【課題】 スピン注入磁化反転を用いたメモリにおいて、高速動作時の低電流書き換え動作を実現し、メモリセル毎のばらつきを抑え、読み出しディスターブを抑える。
【解決手段】 書き換え前に弱いパルスを与えてスピンの状態を不安定にし、書き換え電流を低減する。書き換え電流がパルス幅により非線形に大きくなる領域で読み出しを行い
、ディスターブを抑える。更に、ビット線電荷で注入スピン量を一定とした駆動方法によりばらつきを抑える。 （もっと読む）

【課題】書き込み電流を増大させることなく、熱安定性を改善できる記憶素子の実現。
【解決手段】
記憶素子は、情報に対応して磁化の向きが変化される記憶層１７と、記憶層に記憶された情報の基準となる膜面に垂直な磁化を有する磁化固定層１５と、記憶層と磁化固定層の間に設けられる非磁性体による中間層１６とを有する。そして積層方向にスピン偏極した電子を注入することにより、記憶層の磁化の向きが変化して情報の記録が行われる。ここで記憶層は、Ｆｅ、Ｃｏの少なくとも一方を含有する合金領域を含む。さらに記憶層は、その磁化反転過程で受ける実効的な反磁界の大きさが、上記記憶層の飽和磁化量よりも小さいものとされている。 （もっと読む）

【課題】電源投入後、高速なセットアップが可能な不揮発性記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性記憶装置は、データを不揮発的に記憶するメモリセルを有する第１および第２のメモリモジュール１６−１、１６−２と、第１および第２のメモリモジュールとそれぞれ接続されて、前記第１および第２のメモリモジュールを駆動するための外部電源を供給する第１および第２の外部電源線ＶＬ１１、ＶＬ１２とを備え、第１の外部電源線の電源容量Ｃ１は、前記第２の外部電源線の電源容量Ｃ２よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】セル面積の縮小及び動作特性の向上に優れたレイアウトを提案する。
【解決手段】実施形態によれば、抵抗変化型半導体メモリは、第1方向に並ぶ第1乃至第4メモリセルを備える。第1乃至第4メモリセルの各々は、第1ソース/ドレインが第1方向に延びる第1ビット線BLA1に接続され、ゲートが第2方向に延びるワード線WL1, WL2, WL3, WL4に接続されるセルトランジスタT11, T12, T13, T14と、一端がセルトランジスタT11, T12, T13, T14の第2ソース/ドレインに接続され、他端が第2方向に延びる第2ビット線BLB1, BLB2, BLB3, BLB4に接続される抵抗性記憶素子M11, M12, M13, M14とを有する。第1及び第2メモリセル内の第1ソース/ドレインは、共有化され、第3及び第4メモリセル内の第1ソース/ドレインは、共有化される。 （もっと読む）

【課題】メモリセルのトランジスタの配置効率が高い不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】このＭＲＡＭでは、各メモリセルＭＣのアクセストランジスタを２つのトランジスタＱＡ，ＱＢに分割し、トランジスタＱＡ，ＱＢのゲートをそれぞれワード線ＷＬＡ，ＷＬＢに接続し、奇数番のメモリブロックＭＢのワード線ＷＬＡ，ＷＬＢを主ワード線ＭＷＬＡに接続し、偶数番のメモリブロックＭＢのワード線ＷＬＡ，ＷＬＢを主ワード線ＭＷＬＢに接続する。したがって、メモリセルＭＣのトランジスタの配置効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】消費電力化が可能な記憶素子を提供する。
【解決手段】積層方向に電流を流して、スピン偏極した電子を注入することにより、記憶層１６の磁化Ｍ１の向きが変化して、記憶層１６に対して情報の記憶が行われる記憶素子３を構成する。この記憶素子３は、情報を磁性体の磁化状態により保持する記憶層１６と、記憶層１６に対してトンネルバリア層１５を介して設けられている磁化固定層１４とを備える。そして、トンネルバリア層１５は、厚さが０．１ｎｍ以上０．６ｎｍ以下であり、且つ、界面ラフネスが０．５ｎｍ未満である。 （もっと読む）

