【課題】重い原子及び軽い原子を同時に観察可能な電子顕微鏡像を生成する画像処理の方法を提供する。
【解決手段】方法は、走査透過型電子顕微鏡により試料を撮像した暗視野像であって、走査透過型電子顕微鏡の光軸からの第１角度と、第１角度よりも大きい第２角度との間に散乱した電子を検出して得られた暗視野像を取得し、この暗視野像と共に撮像された明視野像であって、第１角度よりも小さい第３角度以内に散乱した電子を検出して得られた明視野像を取得し、暗視野像の明暗を反転して反転像を生成し、反転像の各画素の輝度と、反転像の各画素に対応する明視野像の画素の輝度との差を、各画素の輝度とする差分像を生成する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の触媒層についての透過型電子顕微鏡による観察において、視野内に含まれる触媒粒子のうち、一定数の触媒粒子を選んで粒子径評価を行うことでは、相対的な粒子径分布は得られるものの、触媒粒子に関する定量的な解析を行うことは困難であった。
【解決手段】燃料電池触媒層から切り出した試料の厚さを、燃料電池触媒層の導電性担持体である炭素粒子の直径と同等の10nm以上200nm以下の一定の厚さまで薄くし、透過型電子顕微鏡像で炭素粒子に担持した触媒粒子の重なりが少なくなるので、個々の触媒粒子を区別して評価できる。透過型電子顕微鏡観察用試料を作製する際に、厚さを測定し、試料の厚さと透過型電子顕微鏡で観察した視野とを乗じた体積で規定される触媒層中に含まれる触媒粒子の粒子径および個数を求めることができるため、一定体積中に含まれる白金量を定量的に評価できる。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡において、試料の透過像をディスプレイにリアルタイムに表示するとともに、試料ドリフトによる視野ずれの自動補正を行う。
【解決手段】透過電子顕微鏡を制御するコンピュータが、試料の透過像をディスプレイへ表示させるための表示用画像メモリの他に、透過像の位置の移動を算出するための画像処理用メモリを少なくとも２個備え、画像処理用メモリに保持された画像から透過像の位置の移動を算出し、試料の位置を変えて視野ずれを補正するための視野補正装置へ補正信号を送信する演算ユニットを備える。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。
【解決手段】１以上の試料を特徴付けるための超高速システム（および方法）である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が１ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは１ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号（たとえば、データ信号）を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、正確かつ迅速に結晶性試料の方位合せを行うことに関する。
【解決手段】本発明は、走査透過像と電子線回折像を用いた結晶方位合せにおいて、走査透過像における試料の結晶配列方向と、電子線回折像の方向を一致させることに関する。例えば、走査透過像の試料の結晶配列方向に連動して、電子線回折像を撮影するＴＶカメラの受光面を直接あるいは間接的に回転させる。また、例えば、複数の投射レンズに通電する電流を変化させ、電磁レンズの作用によって電子線回折像の方向を変化させる。本発明によれば、ＳＴＥＭの光軸に対して試料の結晶方位を合わせる際、試料を傾斜させるべき方向を電子線回折像の形状から直接判断することができるため、正確かつ迅速な結晶方位合せが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板１４に投影された場合、その像を取り込む像取得装置１６と、該像取得装置１６を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置１６で得た像信号を記憶する記憶手段２１と、該記憶手段２１に記憶された像情報を演算処理する演算手段２０とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置１６を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における高分解能像観察時など、電子光学系上に存在する浮遊磁場は像を劣化させる直接的な要因の一つであり、その影響の程度を評価し対策を採ることが必要である。しかし、従来の電子線のスポットを評価・観察する方法では、感度・精度共に十分ではなく、しかも、像観察光学系とは異なる光学条件での測定であるため、測定結果が正しく像観察条件を評価できない場合もあった。
【解決手段】本発明では例えば高分解能像観察光学系において、試料位置を電子光学系の光軸上に変化させて格子像を観察し、格子像のコントラストとそのときの試料位置との関係より、結像に影響を与えている浮遊磁場を定量的に評価する。 （もっと読む）

