【課題】電子顕微鏡において、試料観察領域への干渉磁界の影響を軽減する装置及び方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡１０の試料チャンバー２０のチャンバー壁２１に、Ｘ、Ｙ、Ｚそれぞれの方向の磁界補償コイル４１を収容する領域を設け、試料３０やレンズアパーチャ１８近傍の高感度領域に於ける外部の干渉磁界を磁気センサー４２により計測して、それぞれの磁界補償コイル４１の磁界を調整し補償する磁界補償用のシステム４０を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ法によって得られる三次元像の画質を向上させることが可能な、電子顕微鏡及び三次元像構築方法を提供すること。
【解決手段】試料を複数段階に傾斜させる試料傾斜手段と、前記試料傾斜手段によって設定された各傾斜角度θにおいて得られる透過電子顕微鏡像ＴＩを取得する像取得手段と、取得した傾斜角度θ毎の透過電子顕微鏡像ＴＩに基づき試料の三次元像を構築する三次元像構築手段とを含み、試料の三次元像の構築に用いる透過電子顕微鏡像ＴＩの領域の幅ｂを、傾斜角度θに応じて傾斜軸に垂直な方向に変化させる。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡装置１は、電子線３を放射する電子銃と、放射された電子線を収束する収束レンズ４と、収束された電子線が放射され、試料１８，１９を配置する複数個の試料台と、試料台を移動する試料移動制御装置と、複数個の試料を透過した電子線を結像する結像レンズ７と、結像された電子線の有するエネルギー量により電子線を分光し、エネルギー分散軸及びエネルギー分散軸と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力して複数個の試料より同時にスペクトル像を取得する電子分光器８と、取得したスペクトル像を表示する画像表示装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料を配置し、少なくとも一つの試料台が移動可能であり、試料ホルダ内に配置した全ての試料から高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等を取得可能な荷電粒子装置用試料ホルダを実現する。
【解決手段】試料ホルダ１８の先端部で試料ステージ３０、３１にそれぞれ試料台４０、４１が設置された後、押さえ板４２、４３が試料台４０、４１上に載せられ、その後、固定ネジ４４、４５により試料台４０、４１及び押さえ板４２、４３の両者が試料ステージ３０、３１に固定される。除振機構４６は、試料ホルダ１８の先端部側に配置されている。除振機構４６が試料台４１に接触した状態となることにより試料台４１の振動を防止または抑制することができる。これにより、高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等が取得可能となる。 （もっと読む）

【課題】電子回折断層撮影の方法を提供する。
【解決手段】当該発明は、透過電子顕微鏡における電子回折断層撮影のための方法を記載する。知られた方法は、走査透過電子顕微鏡を使用することを伴うと共に、ＳＴＥＭの回折の走査されたビームを使用する。当該発明は、結晶と比べてわずかにより大きい直径を備えた静止のビーム（２００）で回折パターンを形成することを提案するが、それの結果としてＳＴＥＭユニット無しのＴＥＭは、使用されることができる。結晶を見出すことは、ＴＥＭのモードにおいてなされる。当該発明に従った方法の利点は、走査するユニット無しのＴＥＭが、使用されることができると共に、全体の結晶が、回折パターンを得る一方で、照明される際に、回折のボリュームが、結晶の配向に依存するものではないというものである。 （もっと読む）

【課題】１台の装置で二次電子放出像及び透過電子像の双方の像の取得を行うことができる荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】試料保持手段５に保持された試料６の表面に集束レンズ２を介して荷電粒子ビーム８が照射され、これにより試料６の裏面側から発生した二次電子９が加速電極７によって下流側に加速され、該加速された二次電子９が対物レンズ３及び結像レンズ４を介して検出手段１０に到達し、これにより検出手段１０上で結像された二次電子放出像の検出を行うことができるとともに、対物レンズ３及び結像レンズ４の励磁条件を切り替えることによって、試料６からの透過電子を検出手段１０上に結像させ、これによる試料６の透過電子像の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダ及びマルチビームシステムに関し、プリティルトホルダを用いて薄膜加工とＳＴＥＭ観察を試料の乗せ替え無しに行なうことができる試料ホルダを提供することを目的としている。
【解決手段】透過電子検出器２５を電子光学系の電子ビームが試料２３を透過する延長線上に備え、加工状況を２次電子像と走査透過電子像を少なくとも２種類以上同時或いは交互に観察可能になるように試料配置する試料ホルダを有するマルチビームシステムに用いる試料ホルダであって、所定の厚みまで加工した試料を固定するメッシュ２３ｂと、該メッシュに加工した試料をセットするチップオンカートリッジ３０と、該チップオンカートリッジが取り付けられる試料ホルダ部４０とから構成される。 （もっと読む）

