【課題】溶製されたインゴットを速やかに冷却することにより製造効率を向上させることができる金属製造用溶解炉を提供する。
【解決手段】原料供給機と、原料を保持するハースと、原料を溶解する加熱源と、溶解された原料を流し込み冷却する鋳型とを備えた溶解部と、溶解部の下方に設けられ、鋳型内で形成されたインゴットの引き抜き治具を備えたインゴット引き抜き部と から構成された電子ビーム溶解炉であって、インゴット引き抜き部内に、インゴットの冷却部材を配設した金属製造用溶解炉。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、焼入室内が負圧になった際の安全性を確保し、変性ガスの削減も可能とした熱処理炉を提供する。
【解決手段】熱処理炉１０は、加熱室４、油槽５、焼入室２、排気管９、および窒素ガス供給ライン２０を有する。加熱室４内には被処理品８が収容され、所定の変性ガスの雰囲気下で加熱処理が行われる。油槽５には、焼き入れ用の油が貯留される。焼入室２は、加熱室４に連設される。焼入室２内には、加熱処理後の被処理品８が搬入され、油槽５内の油に被処理品８を浸漬して焼き入れが行われる。排気管９は、焼入室２に接続され、加熱処理に使用された変性ガスを排気する。窒素ガス供給ライン２０は、排気管９に接続され、排気管９内に窒素ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。 （もっと読む）

【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。 （もっと読む）

【課題】 加熱装置全体としての断熱性を維持しながら、昇温時、温度安定時間の短縮と急冷時間の短縮を図る加熱装置を提供すること。
【解決手段】筒状の側壁内に基板を処理する処理室を設け、この側壁に支持されると共に基板を加熱する発熱体２０を備えた加熱装置である。側壁内層５０、側壁中層６０及び側壁外層７０で区切られた二つの空間が形成される。発熱体２０を取り付ける側壁内層５０と側壁中層６０との間の第一の空間Ｓ１には冷却媒体流通通路１４が形成される。側壁中層６０と側壁外層７０との間の第二の空間Ｓ２には断熱材６３が封入されている。 （もっと読む）

【課題】還元鉄塊成化物の中心温度と含水率を適正範囲にする冷却装置を提供することを課題としている。
【解決手段】酸化鉄塊成化物を還元炉内で還元し還元鉄塊成化物として排出する還元鉄塊成化物を冷却する装置１６において、スプレーノズル１の搬送方向広がり幅Ｂと搬送方向ノズルピッチＰとの関係がＢ≦Ｐ、スプレー水の搬送方向広がり幅Ｂとコンベア幅方向広がり幅Ｗとの関係がＷ≧２×Ｂ、およびスプレー水のコンベア幅方向広がり幅Ｗとコンベア幅ＣＷとの関係がＣＷ≦Ｗであることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】被乾留物より発生した可燃性ガスを爆発燃焼させることなく乾留処理を連続的に行い、１バッチにかかる時間を短縮して処理能力を向上させるとともに、排出された被乾留物の温度を短時間にかつ一様に下げるようにする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気の炉本体１内で被乾留物７を収容した乾留槽２を誘導加熱して被乾留物７を乾留処理し、処理後の被乾留物を炉本体１の下部から排出する誘導加熱式乾留炉において、炉本体１の下部に密閉構造の排出室１２及びコンベヤダクト１３を接続し、コンベヤダクト１３内にコンベヤ１７を設置するとともに、排出室２及びコンベヤダクト１３を不活性ガス置換する手段を設け、排出室１２を窒素置換した後、炉本体１の底蓋６を開いて乾留処理が終了した被乾留物７をコンベヤ１７上に排出するようにする。さらに、前記コンベヤダクト内のコンベヤ上の被乾留物に冷却水を噴霧する手段１９を設け、被乾留物７を冷却水により冷却する。 （もっと読む）

【課題】複数個のワークピース間の予熱工程で生じた温度差が、昇温工程で縮小出来ず、ろう付け工程でロウ溶融滞留時間の過長で発生するろう付け欠陥や、ろう付け工程に昇温工程の雰囲気ガスの混入によるろう付け欠陥の起きないアルミニウム、銅、鉄、ステンレス等の金属製ワークピースの対流熱兼輻射熱併用式ろう付け方法とろう付け炉を提供する。
【解決手段】複数個のワークピースが同じ受熱量になるように、対流熱と輻射熱の作用効果を有効利用し、昇温工程では、対流熱で作業空間を均熱化し、ワークピース間の温度差を短時間に縮小する操作を、ろう付け工程では輻射熱と対流熱で、更に温度差を縮め、過長なロウ溶融滞留時間で発生するロウの浸蝕欠陥を防止し、昇温工程室とろう付け工程室の間に、昇温工程室の雰囲気が、ろう付け工程室への流入を阻止する中間工程室を置く方法で、作業環境の劣化によるロウ接合不良と潰蝕の発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】高圧の冷却ガスを循環させて熱処理物品を冷却する方式の真空炉について、装置の大型化を伴うことなく高い冷却能力を発揮できるようにする。
【解決手段】加熱室をほぼ真空の状態にして物品の熱処理を行った後に大気圧よりも高圧の冷却ガスを導入して熱処理後の物品を冷却する方式の真空炉に付設され、所定のガスを導入して冷却ガスと同等の内部圧力にされる圧力容器５１とモータを備え、冷却ガス循環用の冷却ファンを回転させるための冷却ファン用電動機５において、その圧力容器５１がモータのステーターコア５４外側を覆う本体ケーシングを兼ねており、ロータ５３及びステーターコア５４からなるモータの駆動部がそのまま圧力容器５１に内装されていることを特徴とするものとした。 （もっと読む）