【課題】 電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、電子の加速電圧を変化させることなく、一枚の高分解能電子顕微鏡像を取得するだけで簡便に且つ精度良く色収差係数を測定する。
【解決手段】 球面収差補正された電磁レンズを通過した収束電子線を結晶構造及び格子定数が既知の単結晶試料に入射して、分解能が０．３ｎｍ以下の高分解能走査透過電子顕微鏡像を取得する際に連続的に前記電磁レンズの焦点ずれ量を変化させた顕微鏡像を実測により取得し、前記顕微鏡像を走査方向に平均化した強度プロファイルから回帰曲線を求め、前記顕微鏡像と同じ条件で理論計算で求めた理論顕微鏡像の計算結果から得られる色収差係数と前記回帰曲線のパラメータを比較することによって、前記電磁レンズの色収差係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】結晶サンプルの電子線回折トモグラフィのための方法及びデバイスであって、サンプル３８の別個の場所４２、４３毎にビームが収束するようなビーム走査プロトコルと組み合わせて、サンプルの複数の別個の場所にわたる電子ビームの走査を利用して、一連の電子線回折パターンを入手し、テンプレートマッチングを用いて、結晶方位及び厚みマップを特定し、共通の強度スケールファクターを入手する。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ試料作成のための改善された方法。
【解決手段】ＦＩＢ／ＳＥＭデュアルビームにおいてＳＥＭ−ＳＴＥＭ検出器を使用することにより、ＳＴＥＭ信号で試料膜厚を観察しながら、ＦＩＢを用いて試料を薄膜化することができる。本発明の好ましい一つの実施形態では、再現性があって自動化に適している正確なエンドポイント検出の方法を使用することによって、Ｓ／ＴＥＭ試料の膜厚を測定し、Ｓ／ＴＥＭ試料を作成することができる。また、好ましい実施形態では、ＴＥＭ薄膜作成中に自動的なエンドポインティングを実現することができ、手動による薄膜化中に使用者に試料膜厚に関する直結フィードバックを提供することができる。したがって、本発明の好ましい実施形態では、試料を薄膜化する際にエンドポイントを決定するための改善された方法、及びＴＥＭ試料作成のスループットと再現性を向上するように、部分的又は完全に自動化されたエンドポインティングの方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、ＴＥＭ中において超高速時間分解でその場でイメージングする四次元超高速電子顕微鏡（ＵＥＭ）に関する。単電子イメージングが四次元ＵＥＭ技術の要素技術として使用されて、従来の技術では得ることができない高空間および時間分解能が得られる。本発明の他の実施形態は、電子ビームを試料に収束して、三次元での構造的な特徴を時間の関数として測定する収束ビーム型のＵＥＭについての方法およびシステムに関する。また、実施形態によって、試料の四次元イメージングだけでなく、電子エネルギーのキャラクタリゼーションが得られて、時間分解電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）が実行される。 （もっと読む）

サンプル（２６）を画像化する電子ビーム（３０）とともに使用される装置（１０）。装置は、サンプルに入射する電子ビームによって発生する電子顕微鏡信号（３２）を検出するように構成されたダウンコンバージョン検出器（１４）と、ダウンコンバージョン検出器に隣接し、電子顕微鏡信号を検出するように構成された直接衝撃検出器（１６）と、ダウンコンバージョン検出器および直接衝撃検出器を電子顕微鏡信号に選択的に暴露する機構（１８）とを有する。また、装置を使用する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 分割検出器を用いなくても試料の磁化状態を解析することができる。
【解決手段】 図６（ａ）に示すように、透過スポット像Ａ_１１中における透過スポットＡの重心座標（ｘ_１，ｙ_１）を求める。また、図６（ｂ）に示すように、電子ビームスポット像Ｂ_１１中における電子ビームスポットＢの重心座標（ｘ_２，ｙ_２）を求める。そして、２つの重心座標（ｘ_１，ｙ_１）（ｘ_２，ｙ_２）に基づき、２つの座標間の距離Ｌ_１１と、重心座標（ｘ_２，ｙ_２）から（ｘ_１，ｙ_１）へ向けての方向Ｖ_１１を求める（図６（ｃ）参照）。方向Ｖ_１１は、観察点Ｐ_１１における磁化の方向に相当し、距離Ｌ_１１は、観察点Ｐ_１１における磁化の強さに相当する。 （もっと読む）

【課題】 高性能透過型電子顕微鏡において、アクチュエータに圧電素子を用いたシャッタ装置の駆動による機械的振動をより減少させる。