【課題】デバイス試料の傾斜ズレによる測長誤差を最小化する。
【解決手段】測長前に、試料の単結晶部分から回折パターンを取得し、取得された回折パターンに基づいて荷電粒子線に対する試料の傾斜角を補正する。 （もっと読む）

【課題】スクリーニング現象に対して対処可能な電子ホログラム形成装置及び電子線ホログラム形成方法を提供すること。
【解決手段】電子線ホログラム形成装置は、試料に電圧を印加するための第１電極及び第２電極を備える。電子線ホログラム形成方法は、試料に電圧を印加した状態で試料に電子線を照射して電子線ホログラムを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。
【解決手段】１以上の試料を特徴付けるための超高速システム（および方法）である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が１ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは１ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号（たとえば、データ信号）を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の自動試料傾斜装置に関し、試料傾斜角を自動で調整することができる電子顕微鏡の自動試料傾斜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料移動機構７及び試料傾斜機構８の動作を制御する制御装置と、試料３を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系６と、結像した像を像信号化する像取得手段９と、前記像信号を記憶する記憶手段１１と、該記憶手段１１に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータ１０と、該コンピュータ１０は、試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段１１に記憶し、取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、円の半径が最小となる試料傾斜角を最適傾斜角とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】電子線装置において、基板上に粒子を堆積した標準試料を用いて収差補正を行う際に、高精度な観察及び分析を可能とし、より精度の高い収差補正を容易且つ正確に行う。
【解決手段】ＳＴＥＭ装置の収差補正に際して、Ｓｉからなる単結晶基板１０１上にＡｕパーティクル１０２が堆積されてなる標準基板を用い、電子線回折像及び菊池パターンに基づいて、標準基板の傾斜を調節する。この状態で電子線を合焦し、Ａｕパーティクル１０２の形状を算出して、Ａｕパーティクル１０２の円形近似との差異を解析し、この解析結果を踏まえて収差補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡装置１は、電子線３を放射する電子銃と、放射された電子線３を収束する収束レンズ４と、収束された電子線３が放射され、試料を配置する複数個の試料台２０，２１と、試料台を移動する試料移動制御装置２２と、複数個の試料を透過した電子線３を結像する結像レンズ系７と、結像された電子線３の有するエネルギー量により電子線３を分光し、エネルギー分散軸及びエネルギー分散軸と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力して複数個の試料より同時にスペクトル像を取得する電子分光器８と、取得したスペクトル像を表示する画像表示装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】トモグラフィー法にあって、試料を試料台の回転軸上に容易に搭載でき、全回転角において、観察・分析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡にも共用される、試料台が備えられている試料回転ホールダにあって、試料台の軸心上の試料搭載側先端に球体部を設け、粉体試料を効率よく回転軸中央に装着し、試料回転ホールダ及び試料台それぞれの各回転角で、三次元再構成時の取得画像の位置合わせが正確に行え、三次元再構成像を高精度で得ることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ２１は、電子線照射による観察対象とされた試料９が保持される試料保持部２１ａと、試料保持部２１ａに取付けられた複数の板バネ２１ｂとを備え、電子線が通過する開口２０ｂが形成されたホルダ支持部材２０の該開口２０ｂに該板バネが係合する。これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡に用いられる電磁レンズの中で最も重要な役割を担う対物レンズは、大きな励磁電流によって短い焦点距離を実現し、高い空間分解能を発揮する。その反面、寸法計測に用いた場合には、磁気的ヒステリシスが原因で結像条件の再現性が不十分であり、200から2000倍程度の低倍率での観察も困難であった。また、試料を対物レンズ内に生じた磁場中に配置するため、試料は常に磁場に浸漬された状態で観察されていた。
【解決手段】 試料が通常の観察時に配置される対物レンズ内に加え、この位置に1/5から1/30の倍率で像を転写するような、対物レンズ外の電子線進行方向の上流側にも試料を配置する機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ又はＴＥＭにおいて、より高分解能の観察・検査を行う。
【解決手段】 枠状部材１５０ａの開口１５０ｂが膜１５０ｃにより覆われており、膜１５０ｃの第１の面に試料３１５を保持するための試料保持体１５０において、膜１５０ｃの厚みＤと、膜１５０ｃにおいて枠状部材１５０ａの開口１５０ｂを覆っている部分の周囲長Ｌとの関係が、Ｌ／Ｄ＜２０００００となっている。 （もっと読む）