【課題】高輝度でエネルギー幅が狭く、安定した電子線を得ることが出来る荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 電界放射電子源、それに電界を印加する電極と、電界放射電子源のまわりの圧力を１×１０^−８Ｐａ以下に維持する真空排気部とを備え、放射させた電子線のうち、電子線中央の放射角１×１０^−２ｓｔｒ以内の電子線を用い、電子線の電流の時間に関する二階微分が負または０で、かつ電流の減少度合いが１時間当たり１０％以内となる電流を用いる構成を有する。さらに、電界放射電子源の加熱部と、電子線の電流の検出部とを備え、電界放射電子源を繰り返し加熱することで、放射される電子線の電流を所定の値以上に維持する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電子デバイスの製造に使用されるイオン注入装置の真空室やビームラインの構成部品からの残留物を洗浄する。
【解決手段】残留物を有効に除去するため、構成部品は、残留物を少なくとも部分的に除去するのに十分な時間の間かつ十分な条件下で、気相反応性のハロゲン化物組成物と接触させられる。気相反応性のハロゲン化物組成物は、残留物と選択的に反応し、一方で、真空室のイオン源領域の構成部品と反応しないように選択される。 （もっと読む）

【課題】装置の動作時においてダウンタイムを短縮できる電子銃、電子ビーム描画装置および電子銃の脱ガス処理方法を提供する。
【解決手段】電子銃２０は、電子を放出する電子源４と、電子源４との間で加速電圧が印加されるアノード６と、電子源４とアノード６との間に配置され、電子源４から放出された電子を収束させるウェネルト５と、ウェネルト５に向けて熱電子を放出する電子放出部１２とを有する。電子放出部１２から放出される熱電子をウェネルト５に衝突させて、ウェネルト５の温度を上昇させる方法に従い、効率の良い電子銃２０の脱ガス処理を実現する。電子ビーム描画装置８０は電子銃２０を用いて構成し、脱ガス処理に伴う装置のダウンタイムを低減する。 （もっと読む）

【課題】放出電流が安定で低雑音の電子顕微鏡用の冷陰極電界放出型電子源を提供する。
【解決手段】冷陰極電界放出型エミッタ先端５０３の後方に配置された開口５５４を有するエミッタ包囲電極５５２と、引出電極５０８とにより閉空間を形成し、閉空間の内部に配置された円形フィラメント５３０を加熱する事により放出される電子５２０による衝撃と熱的励起により、引出電極５０８とエミッタ包囲電極５５２の吸着物質５２２、５２６を離脱させ、ギャップ５６０より排気し除去する。 （もっと読む）

【課題】電子銃の異常放電を効果的に抑制することのできる電子銃のコンディショニング方法および電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】加熱により電子を放出するカソードと、カソードとの間でバイアス電圧が印加されるウェネルトと、カソードとの間に加速電圧が印加され、カソードから放出された電子を集束して電子ビームを形成するアノードとを備えた電子銃に対し、アノードとウェネルトの間に電圧を印加してこれらの表面に放電を生じさせる電子銃のコンディショニング方法である。アノードとウェネルトの間への電圧の印加は、電圧を所定値まで増加させた後にこの所定値を超えない範囲で電圧を周期的に変化させて行う。そして、放電の停止を確認し所定時間が経過してから、電圧を周期的に変化させての電圧の印加を停止する。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント端子間の短絡を防ぐ。
【解決手段】フィラメント１、カソード２、グリッド３、アノード４を備え、フィラメント１から発生された電子の衝撃に基づいてカソード２から発生した熱電子をグリッド３の電子通過孔３Ｈを介してアノード４方向に加速する様に成し、フィラメント端子部を碍子８０で支持する様に成し、碍子のアノード側表面に、フィラメント端子部を取り囲む円筒状の壁１１を形成し、筒状壁内の空間部Ｓを、壁内の碍子表面とで挟む有底円筒状のカバー１２を壁１１に取り付け、カバー１２の底部にフィラメント端子部が通る孔Ｈ１，Ｈ２を穿つと共に、空間部Ｓにガスを導入する管１３を碍子８０に設けた。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生装置及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置方法は、カソード；カソードが一側開口部に結合されて内側に共振空洞が設けられたハウジング；及び、カソードとハウジングとの間に設けられ、カソードとハウジングとの間の結合強度に応じて圧縮され、共振空洞を外部と遮断するガスケット；を含む。前記共振空洞は、互いに連結されている第１の共振空洞と第２の共振空洞を含み、前記第１の共振空洞と前記第２の共振空洞は、前記カソードで発生された電子ビームが放出される方向に配列される。 （もっと読む）

