【課題】空気の巻き込みによる基板の位置ずれを防止できる基板載置装置を提供する。
【解決手段】基板１０を載置する基板載置装置１００は、基板１０を保持するステージ３０と、ステージ３０に設けられ、基板１０を吸着する真空チャック３１とを備える。真空チャック３１は、ステージ３０の表面３０ｓに配列された吸着孔３２を有しており、真空チャック３１は、ステージ３０の一端３０ａから他端３０ｂに向けて基板１０の吸着を実行する。 （もっと読む）

【課題】基板をトレイに移載するトレイ搬送ユニットから搬送部へトレイを移送するときに、基板の移載および搬送部への搬送が、スムーズに行われることが可能な基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、制御手段により各ポジションに回動させる。 （もっと読む）

【課題】ステージ装置上から基板を迅速に搬出する。
【解決手段】 基板搬出装置６０は、基板が載置された基板トレイ９０を吸着保持して、水平面に平行にスライドさせることにより、基板トレイ９０を基板ホルダ５０から搬出し、エア浮上装置６８上に載置する。また基板搬出装置６０では、基板トレイ９０が進行して来る前に予めエア浮上ユニット６８を、その上面が基板ホルダ５０に近い側が低くなるように傾斜させておき、基板トレイ９０の進行に応じて水平に姿勢を制御する。基板トレイ９０は、傾斜したエア浮上装置６８のガイド面に対して進入するので、基板ホルダ５０のエア浮上装置５５からエア浮上装置６８にスムーズに載り移ることができる。従って、基板トレイ９０を高速でスライドさせることができ、基板の搬出を迅速に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ保持装置の交換作業を行うことなく、異なる直径を有する半導体ウエハを保持することが可能なウエハ保持装置を提供する。
【解決手段】このウエハ保持装置１００は、異なる直径を有するウエハ１２０（１３０）を載置可能であるとともに、異なる直径を有するウエハ１２０（１３０）に共通に用いられる前方ウエハ把持部２２を有する前方ウエハ載置部２１と、前方ウエハ把持部２２とともにウエハ１２０（１３０）を把持可能なローラ３１ａ、３１ｂおよび突起部３１ｃを有し、ウエハ１２０（１３０）の直径の大きさに応じて前方ウエハ把持部２２に近づく前方向および前方ウエハ把持部２２から離間する後ろ方向にスライド可能なスライドアーム３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置コストを増大させることがなく、乾燥処理により形成される塗布膜の膜厚のムラの発生を防止できる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板を搬送する搬送路３４と、搬送路３４の途中に設けられ、気体を噴出する多数の噴出孔が狭ピッチで形成されたステージ面１１１を有し、被処理面に処理液が塗布処理された基板に噴出孔から噴出した気体を吹き付けることにより、基板をステージ面１１１の上で浮上させ、基板を乾燥処理する浮上ステージ１１０と、噴出孔から噴出する気体を常温より高い温度で噴出孔に供給する第１の供給源と、搬送路３４の搬送方向に沿って浮上ステージ１１０の上流側に設けられ、基板を浮上ステージ１１０に搬入駆動する搬入駆動部１５０と、搬送路３４の搬送方向に沿って浮上ステージ１１０の下流側に設けられ、基板を浮上ステージ１１０から搬出駆動する搬出駆動部１５２とを有する。 （もっと読む）

【課題】搬送過程において、カセットと搬送装置との干渉の抑制が図られた搬送装置を提案することである。
【解決手段】搬送装置１００は、第１搬送台１１０と、第１搬送台から間隔を隔てて設けられた第２搬送台１１１とを備え、第１搬送台は、第１搬送台と第２搬送台との配列方向に延びる第１回転中心線を中心に回転可能に設けられたローラ１１２を含み、第２搬送台は、同様にローラ１１３を含み、ローラが第１回転中心線を中心に回転すると共に、ローラが第２回転中心線を中心に回転することで、第１搬送台と搬送台とに跨って配置されたカセット２００が搬送され、ローラの周面のうち、カセットを支持する部分より搬送台側に位置する部分は、カセットから離れるように形成され、ローラの周面のうち、カセットを支持する部分より第１搬送台側に位置する部分は、カセットから離れるように形成される。 （もっと読む）

