【課題】安全性（感電防止機構）を備えつつ操作性が考慮された高電圧印加試料ホルダーを装着可能な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を装填する試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が、電子顕微鏡の鏡筒を支持する架台上に設置されたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】試料の周囲を低真空に保持し、且つ、試料の周囲の構造が簡単な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置は、試料を支持する試料ステージと、荷電粒子線源からの荷電粒子線を試料に集束させる荷電粒子線光学系と、該荷電粒子線光学系を収納する荷電粒子線カラムと、前記荷電粒子線カラムに設けられた第１の差動排気用絞りと、該第１の差動排気用絞りを介して前記荷電粒子線カラムに接続するように配置された前試料室と、前記前試料室に設けられた第２の差動排気用絞りと、前記荷電粒子線カラムを真空排気する第１の真空ポンプと、前記前試料室を真空排気する第２の真空ポンプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

【課題】試料箱を再び開いて試料に必要な気体又は液体を導入し、試料の動的変化を観察する時間を延ばすことが可能なガイド孔及びプラグを有する電子顕微鏡用試料箱を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料箱は、第１の基板１１、第２の基板１２及び金属密着層１３を備える。第１の基板１１は、第１の表面１１１、第２の表面１１２、第１の凹溝１１３及び少なくとも１つの第１のガイド孔１１４を有する。第１の凹溝１１３は、第２の表面１１２に設けられる。第１の表面１１１上には、第１の凹溝１１３に対応した第１の薄膜１１５が形成される。第１のガイド孔１１４が、第１の凹溝１１３の外周に設けられるとともに第１の基板１１に穿設される。第２の基板１２は、第３の表面１２１、第４の表面１２２及び第２の凹溝１２３を有する。 （もっと読む）

【課題】貫通孔と密封栓を備え、繰り返し開けることができ、試料に必要な気体又は液体を入れ、試料の動態観測時間を延長できる電子顕微鏡用試料ケースの提供。
【解決手段】本発明の電子顕微鏡用試料ケースは、第１基板、第２基板、１つ以上の光電素子、及び金属粘着層を含み、前記第１基板が第１表面、第２表面、第１陥凹部、１つ以上の第１貫通孔を備え、前記第１貫通孔が第１基板を貫通し、前記第２基板が第３表面、第４表面、第２陥凹部を備え、前記光電素子が第１基板及び第２基板間に設置され、前記金属粘着層が前記第１基板と前記第２基板の間に設置されて空間が形成され、試料がその中に収容され、本発明はさらに第１貫通孔を密封できる１つ以上の密封栓を含み、本発明の試料ケースを密封して電子顕微鏡でその場観察を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】超高真空化が不要で、試料表面の破壊を引き起こすことなく、試料表面のコンタミを安定して防止できる電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法を提供する。
【解決手段】発熱体として、正温度計数(PTC)サーミスタを備えることを特徴とする、観察・分析中のカーボンコンタミネーションの成長と熱ドリフトの抑制能力に優れた、電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡による試料の構造や特性を観察する方法において、２次電子信号で得られる試料情報の選択性と画質を向上させる。
【解決手段】電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる２次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した２次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】漏洩磁場の抑制と駆動性能とのバランスを取る。
【解決手段】開放面を有する第１のヨーク１８と、前記第１のヨーク内にＳ極とＮ極とが交互になるよう直線状に並べられた２列の永久磁石１７とを備えた界磁子９と、前記２列の永久磁石の間に設けられ直線移動する可動子１０とを備えたリニアモータにおいて、前記第１のヨークの開放面から見て前記第１のヨークの開放端部と前記永久磁石とを覆うように、前記第１のヨークの開放端部に第２のヨーク１９を接続する。 （もっと読む）

【課題】非破壊的方法により基板の表面上の絶縁層を介して電気的に基板を接地する。
【解決手段】基板の表面上の絶縁層を介して、導電経路を形成する装置に関する。第１の放射線源は、絶縁層の第１の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第１の電気接点は、第１の領域へ第１のバイアス電圧を印加するように構成される。第２の放射線源は、絶縁層の第２の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第２の電気接点は、第２の領域へ第２のバイアス電圧を印加するように構成される。領域の伝導性は、伝導経路がそれらの領域で絶縁層を介して形成されるように、放射によって増加する。一実施態様において、装置は、電子ビーム装置において使用され得る。別の実施形態は、絶縁層を介して導電経路を形成する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ装置による試料の自動加工を行うにあたって、加工領域の位置を特定する識別マークを正常に検知出来ずに、加工が失敗する場合がある。識別マークを正常に検知するためには、各種設定値を適宜に調整する必要があるが、この調整作業は加工領域および識別マークにダメージを与えてしまう。
【解決手段】加工対象である試料の表面に、加工領域と、識別マークとに加えて、基準形状を形成する。この基準形状を、識別マークを検出するために必要な設定値群を調整するために用いることで、識別マークや加工領域にダメージを与えることなく設定値群の調整を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】状況に応じた印加電圧とすることで装置の信頼性を向上させる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】前記課題を解決するために、本発明の荷電粒子線装置１は、試料ステージ２５に静電チャック３０によって保持された試料２４に電子線１６を照射し、試料２４の画像を生成する荷電粒子線装置１であって、試料２４を保持する際に、静電チャック３０のチャック電極２６に予め設定した初期電圧を印加するとともに、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したか否かを判定し、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着していないと判定した場合は、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したと判定するまで、チャック電極２６に印加する電圧を上昇させる静電チャック制御部１３を備える。 （もっと読む）

