【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】 ＦＩＢ加工で試料からより微小な試料片を摘出し、電子顕微鏡観察用試料に加工する際に、ＦＩＢのイオンビームが微小試料片固定用の電子顕微鏡観察用試料支持部材に照射されず、試料への再付着が生じない電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することにある。
【解決手段】 薄片固定部５が微小試料片２よりも充分に薄いため、イオンビーム６を傾斜し微小試料片２の中央部の電子顕微鏡観察用試料部に照射しても薄片固定部５を削らないようにしての加工が可能となり、これにより薄片固定部５からの微小粉末の発生も生じないため、観察試料への再付着も起こらない。 （もっと読む）

【課題】位置ずれ量を増加させることなく、位置決め時間を低減することができるステージ装置を提供することにある。
【解決手段】本発明によると、テーブルを、第１の移動速度によって高速移動目標位置まで移動させる高速移動工程と、テーブルを第１の移動速度より遅い第２の移動速度によって低速位置決め工程開始位置まで移動させる位置ずれ補正工程と、テーブルを第２の移動速度より遅い第３の移動速度によって目標位置まで移動させる低速位置決め工程と、を行う。低速位置決め工程が終了した後に、モータに接続されたロッドを戻すことによって、ロッド側のピンをテーブル側の凹部より離す。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ〜１００μｍオーダーの平滑な断面形成に適し、作業者の熟練の技術を必要とせず、かつ加工位置精度に優れ、所望の特定位置に正確に断面を形成できる、走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法を提供する。
【解決手段】試料の被観察部を通る粗断面を形成するとともに、イオンビームによる加工深さ以下の厚さの透明な基板を、前記被観察部を覆うように試料に固定した後、前記試料を、イオンビームを試料に照射する装置の試料ホルダーに設置して、前記被観察部と前記装置のイオンビーム照射位置との位置合わせを行い、その後、被観察部にある粗断面をイオンビーム照射により加工することを特徴とする走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明はたとえば電子顕微鏡で使用される環境セルに関する。
【解決手段】 当該環境セルは、前記電子顕微鏡によって生成されたビームを、当該環境セル内部に設けられた試料にまで通過させるアパーチャ(15)を有する。本発明による環境セルは、当該環境セルの一部分(14)が、たとえば後方散乱電子又はX線のような2次放射線に対して透明であることを特徴とする。これにより、当該環境セルの外部に設けられた検出器によってこの放射線を検出することが可能となる。前記検出器が当該環境セルの外部に設けられることによって、当該セルの構成をはるかに単純にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡装置におけるステージの位置決め制御時において、ウェーハを搭載保持しているステージの振動やドリフトを抑えると共に、位置決め時間を短縮する。
【解決手段】
本発明は、電圧を印加することにより変位するアクチェータと、アクチェータの変位を拡大する機構と、変位を拡大する部分に制動部品を一体的に設けて構成された制動機構と、ベースに設けられ、制動機構の制動部品の上面又は側面と対向するように設けられた被制動レールとを備える。 （もっと読む）

【課題】
絶縁物を含む試料表面での帯電を抑制するための経験や熟練技能工程を排除した、信頼性の高い帯電制御技術を提供し、総合的に分析や試料作製効率の良い荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源（１）と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線（１１）を集束し偏向せしめるための荷電粒子光学系（５、６）と、荷電粒子線を試料（８）に照射して試料からの２次粒子を検出するための検出器（９）と、試料を搭載する試料台（７）とを備えた荷電粒子線装置において、試料台の表面に対して移動可能に設けた中和用電極（２０）と、中和用電極に印加する電圧および移動を制御する中和用電極制御装置（１０）とを有し、荷電粒子線を照射して帯電した試料上の照射領域と中和用電極との間で電荷交換または電流を発生せしめて、帯電を中和制御するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】試料とマスクとの遮蔽位置の調整を行うに際して、手間取らずに簡便且つ精度の良い遮蔽位置調整が可能なイオンミリング装置及びイオンミリング方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバに取り付けられ、試料にイオンビームを照射するイオンビーム源と、試料を固定する試料ホルダ、試料ホルダに固定された試料の一部を遮蔽するマスク、試料ホルダを回転する試料回転機構及びマスクと試料との遮蔽位置関係を調整するマスク位置調整部から構成される試料マスクユニットと、イオンビームと垂直な面内で試料マスクユニットを移動させる試料マスクユニット微動機構と、試料マスクユニット微動機構を真空チャンバ内で設置できる試料微動ベースと、マスクと試料との遮蔽位置関係を観測する顕微鏡をと備えたイオンミリング装置において、試料マスクユニットは、前記マスクから突出する試料の量を調整するためのマイクロメータを搭載する。 （もっと読む）

