基板の搬送装置
【課題】基板をトレイに移載するトレイ搬送ユニットから搬送部へトレイを移送するときに、基板の移載および搬送部への搬送が、スムーズに行われることが可能な基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、制御手段により各ポジションに回動させる。
【解決手段】トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、制御手段により各ポジションに回動させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置などに適用される基板の搬送装置に関する。特に、大型基板を用いて真空処理を行う真空装置に適用される基板の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空処理装置などに適用される基板の真空搬送装置に関しては、直線上に複数のチャンバを併設し、複数のチャンバを貫くようにして、トレイに保持した基板を搬送させる搬送装置が知られている（例えば、特許文献１、２など）。
特許文献１では、基板を両面に保持した縦型トレイを、搬送ユニット上ラック/ピニオンの機構を用いて移動させることにより、基板の搬送は、より行われている。トレイは、
特許文献２には、基板をトレイに載せる際に、水平状態の基板を大気中で縦型トレイに載せた後、基板を保持したトレイを搬送し、真空処理室で処理することが記載されている。
【０００３】
ところで、ラック/ピニオンにおいて台車のラックがピニオンに噛み合わないと、基板の衝撃の原因となる。そこで、特許文献３には、ピニオンとラックが噛み合う際、台車の移動速度を減速することにより、ラックとピニオンの噛み込み時の衝撃を最小限とする搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３４５８６号公報
【特許文献２】特開２００９−１４６９３２号公報
【特許文献３】特開平１０−１５８８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板処理装置で処理する基板が年々大型化している。例えば、液晶パネル、太陽 電池基板などでは２ｍ角程度の大きさの基板を処理することが必要になってきている。
装置が大型化するにつれ、構成部材に荷重がかかりタワミが生じたりすること等により、搬送調整時に直進性を向上させる調整を行うことがより困難になる。
【０００６】
従来、複数のチャンバを貫くようにして、トレイに保持した基板を搬送させる搬送装置において、搬送ユニットの調整は、通常処理室を基準として行っていた。
従って、処理室からロードロック室を経て、基板移載部までの距離が長くなると、各搬送ユニットの角度ずれが積算してしまうことになる。一方、基板を両面に保持するトレイに載せるには基板を両側から載せる必要がある。そのため、基板搬送時には搬送ユニットは基板が適切に移載できる位置に角度調整されていなくてはいけない。
ところが、基板搬送時には上述したような、処理室から調整した搬送ユニットとの直進性を持たせなくてはいけない。
基板が大型化したため角度ずれの影響が大きく、特許文献３のように台車の速度を減速したとしても、他端では台車の搬送ができないことがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、基板をトレイに移載するトレイ搬送ユニットから搬送部へトレイを移送するときに、基板の移載および搬送部への搬送が、スムーズに行われることが可能な基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板搬送装置は、基板を保持したトレイが移送されることにより基板を搬送する基板搬送装置において、トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、
第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
制御手段は、基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第二のポジションに回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第三のポジションに回動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、装置が大型化した場合でも、トレイ搬送用ローラの直進性のラインだしを適度のレベルで抑えることが可能になり、その状態においてでも、トレイ搬送の不具合、基板の損傷、ローラの損傷等の甚大な不具合の発生をなくすことが可能になり稼働率が向上する。
また、調整コストの削減、部材コストの削減が可能になり、大型化してもより安価な装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係るトレイ搬送ユニットを用いた成膜装置の概略図である。
【図２】本発明に係るトレイ搬送ユニットの一態様である。
【図３】図２のトレイ搬送ユニットの上面模式図である。
【図４】図２のトレイ搬送ユニットを前面から見た模式図である。
【図５】トレイ搬送ユニットのポジションを説明する模式図である。
【図６】トレイ搬送ユニットの他の例である。
【図７】図６のトレイ搬送ユニットにおいて、回転ベースプレート上の駆動部の状態を示す模式図である。
【図８】回転ベースプレート上に図９の駆動部が設けられた状態を示す模式図である。
【図９】駆動部の変形例の上面概略図である。
【図１０】図５の駆動ユニットの側面概略図である。
【図１１】図５の駆動ユニットにてトレイ搬送ユニットの向きを変えた状態を示す上面模式図である。
【図１２】図５の駆動ユニットにてトレイ搬送ユニットの向きを変えた状態を示す上面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（真空処理装置）
本発明に係る真空処理装置を、図１を参照して説明する。図１は、本発明に係る真空処理装置の一実施態様の全体構成を示す平面模式図である。
【００１２】
本発明の基板処理装置は、処理室１と、基板を処理室１に搬送する搬送室２と、ロードロック室３とを備えている。ロードロック室３、４の大気側には、基板１０をトレイ１２に着脱させるための移載ユニット６が設けられている。移載ユニット６とロードロック室３、４の間には、移載ユニット６からロードロック室３、４へ基板を移送するためのスライドユニット５が設けられている。
