【課題】無限回転可能な試料ステージを有し、試料周辺の電界の乱れを抑制することで、試料全面を画像歪みなく観察可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料には回転ステージの回転中心にてホルダ受けと接触するリターディング電極を通じて電圧印加し、試料外周部には電界歪みを補正するための電界制御電極を備える。電界制御電極に電圧印加することで、電界制御電極上の等電位面を変化させ、それに伴い、試料端部における等電位面を補正し、試料端部まで観察可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高電圧ケーブルが不要で耐振動性能でも有利な荷電粒子線装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、荷電粒子ビームが照射される試料を載置する加工用の試料台と、荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、試料に照射する荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を加工用の試料台に印加する減速手段とを備え、減速手段は、昇圧電源部と、低圧供給用外部電源部とを有し、昇圧電源部を加工用の試料台に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガイドに移動可能係合したステージの位置決め装置に関し、ステージの可動範囲の全域にわたってｎｍオーダの位置決めが可能なステージ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘステージ１３に設けられた送りナット（ナット部材）８と、送りナット８に螺合するボールねじ７と、ボールねじ７を回転駆動する超音波リニアモータ３７とで構成する。更に、ナット８と、ボールねじ７のねじ軸７ａとの間に予圧が発生するように、予圧発生手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料搬送中に、試料に付着した異物の除去を行う試料搬送機構、及び試料搬送機構を備えた走査電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料を裏面から支持する試料搬送用ハンドを備えた試料搬送機構であって、前記試料を吸着して保持する吸着機構と、当該吸着された試料と、前記試料搬送ハンド間に形成される閉空間内で、試料に気体を吸着する吸着機構と、当該閉空間内の気体を吸引する吸引機構を備えた試料搬送機構を提案する。更に走査電子顕微鏡内で発生した異物を、試料カセット等に持ち込まないように、走査電子顕微鏡鏡体と試料カセットとの間に設けられた試料搬送用ハンドに設けられた異物除去機構によって、異物を回収する走査電子顕微鏡を提案する。 （もっと読む）

【課題】電気的なコンタクトの取りにくい試料を荷電粒子で安定的に観察する。
【解決手段】被測定試料と電気的なコンタクトをとる試料保持パレットと電気的なコンタクトをとらない試料保持パレットとを設け、被測定試料に応じてパレットを選択する。また、真空内での試料の測定電位と、大気中で測定した試料の測定電位をもとにした予測電位との差を電位オフセットとして記憶し、後段の測定にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】ポインティングデバイスの操作時において、その時点での試料画像の視野中心が所定時間後にどの方向にどの距離まで移動するのかをオペレータに示す。
【解決手段】試料画像の視野を移動させる移動方向を演算制御手段に入力するための移動方向入力手段（ポインティングデバイス）を備えた試料画像表示装置において、取得される試料画像の視野中心のＮ秒後における予測位置及び該予測位置に至るまでの予測進路を、試料ステージ４の移動に基づく視野中心位置の移動履歴から求めて試料画像に重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】
電子線を利用して試料を観察する電子線観察装置において、試料表面への炭化水素系分子の堆積量を評価する。
【解決手段】
試料室内の汚染度合を評価するための評価用基板を試料室に出し入れ可能な機構部を設け、電子線を評価用基板上に一点集中照射させることによって形成させた堆積物の形状から汚染度合を推測する。