【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。
【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、停止時のドリフトが小さいステージ機構およびそれを備えた電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明では、２以上の伸縮或いは揺動が可能な駆動素子を有し、当該２つの駆動素子の協働によりステージを移動させる試料ステージを提供する。２つの駆動素子の協働により、当該２つの駆動素子の動作を組合わせることによる種々の制御が可能となり、結果として、ステージの移動のみならず、停止時のドリフトの抑制が可能なステージ機構の提供が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
ステージに起因する異常を早期に発見して、迅速な対応をとることができる荷電粒子線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
ステージに配置された被検査基板を連続的に移動させながら荷電粒子線を照射し、発生した二次信号に基づいて画像を生成する荷電粒子線検査装置であって、ステージの連続的な移動の位置を計測する位置モニタ測長器と、計測された位置から速度を算出する制御回路と、計測された位置と算出された速度の時間的な変化を表示するディスプレイとを備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ホトマスクのような試料を測定対象とする荷電粒子線装置において、試料裏面に帯電が付着していたとしても、高精度に装置条件の調整を行い得る荷電粒子線の提供を目的とするものである。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料の搬送過程において、試料裏面の電位分布を測定し、その測定に基づいて、試料の除電の程度を制御、又は試料ホルダ等に試料を配置したときの試料表面の電位分布を推定、或いは計算する装置を提案する。当該態様によれば、ホトマスクのようなパターン面とは異なる面に大きな帯電が付着する試料であっても、高精度且つ高速に測定、或いは検査を行うことができる荷電粒子線装置を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、簡易な構成で、ブレーキ等によってもたらされる摩擦熱による位置変動を抑制する試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、押圧部材によって押圧される押圧部と、当該押圧部によって押圧される被摺動面を備えた試料ステージであって、試料ステージが停止するときに、上記押圧部が接する被摺動面の一部、及び／又はその一部に隣接する部分、或いは押圧部を加熱するように制御する試料ステージを提供する。このように被摺動面の一部等を加熱することによって、上述のような温度勾配を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】真空度の影響を受けずに効率的に試料を加熱し、安定した電子像を得る。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０は、鏡筒部１２と試料室２２から構成される。試料室２２には、検出器２６，試料フォルダ３０，ガス導入口５０，排気口５２が設けられる。試料フォルダ３０の加熱室３１は、電子銃１４から照射された電子線を通過させる開口部３２，試料台４２に設置された試料４０を加熱する赤外線光源３６，赤外線を試料４０に集光する反射板３８を備えている。前記試料台４２には、試料４０の近傍に微量ガスを導入するためのキャピラリーチューブ４４が接続されている。試料室２２内を低真空雰囲気下でガス置換することで、加熱した試料と各種ガスとの反応を観察する。また、キャピラリーチューブ４４で微量ガスを導入すると、一時的や局所的に試料４０周辺のガス濃度やガス雰囲気を変更して状態変化を確認できる。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ２１は、電子線照射による観察対象とされた試料９が保持される試料保持部２１ａと、試料保持部２１ａに取付けられた複数の板バネ２１ｂとを備え、電子線が通過する開口２０ｂが形成されたホルダ支持部材２０の該開口２０ｂに該板バネが係合する。これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 微量で均一な濃度のアシストガスを供給する。
【解決手段】マスフローコントローラ２でガスの供給量を断続させ、マスフローコントローラ２に接続される拡散機構３を通すことで均一で微量な濃度のアシストガスを供給する。 （もっと読む）

【目的】耐熱性の低い試料の電子線による分析観察において、電子線照射による試料の温度上昇を低減して試料を変形や変質なく分析観察ができる試料冷却装置を備えた電子線分析観察装置を提供する。
【解決手段】オージェ電子分光分析装置１００には試料冷却装置３０が設置されており、この試料冷却装置３０は試料９の測定箇所の近傍に配置される細線状熱伝導体２０と、熱伝導構造体１７と、熱伝導部材２１と、冷却器１９で構成され、冷却された細線状熱伝導体２０で測定近傍の熱を抜き取りながら分析観察を行なうことで、試料の変形や変質を防止する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを試料に照射し、試料から二次的に発生する信号を検出して画像を得る荷電粒子ビーム装置、及び試料の表面の帯電状態を知る方法において、試料の表面電位の計測を可能とし、試料の表面を一定電位に制御して、試料の状態を変化させずに安定した試料像を取得することができる荷電粒子ビーム装置、及び試料の表面の帯電状態を知る方法を提供する。
【解決手段】
荷電粒子ビームを対物レンズにより集束させて試料に照射し、試料から二次的に発生する信号を検出して画像を得る荷電粒子ビーム装置において、試料と対物レンズとの間を横切る軌跡を有する第二の荷電粒子ビームを発生させる電子源と、第二の荷電粒子ビームを検出する検出器と、検出器で検出された第二の荷電粒子ビームの軌跡に基づいて、試料の表面の帯電状態を計算する計算部とを備える。 （もっと読む）