【００１３】
また、大気側には基板１０を保持するカセットユニット８が設けられている。移載ユニット６とカセットユニット８との間には、カセットユニット８の基板を移載ユニット６に移載するためのロボット７が設けられている。
【００１４】
移載ユニット６には、基板ステージ１１と、角度調整機能を具備するトレイ搬送ユニット１３が設けられている。トレイ搬送ユニット１３には角度を調整する機構が具備されている。また、移載ユニット６には、トレイ搬送ユニット１３上の所定位置にトレイ１２が位置するときに、基板ステージ１１a,１１ｂ上に載置された基板をトレイ１２に保持させるための移載機構６aが設けられている。
【００１５】
スライドユニット５には、スライド機構を備えたトレイ搬送ユニット１４a、１４ｂが設けられている。トレイ搬送ユニット１４a,１４ｂは、真空チャンバの入り口であるロードロック室３、４とトレイ搬送ユニット１４a, １４ｂのＹ軸方向（トレイ１２の搬送方向と垂直方向）の位置の違いに対応すべく、Ｙ軸方向にスライド可能に構成されている。
本態様では、トレイ搬送ユニット１４は２つ設けられているが、トレイ搬送ユニット１４の個数は２つに限られない。トレイ搬送ユニット１４は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
ロードロック室３には、トレイ搬送ユニット１５が設けられ、ロードロック室４にはトレイ搬送ユニット１６が設けられている。
【００１６】
搬送室２には、スライド機構6aを設けたトレイ搬送ユニット１７a、１７ｂが設けられている。トレイ搬送ユニット１７は、ロードロック室３、４との位置の違いに対応すべく、Ｙ軸方向にスライド可能に構成されている。
なお、本態様では、トレイ搬送ユニット１４は２つ設けられているが、トレイ搬送ユニット１４の個数は２つに限られない。トレイ搬送ユニット１４は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
【００１７】
処理室１には、トレイ搬送ユニット１８および不図示のスパッタなどの処理手段が設けられている。
【００１８】
次に本発明の真空処理装置を用いた基板の搬送方法について説明する。
（ポジションの設定）
まず、予め、以下の方法により、移載ユニット６のトレイ搬送ユニット１３に第一のポジション、第二のポジション、第三のポジションを制御手段に教示させておく。
図５を用いて各ポジションについて説明する。図５は、各ポジションにおいてトレイ搬送ユニット１３が角度調整された状態を示す模式図である。
【００１９】
（１）第一のポジション
トレイ搬送ユニット１３上の所定位置に静止したトレイ１２に、基板ステージ１１a,１１の基板１０が適切に移送されるポジションを第一のポジションとする（図５（Ａ）参照）。トレイ搬送ユニット１３が第一のポジションとなるように、トレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションは第一のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
なお、このポジションでは、トレイ搬送ユニット１３は、基板ステージ１１aと１１ｂの各々と平行状態となっていることが好ましい。
【００２０】
（２）第二のポジション
トレイ搬送ユニット１３aからトレイ搬送ユニット１４aにトレイが適切に搬送できるようにトレイ搬送ユニット１３が角度調整されたポジションを第二のポジションとする（図５（Ｂ）参照）。
基板が大型化であれば、トレイが大型化し、トレイ搬送ユニット１４も大型化する。そのため、各室に設けられたトレイ搬送ユニットが完全に直線状態に並ばない場合もある。トレイ１２が大型化し、トレイ搬送ユニットも大型化したことにより、一方の端での微小角のずれであっても、他端ではそのずれが大きくなるからである。
そのため、トレイ搬送ユニット１４aがトレイ搬送ユニット１３とローラ直進性を有さない場合がある。そこで、直進性を有するように、トレイ搬送ユニット１４aの角度調整を行うことが必要となる。
トレイ搬送ユニット１４aをトレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向（トレイ１２の搬送方向と垂直な方向）にスライドさせた状態で、トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４aとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションを第二のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
【００２１】
（３）第三のポジション
トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４ｂとローラ直進性を有するように
角度調整されたポジションを第三のポジションとする（図５（Ｃ）参照）。
トレイ搬送ユニット１４ｂをトレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向にスライドさせ
た状態で、トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４ｂとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションと第三のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
【００２２】
（基板の搬送方法）
本発明に係る搬送装置を用いた基板の搬送方法について説明する。
カセットユニット８に水平状態に保持されている基板１０は、ロボット７により１枚ずつ取り出され、移載ユニット６の基板ステージ１１aと１１aに載置される。基板ステージ１１a、１１ｂに載置された基板１０は、基板ステージ１１から移載機構６aにより、基板を水平状態から垂直状態に起こしてトレイ１２に移載される。基板１０が、ステージ１１a,１１ｂからトレイ１２に移載される前に、トレイ搬送ユニット１３は第一のポジションに角度調整されている。
【００２３】
なお、基板の損傷を無くすために、基板移載ユニットにより、基板を直接保持するのではなく、基板保持可能な基板ホルダを用い、その基板ホルダごとトレイに載せても良い。
