【課題】真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現する。
【解決手段】真空排気可能な第２搬送室１４内で被搬送物を搬送する搬送装置１であって、第２搬送室１４内を移動可能に構成された移動容器２０と、第２搬送室１４内に固定配置され気体を供給する供給ノズル４２と、を備え、移動容器２０は、容器内の雰囲気と遮断された空間部２０ｂと、空間部２０ｂに連通する給気口が設けられ、移動容器２０が所定位置へ移動した際に供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、給気口から空間部２０ｂへ気体を導入する給気ユニット２２と、空間部２０ｂに連通する排気口が設けられ、空間部２０ｂの気圧に応じて空間部２０ｂの気体を排気口から排出する排気ユニット２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 実装部品の温度変化による干渉計測長誤差を抑制し、ステージの位置決め精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】 定盤上を非接触に移動可能なステージ可動部と、前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、前記ステージ可動部に接続された配管または配線を備えるステージ装置であって、前記ステージ可動部の外部に引き出された配管または配線を保持する補助部材と、前記補助部材を覆う包囲部材と、前記包囲部材の内部空間を排気する排気手段とを含み、前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された熱回収ユニットとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改良されたリソグラフィ装置、特にオーバーレイおよび結像の性能を改善したリソグラフィ装置を提供することが望ましい。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調節する照明システムと、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付与された放射ビームを形成可能なパターニングデバイス、を支持するよう構成されたサポートと、基板を保持するよう構成された基板テーブルと、基板テーブルを基準構造に対して位置決めするためのステージシステムと、パターン付与された放射ビームを基板のターゲット部分に投影する投影システムと、センサ部と光学部とを有する光学測定システムと、を備える。光学部は、パターン付与された放射ビームと光学的に相互作用し、その相互作用の結果を出力としてセンサ部に送信する。光学部は基板テーブルに設けられ、センサ部はステージシステムまたは基準構造に設けられる。 （もっと読む）

【課題】スループットが向上されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置が、放射ビームを調節するように構成された照明システムと、放射ビームにその断面内でパターンを与えてパターン付き放射ビームを形成できるパターニングデバイスを支持するように構成された支持体と、基板を保持するようにそれぞれ構成された少なくとも３つの基板テーブルと、パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分の上に投影するように構成された投影システムとを含み、基板テーブルは、実質的にパターン付き放射ビームに直角の平面内に延びる共通可動領域内で移動可能であり、可動領域は少なくとも３つの作業場所を含み、そのうちの少なくとも１つの作業場所が、前記パターン付き放射ビームへの前記基板の露光用に配置され、少なくとも１つの作業場所が非露光目的で配置される。 （もっと読む）

【課題】温度検出装置が半導体処理装置内で、または半導体処理装置間を移動して用いられる場合、温度検出装置から引き出される配線ケーブルの取り回しが常に問題となる。その上、その移動できる範囲はおよそ配線ケーブルの長さに制限される。
【解決手段】半導体基板を保持する半導体基板ホルダであって、半導体基板を保持するに替えて、温度センサを内蔵する温度検出装置を保持したときに、温度検出装置の接触端子に対応する位置に設けられた接続端子を備える。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】移動体に追従させてケーブルなどを低振動、低発塵で案内する。
【解決手段】ケーブル５６は、水平面に沿ってＸ軸方向に移動するＸ粗動ステージ２３Ｘに一端が、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動範囲外に配置された固定部材６６に他端が接続されている。ケーブル５６は、直列に接続された４節のリンク６８，７０，７２，７４を含むリンク機構６０に沿うように、そのリンク機構６０に固定されている。Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動すると、リンク機構６０の変形に伴って、ケーブル５６がＺ軸方向に案内され、これにより固定部材６６側から見たケーブル５６の繰り出し量が調整されるので、ケーブル５６と他の部材との摺動が抑制され、同時に振動の発生も抑制される。 （もっと読む）

【課題】基板に均一性高い加熱処理を行う一方で、高い真空度が得られる真空加熱装置を提供すること。
【解決手段】本発明の真空加熱装置は、気密な処理容器と、この処理容器内に基板を載置するために設けられたアルミニウム合金からなる載置台と、この載置台を支持し、その内部に用力線路部材が大気側から挿入されているステンレス鋼からなる筒状の支持部材と、この支持部材と処理容器との間を気密にするための有機物からなるシール部材と、前記載置台を加熱するための加熱部と、前記処理容器内を真空排気するための真空排気手段と、を備えている。これによって載置台の熱が支持部材を介してシール部材に伝熱し難くなっており、シール部材の昇温が抑えられ、大気側から大気成分がシール部材を通って処理容器内へ侵入することが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持されるステージが上下方向、水平方向さらに回転方向へ駆動する機能を有し、高さ方向と長さ方向において寸法が小さく、コンパクトなステージ装置を提供する。
【解決手段】スライダ１５は左右１つずつ設けられているだけなので、ガイドレール５の長さ寸法を短いものにすることができる。昇降用モーター２１はボールネジシャフト１７の側方に備えられ、昇降用モーター２１の駆動力がプーリー２３、タイミングベルト２５、プーリー１９を介してボールネジシャフト１７に伝達されるようになっているので、ステージ装置１の高さ方向と長さ方向において寸法が小さくすることが可能となっている。 （もっと読む）