【課題】カソードの消耗を抑制し、寿命を延ばす。
【解決手段】中央部が空けられたフィラメント６０´（カソード）、グリッド７及びアノード８を有する電子銃５からの電子ビームを蒸発物質３に当て、蒸発粒子を基板上に膜状に付着させる様に成した電子ビーム蒸着装置であって、電子銃５の中心軸Ｏ′上に、その先端面が、アノード８から見て、フィラメント６０´（カソード）の中央部空間内に位置する様にイオンコレクタ２０を設け、更に、アノード８から見てフィラメント６０´（カソード）側とは反対側に金属板２１を設け、スパッタリングによって生じたイオンコレクタ２０からのチタン粒子を金属板２１上に堆積させ、電子銃５周辺内の酸素ガスを堆積したチタンに吸着させる様に成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、荷電粒子源から放出される一次荷電粒子を長時間安定させ、荷電粒子線装置の安定した稼動を可能にすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、荷電粒子源から荷電粒子線を引き出す引出電極と、を有し、内部を排気するポンプに接続された荷電粒子銃であって、当該荷電粒子銃は、前記荷電粒子線を通す開口を有し、前記荷電粒子源と当該開口を結ぶ領域に、障壁を設けることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、真空度の低い下流側の真空室に存在する分子が、開口を通って荷電粒子源に吸着することを防ぎ、電流ノイズの低減を図ることができる。これにより、荷電粒子線装置の安定した稼動を可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】アークチェンバー内のプラズマからフィラメントをシールドする機能を果たすカソードイオン源に使用されるカソード組立体を提供する。
【解決手段】間接的に加熱されるカソードイオン源が、アークチェンバーを定めるアークチェンバーハウジング、間接的に加熱されるカソードおよびカソードを加熱するフィラメントを含む。カソードは、正面、背面および周囲を有する放出部分、放出部分の背面に取り付けられる支持ロッド、ならびに放出部分の背面から伸長するスカートを含む。カソード組立体がカソード、フィラメントおよびカソードとフィラメントとを固定した空間関係で取り付けるため、さらにカソードおよびフィラメントに電気的エネルギーを伝えるクランプ組立体を含む。フィラメントは、放出部分およびカソードのスカートにより定められる空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム装置の保守が容易で、連続排気用の真空ポンプを作動させないで真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム放射窓２４を清浄な空気環境に制御された場所内で真空チャンバ４６に気密にろう付け、溶接または接着結合して密封して連続排気用の真空ポンプを作動させないで持続的に真空を維持する真空チャンバ４６を設け、真空チャンバ内に配置した電子発生器３１で電子を発生し、電子発生器をハウジング３０により囲み、このハウジングは、電子発生器と電子ビーム放射窓間に開口が形成され、ハウジングと電子ビーム放射窓２４間に電圧が供給されたときに、電子を電子発生器３１から電子ビームにして電子ビーム放射窓２４の外に加速し、真空チャンバ内の分子をイオン化し、真空チャンバ内にイオン化された分子を捕獲して真空チャンバ内の真空度を上げる電子加速方法。 （もっと読む）

【課題】カソード寿命を改善させることが可能なタレット電子銃及び電子ビーム描画装置を提供すること。
【解決手段】本発明のタレット電子銃は、複数の空気抜き用開口部２０が設けられた円筒型の側部１５１と、この側部の一端に形成され電子ビーム射出用開口部１６が設けられた底部を有するウェネルト１５と、このウェネルト１５の内部に設けられたエミッタ１７と、このエミッタ１７に電流を供給するフィラメント１８を挟み込み、ウェネルトの側部１５１の他端を封止する碍子を備える複数のカソード１４と、複数のカソード１４をそれぞれ保持し、ウェネルト１５の側部の空気抜き用開口部２０においてウェネルト１５との間に所定幅の間隙を有する複数の開口部１３３を側面に備えるバレル１３を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、複数のカソードを備えた荷電粒子銃を収容するチャンバー内に存在するパーティクルを除去することができるパーティクル除去装置、パーティクル除去用補助具およびパーティクル除去方法を提供する。
【構成】本発明は、複数のカソードを備えたタレット電子銃を収容するチャンバー１０１の開口部１０７ａに、吸気部１０９を有するアダプタ１０８を取り付け、チャンバー１０１の開口部１０７ｂには、排気部を有し、この排気部１１１に真空掃除機１１５を接続したアダプタ１１０を取り付け、チャンバー１０１内に吸気部１０９から排気部１１１に流れる気流１１２を形成することで、チャンバー１０１内に存在するパーティクルを除去する。これによりチャンバー１０１内において、パーティクルの存在に起因する放電を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 電子銃を構成する電極あるいは絶縁体の表面に存在する放電要因を効率的かつ効果的に除去し電子銃の耐電圧特性を簡便に向上させる。
【解決手段】 電子銃のコンディショニング処理装置１０には、電圧供給部１１、該電圧供給部１１の出力電圧を調整する電圧調整部１２、電子銃の電極間に流れるリーク電流を検出する電流検出部１３が備えられる。また、電子銃内を減圧状態に調節するための真空排気部１５、圧力検出部１６が取り付けられている。そして、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）１７が、電流検出部１３で検出するリーク電流あるいはその基準値との比較等に基づき、データ処理を行い、電圧供給部１１から接続部１４を通して電極間に印加される電圧を電圧調整部１２を介して制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】真空容器において塵埃が残留または混入しても耐電圧性能を損なうことなく運転できるようにする。
【解決手段】本発明による直流高電圧真空装置は、絶縁壁によって形成されたケーシングと、該ケーシング内に形成された真空排気された密閉空間と、該密閉空間内に配置され直流が印加される電極と、上記密閉空間内の塵埃を捕捉する塵埃捕捉容器と、を有し、該塵埃捕捉容器は上記電極によって形成される電界の影響を受けない位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線描画装置において荷電粒子銃付近のパーティクルの除去を行なう器具を提供する。
【解決手段】 本発明は、電子線描画装置における電子銃のカソード１５０付近のパーティクルを掃除機５０６を用いて除去する場合のカソードクリーナ１００であって、所定の方向を残してカソード１５０を覆う胴部１１０を備え、かかる胴部１１０において、カソード１５０を覆った状態で、掃除機５０６を用いて上述した所定の方向から胴部１１０内部の気体を吸引した場合に、カソード１５０の側方から胴部１１０内部に気体が流入するためのブロー口Ｂが形成されたことを特徴とする。本発明によれば、ブローにより舞い上がった電子銃付近のパーティクルを所定の方向から吸引することができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能で小型の荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッターポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用する。さらに，磁界重畳型電子銃では取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，小型化と簡便な保守を可能にする。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）