基板１０を保持したトレイ１２は、トレイ搬送ユニット１３から、スライドユニットに設けられたトレイ搬送ユニット１４aへ、ラック/ピニオン機構により移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット１３は、第二のポジションに制御手段により角度調整されるとともに、トレイ搬送ユニット１４aは、トレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向にスライドする。
【００２４】
トレイ搬送ユニット１４aがロードロック室３の位置にスライドするとともにロードロック室３とスライドユニット５との間に設けられたドアバルブ９aが開放され、大気圧状態となったロードロック室３内に設けられたトレイ搬送ユニット１５へ基板を保持したトレイ１２が移送される。
【００２５】
ドアバルブ９aが閉められ、ロードロック室３が不図示の排気手段により排気される。
ロードロック室３の排気が完了した後、搬送室２と処理室１との間に設けたスリットバルブ９ｂが開き、基板１０を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１５からトレイ搬送ユニット１７aへ移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット１７aは、トレイ搬送ユニット１５とローラ直進性を有する位置にくるようにＹ軸方向にスライドする。
搬送室２に搬送されたトレイ１２は、トレイ搬送ユニット１７aから処理室１のトレイ搬送ユニット１８へ移送される。
【００２６】
処理室１にて、基板１へのプロセス処理終了後、逆の経路で、基板１０は、カセットユニットに搬送される。
すなわち、まず、処理済み基板１を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１８からトレイ搬送ユニット１７bへ搬送される。
【００２７】
真空状態になっているロードロック室４との間のスリットバルブ９ｂが開放され、処理済基板を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１７ｂからトレイ搬送ユニット１６へ搬送される。その後、スリットバルブ９ｂが閉じ、ロードロック室４に配備された不図示のベント機構により、ロードロック室４内部圧力を大気圧へと戻す。
ロードロック室４内が大気圧になった後、ドアバルブ９aが開放される。
トレイ搬送ユニット１４ｂのスライド機構により、トレイ搬送ユニット１６とトレイ搬送ユニット１４ｂの搬送ラインがそろえられ、処理済基板を保持したトレイ１２がトレイ搬送ユニット１４ｂへと搬送される。
トレイ搬送ユニット１３の搬送ラインに、トレイ搬送ユニット１４ｂのスライド機構により揃えられ、トレイ１２がトレイ搬送ユニット１３へと搬送される。搬送される前に、トレイ搬送ユニットは第三のポジションに制御手段により角度調整される。
【００２８】
トレイ搬送ユニット１３に保持された処理済基板は、移載機構６aにより、基板ステージ１１a, １１bへ移載された後、ロボット７によりカセットの所定の位置へ収納される。
なお、上記例では、一つのトレイに着眼して記載してきたが、真空搬送装置内には複数のトレイが次々に送り出され、かつ回収されている。
（移載部トレイ搬送ユニット）
（第１の態様）
【００２９】
次に、図２、図３、４を用いて、本発明で用いる角度調整可能なトレイ搬送ユニット１３の一態様について説明する。図２は、トレイ搬送ユニットにトレイが搬送された状態を横から見た模式図であり、図３は上面から見た模式図である。また、図４は、前面から見た模式図である。なお、図３においては、ベースプレート２６の下にかくれている部品は省略している。
【００３０】
本発明に係わるトレイ搬送ユニット13は、ベースプレート２６、ピニオン２２、ベースプレート２６に固定されたトレイ搬送用駆動源２７を具備する。トレイ搬送駆動源２７は、ラック/ピニオンでの搬送を可能にするため、ピニオン側に接続され、ピニオン２２を回転させうるよう構成されている。
さらにベースプレート２６には、トレイ１２を保持拘束するためのローラ２３が配備されている。
【００３１】
トレイ１２は、図４に示したように基板１０を両面に保持できるような構成になっている。また、トレイ１２には、ローラ２３と勘合すべきレール２４とピニオン２２と勘合すべきラック２５が配設されている。
ローラ２３、レール２４の取り合いは、逆になっていても構わない。
【００３２】
トレイ搬送ユニット１３のベースプレート２６の上方には、回転ベースプレート２１が設けられている。ベースプレート２６には、回転ベースプレート２１の回転中心となる中心軸２８が配設されている。中心軸２８は、基板移載アームとの相対的に中心位置に設けられている。回転ベースプレート２６には、軸先端にギア３５を固定した回転軸３４を回転させるための回転動力源（モータ）２９が固定されている。さらに、回転ベースプレート２６には、トレイ搬送ユニット１３のベースプレート２６を保持するためのガイド３０を設置する。
ベースプレート２６には、中心軸２８を保持するベアリングホルダが配設されている。ベアリングホルダ３１は外周部にギア３３が固定されている。
【００３３】
ベアリングホルダ３１の中には、中心２８がベアリングで３２で保持されている。回転軸３４の先端に設けられたギア３５は、ベアリングホルダ３１のギア３３と噛み合うように配設されている。
【００３４】
トレイ搬送機構の角度調整方法について説明する。
【００３５】
回転軸３４を回転動力源（モータ）２９により回転させることにより、回転軸３４の先端に設けられたギア３５が回転し、ギア３５の回転方向と逆方向にベアリングホルダのギア３３を回転させる。その結果、ギア３３が固定されたベアリングホルダ３１が回転し、ベアリングホルダ３１を固定した回転ベースプレート２１も回転する。
これにより、回転ベースプレート２１は、トレイ搬送機構１３を回転軸２８を中心に、図２の矢印の方法、あるいは逆の方向に回動することができる。
（第２の態様）
【００３６】
図６、７を用いて、トレイ搬送ユニットの角度調整するための他の態様を説明する。
図６は、本態様に係るトレイ搬送ユニット１３にトレイ２が載っている状態を示す模式図である。図７は、回転ベースプレート２１上に駆動部が設けられた状態を示す模式図である。
本態様は、第１の態様において、駆動部をトレイ搬送ユニットの端部に設けた例である。
回転ベースプレート２１の端部には、固定部材４４により、ギアを具備するボールネジ４３が固定されている。ベースプレート２６には、ギア４２を回転させる駆動源（モータ）が固定されている。ギア４２を回転させることにより、ボールネジ４３のギアが回転し、回転ベースプレートを回転させる。
