【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】大型試料も観察可能で、しかも小型試料の観察を行う場合にあっては、試料観察開始の待ち時間の短縮をはかることができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズ下部に小型試料観察用の空間制限機構３０を設けて、小型試料又は大型試料の試料観察に対応して、試料室４内で空間制限機構３０の内部空間３６を狭小空間として画成して空間制限機構３０の周囲の試料室４内の空間に対して密閉し、排気シーケンスを切り替えて試料室４内の空間制限機構３０の内部空間３６だけを真空排気する。 （もっと読む）

【課題】
電子ビーム応用装置では，複数の電子ビーム検出器および電磁波発生手段をもつことにより性能向上が図れるが，空間的制約により同時に配置することが困難である。
【解決手段】
電子ビーム検出器（１０２，１０５）と電磁波発生手段（１０２，１０４，１０８，１０９）を両立した構成１００により，電子ビーム応用装置内部に多数の電子ビーム検出器及び電磁波発生手段を配置することができ，電磁波発生手段による試料表面の電位の制御やコンタミネーションの除去により，長期間安定した像観察が可能になる。 （もっと読む）

【課題】試料表面を荷電粒子により調査及び／又は改変するのを容易且つ費用効率的に可能にし、表面電荷蓄積に関係する問題が克服されるような装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子により試料を調査及び／又は改変する装置、特には走査電子顕微鏡が提供される。この装置は、荷電粒子のビームと、該荷電粒子のビームが通過する開口３０を持つ遮蔽エレメント１０とを有し、該開口３０は充分に小さく、上記遮蔽エレメント１０は上記試料の表面２０に対して十分に接近して配置されて、上記荷電粒子のビームに対する該表面における電荷蓄積効果の影響を減少させる。 （もっと読む）