【課題】ナノツールの交換を、試料の環境変化を起こさずに、例えば真空の試料室を大気開放せずに試料室内で、短時間かつ高精度に自動化するためのナノエクスチェンジャーシステムを提供する。
【解決手段】ナノエクスチェンジャーシステムは、異なるナノツール２に対しても固定・リリースを可能とするナノツールアダプター３と、ナノツールアダプター３を単数もしくは複数の収容が可能なナノツールホルダー１と、ナノツール２を使用するために位置決めを行うナノツール取り付け機構４のいずれかもしくは全てを備えた方法及び装置である。 （もっと読む）

【課題】試料の表面に生じている電荷分布をミクロンオーダーの高分解能で測定することを可能とする。
【解決手段】表面電荷分布を有する試料を荷電粒子ビームで走査し、試料の表面電荷分布を測定する表面電荷分布測定方法。装置の構成に基づいて試料の表面電荷分布モデルを設定するモデル設定工程と、起点の時点から次点の時点までの時間間隔を設定して荷電粒子ビームの軌道を算出する軌道計算工程と、試料の表面電荷分布の実測値を求める実測工程と、軌道計算工程において算出された電子軌道計算データを、実測工程における実測値と照合する照合工程と、照合工程において電子軌道計算データと実測値との誤差が所定の範囲内であれば表面電荷分布モデルを実際の表面電荷分布として採用する判定工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 微小検体を基台に移す際、静電気による吸着力、原子間力または分子間力等に打ち克って確実に基台上に固定する。
【解決手段】 上面１１が親水性を有する基台１０上に、開口部３１を有する撥水膜３０を形成する。加熱冷却ステージ２０を冷却モードにして基台３０を冷却すると開口部３１内に水滴１１０が結露する。微小検体１１２を水滴１１０の近傍に移動すると、メニスカス力により微小検体１１２が水滴１１０に取り込まれる。この後は、加熱冷却ステージ２０を加熱モードに切り換え、水滴１１０を揮発させると、水滴１１０の凝集力により微小検体１１２が基台１上に固定される。 （もっと読む）

【課題】大量に保持体を形成できる試料保持体、同保持体を用いた試料観察・検査方法、及び、試料観察・検査装置を提供する。
【解決手段】開口１５０ｂが形成された本体部１５０ａと、開口１５０ｂを覆う試料保持膜１５０ｃとを備える試料保持体１５０を用い、支持手段３１１への接触により支持された状態で、試料保持体１５０の試料保持膜１５０ｃにおける開放された第１の面に保持された試料３１５に、試料保持膜１５０ｃにおいて真空雰囲気に接する第２の面側から、試料保持膜１５０ｃを介して、試料観察又は検査のための一次線３２０が照射可能である。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の高真空型荷電粒子顕微鏡の構成を大きく変更することなく、被観察試料を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気（ないしガス雰囲気）を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、上記薄膜を保持でき、かつ内部を大気雰囲気あるいはガス雰囲気に維持可能なアタッチメントを高真空型荷電粒子顕微鏡の真空試料室に挿入して使用する。当該アタッチメントは、上記真空試料室の真空隔壁に真空シールされて固定される。アタッチメント内部をヘリウムや窒素あるいは水蒸気といった大気ガスよりも質量の軽い軽元素ガスで置換することにより、更に画質が向上する。 （もっと読む）

【課題】既存の試料採取装置であっても試料を良好に採取するための試料採取方法を提供する。
【解決手段】誘電体棒１０と、誘電体棒１０の先端に形成される捕捉面１０ｂと、誘電体棒１０の後端側に設けられる露出領域と、誘電体棒１０のうち捕捉面１０ｂと露出領域の間の領域において、誘電体棒１０を覆う導電性被覆層１２と、を有するプローブ１のうちの露出領域を誘電体物により摩擦して誘電体棒１０を帯電し、プローブ１の捕捉面１０ｂにより試料８を吸着し、プローブ１の操作により試料８を試料ホルダ６に移送する処理を含む。 （もっと読む）

【課題】所定の材料を真空チャンバー内部の任意の箇所に正確に搬送する真空フィードスルーを提供する。
【解決手段】真空フィードスルー１０Ａは、パイプ１１とその内部空間に位置するシャフト１２とパイプ１１の外周面を長さ方向へスライド可能なマグネットスライダー１３とシャフト１２の後端部に取り付けたマグネットホルダーとを有し、パイプ１１の内部空間前端部に取り付けたシャフト１２を径方向中央に保持する固定ホルダーと、シャフト１２の後端部に取り付けたシャフトを径方向中央に保持する移動ホルダーとを含み、固定ホルダーは、シャフト１２の外周面をスライド可能に支持するスライドベアリングを備えた支持ハウジングを有し、移動ホルダーは、弾性変形可能なアームと、長さ方向へ回転可能なローラと、アームをパイプの内周面に向かって強制的に弾性変形させてローラをパイプの内周面に押し当てるテーパープラグとを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の自由度を備える試料ステージにおける試料の交換を簡単な手順で迅速に行う。
【解決手段】試料設置装置は、試料室１７内に配置され、電子ビームの照射対象となる試料が載置される試料ステージ４０と、試料室１７に取り付けられ試料室の壁面に形成されたポート２１から試料ステージ４０に向け外部から試料を移送する試料移送装置８０と、を備えている。試料ステージ４０及び試料移送装置８０は、一体となってＹ方向への移動及び傾斜駆動される共に、試料ステージ４０は、Ｘ方向、Ｚ方向への移動及び水平回転駆動され、試料の設置、交換に際して、位置合わせを簡単にした。 （もっと読む）