【００３７】
なお、上記例の変形例として、回転中心のベアリングをなくし、回転ベースプレート２６を保持するガイドにＲガイドを用いることも可能である。
本態様のトレイ搬送ユニットにより、動力源の小型化、コスト低減を図ることができる。駆動部を回転中心部から離れた位置に設けたことにより、より小さな動力で動かすことができるためである。また、トレイ搬送ユニットの最外端の点の円弧がより直線に近づくことになり直線駆動機構を用いることができるためである。
大型基板の搬送装置では、より効果が得られる。
【００３８】
図８、９、１０を用いて、トレイ搬送ユニットの角度調整するための更なる他の態様を説明する。
本態様は、第２の態様において、直線駆動機構をシリンダ駆動に置き換えた例である。
【００３９】
図８は、ベースプレート２６に本態様の直線駆動機構が設けられている位置を示す上面模式図である。図９は、本態様の駆動機構がベースプレート２６上に設けられている状態を示す上面模式図である。図１０は、図９をＡの方向から見た側面模式図である。
【００４０】
ベースプレート２６の端の点線枠５１の部分に、本態様の駆動機構が設けられている（図８）。ベースプレート２６には、第三のストッパピン５８と、ＬＭガイド５４と、第二のシリンダ５３が固定されている
ＬＭガイド５４上には、スライドプレート５５がＬＭガイド５４によりスライド可能に設けられており、第二のシリンダ５３の伸縮によりスライドプレート５５を直動動作させることができる
スライドプレート５５上には、第一のストッパピン５６と第二のストッパピン５７と、第１のシリンダ５２が固定されている。第一のシリンダ５２の先端には、メインストッパブロック５９が接続されており、第一のシリンダ５２の伸縮によりメインストッパブロックを直動動作させることができる。
【００４１】
（ポジションの変更方法）
次に、図１０、１１、１２を用いて、移載ユニット６のトレイ搬送ユニット１３のポジションの変更方法について説明する。
図１１は、図１０において第二のポジションの状態を示す模式図であり、図１２は、図１０において第三のポジションの状態を示す模式図である。
【００４２】
初期状態、すなわち、第一のポジションにトレイ搬送ユニット１３を動作させている状態を図１０に示す。
第一のシリンダ５２を伸ばし、第二のシリンダ５３を縮めるよう制御する。第一のシリンダ５２により動かされたメインストッパブロック５９は第二のストッパピン５７により、位置の拘束を受けるよう構成されている。また、第二のシリンダ５３により動かされたスライドプレート５５は第二のシリンダ５３のストロークエンドにて位置の拘束を受けるよう構成されている。そのため、位置の固定が可能になる。
【００４３】
次に、第一のポジションからＣＷ側にトレイ搬送ユニット１３を動作させた状態を図１１に示す。図１１で、一点鎖線は、図１０の状態におけるメインストッパブロック５８の位置を示す。
上記位置から、第二のポジションにトレイ搬送ユニット１３を動作させる場合には、第一のシリンダ５２を伸びの状態から縮の状態にする。その結果、ＣＷ（時計回り）側へトレイ搬送ユニット１３が中心軸２８を中心に回動し、第二のポジションに位置を変えることができる。
この際の第一のシリンダ５２により、一点点線の位置から矢印の方向に動かされたメインストッパブロック５９は第一のストッパピン５７により、位置の拘束を受けるよう構成されているため、位置の固定が可能になる。
【００４４】
逆に、第一のポジションから、基板移載部トレイ搬送ユニット１３をCCW（反時計回り）側へ回動させる場合は、第二のシリンダ５３を縮状態から伸び状態にすることにより回動させることができる。この際の第二のシリンダ５３により動かされたスライドプレート５５は、第三のストッパピン５８により、位置の拘束を受けるよう構成されているため、位置の固定が可能になる。
【００４５】
上記３つのストッパピンを調整することにより、基板移載部トレイ搬送ユニットをCW側、CCW側の所望の位置に回動固定することを可能とすることができる。
本態様では、第２の態様のトレイ搬送ユニットにおいて、前記記載の場合における３つのポジションを直動運動で動作可能であるため、更なるコスト削減が可能となる。
【符号の説明】
【００４６】
１ 処理室
２ 搬送室
３ ロードロック室
４ ロードロック室
５ スライドユニット
６ 移載ユニット
７ ローダロボット
８ カセットユニット
９ ゲートバルブ
１０ 基板
１１ 基板ステージ
１２ トレイ
１３ 移載ユニットのトレイ搬送ユニット
１４ スライドユニットの第二のトレイ搬送ユニット
１５ ロードロック室のトレイ搬送ユニット
１６ 搬送室のトレイ搬送ユニット
１７ 処理室のトレイ搬送ユニット
２１ ベースプレート
２２ ピニオン
２３ ローラ
２４ レール
２５ ラック
２６ 回転ベースプレート
２７ トレイ搬送用駆動源
２８ 中心軸
２９ 回転動力源
３０ ガイド
３１ ベアリングホルダ
３２ ベアリング
３３ ギア
３４ 回転軸
３５ ギア
４１ 駆動源
４２ ギア
４３ ボールネジ
５２ 第一のシリンダ
５３ 第二のシリンダ
５４ ＭＬガイド
５５ スライドプレート
５６ 第一のストッパピン
５７ 第二のストッパピン
５８ 第三のストッパピン
５９ メインストッパブロック
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置などに適用される基板の搬送装置に関する。特に、大型基板を用いて真空処理を行う真空装置に適用される基板の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空処理装置などに適用される基板の真空搬送装置に関しては、直線上に複数のチャンバを併設し、複数のチャンバを貫くようにして、トレイに保持した基板を搬送させる搬送装置が知られている（例えば、特許文献１、２など）。
特許文献１では、基板を両面に保持した縦型トレイを、搬送ユニット上ラック/ピニオンの機構を用いて移動させることにより、基板の搬送は、より行われている。トレイは、
特許文献２には、基板をトレイに載せる際に、水平状態の基板を大気中で縦型トレイに載せた後、基板を保持したトレイを搬送し、真空処理室で処理することが記載されている。
【０００３】
ところで、ラック/ピニオンにおいて台車のラックがピニオンに噛み合わないと、基板の衝撃の原因となる。そこで、特許文献３には、ピニオンとラックが噛み合う際、台車の移動速度を減速することにより、ラックとピニオンの噛み込み時の衝撃を最小限とする搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３４５８６号公報
