【課題】 試料全領域の観察を行うような場合でも、特定試料部を光軸位置に正確に合わせることができる、複合観察装置を実現する。
【解決手段】 比較的倍率が低い像を観察する第１の観察装置で、被検査試料の広い範囲を観察して詳細に観察したい特定点を見いだし、その特定点の試料上の位置を示すデータと共に被検査試料を比較的高い倍率の像を観察する第２の観察装置のステージ上にセットし、試料の特定点を比較的高い倍率の像により詳細に観察するようにした複合観察装置において、第１の観察装置の試料移動ステージは、ステージのＸ、Ｙの直線状の移動により、試料表面のほぼ全領域を観察できる大型のステージを有しており、第２の観察装置は、Ｘ、Ｙ方向の２次元移動と回転動とが可能な試料ステージを有しており、回転動とＸ、Ｙ２方向の直線移動を組み合わせることにより、試料表面のほぼ全領域を観察できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】電子カラムをモーショニングさせ、試料の動きを最小化することによって、従来の装置に比べ、装置を小型化することを目的とし、さらに、電子カラムを多重化し、モーショニングを可能にして使用することにより、短時間に多くの電子ビームで多くの単位表面積をスキャンして時間的にも有利な装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを放出する電子カラムと前記電子ビームが照射される試料間に相対運動を与えるモーショニング装置を提供する。このモーショニング装置は、試料に電子ビームを放出するマルチマイクロカラム；前記マイクロカラムを支持する支持部；および前記支持部を動かして前記マイクロカラムを移動させる駆動手段；前記試料を低真空または高真空に維持するための真空室；を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡は、あまりにも大きい為、試料を電子顕微鏡で観察する必要が生じた場合、これを、電子顕微鏡がある研究所などに持って行って観察しなければならず時間的、空間的に不便であった。本発明は、このような問題点を解決するために、マイクロカラムを使用して携帯または移動可能な電子顕微鏡を提供することをその目的とする。また、本発明は、時間的および空間的制限なしに、移動しながら試料を観察することが可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロカラムを利用したポータブル電子顕微鏡を提供する。このポータブル電子顕微鏡は、マイクロカラム；低真空用ポンプ；高真空用ポンプ；超高真空用イオンポンプ；マイクロカラムおよび測定対象試料が収容固定され、前記ポンプによって真空が形成される第１チェンバー；コントローラー；および前記ポンプ、前記チェンバー、および前記コントローラーを収容するケース；を含む。 （もっと読む）

【課題】
絶縁物試料を荷電粒子線にて観察する際に発生する帯電によって、試料表面電位が荷電粒子線照射領域面内で不均一となることで生じる電位勾配により該荷電粒子線の軌道が偏向されるビームドリフトを低減する。
【解決手段】
試料に照射する荷電粒子線のエネルギーを試料から発生する二次電子の発生効率が1以上となるように設定する。装置の構成としては、独立に電圧を印加することができ、一次荷電粒子線が通過することができる孔を具備した平板電極を試料に対向して配置し、試料を積載する試料台は独立に電圧を印加することができ、試料に対向する面は平坦化されて凹凸の無い構造とする。また、該平板電極に設けられた孔の直径Ｄと該平板電極と該試料との距離ＬはＤ/Ｌ≦１．５の関係を満たすように設定する。 （もっと読む）

【課題】 真空下にて試料を分析および／または処理する際に必要とされる複数の機能を備えた器具を提供する。
【解決手段】 端子１および突起部６を有する基板１００、ならびに端子１と接触する電極３および突起部６を挿入するための凹部１０を有するホルダー２００を備える回路形成用カセットであって、突起部６が凹部１０へ挿入されることによって基板１００とホルダー２００とが固定される構成を有する回路形成用カセットを用いる。 （もっと読む）

