【課題】成膜においてステップカバレージを向上させる。
【解決手段】アーク放電によりターゲットの正イオンを含むプラズマビームを生成し、そのプラズマビームを基板上に照射して薄膜を成膜する成膜方法において、プラズマビームに向けて不活性ガスを導入し、この導入した不活性ガスによりプラズマビームを散乱させ、散乱させたプラズマビームを基板上に照射する。プラズマビームを散乱させることで、プラズマビーム中に含まれる正イオンの進行方向を、基板面に対して一方向（垂直方向）に限らず種々の方向として、基板面に対するイオンの入射角を分散させ、これによって、側壁への膜付着の確率を高め、ステップカバレージを向上させる。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、しかも潤滑剤の付着率が高い保護層を有し、耐久性に優れた磁気記録媒体及びその効率的な製造方法の提供。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体は、基板上に、磁性層、保護層、及び潤滑剤層を、前記基板側からこの順に有してなり、前記保護層が、ダイヤモンドライクカーボンからなる第１保護層と、ケイ素含有化合物を含む第２保護層とを、前記基板側からこの順に有している。本発明の磁気記録媒体の製造方法は、基板上に磁性層を形成する磁性層形成工程と、該磁性層上に保護層を形成する保護層形成工程と、該保護層上に潤滑剤層を形成する潤滑剤層形成工程とを少なくとも含み、前記保護層形成工程が、前記磁性層上にダイヤモンドライクカーボンからなる第１保護層を形成した後、該第１保護層上にケイ素含有化合物を含む第２保護層を形成することを含み、前記第１保護層の形成がフィルタードカソーディックアーク法により行われる。 （もっと読む）

【課題】粒子径の揃った粒子を基板上に堆積させる装置および方法の提供。
【解決手段】原料ガス中の原料を反応させることにより粒子を生成させ、前記粒子を基板上に堆積させる粒子堆積装置。この装置は、内部に反応室と後室とを有し、前記反応室に連絡した原料ガス供給口と前記後室に連絡した排気口と前記後室内に配置され且つ前記基板を保持可能なホルダとを具備してなる反応容器と、前記反応室内にプラズマを生じさせるプラズマ発生装置と、前記プラズマを生じさせながら、前記排気口より反応後のガスを排出させるガス流制御手段とを具備してなる。この装置により、導入された原料ガスを反応させて粒子を形成および成長させ、プラズマによるクーロン力と、ガス流による抗力とのバランスによって、所望の粒径を有する粒子のみを選択し、基板上に堆積させる。 （もっと読む）

【課題】基体に凹凸が生じる事態を回避しつつ、薄膜の形成時における基体の熱変形や穴あきを回避し得る薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】長尺帯状のベースフィルム１１（基体）を巻回した繰り出し側ロール１１ａからベースフィルム１１を繰り出して冷却ドラム２２に沿わせて走行させつつ気相成長法によってベースフィルム１１の上に磁性層（薄膜）を形成する際に、反発硬さが６９１Ｌ値以下の繰り出し側ロール１１ａを使用すると共に、ベースフィルム１１における冷却ドラム２２に接している部位の薄膜形成面（磁性層の形成面）に電子線照射装置２３によって電子線を照射する。 （もっと読む）

【課題】高密度磁気記録媒体を安価に作成する.
【解決手段】平坦な基板101上に周期的凹凸構造を有する非磁性中間体114を形成し、中間体上に磁性膜111を形成する。 （もっと読む）

【課題】所望の領域に所望の材料を配置するデバイスにおいて、プロセスの簡素化を行う。
【解決手段】表面に第１の材料を有する基板101上に、第２の材料と第３の材料とを含む膜を形成した後、エネルギー照射により、第３の材料の表面張力を利用して、基板表面の第１の領域上に前記第２の材料102が、前記基板表面の第２の領域上に前記第３の材料103が来るように、前記第２の材料および前記第３の材料を移動させる。
【効果】簡便に微細なデバイスを製造できる。 （もっと読む）

【課題】 不純物の混入がすくなく、磁気特性が向上した磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 磁性粒子部分が非磁性部分に分散して配置した記録層を有する磁気記録媒体の製造方法において、基体上に気相成膜法でＣｕまたはＡｇ粒子部分を非磁性部分に分散して配置する第１工程と、気相成膜法で前記ＣｕまたはＡｇ粒子部分に磁性粒子部分を積層し、非磁性部分にはさらに非磁性部分を積層する第２工程と、積層後に熱処理を行う第３の工程とを有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】表面に高精度で微細パターンが形成された基板を得ることができ、かつプロセス条件や材料選択の自由度の大きな薄膜形成基板の製造方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有する金型用基板１上に単層または多層の薄膜２を成膜する成膜工程と、この金型用基板１と加熱により軟化する材料からなる被転写基板３とを上記薄膜２を介して加熱加圧する加熱加圧工程と、少なくとも被転写基板３の一部が上記薄膜２により被覆された状態とするために金型用基板１を除去する基板除去工程とを含む方法からなる。 （もっと読む）