【特許文献２】特開２００９−１４６９３２号公報
【特許文献３】特開平１０−１５８８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板処理装置で処理する基板が年々大型化している。例えば、液晶パネル、太陽 電池基板などでは２ｍ角程度の大きさの基板を処理することが必要になってきている。
装置が大型化するにつれ、構成部材に荷重がかかりタワミが生じたりすること等により、搬送調整時に直進性を向上させる調整を行うことがより困難になる。
【０００６】
従来、複数のチャンバを貫くようにして、トレイに保持した基板を搬送させる搬送装置において、搬送ユニットの調整は、通常処理室を基準として行っていた。
従って、処理室からロードロック室を経て、基板移載部までの距離が長くなると、各搬送ユニットの角度ずれが積算してしまうことになる。一方、基板を両面に保持するトレイに載せるには基板を両側から載せる必要がある。そのため、基板搬送時には搬送ユニットは基板が適切に移載できる位置に角度調整されていなくてはいけない。
ところが、基板搬送時には上述したような、処理室から調整した搬送ユニットとの直進性を持たせなくてはいけない。
基板が大型化したため角度ずれの影響が大きく、特許文献３のように台車の速度を減速したとしても、他端では台車の搬送ができないことがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、基板をトレイに移載するトレイ搬送ユニットから搬送部へトレイを移送するときに、基板の移載および搬送部への搬送が、スムーズに行われることが可能な基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板搬送装置は、基板を保持したトレイが移送されることにより基板を搬送する基板搬送装置において、トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、
第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
制御手段は、基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第二のポジションに回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第三のポジションに回動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、装置が大型化した場合でも、トレイ搬送用ローラの直進性のラインだしを適度のレベルで抑えることが可能になり、その状態においてでも、トレイ搬送の不具合、基板の損傷、ローラの損傷等の甚大な不具合の発生をなくすことが可能になり稼働率が向上する。
また、調整コストの削減、部材コストの削減が可能になり、大型化してもより安価な装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係るトレイ搬送ユニットを用いた成膜装置の概略図である。
【図２】本発明に係るトレイ搬送ユニットの一態様である。
【図３】図２のトレイ搬送ユニットの上面模式図である。
【図４】図２のトレイ搬送ユニットを前面から見た模式図である。
【図５】トレイ搬送ユニットのポジションを説明する模式図である。
【図６】トレイ搬送ユニットの他の例である。
【図７】図６のトレイ搬送ユニットにおいて、回転ベースプレート上の駆動部の状態を示す模式図である。
【図８】回転ベースプレート上に図９の駆動部が設けられた状態を示す模式図である。
【図９】駆動部の変形例の上面概略図である。
【図１０】図５の駆動ユニットの側面概略図である。
【図１１】図５の駆動ユニットにてトレイ搬送ユニットの向きを変えた状態を示す上面模式図である。
【図１２】図５の駆動ユニットにてトレイ搬送ユニットの向きを変えた状態を示す上面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（真空処理装置）
本発明に係る真空処理装置を、図１を参照して説明する。図１は、本発明に係る真空処理装置の一実施態様の全体構成を示す平面模式図である。
【００１２】
本発明の基板処理装置は、処理室１と、基板を処理室１に搬送する搬送室２と、ロードロック室３とを備えている。ロードロック室３、４の大気側には、基板１０をトレイ１２に着脱させるための移載ユニット６が設けられている。移載ユニット６とロードロック室３、４の間には、移載ユニット６からロードロック室３、４へ基板を移送するためのスライドユニット５が設けられている。
【００１３】
また、大気側には基板１０を保持するカセットユニット８が設けられている。移載ユニット６とカセットユニット８との間には、カセットユニット８の基板を移載ユニット６に移載するためのロボット７が設けられている。
【００１４】
移載ユニット６には、基板ステージ１１と、角度調整機能を具備するトレイ搬送ユニット１３が設けられている。トレイ搬送ユニット１３には角度を調整する機構が具備されている。また、移載ユニット６には、トレイ搬送ユニット１３上の所定位置にトレイ１２が位置するときに、基板ステージ１１a,１１ｂ上に載置された基板をトレイ１２に保持させるための移載機構６aが設けられている。
【００１５】
スライドユニット５には、スライド機構を備えたトレイ搬送ユニット１４a、１４ｂが設けられている。トレイ搬送ユニット１４a,１４ｂは、真空チャンバの入り口であるロードロック室３、４とトレイ搬送ユニット１４a, １４ｂのＹ軸方向（トレイ１２の搬送方向と垂直方向）の位置の違いに対応すべく、Ｙ軸方向にスライド可能に構成されている。
本態様では、トレイ搬送ユニット１４は２つ設けられているが、トレイ搬送ユニット１４の個数は２つに限られない。トレイ搬送ユニット１４は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
ロードロック室３には、トレイ搬送ユニット１５が設けられ、ロードロック室４にはトレイ搬送ユニット１６が設けられている。
【００１６】
搬送室２には、スライド機構6aを設けたトレイ搬送ユニット１７a、１７ｂが設けられている。トレイ搬送ユニット１７は、ロードロック室３、４との位置の違いに対応すべく、Ｙ軸方向にスライド可能に構成されている。