【課題】
本発明が解決しようとする課題は、試料へのアプローチに際し試料へのダメージを与えることがない試料とプローブの接触感知機能を備え、ピックアップ機構としては微細なサンプルを迅速で確実なハンドリングを可能とすると共に、試料の材質を選ぶことなく、しかも構造的にも単純な機構を提供することにある。
【解決手段】
本発明のプローブ機構とサンプルピックアップ機構は、観察装置または分析装置に備えられ試料に接触を図る針状体からなる先端部材を有し、駆動用の静電アクチュエータと、該静電アクチュエータの電極間の静電容量変化をモニターする手段とを備え、該モニターにより前記プローブがサンプルに接触したことを検知できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料上の帯電によって生ずる荷電粒子線装置のフォーカスずれ，倍率変動，測長値誤差を低減するに好適な荷電粒子線照射方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子線の搬入機構によって搬入される試料の通過中に、試料上の電位を測定する静電電位計によって試料上の電位分布を計測する手法を提案する。また、試料上の特定箇所の局所帯電を計測し、その帯電量から大域帯電量分を分離して計測する手法を提案する。更に、特定箇所の帯電量を、少なくとも２つの荷電粒子光学条件で計測し、特定箇所の帯電量変化に伴う荷電粒子線を用いた寸法測定値の変化を計測し、この変化に基づいて測長値、或いは倍率を補正する手法を提案する。 （もっと読む）

【課題】 同一寸法校正パターンへの位置決めを可能にする。
【解決手段】 不連続な格子状の寸法校正パターン26とその近傍に特定の位置決め用アライメントパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の画像計測が行なえる電子線装置と電子線装置用基準試料を提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明の電子線システムは、例えば図１に示すように、電子線を射出する電子線源１と、電子線源１から射出された電子線７を収束し、試料９に照射する電子光学系２と、電子線７が照射された試料９からの電子７ｄを受け取る検出部４と、試料９を支持する試料支持部３と、試料支持部３で支持された試料９に照射される電子線７と試料３とを相対的に傾斜させる試料傾斜部５（５ａ，５ｂ）と、前記相対的な傾斜が自在であるように試料支持部３で支持された少なくとも傾斜した２面を有する基準試料９ａから電子を受け取った検出部４からの検出信号を、傾斜毎に受け取り、前記傾斜した２面の画像と基準試料９ａの基準寸法とから、基準試料９ａの傾斜角度を求めるデータ処理部２０等とを備える。 （もっと読む）

荷電粒子により試料を調査及び／又は改変する装置、特には走査電子顕微鏡が提供される。この装置は、荷電粒子のビーム（１，２）と、該荷電粒子のビームが通過する開口（３０）を持つ遮蔽エレメント（１０）とを有し、該開口（３０）は充分に小さく、上記遮蔽エレメント（１０）は上記試料の表面（２０）に対して十分に接近して配置されて、上記荷電粒子のビームに対する該表面における電荷蓄積効果の影響を減少させる。 （もっと読む）

【解決手段】 一実施形態において、集束イオンビーム（ＦＩＢ）で基板を切断することにより、前記基板から少なくとも部分的に試料を切断する工程と、把持要素を作動させることにより前記基板試料を捕持する工程と、前記捕持済み試料を前記基板から分離させる工程とを含む方法。前記捕持済み試料は、前記基板から分離して検査用に電子顕微鏡へ移送することもできる。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダーをいったん鏡筒から取り外した後、再び鏡筒内に戻して観察画像に位置ずれが生じた場合でも、試料ホルダーを鏡筒から取り外す前に記憶させておいた試料の観察条件（座標、傾斜角、軌跡、観察画像など）をそのまま有効に活用することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料ステージの移動距離を相対的にカウントするカウンターと、該カウンターのカウント値を試料の位置ずれに応じて補正する補正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットへ高電圧を印加する為の高電圧ケーブルの損傷及びターゲット移動精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＸ軸レール２４Ａはステージベース２１上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２４ＢはＸ方向ステージ２２に固定され、レール２４Ａの凸部がレール２４Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｘ方向ステージ２２の移動によりレール２４Ａがレール２４Ｂに対して摺動可能に成してある。長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＹレール２５ＡはＸ方向ステージ２２上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２５ＢはＹ方向ステージ２３に固定され、レール２５Ａの凸部がレール２５Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｙ方向ステージ２３の移動によりレール２５Ａがレール２５Ｂに対して摺動可能に成してある。 （もっと読む）