Fターム［5F031GA01］の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送装置、手段 (13,292) | 保持部 (5,617)
Fターム［5F031GA01］の下位に属するFターム
フォーク (2,669)
把持・挟持によるもの (669)
フック (53)
真空吸着によるもの (850)
ベルヌーイチャック (159)
その他の保持機構 (117)
保持部の材質 (249)
保持部の製造方法，加工方法 (78)
移送装置に付加的機構を一体化したもの (669)
切換えて使用可能な複数の保持部を持つもの (43)
Fターム［5F031GA01］に分類される特許
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低温半導体製造装置
本発明の一形態において、本発明の半導体製造システムは、不活性ガスが吸気及び排気できる真空ハウジングと、システム内に配置された多数の蒸着チャンバとを含む。本発明の装置は基板２２２、支え電極２２４、基板電源２３６、ガス吸入口２３２、質量流量計２３３、ガス供給源２８、真空ポンプシステム２３４、ポンピングポート２３６、磁石１０２、１０４、１０６、１０８、ターゲット１１０、１２０、電子制限区域１３０及び電源１４０を含む。
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