【解決手段】 圧電素子２６ａと２６ｂに正電圧が印加されると圧電素子２６ａと２６ｂは固定部材２７の中心方向に曲がる。圧電素子２６ａの曲がりによって生じる力点２３ａの微小移動はテコ体２３により拡大され、シャッタ板２５に伝達されて電子線通過孔２２を覆う。圧電素子２６ａが変形するとき、圧電素子２６ｂは圧電素子２６ａと反対向きに変形し圧電素子２６ａと逆位相の振動を発生させるので、固定部材２７上でシャッタ板２５の駆動により発生する振動を打ち消すことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法に関し、電子顕微鏡による観察において、容易に歪みを測定し、形状と輝度の両方を補正することができる電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法を提供することを目的としている。
【解決手段】ホーリーカーボンを用いて試料を作成し、ＴＥＭに挿入して観察に適したレンズ状態にし、結像系により結像された画像をデジタルカメラにより取り込み、取り込んだ画像を表示すると共に、等間隔に格子状に並んだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示し、表示された画像の周辺に表示されたボタン等を用いて、模式図を実際の孔に合わせ込み、模式図を実際の孔に合わせ込んだ時の歪みの中心と歪みの大きさを算出し、これら歪みの中心と歪みの大きさを記憶するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過電子顕微鏡における画像の輝度調整方法及びシステムに関し、透過電子顕微鏡の光学条件は同一のまま、最適な輝度で画像データを取得することができる透過電子顕微鏡における画像の輝度調整方法を提供することを目的としている。
【解決手段】透過電子顕微鏡で作成した試料像をカメラ４で観察する場合において、透過電子顕微鏡の光学条件を変更した場合、当該光学条件の変更に伴って透過電子顕微鏡で作成した試料像の輝度を、前記光学条件から算出される補正値を用いてカメラ４の感度を変更することで調整するように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子線回折像の解像度を向上させる走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ステージ９上に装着される試料ホルダー３０内の電子線通過孔は、電子線光軸Ｏに沿った方向の孔３１と該孔に連なり且つ該孔の方向に対し垂直な方向の孔３３から成り、孔３１と孔３３との境界部に散乱角制限絞り１１が挿入され、孔３３内に電子線光軸Ｏに対し傾けてシンチレーター１３が設けられており、該孔３３の出口部には光電子像倍管１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 試料傾斜機構や人間では制御できない傾斜を電気的に行い、精密な傾斜合わせを実現する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 高電圧電源に接続した電子銃１から発生し加速された電子線Ｅは、コンデンサレンズからなる収束レンズ３で収束されてから、偏向部４の２段の偏向コイルにより傾斜されて試料室５内の試料載置台上の試料５に照射される。対物レンズ６には、試料載置台に載置支持された試料５ａを透過した電子線が入射する。収差補正器７は、対物レンズ６で発生した収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】粒子−光学機器における試料の映像の繰り返し形成方法である。
【解決手段】一連の実測的映像が結像パラメータ（例えば、焦点距離）の異なる設定で記録され、比較可能な映像群が前記試料における電子波に基づいて計算（評価）される。これら２つの群は比較され、電子波が計算（フィードバック）され、前記実測的映像群により近い新しい映像群が計算される。この繰り返し工程は、前記実測的映像群と前記計算された映像群との間の対応関係が満足行くまで繰返される。この後、これに関連する電子波が、前記試料の所望の映像であると考慮される。ＦＦＴにより処理を実行することにより前記評価工程とフィードバック工程の計算時間を大幅に短縮できる。これは、両工程において計算されるべき相関式を、ＦＦＴにより計算可能な純相関積分として生じるように書くことで可能となる。計算時間を、５０，０００程度の大きさの係数により減少することが出来る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子ビームを受けた際に発生するＸ線の量を低減することができるＸ線低減ミラーを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のＸ線低減ミラー１０は、樹脂フィルム１６と、前記樹脂フィルム１６上に形成された金属薄膜１７とを備えている。このＸ線低減ミラー１０は、電子ビームを受けた際に発生するＸ線の量が、従来のミラーと比較して小さいので、高解像度ＣＣＤカメラに内蔵されたＣＣＤ素子のＸ線による影響が低減される。その結果、このＸ線低減ミラー１０を使用する荷電粒子線装置によれば、試料の可視化像に基づいて試料をデジタルデータで評価および分析を行う際に高精度で行うことができる。 （もっと読む）