【課題】積み重ねられている板状ワーク群からの板状ワークの分離供給を、常に衝撃を少なくして安定して行える板状ワークの分離供給設備を提供する。
【解決手段】板状ワークＡを積み重ねて保持する保持装置１０と、保持装置１０に隣接された送り装置２０と、保持装置１０の最上位の板状ワークＡを送り装置２０へ移す移載装置３０を有する。保持装置１０は、送り装置２０側を下位として板状ワークＡ群を傾斜させて保持するとともに、板状ワークＡ群をワーク厚さｔ分だけ間欠的に上昇させるように構成した。送り装置２０は滑動形式であって、保持装置１０の傾斜角度θと同様の傾斜角度θの滑動上面２１ａを形成するとともに、この滑動上面２１ａに液体Ｗを供給するように構成した。移載装置２０は、板状ワークＡの上面に作用自在な吸着盤３１を、傾斜方向に沿って往復移動自在にかつ昇降自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 積み上げられた複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体中に置かれた複数枚のウエハＷｆのうち最上位にあるものと対向する位置に、ウエハＷｆを受け取り可能な吸着コンベア２を配置し、最上位にあるウエハＷｆと吸着コンベア２との隙間に液体の流動を発生させることにより、上記隙間の圧力低下を利用して最上位のウエハＷｆを吸着コンベア２へと移動させる。 （もっと読む）

【課題】加熱用浮上ステージの上で（特にステージ入口付近で）被処理基板に反りが発生するのを防止し、浮上ステージ上の基板浮上ギャップを一定に保つ。
【解決手段】プリベークユニット４８内には、基板搬送ラインに沿って、第１のコロ搬送路８０、２段縦列の浮上ステージ８２，８４および第２のコロ搬送路８６が設置されている。第１のコロ搬送路８０の後半部ないし後端部は前段ステージ８２の入口（始端）８２ａに向かって一定の傾斜角で下りる傾斜搬送路１３０に構成されている。この傾斜搬送路１３０の頂上部に自由回転可能なフリーコロ１３２(i)が基板搬送ラインと直交する方向（Ｙ方向）に複数個並べて配置されている。 （もっと読む）

【課題】この発明は傾斜して搬送される基板の傾斜方向下端面を支持するガイドローラによって基板に欠けが生じるのを防止した搬送装置を提供することにある。
【解決手段】第１のアーム３７と第２のアーム３８が設けられたアーム体３５、第１のアームが基板の搬送方向の上流側に位置するようアーム体の基部を揺動可能に支持した支持体３２、第１のアームの先端部に設けられた第１のガイドローラ３９、第２のアームの先端部に設けられた第２のガイドローラ４０を有し、第１、第２のガイドローラによって基板の傾斜方向の下側の端面を支持して基板の搬送ローラによる搬送をガイドするガイド手段３１を具備し、第１のガイドローラが搬送される基板の搬送方向先端部の傾斜方向の下側の端面を受けたとき、アーム体は基板の搬送方向上流側に向かって揺動し、その状態で第２のガイドローラが基板の搬送方向先端部の傾斜方向の下側の端面を受けたとき、アーム体は基板の搬送方向下流側に揺動する。 （もっと読む）

【課題】平流しの搬送ライン上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムースに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】水平な搬送路を有する第１の搬送区間Ｍ１と、上り傾斜の搬送路を水平な搬送路から形成可能な第２の搬送区間Ｍ２と、第２の搬送区間Ｍ２が上り傾斜の状態で、第２の搬送区間Ｍ２に続く下り傾斜の搬送路を形成する第３の搬送区間Ｍ３とを含む平流しの搬送ライン２と、搬送体６を駆動する搬送駆動部と、第１の搬送区間Ｍ１内で基板Ｇ上に第１の処理液Ｄを供給する第１の処理液供給部９と、第３の搬送区間Ｍ３内で基板Ｇ上に第２の処理液Ｗを供給する第２の処理液供給部１３と、第２の搬送区間Ｍ２に被処理基板Ｇが載置された状態で、該第２の搬送区間Ｍ２に敷設された搬送体６を上昇移動させ、第１の搬送区間Ｍ１に続く上り傾斜の搬送路を形成する昇降手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハに傷をつけず、パーティクル付着を防いだ搬送方法、搬送装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハの各加工工程において、工程間を半導体ウェーハを鉛直に立てて転動させることにより搬送する。したがって、搬送過程においてはウェーハの自重によるたわみなどを生じることがなく、このたわみに起因したウェーハのワレ、欠けの発生を防止することができる。また、鉛直に保持して搬送することでパーティクルの付着を防止することができる。搬送経路には流体を供給する。供給した流体により搬送中に洗浄などを行う。 （もっと読む）