なお、本態様では、トレイ搬送ユニット１４は２つ設けられているが、トレイ搬送ユニット１４の個数は２つに限られない。トレイ搬送ユニット１４は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
【００１７】
処理室１には、トレイ搬送ユニット１８および不図示のスパッタなどの処理手段が設けられている。
【００１８】
次に本発明の真空処理装置を用いた基板の搬送方法について説明する。
（ポジションの設定）
まず、予め、以下の方法により、移載ユニット６のトレイ搬送ユニット１３に第一のポジション、第二のポジション、第三のポジションを制御手段に教示させておく。
図５を用いて各ポジションについて説明する。図５は、各ポジションにおいてトレイ搬送ユニット１３が角度調整された状態を示す模式図である。
【００１９】
（１）第一のポジション
トレイ搬送ユニット１３上の所定位置に静止したトレイ１２に、基板ステージ１１a,１１の基板１０が適切に移送されるポジションを第一のポジションとする（図５（Ａ）参照）。トレイ搬送ユニット１３が第一のポジションとなるように、トレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションは第一のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
なお、このポジションでは、トレイ搬送ユニット１３は、基板ステージ１１aと１１ｂの各々と平行状態となっていることが好ましい。
【００２０】
（２）第二のポジション
トレイ搬送ユニット１３aからトレイ搬送ユニット１４aにトレイが適切に搬送できるようにトレイ搬送ユニット１３が角度調整されたポジションを第二のポジションとする（図５（Ｂ）参照）。
基板が大型化であれば、トレイが大型化し、トレイ搬送ユニット１４も大型化する。そのため、各室に設けられたトレイ搬送ユニットが完全に直線状態に並ばない場合もある。トレイ１２が大型化し、トレイ搬送ユニットも大型化したことにより、一方の端での微小角のずれであっても、他端ではそのずれが大きくなるからである。
そのため、トレイ搬送ユニット１４aがトレイ搬送ユニット１３とローラ直進性を有さない場合がある。そこで、直進性を有するように、トレイ搬送ユニット１４aの角度調整を行うことが必要となる。
トレイ搬送ユニット１４aをトレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向（トレイ１２の搬送方向と垂直な方向）にスライドさせた状態で、トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４aとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションを第二のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
【００２１】
（３）第三のポジション
トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４ｂとローラ直進性を有するように
角度調整されたポジションを第三のポジションとする（図５（Ｃ）参照）。
トレイ搬送ユニット１４ｂをトレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向にスライドさせ
た状態で、トレイ搬送ユニット１３がトレイ搬送ユニット１４ｂとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット１３を角度調整する。このポジションと第三のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
【００２２】
（基板の搬送方法）
本発明に係る搬送装置を用いた基板の搬送方法について説明する。
カセットユニット８に水平状態に保持されている基板１０は、ロボット７により１枚ずつ取り出され、移載ユニット６の基板ステージ１１aと１１aに載置される。基板ステージ１１a、１１ｂに載置された基板１０は、基板ステージ１１から移載機構６aにより、基板を水平状態から垂直状態に起こしてトレイ１２に移載される。基板１０が、ステージ１１a,１１ｂからトレイ１２に移載される前に、トレイ搬送ユニット１３は第一のポジションに角度調整されている。
【００２３】
なお、基板の損傷を無くすために、基板移載ユニットにより、基板を直接保持するのではなく、基板保持可能な基板ホルダを用い、その基板ホルダごとトレイに載せても良い。
基板１０を保持したトレイ１２は、トレイ搬送ユニット１３から、スライドユニットに設けられたトレイ搬送ユニット１４aへ、ラック/ピニオン機構により移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット１３は、第二のポジションに制御手段により角度調整されるとともに、トレイ搬送ユニット１４aは、トレイ搬送ユニット１３の位置にＹ軸方向にスライドする。
【００２４】
トレイ搬送ユニット１４aがロードロック室３の位置にスライドするとともにロードロック室３とスライドユニット５との間に設けられたドアバルブ９aが開放され、大気圧状態となったロードロック室３内に設けられたトレイ搬送ユニット１５へ基板を保持したトレイ１２が移送される。
【００２５】
ドアバルブ９aが閉められ、ロードロック室３が不図示の排気手段により排気される。
ロードロック室３の排気が完了した後、搬送室２と処理室１との間に設けたスリットバルブ９ｂが開き、基板１０を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１５からトレイ搬送ユニット１７aへ移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット１７aは、トレイ搬送ユニット１５とローラ直進性を有する位置にくるようにＹ軸方向にスライドする。
搬送室２に搬送されたトレイ１２は、トレイ搬送ユニット１７aから処理室１のトレイ搬送ユニット１８へ移送される。
【００２６】
処理室１にて、基板１へのプロセス処理終了後、逆の経路で、基板１０は、カセットユニットに搬送される。
すなわち、まず、処理済み基板１を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１８からトレイ搬送ユニット１７bへ搬送される。
【００２７】
