【課題】設備を策定する設備策定作業の簡素化を図ることができ、しかも、物品の搬送効率を向上できる天井設置型の物品搬送設備を提供する。
【解決手段】物品搬送車が同じ方向に向けて走行する複数の走行経路４Ａ，４Ｂが、経路横幅方向に並べた状態で天井側に設けられ、複数の走行経路４Ａ，４Ｂにおける隣り合う一対の走行経路４Ａ，４Ｂのうちの一方側走行経路４Ａから他方側走行経路４Ｂに物品搬送車が分岐走行する第１分岐経路５Ａ及び他方側走行経路４Ｂから一方側走行経路４Ａに物品搬送車が分岐走行する第２分岐経路５Ｂが、平面視において走行経路４Ａ，４Ｂに対して傾斜する傾斜姿勢で、一方側走行経路４Ａと他方側走行経路４Ｂとを接続するように設けられ、第１分岐経路５Ａと第２分岐経路５Ｂとが、平面視にて、交差する形態で設けられている。 （もっと読む）

【課題】キャリア搬送システムを有効に利用することができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ＦＯＵＰをロードポートに搬入するためにキャリア搬送システムが移動してきた際に、ロードポートに別のＦＯＵＰが載置された状態である場合には、キャリア搬送システムが搬送開始を通知しても、ＦＯＵＰを内部バッファへ搬送し終えるまでキャリア搬送システムに対して搬入不可を通知せず、待機させる対キャリア搬送システム制御部を備えている。したがって、前のＯＨＴに続いてＯＨＴがＦＯＵＰを搬送する場合であっても、後のＯＨＴが周回軌道を回ることがない。その結果、ＦＯＵＰの搬入に関してキャリア搬送システムを有効利用することができる。 （もっと読む）

【課題】物品保管部の設置箇所に制限を受けることなく、物品保管部の構成の簡素化を図り、入庫作業と出庫作業とを連続して行う場合にその作業にかかる時間の短縮化を図る。
【解決手段】第１授受位置Ｊ１と物品保管部６の内部との間で物品３を搬送する第１搬送コンベヤ３７と、第２授受位置Ｊ２と物品保管部６の内部との間で物品３を搬送する第２搬送コンベヤ３８とが備えられ、物品搬送車２は、走行レール１の経路上の授受用停止位置に停止した状態で、把持部４の昇降を行って第１授受位置Ｊ１及び第２授受位置Ｊ２の一方との間で物品３を移載自在であり、且つ、授受用停止位置に停止した状態で、把持部４のスライド移動を行って第１授受位置Ｊ１及び第２授受位置Ｊ２の他方との間で物品３を移載自在に構成され、第１搬送コンベヤ３７と第２搬送コンベヤ３８の一方が入庫部７として構成され、他方が出庫部８として構成されている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる搬送車を提供する。
【解決手段】搬送車１は、走行台車３と、ターンテーブル９と、カセットＷ載置すると共に、所定の伸縮方向に沿って伸縮してカセットＷを出し入れする移載装置１１と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向におけるカセットＷの第１位置を検出する第１位置検出センサ１３と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向に水平面で直交する方向におけるカセットＷの第２位置を検出する第３位置検出センサ１７と、移載装置１１がカセットＷを取り込んでからカセットＷの移送先に到達するまでに、カセットＷの位置ずれの補正量を算出し、補正量を加味した走行台車３の移動量、ターンテーブル９の回転量及び移載装置１の伸張量を設定するコントローラ１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物に収納された平板状部材の収納状態を精度良く検出することができる搬送車を提供する。
【解決手段】搬送車１は、所定の方向に沿って走行可能に設けられた走行台車３と、走行台車３に対して上下方向の軸中心に回転可能に設けられたターンテーブル９と、ターンテーブル９に設置され、カセットＷを載置すると共に、カセットＷの移動を行う移載装置１１と、カセットＷにおけるガラス基板Ｇの収納状態を検出光Ｌにより検出すると共に、その光軸方向が走行台車３の走行方向に沿い且つターンテーブル９と伴に回転しない位置に設置されたマッピングセンサ１３と、移載装置１１によりカセットＷを取り込み、ターンテーブル９を回転させてカセットＷを回転させた後に、マッピングセンサ１３がカセットＷにおけるガラス基板Ｇの収納状態を検出するように制御するコントローラ１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】原版を迅速に、かつ安全に搬送するのに有利な搬送システムを提供する。
【解決手段】この搬送システム１は、原版３に形成されたパターンを基板に露光する少なくとも１つの露光装置２と、原版３を保持し露光装置２に搬送する搬送車４と、該搬送車４が走行する走行路５とを有する。このとき、露光装置２が敷設される面から、露光装置２に設置された原版３を搬入する搬入口９までの高さが、搬送車４が走行する面から、搬送車４が原版３を保持して走行する際の原版３の保持位置までの高さよりも高く、搬送車４の保持位置と、露光装置２が搬入口９から原版３を受け取る位置とが一致する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給搬出する。
【解決手段】天井走行車軌道と平行にその下方に、処理装置４のロードポート６の上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置されているローカル軌道２０が設けられ、ホイスト１４を備えるローカル台車２２が走行する。ローカル軌道の下部に、処理装置のロードポートの上流側に配置されている第１のバッファと、下流側に配置されている第２のバッファとが、天井走行車１２とローカル台車が共に物品１８を受け渡し自在に設けられている。 （もっと読む）