【課題】基板を傾斜させたり、傾斜した状態から水平に戻すとき、基板に衝撃を与えずに比較的速い速度で行なうことができる角度変換装置を提供することにある。
【解決手段】上面に基板が載置されるコンベアユニット３１を、アーム５５を介して支軸５６を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構６１を具備し、駆動機構は、第１のガイド体６２に沿って移動する第１の可動体６３と、第２のガイド体７３に沿って移動する第２の可動体７４と、駆動シリンダ６５によって第１の可動体が第１のガイド体に沿う方向に駆動されたときに第１の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で第２の可動体を第２のガイド体に沿って駆動する第１のリンク７１と、第１のリンクによって第２の可動体が第２のガイド体に沿って駆動されたときに、第２の可動体とともに第２のガイド体に沿って移動しながら他端に連結されたアームを介してコンベアユニットを回動させる第２のリンク７７を具備する。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板の搬送に好適に利用でき、しかも搬送時における基板の振動を抑制して、高速搬送が可能であるとともに、消費電力を少なくしてランニングコストを低減し得る基板浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】平板状の基板Ｇを気体により浮上させながら搬送する基板浮上搬送装置１０であって、基板Ｇの搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台１１と、搬送台１１の上面に形成した吹出口１２へ気体を供給して基板Ｇを浮上させる気体供給手段と、搬送台１１の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを搬送方向へ送り駆動する基板送り手段１５とを備えた。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
（もっと読む）

【課題】基板を搬送する駆動ローラを有する駆動ユニットを精度よく組み込むことができるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】チャンバ１２と、チャンバの内底部に位置する上端面が同一平面をなすよう位置決め固定された複数の基準部材３５と、基板の下端を支持する駆動ローラ１７が設けられた回転軸１９及び回転軸が回転可能に支持された上部ベース部材２５及び上部ベース部材と一体に設けられた下部ベース部材２４を有し、下部ベース部材が基準部材の上端面に取付け固定される駆動ユニット１８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板に傷や汚れを付けずに、迅速に搬送して受け渡すことができるようにした搬送装置を提供することにある。
【解決手段】上記所定方向に沿って配置されたガイドレール２２と、ガイドレールに沿って移動可能に設けられた搬送台車２３と、搬送台車をガイドレールの一端部と他端部との間で往復駆動するワイヤ２６と、ガイドレールの一端部で搬送台車に供給された基板を搬送台車の移動方向と交差する方向に対して位置決めするとともに、位置決めした状態で搬送台車に保持する保持部材３４と、基板が位置決め保持された搬送台車がモータによってガイドレールの他端部に駆動されたときに保持部材によって搬送台車に保持された基板の保持状態を解除する解除用シリンダ４５と、解除用シリンダによって保持状態が解除された基板を搬送台車から受け取るアーム５３を具備する。 （もっと読む）

【課題】粘土状のシート材（板材）を位置決めする場合であれ、該シート材を変形させることなく、且つ、より高い信頼性およびより高い精度をもって、これを位置決めすることのできる位置決め方法および位置決め装置を提供する。
【解決手段】気体給排部ＧＳ（加圧部を内蔵）により、孔ＴＨを通じて気体を供給して、受け台Ｒの受け面上を加圧状態にした状態で、この受け台Ｒに被加工物（シート材）を搬送する。次いで、受け台Ｒの受け面上を加圧したまま、傾斜駆動部ＤｘおよびＤｙによる受け台Ｒの傾斜駆動に基づく被加工物の位置決めを行い、該位置決め後、受け台Ｒを傾斜したまま、気体給排部ＧＳ（減圧部を内蔵）により孔ＴＨを通じて気体を排出して、受け台Ｒの受け面上を減圧状態にすることにより、同受け面上に被加工物（シート材）を吸着固定する。そして、該吸着固定後、受け台Ｒの傾斜を水平に戻す。 （もっと読む）

【課題】 低コスト化を図る。
【解決手段】 基板搬送装置１３は、マザーガラスＢの搬送方向に沿って延出する取付板１７と、取付板１７に対し長さ方向に沿って並んだ状態で取り付けられる複数のホルダ１８と、各ホルダ１８に対してベアリング１９を介して回転可能に支持されるとともにマザーガラスＢを搬送可能なローラ２１を備えたシャフト２０とを備える。取付板１７と各ホルダ１８との間には、スペーサ２５を介在させることが可能とされており、このスペーサ２５によりホルダ１８の取り付け高さを調整することで、マザーガラスＢを傾斜した姿勢で搬送することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 搬送動作が単純であり、短時間で搬送態勢に入ることができる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 真空処理装置１００は、真空予備加熱室１０とプラズマ処理室２０とが連結されており、真空予備加熱室１０内には、基板搬送装置１１，１３が上下２段に配置され、プラズマ処理室２０内には、基板搬送装置２１が配置されている。基板搬送装置１１，１３，２１は、それぞれ揺動軸Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３廻りに揺動し、水平位置と傾斜位置をとる。被処理基板を基板搬送装置１１から基板搬送装置２１へ移送するときは、基板搬送装置１１，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ２に一致させて搬送する。また、被処理基板を基板搬送装置２１から基板搬送装置１３へ移送するときは、基板搬送装置１３，２１のそれぞれの搬送面を搬送ラインＬ３に一致させて搬送する。 （もっと読む）