【課題】下層のハード層の面内ばらつきに影響されず初期化可能なＭＲＡＭを提供する。
【解決手段】ＭＲＡＭは、強磁性の磁気記録層１０と、磁化が固定された強磁性の磁化固定層３０と、磁気記録層１０と磁化固定層３０との間に設けられた非磁性のスペーサ層２０と磁気記録層１０の両端部の上部又は下部に設けられた導電層１４ａ、１４ｂとを具備する。磁気記録層１０は、磁化が反転可能であり、スペーサ層２０を介して磁化固定層３０に接合される磁化反転領域１３と、第１方向の磁化を有し、磁化反転領域１３と平行に設けられた第１磁化領域１１ａと、第２方向の磁化を有し、磁化反転領域１３と平行に設けられた第２磁化領域１１ｂと、磁化反転領域１３及び第１磁化領域１１ａと所定の傾斜角度φを成して結合する第１傾斜領域１２ａと、磁化反転領域１３及び第２磁化領域１１ｂと傾斜角度φを成して結合する第２傾斜領域１２ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】上面にストラップ配線が形成された絶縁膜と、この絶縁膜の下面に形成された配線と間で剥離が生じることが抑制された半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、半導体基板ＳＳと、半導体基板ＳＳ上に形成され、周辺配線Ｐ１および配線Ｌ２が形成された配線層ＬＬ１，ＬＬ２と、配線層ＬＬ２に形成され、配線Ｌ３を含む配線層ＬＬ３と、配線層ＬＬ３上に形成され、磁気記憶素子ＭＲを含む配線層ＬＬ４とを備え、配線Ｌ１，Ｌ２上に形成された拡散防止膜ＮＦ１，ＮＦ２は、ＳｉＣＮ膜またはＳｉＣ膜から形成され、配線Ｌ３上に形成された拡散防止膜ＮＦ３は、ＳｉＮから形成される。 （もっと読む）

【課題】メモリセルアレイの面積を縮小する。
【解決手段】抵抗変化メモリ１０は、第１の方向に延在する複数のビット線ＢＬと、第２の方向に延在する複数のワード線ＷＬと、複数のメモリセルＭＣを備えたメモリセルアレイ１１とを含む。各メモリセルＭＣは、可変抵抗素子２１と選択トランジスタ２２とを有し、可変抵抗素子２１の第１の端子は第１のビット線に接続され、可変抵抗素子２１の第２の端子は選択トランジスタ２２のドレインに接続され、選択トランジスタ２２のソースは第２のビット線に接続され、選択トランジスタ２２のゲートはワード線に接続される。第１の方向に順に並んだ第１乃至第４の可変抵抗素子のレイアウトにおいて、第１及び第２の可変抵抗素子は１本のワード線を挟み、第２及び第３の可変抵抗素子は２本のワード線を挟み、第３及び第４の可変抵抗素子は１本のワード線を挟む。 （もっと読む）

【課題】外部からの磁場を遮蔽する磁気シールド効果が高い半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板ＳＵＢの主表面上に形成されたスイッチング素子ＴＲを覆うように形成された層間絶縁膜ＩＩＩ１と、平板状の引出配線ＬＥＬと、引出配線ＬＥＬとスイッチング素子ＴＲとを接続する接続配線ＩＣＬと、磁化の向きが可変とされた磁化自由層ＭＦＬを含み、引出配線ＬＥＬ上に形成された磁気抵抗素子ＴＭＲとを備える。磁化自由層ＭＦＬの磁化状態を変化させることが可能な配線ＤＬと配線ＢＬとを備えている。磁気抵抗素子ＴＭＲが複数並んだメモリセル領域において、磁気抵抗素子ＴＭＲの上部に配置された第１の高透磁率膜ＣＬＡＤ２が、上記メモリセル領域から、メモリセル領域以外の領域である周辺領域にまで延在している。 （もっと読む）

