【課題】シートの複数の区画領域に連続してパターンを形成する。
【解決手段】シートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光に際して、ステージＳＳＴ_１は、走査領域ＡＳの＋Ｘ端部の待機位置でシートＳの区画領域ＳＡ_ｉに対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着して、マスク（マスクステージ）と同期して、Ｘ軸方向（−Ｘ方向）に所定ストロークで移動する。この際に、マスクのパターンの一部に対応する照明光が投影光学系を介してシートＳに照射されることで、パターンが転写（形成）される。区画領域ＳＡ_ｉに対する走査露光後、ステージＳＳＴ_２は、待機位置にＸＹ平面内で移動して、シートＳの次の区画領域ＳＡ_ｉ+１に対応する裏面部分をシートホルダＳＨ_１の保持面に吸着後、上述と同様に走査露光方式で露光してパターンを形成する。 （もっと読む）

【目的】振動の発生を抑制したステージ駆動装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のステージ駆動装置１０６は、上面と裏面に移動距離以上の範囲で平行な平面部を有し、基板を配置するＸＹステージ１０５に接続され、長手方向に移動することで当該方向にステージを移動させるレール状部材２０と、レール状部材２０における上面側の平面部に円形の外周面で接触し、接触した状態で回転することでレール状部材を長手方向に移動させる駆動側回転軸１０と、駆動側回転軸１０を支持する軸受３０と、駆動側回転軸１０の下部に配置され、駆動側回転軸１０の外周面のうちレール状部材２０と接触する部分よりも軸受３０側に位置する部分に円形の外周面で接触し、駆動側回転軸１０の回転により回転させられる軸受４０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】互いのウェハを位置合わせして重ね合わせるときに、ステージの回転量が所定量を超えてしまうと、ステージの正確な位置を把握することが困難となる。ステージの回転量が所定量を超えないように制御するには、そもそも最初にステージに置かれるウェハの位置を厳密に管理する必要がある。
【解決手段】位置検出装置は、第１基板に設けられた少なくとも２個の第１基板指標を一度の撮像動作により撮像する第１撮像ユニットと、第１撮像ユニットにより撮像された画像に基づいて第１基板指標の位置を計測することにより、第１基板の姿勢を測定する測定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板テーブル及び／又は支持体の位置決めの精度を改良する
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調整するように構成された照明システムと、放射ビームの断面にパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構築された支持体と、基板を保持するように構築された基板テーブルと、パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、を含む。基板テーブル及び／又は支持体は、基板テーブル及び／又は支持体の加速度を測定する加速度計を備え、装置は、加速度計と通信し、加速度計によって測定された加速度から加速度に基づく位置信号を計算するカルキュレータを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の受け取り位置にズレが生じている場合、自動で受け取り位置を調整する。
【解決手段】ハンドを載置部上の待機位置から空吸着状態で上昇を開始させた後、吸着機構の吸着圧が予め設定した閾値となるまで上昇駆動させ、その駆動時間を監視する吸着時間監視工程Ｓ１〜Ｓ６と、該吸着時間監視工程Ｓ１〜Ｓ６で得られた監視時間に基づいて、受け取り位置の調整の要否を判断する調整判断工程Ｓ７、Ｓ８と、該調整判断工程Ｓ７、Ｓ８において、監視時間及び吸着機構の吸着圧が、予め設定した許容範囲にない場合、受け取り位置を、許容範囲を満たす位置に自動で設定する位置設定工程Ｓ９とを有する。 （もっと読む）

【課題】走査露光処理を中断させることなく、基板上のショット領域において、両スキャン方向の同期精度を算出する。
【解決手段】原版を保持するレチクルステージと、基板を保持するウエハステージとを所定の走査方向に同期移動させて、基板に定義される配列を構成する複数の領域を露光する露光処理方法であって、複数の領域において露光処理を通して取得する装置情報を抽出する抽出工程Ｓ１と、走査方向が第１の走査方向で同期移動された領域における装置情報に基づいて、第２の走査方向で同期移動された領域における装置情報を補間するための補間値を算出する算出工程Ｓ４、Ｓ５とを有する。 （もっと読む）