【課題】炉ハウジング（Ｉ．２，ＩＩ．２，ＩＩＩ．２）によって取り囲まれた筒状レトルト（Ｉ．３，ＩＩ．３，ＩＩＩ．３）を用いる金属加工品の熱処理のためのレトルト炉（Ｉ．１，ＩＩ．１，ＩＩＩ．１）の実際的な価値を増加させ、かつ使用可能性を増加させる。
【解決手段】第１の変形形態に従って装入物の重量がレトルト（Ｉ．３）に加わらないようにし、第２の変形形態に従って第２の循環装置（ＩＩ．１８．２）をレトルト（ＩＩ．３）の加熱素子（ＩＩ．６）に対して配置し、第３の変形形態に従ってレトルト（ＩＩＩ．３）の底部（ＩＩＩ．９）に第２の底部（ＩＩＩ．９．１）及び／または調整弁（ＩＩＩ．２０，ＩＩＩ．２１）を設ける。 （もっと読む）

【課題】フラックスの炉内蓄積や基板付着を防止すると同時に、各加熱ゾーンの温度独立性をも向上させることができるダクトレスタイプのリフロー装置を提供する。
【解決手段】各加熱ゾーンＺの実測温度を、各加熱ゾーンＺに対してそれぞれ設定された設定温度範囲に近づけるべく、各加熱器２１の出力をそれぞれ制御するとともに、前記実測温度が設定温度範囲より高い加熱ゾーンについて、その加熱ゾーンＺでの実測温度が時間とともに上昇している場合は、当該加熱ゾーンＺでの調節バルブ４４を開方向に駆動する一方、前記実測温度が時間とともに下降している場合は当該加熱ゾーンＺでの調節バルブ４４を閉方向に駆動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】被処理物を加熱した後、即座に強制冷却することができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱処理装置１０は、加熱室１１と、加熱室１１の下方に配置された冷却液槽３０とを備える。加熱室１１の底部には第１開口部２０が形成され、冷却液槽３０の上部には第２開口部３１が形成される。第１開口部２０はシャッター部材２２によって開閉される。被処理物Ｗが保持部材１３によって保持され、保持部材１３は、第１，第２開口部２０，３１を通して加熱室１１と冷却液槽３０との間で昇降機構１４によって昇降する。 （もっと読む）