【課題】書込まれる記憶データのレベルに依存せず磁気特性が対称な磁性体メモリセルを有する薄膜磁性体記憶装置を提供する。
【解決手段】トンネル磁気抵抗素子中の自由磁化層においては、静磁性結合に起因する固定磁化層との間の結合磁界ΔＨｐが、磁界容易軸（ＥＡ）に沿った方向に作用している。データ書込磁界Ｈ（ＷＷＬ）は、自由磁化層の磁化困難軸（ＨＡ）と完全に平行に印加されるのではではなく、磁化困難軸ＨＡとの間に所定角度αを成すように印加される。これにより、Ｈ（ＷＷＬ）の磁化容易軸（ＥＡ）方向に沿った成分によって、一様な結合磁界ΔＨｐが相殺される。 （もっと読む）

【課題】活性領域の接触面積を増大でき、コンタクト抵抗を低減可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】フィン状の活性領域１３は、半導体基板１１内に設けられ、第１の側面、前記第１の側面に平行する第２の側面、及び前記第１、第２の側面を繋ぐ上面を有する。ワード線の一部としてのゲート電極１４は、活性領域に形成された溝１７内及び溝を跨いで形成され、活性領域と絶縁されている。シリサイド層１６は、ゲート電極の両側の活性領域に位置し、ソース、ドレイン領域としての活性領域の少なくとも第１の側面に形成されている。少なくとも記憶素子２１を接続するためのコンタクト１５は、シリサイド層に接続されている。 （もっと読む）

【課題】メモリの単位メガバイト当たり製造コストを、単にモノリシック回路集積法で慣用的に製造される回路の数分の一に低減させる。
【解決手段】各層が別々に最適化されるように、別々の層（１０３）上へのメモリ回路（１０３）および制御論理回路（１０１）の物理的分離が可能な三次元（３ＤＳ）メモリ（１００）。幾つかのメモリ回路（１０３）について１つの制御論理回路（１０１）で十分であり、コストを低減できる。３ＤＳメモリ（１００）の製造は、メモリ回路（１０３）を５０μｍ以下の厚さに薄肉化する工程と、該メモリ回路を、ウェーハ基板形態のまま回路積層体に接合する工程とを有する。微粒子の高密度層間垂直バス相互接続部（１０５）が使用されている。３ＤＳメモリ（１００）製造方法は、幾つかの性能および物理的サイズ効率を可能にしかつ確立された半導体加工技術により実施される。 （もっと読む）

【課題】高い記録密度を実現することができる情報記憶素子を提供する。
【解決手段】連続して形成された導電性の第１の磁性体を含むワード電極１と、第１の磁性体に接して形成された非磁性膜と、第１の磁性体に対して、非磁性膜５を介して接続された第２の磁性体とを含む。そして、ワード電極１の両端部に配置され、ワード電極１の端部の磁化の方向を設定するための磁化設定機構２と、第２の磁性体の保磁力を低減させるための保磁力低減機構と、ワード電極１と交差するように連続して形成された導電性のビット電極３を含む情報記憶素子を構成する。ワード電極１は、第１の磁性体を兼ねていてもよい。ビット電極３は、保磁力低減機構や第２の磁性体を兼ねていてもよい。 （もっと読む）

【課題】２つの選択トランジスタと１つの抵抗性記憶素子から成るメモリセルのレイアウト面積を縮小する。
【解決手段】半導体記憶装置は、それぞれが第１および第２のビット線から成り、且つカラム方向に延びる複数のビット線対と、各ビット線対に接続され、且つ複数のメモリセルから成るメモリセル群とを含む。各メモリセルは、第１のトランジスタＴ１、第２のトランジスタＴ２および抵抗性記憶素子１０から成る。ロウ方向に隣接する２つのビット線対は、第１のビット線同士が共通接続され、もしくは第２のビット線同士が共通接続されて第１のカラムユニットを構成する。少なくとも片側の端部に配置される第１のビット線もしくは第２のビット線は、それと下層との接続部分よりも、第１のカラムユニットの中央寄りに配置される。 （もっと読む）

