【課題】処理チャンバを大気開放することなくその内部空間に配置された構成要素を交換する機能を処理装置の大型化を抑制しつつ実現するために有利な技術を提供する。
【解決手段】処理設備は、物品を処理する処理チャンバを含む処理装置と、保守チャンバを含む保守装置とを備える。前記処理装置は、前記処理チャンバに物品を搬入したり前記処理チャンバから物品を搬出したりするためのロードロックチャンバを備え、前記処理チャンバは、第１バルブと、第１フランジとを含み、前記保守チャンバは、第２バルブと、前記第１フランジに対する連結および前記第１フランジからの切り離しが可能な第２フランジと、前記処理チャンバの内部空間と前記保守チャンバの内部空間との間で構成要素を移送する移送機構とを含む。前記第１フランジと前記第２フランジとが連結され、前記第１バルブおよび前記第２バルブが開いた状態において前記保守チャンバの内部空間と前記処理チャンバの内部空間とが連通する。 （もっと読む）

【課題】試料表面に異物が付着することを極力防止することができる電子線検査装置を提供する。
【解決手段】試料２００を配置したステージ１００が真空排気可能な真空チャンバ１１２の内部に設置されており、該試料２００の周囲を包囲する位置に集塵電極１２２が配置されている。集塵電極１２２には、試料２００に印加される電圧と同じ極性で絶対値が等しいかそれ以上の電圧が印加される。これにより、集塵電極１２２にパーティクル等の異物が付着するので、試料表面への異物付着を低減することができる。集塵電極を用いる代わりに、ステージを包含する真空チャンバの壁面に凹みを形成するか、又は、所定の電圧が印加されるメッシュ構造の金属製平板を壁面に敷設してもよい。また、中央に貫通孔１２４ａを有する隙間制御板１２４を試料２００及び集塵電極１２２の上方に間隙制御板１２４を配置することにより、異物付着をより低減することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で、短時間で対物レンズの用途切替ができる走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の対物レンズの用途切替方法を提供することを課題とする。
【解決手段】対物レンズ５９の外側磁極片１０１に、第１ねじ部１２３を設けし、内壁面に第１ねじ部１２３と螺合可能な第２ねじ部１３９が設け、外壁面に、第２ねじ部１３９と同軸で、ねじ切り方向が逆方向の第３ねじ部１４１が形成され、外側磁極片１０１に着脱可能な補助外側磁極片１３３と、補助外側磁極片１３３の第３ねじ部１４１と螺合可能な第４ねじ部１１７を有し、第４ねじ部１１７の軸が試料ステージの回転中心と一致するように試料ステージ上に設けられ、補助外側磁極片１３３が着脱可能な着脱ホルダ１１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡法（ＴＥＭ）研究に適した材料試料（ＴＥＭ「薄片」）、特にＨＲＴＥＭ薄片（ＨＲ＝高分解能）、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置。
【解決手段】ＴＥＭ薄片を製造するプロセスは、厚さを有する板状基板を支持体に取り付けるステップ（Ｓ１）と、第１ストリップ状凹部を基板の第１面に、支持体に対して第１角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ３）と、第２ストリップ状凹部を基板の第２面に、支持体に対して第２角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ（Ｓ５）であって、第１ストリップ状凹部第２ストリップ状凹部が、薄肉の重なり領域を形成するようにする。薄片は、厚肉のリム領域及び薄肉の中央領域を有し、第１ストリップ状凹部を薄片の第１の平坦面に、第２ストリップ状凹部を薄片の第２平坦面に有し、第１凹部及び第２凹部は、相互に鋭角又は直角を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位変化を抑制しつつ、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件の変動の補償値を検出する方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、荷電粒子線を試料に向けて照射している状態において、当該荷電粒子線が試料へ到達しない状態（以下ミラー状態と称することもある）となるように、試料に電圧を印加し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】距離に依存せずに高い精度で位置制御が可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１００は、第１情報を取得し、前記第１情報から特定される基準位置Ｂとステージ１との間の距離と所望の距離との差が、所与の範囲に含まれるか否かを判定し、前記所与の範囲に含まれない場合には、前記差が前記所与の範囲に含まれるようにステージ１の位置を制御する第１位置制御処理を行う第１制御手段３１と、前記差が前記所与の範囲に含まれる場合には、前記第２情報を取得し、前記第２情報から特定される基準位置１とステージＢとの間の距離に基づいて、基準位置Ｂとステージ１との間の距離が前記所望の距離となるようにステージ１の位置を制御する第２位置制御処理を行う第２制御手段３２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一方の微小移動用駆動機構の駆動に基づく、他方の駆動機構への影響を抑制しつつ、高精度な位置決め、或いは振動抑制を実現することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、テーブルとトップテーブルの間に、トップテーブルを支持する支持部材を備え、当該支持部材は、当該支持部材の外枠を形成する第１の部分と、当該第１の部分の内側に配置される第２の部分と、当該第２の部分の更に内側に配置される第３の部分を有し、第１の部分と第２の部分、及び第２の部分と第３の部分とを弾性ヒンジを用いて連結するように構成し、第１の部分を第１の方向に駆動する駆動機構と、前記第２の部分を第２の方向へ駆動する駆動機構とを備えた試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】近年、半導体製造プロセスにおける微細化や高集積化が進み、観察対象箇所が密集している場合が増えている。このような場合に従来のプリチャージに関する技術を用いて観察を行うと、プリチャージによる電子ビームの走査が重複し、試料表面上の帯電電位が絶縁破壊限界電圧を超えてしまい、電子ビームの走査が重複した領域において絶縁破壊が引き起こされる。本発明は絶縁破壊の危険性を低減する欠陥観察方法、及び荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プリチャージに関する技術を用いて試料を観察する場合において、一度の帯電制御処理で複数の画像を撮像する。またプリチャージ走査領域が重複する観察対象箇所を、一度に帯電制御する観察対象箇所ごとのグループにグルーピングし、前記グループごとに帯電制御処理を実行することにより絶縁破壊の危険性を低減する。 （もっと読む）