【課題】直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】直立カラム１００と傾斜カラム２００を有し、傾斜カラム２００の対物レンズ２４の先端磁極２５を磁極本体から分離して電気的に絶縁し、試料１３に近づけて配置し、対物レンズ２４の先端磁極２５と試料１３とを同電位に保つことにより、直立カラム１００でリターディングをして高分解能トップダウン観察、傾斜カラム２００で短焦点動作による高分解能傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】配線で可動範囲が制限されたりすることなく試料又はマスクの位置をより柔軟に調整することができる荷電粒子線装置、試料移動装置、マスク位置調整機構、試料位置調整方法及びマスク位置調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料ステージ００８に対する試料の位置を調整する試料移動装置０４０であって、ＳＥＭ制御ユニット０１５からの指令に応じて出力指示信号を生成する赤外線ランプ制御ユニット０１４と、赤外線ランプ制御ユニット０１４からの出力指示信号に応じて赤外線信号を照射する赤外線ランプ０１０と、試料ステージ００８上に固定された試料台ホルダー００７と、試料台ホルダー００７に対し変位可能に取り付けた試料台１０２と、赤外線ランプ０１０からの赤外線信号を受光する赤外線センサー１０８と、赤外線センサー１０８で受光した赤外線信号に応じて試料台１０２を駆動するモーター１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料台を任意の方向に大きな角度でも容易にユーセントリックに傾斜させる。
【解決手段】電子顕微鏡１００は、その試料ステージ１として、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に自在に移動可能な基体ステージ１０、基体ステージ１０上に回転自在に配設される回転ステージ２０、回転ステージ２０上にＸ，Ｙ方向に自在に移動可能に配設される球体駆動ステージ３０、試料台４２がその表面上方にその表面に平行に取付けられた試料傾斜駆動球体４０などを備える。制御装置７０は、試料台４２を傾斜させる方向角と傾斜角と試料傾斜駆動球体４０の半径とに基づき、球体駆動ステージ３０のＸ，Ｙ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ球体駆動ステージ３０を移動させ、さらに、試料台４２の傾斜に伴い試料８０の観察対象領域が移動するＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ、その移動方向とは反対方向に、基体ステージ１０を移動させる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、及びそれを用いた検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２を有し、該膜３２が２層以上で構成される。また、第２の面３２ｂに接する装置内空間を減圧にし、該減圧空間に設置してある一次線（電子線）照射装置からの一次線を、膜３２を介して液体試料２０に照射することにより、試料を大気圧に保持したまま観察又は検査が可能となっている。膜３２が観察又は検査中にダメージを受けても、該膜を構成する２層以上の膜の内、１層が破れたところを検知した時に装置内空間を大気圧復帰させることで、装置内部の汚染を防止することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料上に不純物を付着させることなく、試料を取り扱うことが可能な荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】以上のような目的を達成するために、真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した走査型電子顕微鏡において、当該潤滑剤として、低分子成分が除去されたものを採用する。これによって、試料汚染を抑制することが可能となり、試料測定後のプロセスにおける不良発生の抑制が可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料の高さ方向のばらつきを検査する。
【解決手段】試料２９を保持するホルダ２１１と、ホルダ２１１に保持された試料２９帯電処理する帯電制御部２３と、ホルダ２１１に保持された試料２９に電圧を印加するリターディング電源２４と、リターディング電源２４により電圧が印加された試料２９に向けて電子線を照射して、試料２９の表面近傍で引き戻されたミラー電子を結像させる電子光学系２０と、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像を画像処理する画像処理部２７と、を有する。画像処理部２７は、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像と、予め用意された標準品のミラー画像との差に応じた情報を、試料２９の高さ方向のばらつきとして出力する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】
観察試料と対物レンズ等の試料室内の構造物の接触を未然に、かつ確実に防止することが可能な、使い勝手の良い走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
走査電子顕微鏡の試料室内壁近傍から非接触で観察試料の有無を検出する物体検出手段を設け、観察試料を試料室へ導入する際に、試料移動機構制御手段により試料移動機構を自動的に水平及び垂直方向に移動させつつ、物体検出手段による物体検出情報に基づいて観察試料の高さを自動的に算出し、手動操作入力手段から移動指示に応じて試料移動機構の移動する際には、先に算出した観察試料の高さの情報に基づいて試料移動機構の移動量に制限を加える。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ薄片観察の能力を向上させ、かつその構成において効率よく試料の配置と姿勢を制御することを図ること。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１のビーム照射軸と、ＳＥＭ鏡筒２のビーム照射軸と、回転可能な台の第一の回転軸が、試料観察位置でそれぞれが互いに略直交に交わり、回転可能な台が第一の回転軸を中心に回転可能な支持部を有し、支持部が試料５を試料観察位置に配置可能な並進機構と接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、予備照射領域内に異なる複数の材質が含まれていたり、予備照射領域内のパターンの密集度が位置によって異なるような試料であっても、帯電の不均一さを抑制することが可能な荷電粒子ビーム照射方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、予備照射領域を複数の領域に分割し、当該複数の領域に対し、異なるビーム照射条件のビームを用いて、帯電を付着する荷電粒子ビーム照射方法、及び荷電粒子線装置を提案する。上記構成によれば、予備照射領域内で、各位置の帯電の差異を抑制し得るような照射条件に基づいて、予備照射領域に対する帯電の付着が可能となるため、荷電粒子ビームや試料から放出される電子に対する電界の影響を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気中に取り出すことなく試料の断面加工と断面観察が行える荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 イオン加工時、試料ホルダ２２の第２の被取付部３４がホルダ取付部１６に取付けられる。そして、遮蔽材４０のエッジ部４２から突出した試料部分４１がイオンビームによってエッチングされる。その後、試料ステージが電子光学系の光軸上に配置されて、イオンエッチングで現れた試料断面５０がＳＥＭ観察される。一方、試料表面４５をＳＥＭ観察する場合には、試料ホルダの第１の被取付部３１がホルダ取付部１６に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】 高精度のＥＢＳＤ解析が可能な電子顕微鏡用試料台を提供する。
【解決手段】 電子顕微鏡用試料台３１は、試料ステージ５に装着可能な試料ホルダ９に取付けられる台座３３と、台座３３に対して垂直に固定された軸３５と、本体内部の軸方向に延びる中空部３７ａが形成されるとともに、本体胴部側面に少なくとも１つの貫通孔４１が形成され、中空部３７ａを介して軸３５に対して挿入され、軸３５に挿入された状態で軸３５の円周方向に回転可能な中空部材３７と、貫通孔４１に挿入され、軸３５と中空部材３７とを支持することにより、中空部材３７と軸３５との相対的な位置を固定する固定部材３９とを備える。中空部材３７の上面には、試料３が取付けられる。 （もっと読む）

【課題】それぞれ直交に配置された集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒を有する複合荷電粒子加工観察装置において、試料ステージを、誤操作なく操作性の良い動作をさせる。
【解決手段】観察像を見て観察位置を動かす際、集束イオンビームと電子ビームの像表示部のそれぞれの座標系で指定した試料ステージ２の移動方向に対して、一つの試料ステージ２をそれぞれの座標系に対応した方向に移動する。 （もっと読む）