そして、この形状を表すパラメータ（高さ、底面の幅、体積）が所定の範囲を超えたとき、既存のクリーニング方法を併用して試料室内の清浄化を図ることにより、観察用試料のパターン幅を精度良く、安定的に計測可能にする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線の偏向量を抑えて観察像の像質を向上させることができる荷電粒子線装置及びその観察位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】ベース４０上を水平移動可能な粗動機構と、粗動機構上を水平移動可能な微動機構と、微動機構上に設けたトップテーブル４３と、ビーム偏向量に対して観察像の要求画質に応じて設定された許容範囲を記憶した記憶部７３Ｂと、撮像対象が観察領域に入るように粗動機構を制御する粗動機構制御部７２Ａと、撮像対象を含む低倍率の観察像の中心と撮像対象との座標ずれ量を算出するずれ量算出部７３Ｄと、座標ずれ量が許容範囲内か否かを判断する判断部７３Ｅと、座標ずれ量が小さくなるように微動機構を制御する微動機構制御部７２Ｂと、座標ずれ量が許容範囲内の場合に座標ずれ量だけビーム偏向量を補正する偏向補正制御部７０Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】 既存の帯電防止部材を基板電流値の制御にも兼用させ、装置全体の大型化を回避し、コストを掛けずに基板電流の安定化を図ることのできる電子ビームを用いた装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電子ビームを用いた装置は、鏡筒に配置された光学系を介して電子ビーム４１を試料２１に集束して照射する電子ビーム４１を用いた装置において、光学系と試料２１との間に、導電部を有すると共に電子ビームが通過する開口部を備えた板状部材１１０を備え、板状部材１１０は、試料面上の電子ビーム照射点から見て光学系の少なくとも一部を覆う大きさを有し、板状部材１１０が帯電防止機能を果たすように構成するとともに、板状部材１１０の導電部に電圧Ｖｃを印加し、電子ビーム４１を試料２１に照射した際に試料２１に流れる基板電流値ＩＡＣを測定し、基板電流値ＩＡＣが目標とする電流値になるように、板状部材１１０へ供給する電圧Ｖｃを制御する。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置製造プロセスで形成されるパターンの検査前に実行されるプリチャージの最適な条件を簡易に設定できるようにし、プリチャージの良否を自動判定し、その後の動作にフィードバックするようにして、検査結果の信頼性の低下を防ぎ、常に安定した検査ができるようにする。
【解決手段】
電子ビームを照射する前に、電子ビームを発生させる電子源とは別の第二の電子源から電子を発生させて基板の表面に帯電を形成させる帯電形成手段と、該帯電形成手段により基板の表面に帯電が形成された状態で、基板に流れる電流の値を計測する電流計測手段と、該電流計測手段により計測された電流の値が予め定められた目標値になるように帯電形成手段により形成される帯電を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハーの大口径化、微細化に対応した、小形で、高性能のステージシステムを備えた安価な荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】回転アーム１２は一方端が回転アーム支持軸により支持され、アーム１２の他方端部の下面部を支持する円弧ガイド１３上を旋回する。回転アーム１２の駆動は回転アーム１２の先端に接触している超音波モータ１４で駆動され、回転角度検出器１６のより回転アーム１２の回転角度を検出する。超音波駆動モータ１４はパルス駆動で回転アーム１２を極めて精度良く、ステップ送りすることが可能である。回転アーム１２は回転支持ベアリング１５により支持され回転し、円弧ガイド１３上を他方端が回動することより、剛性を向上させており、上下方向のガタを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 試料を有するカートリッジを受け取るように備えられたその場試料ホルダを用いた試料の交換、及び全体が取り外されるホルダを用いた試料の交換に適した荷電粒子光学系のより簡便な構成を提案する。
【解決手段】 たとえば電子顕微鏡のような荷電粒子光学系(100)は、操作用に多数の試料のうちの特別な1つを収容するための空間(104)を備えた真空チャンバ(102)を有する。当該荷電粒子光学系は、前記空間に対して出し入れできるように動かすことのできる部分(108)を備えた装着体(106)を有する。前記部分は、当該光学系外部から運ばれる試料キャリア(110)を第1ホルダ(112)へ取り付け、又は前記第1ホルダから前記キャリアを外して当該光学系内部から前記キャリアを取り外すように備えられている。前記キャリアは第1試料を収容する。当該光学系は、前記第1ホルダ又は上に第2試料がマウントされる第2ホルダを取り外し可能なように供するため、前記チャンバの壁内にインターフェースを有する。 （もっと読む）

【課題】小型で低価格でありながら、検査対象のパターン微細化に対応した検査精度が向上された荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】被検査試料の検査位置（ウェハー座標系）を検査機構の配置位置（ステージ座標系（極座標系））に変換し、回転アーム１０２を回転させると共に、回転ステージ１０３を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ１０３の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、２軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム１０２の回転により描かれる回転ステージ１０３の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子ビームの照射により表面を像形成する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 表面を像形成する方法は、表面の第１領域を一次荷電粒子ビームで第１スキャン速度においてスキャニングして、その第１領域から第１の二次荷電粒子ビームを発生し、表面の第２領域を一次荷電粒子ビームで上記第１スキャン速度よりも速い第２スキャン速度においてスキャニングして、その第２領域から第２の二次荷電粒子ビームを発生することを含む。