真空状態になっているロードロック室４との間のスリットバルブ９ｂが開放され、処理済基板を保持したトレイ１２が、トレイ搬送ユニット１７ｂからトレイ搬送ユニット１６へ搬送される。その後、スリットバルブ９ｂが閉じ、ロードロック室４に配備された不図示のベント機構により、ロードロック室４内部圧力を大気圧へと戻す。
ロードロック室４内が大気圧になった後、ドアバルブ９aが開放される。
トレイ搬送ユニット１４ｂのスライド機構により、トレイ搬送ユニット１６とトレイ搬送ユニット１４ｂの搬送ラインがそろえられ、処理済基板を保持したトレイ１２がトレイ搬送ユニット１４ｂへと搬送される。
トレイ搬送ユニット１３の搬送ラインに、トレイ搬送ユニット１４ｂのスライド機構により揃えられ、トレイ１２がトレイ搬送ユニット１３へと搬送される。搬送される前に、トレイ搬送ユニットは第三のポジションに制御手段により角度調整される。
【００２８】
トレイ搬送ユニット１３に保持された処理済基板は、移載機構６aにより、基板ステージ１１a, １１bへ移載された後、ロボット７によりカセットの所定の位置へ収納される。
なお、上記例では、一つのトレイに着眼して記載してきたが、真空搬送装置内には複数のトレイが次々に送り出され、かつ回収されている。
（移載部トレイ搬送ユニット）
（第１の態様）
【００２９】
次に、図２、図３、４を用いて、本発明で用いる角度調整可能なトレイ搬送ユニット１３の一態様について説明する。図２は、トレイ搬送ユニットにトレイが搬送された状態を横から見た模式図であり、図３は上面から見た模式図である。また、図４は、前面から見た模式図である。なお、図３においては、ベースプレート２６の下にかくれている部品は省略している。
【００３０】
本発明に係わるトレイ搬送ユニット13は、ベースプレート２６、ピニオン２２、ベースプレート２６に固定されたトレイ搬送用駆動源２７を具備する。トレイ搬送駆動源２７は、ラック/ピニオンでの搬送を可能にするため、ピニオン側に接続され、ピニオン２２を回転させうるよう構成されている。
さらにベースプレート２６には、トレイ１２を保持拘束するためのローラ２３が配備されている。
【００３１】
トレイ１２は、図４に示したように基板１０を両面に保持できるような構成になっている。また、トレイ１２には、ローラ２３と勘合すべきレール２４とピニオン２２と勘合すべきラック２５が配設されている。
ローラ２３、レール２４の取り合いは、逆になっていても構わない。
【００３２】
トレイ搬送ユニット１３のベースプレート２６の上方には、回転ベースプレート２１が設けられている。ベースプレート２６には、回転ベースプレート２１の回転中心となる中心軸２８が配設されている。中心軸２８は、基板移載アームとの相対的に中心位置に設けられている。回転ベースプレート２６には、軸先端にギア３５を固定した回転軸３４を回転させるための回転動力源（モータ）２９が固定されている。さらに、回転ベースプレート２６には、トレイ搬送ユニット１３のベースプレート２６を保持するためのガイド３０を設置する。
ベースプレート２６には、中心軸２８を保持するベアリングホルダが配設されている。ベアリングホルダ３１は外周部にギア３３が固定されている。
【００３３】
ベアリングホルダ３１の中には、中心２８がベアリングで３２で保持されている。回転軸３４の先端に設けられたギア３５は、ベアリングホルダ３１のギア３３と噛み合うように配設されている。
【００３４】
トレイ搬送機構の角度調整方法について説明する。
【００３５】
回転軸３４を回転動力源（モータ）２９により回転させることにより、回転軸３４の先端に設けられたギア３５が回転し、ギア３５の回転方向と逆方向にベアリングホルダのギア３３を回転させる。その結果、ギア３３が固定されたベアリングホルダ３１が回転し、ベアリングホルダ３１を固定した回転ベースプレート２１も回転する。
これにより、回転ベースプレート２１は、トレイ搬送機構１３を回転軸２８を中心に、図２の矢印の方法、あるいは逆の方向に回動することができる。
（第２の態様）
【００３６】
図６、７を用いて、トレイ搬送ユニットの角度調整するための他の態様を説明する。
図６は、本態様に係るトレイ搬送ユニット１３にトレイ２が載っている状態を示す模式図である。図７は、回転ベースプレート２１上に駆動部が設けられた状態を示す模式図である。
本態様は、第１の態様において、駆動部をトレイ搬送ユニットの端部に設けた例である。
回転ベースプレート２１の端部には、固定部材４４により、ギアを具備するボールネジ４３が固定されている。ベースプレート２６には、ギア４２を回転させる駆動源（モータ）が固定されている。ギア４２を回転させることにより、ボールネジ４３のギアが回転し、回転ベースプレートを回転させる。
【００３７】
なお、上記例の変形例として、回転中心のベアリングをなくし、回転ベースプレート２６を保持するガイドにＲガイドを用いることも可能である。
本態様のトレイ搬送ユニットにより、動力源の小型化、コスト低減を図ることができる。駆動部を回転中心部から離れた位置に設けたことにより、より小さな動力で動かすことができるためである。また、トレイ搬送ユニットの最外端の点の円弧がより直線に近づくことになり直線駆動機構を用いることができるためである。
大型基板の搬送装置では、より効果が得られる。
【００３８】
図８、９、１０を用いて、トレイ搬送ユニットの角度調整するための更なる他の態様を説明する。
本態様は、第２の態様において、直線駆動機構をシリンダ駆動に置き換えた例である。
【００３９】
図８は、ベースプレート２６に本態様の直線駆動機構が設けられている位置を示す上面模式図である。図９は、本態様の駆動機構がベースプレート２６上に設けられている状態を示す上面模式図である。図１０は、図９をＡの方向から見た側面模式図である。
【００４０】
ベースプレート２６の端の点線枠５１の部分に、本態様の駆動機構が設けられている（図８）。ベースプレート２６には、第三のストッパピン５８と、ＬＭガイド５４と、第二のシリンダ５３が固定されている
ＬＭガイド５４上には、スライドプレート５５がＬＭガイド５４によりスライド可能に設けられており、第二のシリンダ５３の伸縮によりスライドプレート５５を直動動作させることができる
スライドプレート５５上には、第一のストッパピン５６と第二のストッパピン５７と、第１のシリンダ５２が固定されている。第一のシリンダ５２の先端には、メインストッパブロック５９が接続されており、第一のシリンダ５２の伸縮によりメインストッパブロックを直動動作させることができる。
【００４１】
（ポジションの変更方法）
次に、図１０、１１、１２を用いて、移載ユニット６のトレイ搬送ユニット１３のポジションの変更方法について説明する。