【課題】冷却室の小型化を図ることができ、以って冷却ガスの使用量を低減させると共に冷却ガスの均一な流れを得て、被処理品について所望の材質が得られる多室型熱処理炉を提供する。
【解決手段】密閉可能な内部空間に搬入された被処理品Ｗを減圧下において加熱可能な加熱室１０と、被処理品Ｗの移動用の開口部３１ｂを一つだけ有し密閉かつ減圧可納な内部空間に搬入された被処理品Ｗを減圧下において冷却ガスにより冷却可能な冷却室２０と、加熱室１０内部と冷却室２０内部とに向かって形成された搬送路４５と被処理品Ｗを搬送路４５に沿って移動させる搬送装置４６とが密閉かつ減圧可能な内部空間に設けられた搬送室３０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内部応力および隅部亀裂が発生せず、所望品質のシリコン結晶インゴットが得られる対流冷却構造を有する結晶成長炉を提供する。
【解決手段】炉本体、加熱室、ヒータを含み、加熱室は炉本体に収容され、上側隔壁、複数の側方隔壁、および下側隔壁を含む。上側隔壁には、上側開口部と、中央開口部を有する下側隔壁とが設けられる。加熱室には、上側ドア、下側ドア、上側ドライバ、および下側ドライバが設けられ、シリコンスラリーが冷却および凝固される際、冷却ガス流が中央開口部を通って加熱室の下部に流れ込む。次に、上側開口部が、上側ドライバによって駆動される上側ドアにより開放されるため、加熱されたガス流が上側開口部から排出され、炉内壁に沿って下方に流れ、中央開口部から加熱室へ戻り、自動対流循環冷却流れ場が形成されるので、時間を節減し、生産効率を向上させた状態で、シリコンスラリーを迅速に冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】良好な冷却効率が得られ、しかも冷却中の円形基板の面内温度分布均一性を維持することができる基板冷却装置を提供する。
【解決手段】コールドプレート１０は、基台１１の上面に載置台１２を形成して構成される。基台１１の内部には、供給側流路１３ｂ、排出側流路１４ｂおよびそれらを連通接続する複数の連絡流路１５からなる中空部が形成されている。当該中空部には冷媒の飽和液のみが充盈されるため、沸騰熱伝達を十分に利用した良好な冷却効率が得られる。また、載置台１２に載置される円形基板の中央部に対応する領域において互いに隣接する連絡流路１５の間隔を、当該円形基板の周辺部に対応する領域において互いに隣接する連絡流路１５の間隔よりも密としているため、熱負荷の大きな円形基板の中央部をも十分に冷却することができ、冷却中の円形基板の面内温度分布均一性を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 熱処理された板状体などの冷却を行うことができ、装置を小さくしながら、効率よく冷却できる板状体冷却装置を提供する。
【解決手段】 板状体冷却装置１は、板状体９０が配置される板状体配置部１１と、冷却部材１０とを有している。冷却部材１０には吹出部材２０と吸込部材３０が設けられており、吹出部材２０及び吸込部材３０は、板状体９０を挟んで対向するように配置されている。また、板状体配置部１１には、板状体９０を搬入、搬出することができる開放部１１ａが配置されている。
そして、吹出部材２０と吸込部材３０とが対向する方向は、板状体配置部１１の開放面で板状体９０を搬入、搬出する方向に対して交差する方向となっている。 （もっと読む）

【課題】被処理物質を極めてエネルギー効率よくかつ安定した状態にて炭化加工処理できるようにした炭化加工処理方法を提供する。
【解決手段】水分を含有する物質を炭化装置前段の乾燥炉内に投入して該乾燥炉内を連続的に送りながら加熱乾燥し、加熱乾燥により発生した蒸気を乾燥炉内から排出するとともに乾燥された物質を後段の炭化炉に送り、少なくとも炭化炉内を実質的に無酸素状態に保持し、該炭化炉内にて、非直下火による加熱を処理開始条件として加熱を開始し、炭化炉内が前記乾燥された物質の自己着火温度以上の温度に達したときに加熱を停止して、無酸素状態下での自燃による発熱により炭化炉内を自己着火温度以上の所定の温度範囲内に保持し、その処理条件にて、前記乾燥された物質を連続的に炭化する炭化加工処理方法。 （もっと読む）

【課題】セラミック焼成体を効率的に冷却することができるセラミック焼成体の冷却方法を提供する。
【解決手段】セラミック焼成体３６を収容した焼成用治具３３を、上記焼成用治具を搬送する搬送部材を備えた冷却装置３０を用いて冷却するセラミック焼成体の冷却方法であって、上記冷却装置は、複数の送風機３２を備え、上記搬送部材上に載置された焼成用治具内の上記セラミック焼成体を上記送風機により冷却することを特徴とするセラミック焼成体の冷却方法。 （もっと読む）

【課題】透光性を有する被処理部材を急速昇降温させる場合であっても、加熱・冷却効率が高く、被処理部材の温度分布に生ずるバラツキを抑えることができる熱処理方法を提供する。
【解決手段】誘導加熱を利用してウェハ２４を加熱し、誘導加熱コイル１６の配置経路に沿って流す冷媒によりウェハ２４を冷却する熱処理方法において、前記誘導加熱コイル１６により誘導加熱されるグラファイト２０とウェハ２４とを近接させると共にこれらの間に気体層２６を介在させて、誘導加熱により加熱されたグラファイト２０から放射される輻射熱と気体層２６を介した熱伝達によりウェハ２４を加熱し、前記冷媒により冷却されたグラファイト２０による輻射熱の吸収と気体層２６を介した熱伝達によりウェハ２４を冷却することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも冷却歪みの発生を抑制することが可能であると共に、冷却歪み発生可能性が低い場合には冷却効率を向上させることが可能な徐冷装置、及びこの優れた徐冷装置及び浸炭処理装置を含む熱処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理材８を収容した状態で密閉可能な冷却室１０と、冷却室１０内を減圧する減圧装置と、冷却室１０内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファン１１と、冷却ガスを冷却するための熱交換器１２、１３と、冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイド１５、１６とを有している。送風ガイド１２、１３の操作により、冷却ガスを熱交換器１２、１３に接触させて循環させる急冷モードと、冷却ガスを熱交換器１２、１３に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されている。 （もっと読む）