【課題】可動の支持部により基板を支持しながら、基板を支持する構成の軽量化を図ること。
【解決手段】基板を支持する支持手段と、前記支持手段を所定の基板受け渡し地点に移動させる移動手段と、を備えた基板搬送装置であって、前記支持手段は、前記基板を支持する支持位置と基板の支持を解除する支持解除位置との間で移動可能な可動支持部を少なくとも含み、前記基板を支持する複数の支持部と、前記可動支持部を、前記支持位置に位置させる方向に付勢する付勢手段と、を含み、前記基板搬送装置は、更に、前記基板受け渡し地点に配置され、前記付勢手段の付勢力に抗して前記可動支持部を前記支持位置から前記支持解除位置に移動する支持部移動手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】横移載時にも被搬送物を載置台の所定位置に移載する。
【解決手段】移載システム（１００）は、天井に敷設された軌道（１）に沿って走行しつつ被搬送物（３）を搬送する搬送車（２）と、軌道より下方に設けられる載置台（４）との間で被搬送物が横移載方式で移載可能である。移載システムは、（i）搬送車に把持される被搬送物を載置台の所定位置に載置する載置動作を行う際の被搬送物の移載位置を表す載置位置情報、及び（ii）載置台上の被搬送物を搬送車が把持する把持動作を行う際の被搬送物の移載位置を表す把持位置情報を記憶する記憶手段（１０１）と、載置動作を行う場合、載置位置情報の移載位置で移載が行われるように、他方、把持動作を行う場合、把持位置情報の移載位置で移載が行われるように搬送車を制御する制御手段（１０２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送車において、被搬送物の揺れを効果的に抑制する。
【解決手段】搬送車（２００）は、天井に敷設された軌道（１００）を走行する走行部（２１０）と、走行部に取り付けられており、把持した被搬送物（４００）を収容空間に収容して搬送する搬送部（２２０）と、搬送部の下端側に、水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、退避位置及び落下防止位置の間を移動可能な落下防止部材（２６０）と、落下防止部材と同一の軸心で水平に沿った方向に回動可能に軸支されており、落下防止部材の退避位置から落下防止位置への移動に合わせて被搬送物の側面を押圧するように突出する揺れ抑制部材（２７０）とを備える。揺れ抑制部材は、被搬送物の側面を押圧面で平面的に押圧する押圧部（２７２）と、押圧部を先端側で支持すると共に基端側において搬送部に軸支された長尺状のレバー部（２７１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】壁に形成された開口をシャッターにより開閉自在でかつ、走行による塵埃や振動を極力発生させずに壁両側空間の間で物品を搬送可能な物品搬送設備を提供すること。
【解決手段】搬送空間が開口Ｋ１を有する壁Ｗにより第１空間Ｚ１及び第２空間Ｚ２に仕切られ、第１空間の第１走行レール１ａに沿って走行する第１移動体２ａ及び第２空間の第２走行レール１ｂに沿って走行する第２移動体２ｂが設けられ、第１空間には、開口を開閉自在なシャッター９と干渉しない状態で物品７を支持自在な中継部１２が配設され、第１走行レール１ａは、第１移動体２ｂと中継部１２との間で物品７を授受自在な第１空間側移載位置を経由するように配設され、かつ、第２走行レール１ｂは、第２移動体２ｂと中継部１２との間で開口を通過させる形態で物品７を授受自在な第２空間側移載位置を経由するように配設されている。 （もっと読む）

【課題】基板の飛び出しを防止しつつ走行時において基板出し入れ方向での大きさの小型化を図ることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】収納容器４を保持した状態で走行可能な走行保持体１０と、収納容器４の開口６から基板５が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構９とを設け、飛び出し防止機構９を、基板５の側面に接触する接触位置と基板５の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体２６を備えて構成し、接触体２６の接触位置を、基板出し入れ方向で、基板の開口側端部と中央部との間に接触体２６が位置するように設定する。 （もっと読む）