図１１は、図１０において第二のポジションの状態を示す模式図であり、図１２は、図１０において第三のポジションの状態を示す模式図である。
【００４２】
初期状態、すなわち、第一のポジションにトレイ搬送ユニット１３を動作させている状態を図１０に示す。
第一のシリンダ５２を伸ばし、第二のシリンダ５３を縮めるよう制御する。第一のシリンダ５２により動かされたメインストッパブロック５９は第二のストッパピン５７により、位置の拘束を受けるよう構成されている。また、第二のシリンダ５３により動かされたスライドプレート５５は第二のシリンダ５３のストロークエンドにて位置の拘束を受けるよう構成されている。そのため、位置の固定が可能になる。
【００４３】
次に、第一のポジションからＣＷ側にトレイ搬送ユニット１３を動作させた状態を図１１に示す。図１１で、一点鎖線は、図１０の状態におけるメインストッパブロック５８の位置を示す。
上記位置から、第二のポジションにトレイ搬送ユニット１３を動作させる場合には、第一のシリンダ５２を伸びの状態から縮の状態にする。その結果、ＣＷ（時計回り）側へトレイ搬送ユニット１３が中心軸２８を中心に回動し、第二のポジションに位置を変えることができる。
この際の第一のシリンダ５２により、一点点線の位置から矢印の方向に動かされたメインストッパブロック５９は第一のストッパピン５７により、位置の拘束を受けるよう構成されているため、位置の固定が可能になる。
【００４４】
逆に、第一のポジションから、基板移載部トレイ搬送ユニット１３をCCW（反時計回り）側へ回動させる場合は、第二のシリンダ５３を縮状態から伸び状態にすることにより回動させることができる。この際の第二のシリンダ５３により動かされたスライドプレート５５は、第三のストッパピン５８により、位置の拘束を受けるよう構成されているため、位置の固定が可能になる。
【００４５】
上記３つのストッパピンを調整することにより、基板移載部トレイ搬送ユニットをCW側、CCW側の所望の位置に回動固定することを可能とすることができる。
本態様では、第２の態様のトレイ搬送ユニットにおいて、前記記載の場合における３つのポジションを直動運動で動作可能であるため、更なるコスト削減が可能となる。
【符号の説明】
【００４６】
１ 処理室
２ 搬送室
３ ロードロック室
４ ロードロック室
５ スライドユニット
６ 移載ユニット
７ ローダロボット
８ カセットユニット
９ ゲートバルブ
１０ 基板
１１ 基板ステージ
１２ トレイ
１３ 移載ユニットのトレイ搬送ユニット
１４ スライドユニットの第二のトレイ搬送ユニット
１５ ロードロック室のトレイ搬送ユニット
１６ 搬送室のトレイ搬送ユニット
１７ 処理室のトレイ搬送ユニット
２１ ベースプレート
２２ ピニオン
２３ ローラ
２４ レール
２５ ラック
２６ 回転ベースプレート
２７ トレイ搬送用駆動源
２８ 中心軸
２９ 回転動力源
３０ ガイド
３１ ベアリングホルダ
３２ ベアリング
３３ ギア
３４ 回転軸
３５ ギア
４１ 駆動源
４２ ギア
４３ ボールネジ
５２ 第一のシリンダ
５３ 第二のシリンダ
５４ ＭＬガイド
５５ スライドプレート
５６ 第一のストッパピン
５７ 第二のストッパピン
５８ 第三のストッパピン
５９ メインストッパブロック
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持したトレイが移送されることにより基板を搬送する基板搬送装置において、
前記トレイに基板を移載する基板移載部と、前記基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、前記基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、前記搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、前記基板搬送を制御する制御手段と、を有し、
前記第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
前記制御手段は、前記基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第二のポジションに回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第三のポジションに回動させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１】
基板を保持したトレイが移送されることにより基板を搬送する基板搬送装置において、
前記トレイに基板を移載する基板移載部と、前記基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、前記基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、前記搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、前記基板搬送を制御する制御手段と、を有し、
前記第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
前記制御手段は、前記基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第二のポジションに回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第三のポジションに回動させることを特徴とする基板搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−１４２３３１（Ｐ２０１２−１４２３３１Ａ）
【公開日】平成２４年７月２６日（２０１２．７．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２９２１１０（Ｐ２０１０−２９２１１０）
【出願日】平成２２年１２月２８日（２０１０．１２．２８）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年７月２６日（２０１２．７．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月２８日（２０１０．１２．２８）
【出願人】（０００２２７２９４）キヤノンアネルバ株式会社 (564)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]