また、この方法は、第１の二次荷電粒子ビーム及び第２の二次荷電粒子ビームを、それに応答して信号を発生するように構成された検出器で受け取り、その信号に応答して第１領域及び第２領域の像を形成することも含む。 （もっと読む）

【課題】真空引きしても、粘着剤層表面に気泡による凹凸が生じにくい電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを提供するを提供する。
【解決手段】カーボン粉、銀粉、銅粉又はニッケル粉などからなる導電性フィラーと、アクリル系樹脂、天然ゴム又はスチレン・ブタジエン系樹脂などからなる粘着性樹脂とで形成され、実質的に有機溶媒を含まず、導電性を有する粘着剤層２の両面に、剥離紙又は剥離ライナーなどからなる剥離層３ａ，３ｂを設けることにより、基材を使用しない電子顕微鏡用導電性両面粘着シート１を構成する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡により観察した表示領域における任意の箇所を適切に走査型電子顕微鏡で観察することができる複合型観察装置を提供する。
【解決手段】複合型観察装置１０は、載置面２０ａを移動可能に保持する載置台機構１４と、光学顕微鏡２２と、その観察光軸１５ａと交差する走査軸１６ａを有する走査型電子顕微鏡１６と、走査型電子顕微鏡１６と光学顕微鏡２２との中間の分解能を有し光学顕微鏡２２の対物レンズ４２を共用する計測光学系２３と、全体を駆動制御する制御機構１７と、表示画面２５ａを有する表示器２５と、を備え、制御機構１７は、表示画面２５ａに、光学観察画像３０を表示させる際、計測光学系２３の分解能で見た計測表示領域を示す記号３３を重ねて表示させることができるとともに、計測観察画像３１を表示させる際、走査型電子顕微鏡１６の分解能で見た電子表示領域を示す記号３４を重ねて表示させることができる。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料から放出された電子が、他部材に衝突した結果、生じる電子量を制御可能とすることを目的とした走査電子顕微鏡、及び電子量の制御による試料帯電制御方法の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。前記複数の開口は、少なくとも２つの開口であって、当該少なくとも２つの開口の周囲部であって、前記試料に対向する側には、それぞれ異なる二次電子放出効率を持つ部分が設けられている。この開口の切り替えによって、試料から放出された電子の衝突によって生じる電子の量をコントロールすることが可能とする。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡等の真空機器に備えられた試料交換棒の折り曲げ操作をオペレータが良好に行うことのできる真空機器を提供する。
【解決手段】真空排気される試料室と、開閉バルブを介して試料室に接続された試料交換室と、試料交換室の側壁を貫通し、先端部に支持する試料を開閉バルブを通して試料室内と試料交換室内との間で搬送するための折り曲げ可能な試料交換棒１とを備えた真空機器において、試料交換棒１は、シャフト５と、シャフト５の周囲を覆うパイプ６を有しており、試料交換室の側壁１１の外側には、試料交換棒１のパイプ６側面に当接したときにはシャフト５への係合動作が制動されるとともに、試料交換棒１のパイプ６から露出されたシャフト５側面に当接したときにはシャフト５と係合するとともにパイプ６の一端と接触し、これによりパイプ６の移動を制限する係合部材５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】分析装置の大型化を必要とせず、かつ、真空排気後に試料の分析が行われる分析装置にも適用可能な、分析試料交換方法を提供する。
【解決手段】移動可能な保持台を備える観察室と、保持台へ嵌合可能な試料台及び少なくとも該試料台の一部を覆う蓋材を備えるホルダと、ホルダを観察室へと移動可能であり、かつ、少なくとも蓋材へ嵌合可能なホルダ移動部材と、を備える分析装置における分析試料交換方法であって、分析試料が配置された試料台へ蓋材を被せる被覆工程と、蓋材とホルダ移動部材とを嵌合させる蓋材嵌合工程と、試料台と保持台とを嵌合させる試料台嵌合工程と、被覆工程、蓋材嵌合工程、及び、試料台嵌合工程の後に、保持台をホルダ移動部材と嵌合している蓋材から遠ざかる方向へと移動させることにより、試料台と蓋材とを分離する分離工程とを有する、分析試料交換方法とする。 （もっと読む）