【課題】パターン化された記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に磁性膜を蒸着する工程と、磁性膜上に均一に分布された複数の貫通ホールを備えるハードマスクを整列する工程と、ハードマスクの全面に光を照射する工程と、ハードマスクを除去する工程と、を含むパターン化された記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】磁気転写用マスターディスクの製造において、原盤から金属板を剥離する工程で、凹凸状パターンの破損を生じさせない剥離方法を提供する。
【解決手段】多数の凹凸状パターンが形成されている原盤２６の表面上に導電層を形成する工程と、原盤を電解液に浸して導電層上に金属を電着することにより、所定厚さの金属板よりなる反転盤であるマスター基板１２を形成する工程と、マスター基板の形成後に、原盤の表面とマスター基板の電着面とが平行をなす状態を維持したまま、原盤からマスター基板を剥離する剥離工程と、マスター基板の表面上に磁性層１４を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】工作物を３次元空間で自由に移送できる工作物真空処理用の移送装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】ディスク状の工作物を、その製造の間に一次的に真空雰囲気内で移送するためのチャンバ１は、工作物２２と、軸を中心に回転可能な多数の工作物収容部２０とを通過させる少なくとも２つの開口部４、６を備える。チャンバ１内には、開口部４に整合され、回転可能な工作物収容部２０から独立して軸承される移送機構３０ｂが配置される。移送機構３０ｂは、径方向に制御されて引出し又は引き戻し可能であり、開口部領域において工作物に作用する。チャンバ２は、少なくとも１つの工作物収容部５２を備える。工作物収容部５２は、移送機構４６に配置される。移送機構４６は全体として軸Ａ_４４を中心に回転駆動され、かつ直線状に引出し又は引き戻される。 （もっと読む）

【課題】本発明は，高密度磁気記録媒体の作製において従来技術が抱えてきた本質的な問題点を解消することを目的とするものであり，磁気記録媒体に活用できる磁性微粒子の作製技術に関わり，更に詳しくは磁性粒子のサイズならびに配列の制御，ならびに磁性粒子の磁気特性の改善に関わる磁性微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】イオンエッチングを用いることにより磁気特性の制御と微粒子形成をそれぞれ独立に制御可能な磁性微粒子の製造方法であることを特徴とする。強磁性薄膜，若しくは非磁性層
/ 強磁性層の積層薄膜に高エネルギーイオンを照射することにより磁性微粒子を作製する。強磁性薄膜作製時において製膜条件を調整することにより所望の磁気特性を発現させ，その後のイオンエッチングによって微粒子形成ならびにその組織制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体をはじめ、不揮発メモリ、巨大磁気抵抗効果素子、スピンバルブ膜、トンネル効果膜、各種センサー、ディスプレイ、光学素子等の各種分野に好適な積層構造体、磁気ヘッドの書込み電流を増やすことなく高密度記録・高速記録が可能で大容量であり、オーバーライト特性に優れ、均一な特性を有し、特に媒体飽和磁化（ｔＢｒ）・異方性磁界（Ｈｄ）に優れた高品質な磁気記録媒体等の提供。
【解決手段】 金属ナノピラーの材料で形成されかつその長さが略一定である複数の金属ナノピラーによって貫通され、絶縁層の材料で形成された絶縁層を複数積層した状態で有してなる積層構造体である。基板上に、前記積層構造体を有してなり、該基板面に対し略直交する方向に、磁性材料で形成された金属ナノピラーが位置している磁気記録体である。 （もっと読む）

【課題】 優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダならびに優れたヘッドの浮上安定性を有する磁気記録装置ならびに、このような優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダを短時間で製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体またはヘッドスライダまたはその両方について、保護層を下層とその上にある上層との二層で構成し、下層のイオン化ポテンシャルが上層よりも小さく、上層の表面自由エネルギーが４５ｍＮ／ｍ以下であるようにする。 （もっと読む）

本発明は、情報記憶媒体に関し、特に、磁性材料の複数の離散的なアイランドを含む超高密度磁気情報記憶媒体に関する。
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識別情報を有する対象物（５０）を識別する方法であって、上記識別情報が対象物の同一性を検証するために使用される方法において、タグ（５００，５０１，５０２）の少なくとも一部の磁場（５７）の少なくとも一つの特性を決定することにより、第１の特定の磁気信号を得るステップと、上記第１の特定の磁気信号に関連する信号情報を記憶するステップと、を含み、タグ（５００，５０１，５０２）が複数の細孔を有する実質的に非磁性の母材を備え、上記細孔の少なくとも一部が磁性材料を含み、上記記憶された信号情報が対象物の識別情報を形成する、方法。

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