磁気メモリを提供する方法およびシステムについて記載する。本方法およびシステムは、メモリアレイタイル(MAT)、中間回路要素、グローバルビット線、グローバルワード線、およびグローバル回路要素を提供することを含む。各MATは、磁気記憶セル、ビット線、およびワード線を含む。磁気記憶セルはそれぞれ、少なくとも1つの磁気素子および少なくとも1つの選択デバイスを含む。磁気素子は、磁気素子を通して駆動される書込み電流を使ってプログラム可能である。ビット線およびワード線は、磁気記憶セルに対応する。中間回路要素は、MAT内の読取りおよび書込み動作を制御する。各グローバルビット線は、複数のMATの第1の部分に対応する。各グローバルワード線は、MATの第2の部分に対応する。グローバル回路要素は、読取りおよび書込み動作のために、グローバルビット線の一部およびグローバルワード線の一部を選択し駆動する。
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磁気ランダムアクセスメモリを製造するシステムおよび方法が開示される。特定の一実施形態では、磁気トンネル接合メモリシステムを作製する方法は、金属層の一部分を、ほぼ直線の部分を有する無分岐のソースラインの中に形成するステップを含む。この方法はまた、ソースラインをほぼ直線の部分で、第1のビアを使用して第1のトランジスタに結合するステップを含む。第1のトランジスタは、ソースラインから受け取った第1の電流を第1の磁気トンネル接合デバイスに供給するように構成される。この方法は、ソースラインを、第2のビアを使用して第2のトランジスタに結合するステップを含み、第2のトランジスタは、ソースラインから受け取った第2の電流を第2の磁気トンネル接合デバイスに供給するように構成される。
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【課題】本発明は、ビットラインとストリング選択ラインとの交差領域に各々形成され、各々が基板上に垂直に多層構造で形成されたメモリセルを有するストリングを含む不揮発性メモリ装置のプログラム方法を提供する。
【解決手段】本発明のプログラム方法によると、シャドープログラム方式によってＹＺ平面の各層に属したメモリセルがマルチビットデータにプログラムされ、ＹＺ平面のＮ番目の層（ここで、Ｎは１、またはそれより大きい定数）のメモリセルがプログラムされる場合、ＹＺ平面の他層のメモリセルがプログラムされる前にＮ番目の層に対応するＸＺ平面の残りのメモリセルがプログラムされる。 （もっと読む）

本発明は、渦状態の平面磁気セル（４）のネットワークを含む磁気記憶装置（１）であって、各セルの渦コアが、反対方向でありかつセル（４）面に垂直な第１と第２の平衡位置のいずれかの磁化を有し、２つの位置のそれぞれが２進情報を表す、磁気記憶装置（１）に関する。装置（１）は、セルに格納される２進情報を書き込む手段（５、８ａ、８ｂ、３）であって、各セル（４）の近傍で前記セル（４）面にほぼ垂直な第１のバイアス静磁場と前記セル（４）にほぼ平行な直線偏波無線周波数磁場とを選択的に印加する手段を含む書き込み手段（５、８ａ、８ｂ、３）を含む。説明の装置はまた、点接触（７）により渦コアの周囲の領域を介し電流線を導くことにより、２つの交差する電極（６）と（９）間の選択的輸送測定を使用して、好ましくは共振的に極性を読み取る手段を含む。
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メモリユニット（２００）であって、メモリユニットの第１の層において第１のトランジスタ領域に広がる第１のトランジスタ（２１０）と、メモリユニットの第２の層において第２のトランジスタ領域に広がる第２のトランジスタ（２２０）と、メモリユニットの第３の層において第１のメモリ領域に広がる第１の抵抗センスメモリ（ＲＳＭ）セル（２３０）と、メモリユニットの第３の層において、第２のメモリ領域に広がる第２のＲＳＭセル（２５０）とを含む。第１のトランジスタは第１のＲＳＭセルに電気的に結合され、第２のトランジスタは第２のＲＳＭセルに電気的に結合される。第２の層は第１の層と第３の層との間にある。第１のトランジスタおよび第２のトランジスタは、トランジスタ重畳領域を有する。第１のメモリ領域および第２のメモリ領域は、第１のトランジスタ領域および第２のトランジスタ領域を越えて延在しない。
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