【課題】テーブルが軽量化及び小型化され、テーブルの緊急停止時に、位置制御や速度制御などの制御駆動機能に依存せずに、強い制動力を有する位置決め装置を提供する。
【解決手段】定盤２上の駆動領域内でテーブル１を駆動するモータ１２と、テーブル１の位置を検出する位置検出器３と、モータ１２を制御する制御部３０とを備え、テーブル１を位置決めする位置決め装置であって、制御部３０は、位置検出器３の出力に基づいて、テーブル１の位置を制御するための電流を出力する第１出力部７、８ａ、８ｄと、駆動領域の中心に向かう推力をテーブル１に付与するための電流を出力する第２出力部１６ａ、１６ｄと、テーブル１を停止させるための停止信号に基づいて、第１出力部７、８ａ、８ｄの出力に応じてモータ１２が制御される状態から、第２出力部１６ａ、１６ｄの出力に応じてモータ１２が制御される状態に切り替える切替部１０ａ、１０ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】露光精度の低下を抑制する露光装置及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板に所定のパターンを形成する露光装置であって、所定状態に設定された気体を収容する第１空間と、前記第１空間内を移動可能に配置された移動体と、前記第１空間に接続され、前記移動体の移動に応じて前記第１空間内との間で前記気体の移動が可能に設けられた第２空間と、前記第２空間から前記第１空間に流入する前記気体を前記所定状態となるように調整する調整装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測ステーションにおける非稼働時間の発生を防止して露光精度を高める露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１００は、基板Ｐに対してアライメント計測およびフォーカス計測を行う計測ステーション１１０と、計測ステーション１１０で計測された基板Ｐの各ショット領域を走査露光する露光ステーション１２０と、計測ステーション１１０での計測結果に基づいて露光ステーション１２０での露光動作を制御する主制御部１４１と、を有する。主制御部１４１は、計測ステーション１１０でのフォーカス計測の結果に基づいて、露光ステーション１２０での露光における基板Ｐの走査速度を各ショット領域に対して決定し、各ショット領域に対して決定された走査速度に基づいて、露光ステーション１２０での基板Ｐの露光に要する時間を求め、求められた時間に応じて、計測ステーション１１０で計測されるべきショット領域の数を決定する。 （もっと読む）

【課題】従来のようにカセット等の容器とアダプタユニットの切換作業をすることなく、被検査体の非自動搬送及び自動搬送に対応させることができるアダプタユニット内蔵型ローダ室を提供する。
【解決手段】本発明のローダ室１０は、カセット載置部１１とは別のバッファテーブル配置部１３に半導体ウエハＷを自動搬送するＲＧＶ４０に対応して設けられ、ＲＧＶ４０及びプローバ室２０それぞれとの間で搬送される半導体ウエハＷを複数保持するアダプタユニットを備えている。 （もっと読む）

【課題】露光装置で基板を載置するステージの位置制御を担うアクチュエーターにおいては、ボールスクリュウ装置が採用されているが、該ボールスクリュウの軸方向の最小の移動距離を、ねじピッチの加工限界で規定される値以下にする技術を提供すること。
【解決手段】少なくとも、フレーム及びフレームに水平可動に設置されたモーターと、
前記フレームに固定されたボールスクリュウＢ受け部と,外周部に前記ボールスクリュウＢ受け部と螺合するねじ部及び中心軸に平行に形成された円筒状開口部の内側面に形成されたボールスクリュウＡ受け部と、を有し前記モーターと連結するボールスクリュウＢと、前記ボールスクリュウＡ受け部と螺合するねじ部を有するボールスクリュウＡと、を有することを特徴とするアクチュエーター及びこれを備える露光装置である。 （もっと読む）