【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台３３と、試料台３３をＸＹ方向に線状移動させるためのＸＹ移動機構７５と、試料台３３をＸＹ面と直行するＲ軸を中心として回転移動させるためのＲ軸回転機構７６とを備え、Ｒ軸回転機構７６は、ＸＹ移動機構７５による試料台３３の位置に依らず、回転中心であるＲ軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするＲ軸維持機構７７を備える。 （もっと読む）

【課題】対比観察や画像合成に際して、対応する光学画像と電子顕微鏡画像の対の取得作業を容易にする。
【解決手段】電子線撮像手段１１で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段１２で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方で取得され表示手段に表示された画像の倍率を取得し、倍率換算手段で換算した換算倍率に他方の観察手段を設定可能かどうかを判定して表示手段に表示するための換算倍率表示手段を備える。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡画像、光学拡大観察画像の観察視野切り替えをスムーズに行う。
【解決手段】胴部２４の対向する端面を閉塞する一対の端面板と、第一の観察手段として、胴部２４の円筒状側面の第一の位置４１に固定され、試料室２１内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段１１と、第二の観察手段として、胴部２４の円筒状側面であって、第一の位置４１と異なる第二の位置４２に装着され、試料室２１内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段１２と、電子線撮像手段１１及び光学系撮像手段１２の光軸を共通の回転軸に向かう姿勢に維持しつつ、該回転軸までの距離を一定に維持するように、電子線撮像手段１１及び光学系撮像手段１２を胴部２４の円筒状側面に沿って回転させるための回動手段と、観察対象の試料を載置するため試料室２１内に設置され、回転軸と略一致する位置に配置される試料台３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、異なる帯電が混在するが故に、正確な検査，測定が困難になる可能性がある点に鑑み、異なる帯電現象が含まれていたとしても、高精度な検査，測定を可能ならしめる方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線走査個所の表面電位の電位計測結果から、当該走査個所より広い領域の電位分布に基づいて得られる電位を減算する装置、及び方法を提案する。このような構成によれば、特性の異なる帯電現象が混在するような場合であっても、走査荷電粒子線装置による正確な検査，測定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室２１を構成する胴部２４の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部２７と、胴部２４を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部２７は、胴部２４の開口端を閉塞する閉塞板２８と、閉塞板２８を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板２８の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム２９上で閉塞板２８を回転自在に支承する蓋回転軸１４２と、閉塞板２８が開放位置にあるとき、閉塞板２８の回転軸が胴部２４の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板２８の姿勢を保持すると共に、閉塞板２８が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸１４２を保持する保持機構１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料台の角度や観察位置によらず、観察手段を切り替えても観察視野を変化させない。
【解決手段】胴部２４の円筒状側面の第一の位置４１に固定され、試料室２１内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段１１と、胴部２４の円筒状側面であって、第一の位置４１と異なる第二の位置４２に装着され、試料室２１内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段１２と、観察対象の試料を載置するため試料室２１内に設置された試料台３３と、試料台３３の高さを調整可能な高さ調整機構８０と、高さ調整機構８０により調整された試料台３３の高さによらず、電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動できる移動手段とを備え、移動手段により、水平姿勢に維持された試料台３３に対して、観察手段を傾斜させて傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子線装置の位置決め方法及び装置に関し、周期的な揺らぎを減少させることができる電子線位置決め方法及びその機能を具備する電子線装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を発生させる電子源１と、当該電子線を加速、減速、収束及び偏向させる光学系と、当該電子線を走査し、またはブランキング制御するための制御系と、前記電子線が照射される材料７を保持するためのステージ６と、該ステージ６の位置を計測するためのステージ測長系１６ａと、前記材料７から放出される電子線を検出する電子検出部１８と、該電子検出部１８から得られた検出信号を処理するための信号処理系１９とからなる電子線装置において、前記ステージ測長系１６ａからの補正信号に振幅と位相を調整可能な周期信号を加算するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、不感帯等の存在に依らず、高速且つ安定した位置決めを行う試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージのテーブルと駆動機構との間の結合を機械的に分離可能な結合部と、当該結合部を駆動機構によるテーブルの移動停止の前に分離するように制御する制御装置と、テーブル位置の位置を検出する位置検出器を備え、制御装置は、テーブルの粗動時には位置検出器によるテーブルの位置情報に基づいて、フィードバック制御を実施し、微動時には予め設定した速度変位パターンを用いて前記駆動機構をオープン制御するシーケンス制御を実施する試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】試料ステージ装置における、ギャップの初期状態等の駆動条件に影響されることなく、熱ドリフトや振動によるノイズを抑えることが可能で、安定した試料テーブルの高速な位置決め制御方式を提供する。
【解決手段】試料ステージ装置１０は、ギャップ２５，２６等による駆動条件の影響を受けない所定周期毎の理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)を算出し、この所定周期毎に、レーザー干渉計３３，３４等により構成される位置検出器によるリアルタイムな測定位値ｘ(i) ，ｙ(i)と理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)との偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)をリアルタイムに求める構成になっている。その上で、この求められた偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)から測定値ｘ(i) ，ｙ(i)が理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)に追従するようなモータ２７，２８の速度指令値ｖｘ(i) ，ｖｙ(i)を算出し、リアルタイムな速度制御を行うフィードバック制御により、安定した試料テーブル１１の高速な位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）