ロボット装置内で電気エンドエフェクタへの電気的接続を可能にするシステム、装置、および方法が開示される。一態様では、電気的結合は、真空チャンバ内で電気エンドエフェクタに電力を提供する。電気的結合は、係合する電気接点を含むことができる。いくつかの実施形態では、接点の少なくとも１つは、ロボットのアームの回転中に係合する接点が互いに対して回転しないように、ばねにつるすことができる。他の実施形態では、誘導結合されたコイルが含まれる。多数の他の態様が提供される。
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本発明は、光電池素子の製造のための大規模生産プラントにおける異なる生産ステーション間でガラスシートを高速輸送するための方法及び装置に関し、前記生産プラントはクリーンルーム条件を前提とし、ａ）昇降ガントリーを搬送するための自由に移動可能な台座と、ｂ）伸縮自在なジャッキ板によってガラスシートを垂直方向に輸送するための少なくとも１つの垂直昇降籠であって、前記板は２つの反対方向に伸張可能であり、局部的に下降及び上昇する機能を有し、ガラスシートを連続的に、前記垂直昇降籠の一方から他方に輸送することができ、ｃ）クリーンルームにおける運転のために、耐摩耗性材料で製造され、排気を出さないようにカプセルに包まれた機械的な動作部分、及びｄ）台座を動作させるためのケーブルレス電力供給ユニットを備えたことを特徴とする。
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【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、真空室の真空状態を確保しつつ真空室外から真空室内の可動部の位置を検出することができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】センサヘッド３２により支持台４等の位置情報を検出し、送信機９５により位置情報を光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３に変換し透光部１１３ｂを介して真空室１外の受信機８１に出射し、受信機８１で光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３を受信しドライバ／電源ユニット８で位置情報に変換することができる。つまり、真空室１外から支持台４等の位置情報を検出するために、真空室１の隔壁１１に貫通孔を形成して位置情報を送信するためのケーブルをこの貫通孔を介して真空室１外へ導出したり、真空室１内に敷設したりする必要がない。従って、ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、真空室１の真空状態を確保しつつ真空室１外から真空室１内の支持台４等の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、ステージの移動に対して配管を十分に追従させるとともに配管の変形を低減させることができるようにした、配管構造及びステージ装置を提供する。
【解決手段】面方向に移動可能な平面状のステージ１Ａと、ステージ１Ａ上に設置されるステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７と有するものにおいて、ステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７に接続される配管４，６，７，９の構造であって、ステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７の移動に追従しうる余長を有する曲げ変形可能な部材によって形成される配管４，６，７，９と、断面の長手方向がステージと垂直な方向となるように配管に沿って設けられる可撓性を有する帯状の補強部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】リニア軸を有する装置において高さ方向や幅方向に制限がある場合であってもリニア軸のケーブル処理機構が必要なスペースを小さくでき、さらにリニア軸を２本並設する場合であっても、装置サイズを小さくすること。
【解決手段】ケーブルガイド３７、３８が、一端がベース部材３４に固定され、Ｕ字状に湾曲して、その他端がスライド部材２７ａ、２７ｂに固定され、スライド部材２７ａ、２７ｂの進退方向に沿って延在するよう配置され、スライド部材２７ａ、２７ｂの進退方向から見てベース部材３４に対して傾斜するよう配置した。 （もっと読む）

【課題】搬送能力を向上させることができるオートハンドラを提供する。
【解決手段】本発明のオートハンドラは、ソークコーナーＣ１とテストポートＰとの間で往復移動可能なシャトル２４と、テストポートＰとコーナーＣ２の間で往復移動可能なシャトル２５とを有する搬送装置１４を備えており、シャトル２４に搬送される搬送ボートＢ上の全ての半導体デバイスのコンタクトヘッド１８による移送が完了する前に、シャトル２４，２５を共に移動させて、テストポートＰでシャトル２４に搬送される搬送ボートＢをシャトル２５に受け渡す処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できる。
【解決手段】 ケーブルを収容するケーシング１１０と，ケーシング内の上方に鉛直軸回りに相対的に回転可能に配設された回転板１２６と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，各線条体が鉛直方向に配列するように回転板に配線されるフラット状のケーブル２００とを備え，ケーブル２００は，その一端を回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けた。 （もっと読む）

【課題】下層位置において搬入コンベア上に載置されている基板を搬送プレート上に載せ換えるときや、上層位置で搬送プレート上の基板を搬出コンベアに載せ換えるときに、搬送ローラ上の基板に衝撃を与えることなく、基板を水平方向にスムーズに移送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】水平方向から供給される基板Ｇを垂直方向に昇降する搬送装置であって、搬送装置の本体フレーム１１と、本体フレーム内に上下動自在に配置して基板を載置するパレット部１２と、基板を水平方向に搬送するパレット部上面側に配置された基板送り手段１９と、パレット部に設け基板送り手段を駆動させる電動モータ１２ｂと、パレット部を本体フレーム内で昇降させる昇降手段１３と、を有し、電動モータは、本体フレームに設けた非接触給電コイル１４、１４ａ及びパレット部に設けた非接触受電コイル１５を介して電源が供給されることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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【課題】基台下の構造について設計の自由度を高めつつ大型化を抑制することを可能とするステージ装置を提供する。
【解決手段】基台１０と、基台１０上で一軸方向に移動可能に設けられるガントリ部３０とを備えたステージ装置１であって、基台１０の側方に張り出すように設けられ、一軸方向に沿って延び、ガントリ部３０の移動を案内するガイドレール４０が設置される張り出し片５２と、基台１０の側方であって張り出し片５２の下方に設けられ、ガントリ部３０の移動に追従して変形し、ガントリ部３０を制御するケーブルをまとめて配線するケーブルキャリア６０と、を備える。 （もっと読む）