晶性材料の有する耐環境性を維持し、波長１６０ｎｍ以下での光学特性が良好で、かつＦ_２レーザ耐久性能を向上させた薄膜を形成させることができるＦ_２レーザ用光学素子の成膜方法を提供すること。
【解決手段】この成膜方法は、蒸発させた材料の薄膜を蒸着によって基材表面に成膜する成膜方法であって、結晶性材料を蒸発させるステップと、非結晶性材料を蒸発させるステップと、蒸発させる結晶性材料の質量と蒸発させる非結晶性材料の質量との質量比を調整するステップとを有している。 （もっと読む）

【課題】
生産の歩留まりが高く、生産コストが低い、しかも、大面積や任意の形状のフィルタを形成することが可能な誘電体多層膜フィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】
支持体上の低屈折率材料と高屈折率材料とによる誘電体膜２を複数積層した誘電体多層膜フィルタにおいて、該支持体が、０．５ｍｍ以下の厚みを有する自己保持性かつ柔軟性を有する樹脂シート１であることを特徴とする。好ましくは、該樹脂シートが、ポリイミド樹脂又はフッ素化ポリイミド樹脂により構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム系マトリクス中にシリコン相が微細に分散したＡｌ−Ｓｉ膜とその形成方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムとシリコンを含有するＡｌ−Ｓｉ膜であって、アルミニウムまたはアルミニウム合金のマトリクスと、前記マトリクス中に分散された、粒径が数〜１００ｎｍであるシリコン微粒子とを有し、プラズマの使用または加熱により生成されたシリコン微粒子とアルミニウム微粒子を、超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー（成膜チャンバー３０）中に噴出して、真空チャンバー中に配置した基板３３上に物理蒸着させて形成した膜とする。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、金属基材との密着性が強固で長寿命の熱サイクル特性を有するセラミックス被覆部材を実現することを可能とするセラミックス被覆用インゴット、セラミックス被覆部材およびその製造方法、ならびにセラミックス被服部材を用いた遮熱コーティング高温部品を提供する。
【解決手段】多層構造のセラミックス被覆部材をプラズマ溶射によって形成する場合に適用する蒸着原料となるセラミックス被覆用インゴット１０であって、セラミックス被覆部材に対応する組成からなる多層構造を有する構成とする。セラミックス被覆用インゴットは、ハフニアを主成分とするセラミックス体に、ジルコニアを主成分とするセラミックス体を積層する。 （もっと読む）

【課題】 潤滑油を介在させなくても円滑な作動を維持できるチェーンを提供する。
【解決手段】 対の内プレート２１と、各内プレート２１の間に固定される２本のブッシュ２２と、各ブッシュ２２に回転自在に嵌合するローラ２３と、各内プレート２１およびブッシュ２２を挟むようにして設けられる対の外プレート３１と、各ブッシュ２２を貫通しその両端部が各外プレート３１にカシメ固定されるピン３２とを備えるチェーン１において、内プレート２１、ブッシュ２２、ローラ２３、外プレート３１、ピン３２が持つ摺接部の表面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜２をそれぞれ形成した。 （もっと読む）

【課題】 高温環境において使用するための物品、及びそのような環境において物品を保護するための方法が提供される。
【解決手段】 物品（１０）は、シリコンから成る基板（２０）と；シリコンから成り、基板（２０）の上に配置されたボンディングコート（３０）と；ボンディングコート（３０）の上に配置された中間バリア（４０）であって、少なくとも１つの層（７０）を具備し、少なくとも１つの層（７０）は、希土類ケイ酸塩から成り、ムライトを実質的に含まない中間バリア（４０）と；希土類一ケイ酸塩から成り、中間バリア（４０）の上に配置されたトップコート（５０）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
薄膜付着力が高く膜質が安定したカーボン膜（ｔａ−Ｃ膜）を形成することができるカソーディックアーク成膜方法の提供。
【解決手段】
成膜チャンバ４に内に設けられた基板ステージ４２を成膜チャンバ４の底部へ向け、対向電極部４９に対向させる。そして、ＲＦ高周波電源４８に高周波を印加することによって基板ステージ４２に装着した基板４１の成膜面４１ａを逆スパッタする。次に、基板ステージ４２をプラズマビーム導入開口部４ａへ向ける。陰極アーク放電によりカーボンターゲット１１を衝撃してカーボンイオンを含むプラズマビームＢを生成し、そのプラズマビームＢを成膜面４１ａに照射してカーボン膜を成膜する。 （もっと読む）

ワークピース（４０、１２０、１４２）の表面をコーティングする装置（１０）であって、ワークピースを通る内部通路（４４、４６、４８）内に圧力勾配を形成するものであり、これにより内部通路内のコーティングが平滑さや硬度に関連する特徴などの意図する特徴を呈するものである。上記装置は協働するシステムを含んでおり、これにはプラズマ発生システム（１２）、操作可能なワークピース支持システム（３４、９０、１２２）、ワークピース内または周囲のイオン化を増加するイオン化励起システム（６６、１１６）、選択された電圧パターンをワークピースに印加するバイアスシステム（５２）および２房室システム（９６、９８）があり、２房室システムはプラズマ発生を第１の選択された圧力で起こさせかつ第２の選択された圧力で堆積を起こさせるものである。
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本発明は、金属物品に適用するための、溶解されたＺを含むＮｄ_ｘＺｒ_１−ｘＯ_ｙの式を有するセラミックコーティングによる遮熱セラミックコーティングを提供し、ここで０＜ｘ＜０．５及び１．７５＜ｙ＜２であり、そしてここにおいて、Ｚは、Ｙ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｈｆ及びこれらの混合物からなる群から選択される金属の酸化物である。一つの態様において、Ｎｄが７モル％の濃度まで加えられる。もう一つの態様において、Ｚは、イットリウムであり、そして少なくとも６重量％の濃度で加えられる。 （もっと読む）

組成Ａｌ_xＳｉ_yＭｅ_zＮの窒化アルミニウムベースの硬い耐摩耗性コーティングが提案される。ｘ、ｙおよびｚは原子分率を表し、その和は０．９５から１．０５であり、Ｍｅは、ＩＩＩからＶＩＩＩ族およびＩｂ族の遷移金属の金属ドーパントまたはこれらの組合せである。この金属は、コーティングプロセス中に、金属ドーピングのないコーティングよりも高い固有導電率（intrinsic electrical conductivity）を提供する。ケイ素含量は０．０１≦ｙ≦０．４であり、１つまたは複数の金属ドーパントＭｅの含量は、０．００１≦ｚ≦０．０８、好ましくは０．０１≦ｚ≦０．０５、最も好ましくは０．０１５≦ｚ≦０．０４５である。
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【課題】 レンズの表面を傷つきにくくしつつかつ極力コストアップを避けつつ防曇防止膜をプラズマ重合により形成した車両用ランプの内面防曇用レンズを提供する。
【解決手段】 本発明の車両用ランプの内面防曇用レンズは、車両用ランプのレンズ３の内面３ｂにイオン化ガスを衝突させてプラズマ処理を施すことにより内面３ｂを活性化して活性化層を形成し、活性化層にモノマーガス６を衝突させてプラズマ重合により撥水性のプラズマ重合層７を形成し、プラズマ重合層７にイオン化ガス８を衝突させてプラズマ処理を施すことにより親水層を形成した。 （もっと読む）