【課題】 無人搬送車から載置装置へ被載置物を移載するための移載機において、その幅が被載置物の幅に比べて小さい場合、移載中に被載置物を落下させてしまうが、載置装置や被載置物の寸法が種々異なる場合に、移載機の幅が被載置物の幅に比べて小さくならざるをえない事態が生じてしまい、移載中に被載置物を落下させてしまうことがあった。
【解決手段】 本発明にかかる移載機の移載テーブルは、補助機構を突出させることにより、その幅を自在に可変できるものである。 （もっと読む）

【課題】移送モジュールが設けられた複数の工程設備の間に基板を処理するシステムが提供される。
【解決手段】基板処理システムは、複数の工程設備とバッファーステーションとを有する。各々の工程設備は、内部に搬送ロボットが設けられた移送モジュールとこれに連結される処理モジュールとを有する。バッファーステーションは、複数の隣接する移送モジュールの間に位置し、これらの間に基板を移送するために設けられる。前記複数の工程設備は、移送モジュールとバッファーステーションとが配置される方向に沿って設けられる連結ラインを基準として処理モジュールが連結ラインの第１側に位置する第１設備と連結ラインを基準として処理モジュールが前記連結ラインの第２側に位置する第２設備とを有する。第１設備に設けられる移送モジュールは、第２設備に設けられる移送モジュールに比べ連結ラインを基準として第１側に向かってさらに突出するように設けられる。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及びコストの低減を図りながら、搬送能力の低下を防止することができる物品搬送設備の提供。
【解決手段】走行経路として、第１走行経路２０と、第１走行経路２０の横幅方向の一方側から他方側に第１走行経路２０を跨ぐ第２走行経路２２とが備えられ、第２走行経路２２において第１走行経路２０を跨ぐ跨ぎ部位Ｍでは、第２走行経路２２が第１走行経路２０に対して上下方向で異なる高さに配設されて、第１走行経路２０での物品搬送車３の走行と第２走行経路２２での物品搬送車３の走行とが互いに許容自在に構成され、物品搬送車３は、第１走行経路２０の横幅方向の一方側から跨ぎ部位Ｍを経由して第１走行経路２０の横幅方向の他方側に連続して第２走行経路２２を走行自在に構成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的安価な手段によって、搬送車と軌道の走行面が接触する部分から発生する塵埃によるクリーンルームの汚染を防止する。
【解決手段】搬送車システム１は、走行面２３ａを有する軌道５と、軌道５に沿って走行する搬送車７とを備えている。搬送車７は、載置部３５と、走行輪４５および従動輪４７と、カバー５３と、ファンフィルタユニット５９とを備えている。走行輪４５および従動輪４７は、軌道５の走行面２３ａに接触する。カバー５３は、軌道５の走行面２３ａと、車輪４５とを覆うように配置されている。ファンフィルタユニット５９は、カバー５３に取り付けられ、カバー５３に覆われた下部空間５１の空気を清浄化して排出する。 （もっと読む）

【課題】搬送車のグリッパ装置において、被搬送物の落下を防止するための修理やメンテナンスの必要を少なくする。
【解決手段】搬送車のグリッパ装置は、ベースプレート（１１０）と、このベースプレートの上面に設けられたガイドレール（１２０）と、このガイドレールに沿って互いに接近及び離間するように略水平方向に移動可能に係合された一対のガイドブロック（１３０）と、このガイドブロックの上面に固定され、ベースプレートの上面に沿って延在する水平部分（１４１）と、この水平部分からベースプレートより下方まで延在する垂直部分（１４２）と、この垂直部分の下端側に設けられ被搬送物を把持するための爪部（１４３）とを夫々有する一対の把持部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】天井搬送車において、簡易な構成で、被搬送物の搬送中に一対のチャック部が開くのを防止する。
【解決手段】天井搬送車は、天井に敷設された軌道に沿って走行し、被搬送物を把持する把持部（１０１）を昇降部（１２）が巻き上げ及び巻き下げして被搬送物を搬送する天井搬送車であって、把持部は、ベースプレート（１１０）と、このベースプレートに設けられたガイドレール（１２０）と、このガイドレールに沿って互いに接近及び離間するように略水平方向に移動可能とされ、被搬送物を把持するための爪部（１４３）を有する一対のチャック部（１４０）と、このチャック部に設けられ、弾性体を含んでなるクッション部材（１６０）とを備え、昇降部が把持部を巻き上げた際には、クッション部材が昇降部に当接して押圧され、昇降部との間で発生する摩擦力によってチャック部の移動が規制される。 （もっと読む）

【課題】有軌道台車システムにおいて、ダウンフローを吹き出すクリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止する
【解決手段】有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井の吹き出し口７から吹き出すクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道２は、クリーンルーム内で天井１３から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入したダウンフローＤＦを排出する。 （もっと読む）