【課題】保持部材に切り欠きを形成することなく、保持部材上のウエハの交換を行う。
【解決手段】 搬送装置は、微動ステージＷＦＳ２に載置されたウエハＷの上方にチャック部材１０８を位置させ、チャック部材１０８と微動ステージＷＦＳ２とを鉛直方向に相対移動させて、ウエハＷ上面から所定距離の位置までチャック部材１０８を接近させ、ウエハＷを、チャック部材１０８により上方から非接触で保持して、ウエハを保持したチャック部材と微動ステージとを鉛直方向に離間させた後、所定平面内で離間させる。また、搬送装置は、チャック部材により上方から非接触で保持したウエハＷを、微動ステージ上にロードする。このため、微動ステージ上のウエハホルダなどの保持部材上でのウエハ交換に用いられるアーム等を収容するための切り欠き、及びウエハの受け渡しのための上下動部材を、保持部材に、形成したり設けたりする必要がない。 （もっと読む）

【課題】 粗微動ステージにおいて、微動ステージの位置を高精度に計測する。
【解決手段】 粗動ステージＷＣＳに保持された微動ステージＷＦＳのＸＹ平面内での位置情報の計測には、微動ステージのＸＹ平面に実質的に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対向して配置され、該グレーティングに計測ビームを照射するヘッドを含むエンコーダシステムが用いられる。そして、微動ステージは、駆動系によって、エンコーダシステムで計測された位置情報に基づいて、単独で、若しくは粗動ステージと一体で駆動される。この場合、エンコーダシステムのヘッドを微動ステージ（グレーティング）に近接して配置することができ、これにより、エンコーダシステムによる微動ステージの位置情報の高精度な計測が可能になる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、再現可能かつ正確な基板処理を維持しながら、システム処理量を増大させ、システム稼働時間を改善し、かつデバイス歩留り性能を改善した処理システム内で基板を処理する装置および方法を提供する。システムは、システム制御装置によって制御される複数の平面の移動子を介して平面のモータを使用することによって横方向に位置決めできる複数の処理ネストを含むことができる。各処理ネストによって支持される基板は、回転アクチュエータによってその角度を決定できる。システムは、とりわけ、スクリーン印刷、インクジェット印刷、熱処理、デバイス試験、および材料除去プロセスに使用することができる。
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【課題】移動体の位置情報を高精度で計測する。
【解決手段】 露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。露光装置１００は、ステージＷＦＳ２が計測ステーション３００から露光ステーション２００へ搬送される際、このステージＷＦＳ２の位置情報を計測可能な第３の微動ステージ計測系を有する。第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果に基づいて移動体が駆動される。この場合、アーム部材からグレーティングＲＧに計測ビームを照射する構成が採用されているので、ステージ定盤にエンコーダシステムを設ける場合とは異なり、移動体の駆動に起因する悪影響はない。従って、移動体を精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ウェハが搭載されるターンテーブルの回転及び水平面内での移動によってもフレームの上下における気密性を維持でき、アライニング作業を真空中又は特定のガス雰囲気中で行うことができるようにする。
【解決手段】アライナ装置１０は、フレーム３の底面における貫通孔３１の周縁部に上端を密着して固定するとともに支持台４の上面における孔部４２の周縁部に下端を密着して固定したベローズ９を備えている。また、孔部４２には、磁性流体継手８が嵌入している。ターンテーブル１が配置されるフレーム３の上方は、ベローズ９と支持台４の上面とで包囲される範囲においてのみフレーム３の下方に連通し、フレーム３の下方から外気が流入することがなく、気密状態に維持される。 （もっと読む）

【課題】エンコーダタイプの位置測定システムのグリッドプレート内の欠陥を判定する。
【解決手段】別のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定するエンコーダタイプの位置測定システムを提供するステップであって、前記エンコーダタイプの位置測定システムが、グリッドプレートとエンコーダヘッドとを含むステップと、２つ以上の検出器の各々に反射した光の量を測定するステップと、２つ以上の検出器に反射した放射ビームの結合放射ビーム強度を用いて測定位置でのグリッドプレートの反射率を表す反射率信号を決定するステップと、グリッドプレートの反射率信号に基づいて測定位置の欠陥の存在を判定するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）