用力伝達部材ガイド装置、及び基板処理装置
【課題】移動体に追従させてケーブルなどを低振動、低発塵で案内する。
【解決手段】ケーブル５６は、水平面に沿ってＸ軸方向に移動するＸ粗動ステージ２３Ｘに一端が、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動範囲外に配置された固定部材６６に他端が接続されている。ケーブル５６は、直列に接続された４節のリンク６８，７０，７２，７４を含むリンク機構６０に沿うように、そのリンク機構６０に固定されている。Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動すると、リンク機構６０の変形に伴って、ケーブル５６がＺ軸方向に案内され、これにより固定部材６６側から見たケーブル５６の繰り出し量が調整されるので、ケーブル５６と他の部材との摺動が抑制され、同時に振動の発生も抑制される。
【解決手段】ケーブル５６は、水平面に沿ってＸ軸方向に移動するＸ粗動ステージ２３Ｘに一端が、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動範囲外に配置された固定部材６６に他端が接続されている。ケーブル５６は、直列に接続された４節のリンク６８，７０，７２，７４を含むリンク機構６０に沿うように、そのリンク機構６０に固定されている。Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動すると、リンク機構６０の変形に伴って、ケーブル５６がＺ軸方向に案内され、これにより固定部材６６側から見たケーブル５６の繰り出し量が調整されるので、ケーブル５６と他の部材との摺動が抑制され、同時に振動の発生も抑制される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、用力伝達部材ガイド装置、及び基板処理装置に係り、更に詳しくは、所定の二次元平面内の所定範囲を移動する移動体と外部装置との間での用力の伝達に用いられる用力伝達部材を案内する用力伝達部材ガイド装置、及びこの用力伝達部材ガイド装置を有し、移動体に載置された基板に処理を施す基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示素子、半導体素子（集積回路等）等の電子デバイス（マイクロデバイス）を製造するリソグラフィ工程では、マスク又はレチクル（以下、「マスク」と総称する）と、ガラスプレート又はウエハ（以下、「基板」と総称する）とを所定の走査方向（スキャン方向）に沿って同期移動させつつ、マスクに形成された微細なパターンを、投影光学系を介して基板上に転写するステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置（いわゆるスキャニング・ステッパ（スキャナとも呼ばれる））などが用いられている。
【０００３】
この種の露光装置は、基板を保持し、この基板をスキャン方向に案内する基板ステージ装置を備えており、この基板ステージ装置には、外部から各種用力、例えば電力などを供給するためのケーブルが接続されている。ケーブルは、基板ステージ装置の移動に伴い、ケーブル案内装置により基板ステージ装置に追従するように所定の方向に案内される。従来、ケーブル案内装置としては、複数のリンク部材が繋がれたチェーンリンク機構を用いるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載のケーブル案内装置においては、ケーブルが各チェーンリンクに沿って配置されているため、チェーンリンク機構の変形に伴いケーブルが変形する際、ケーブルとチェーンリンクとが摺動し、振動が発生するおそれ及び発塵するおそれがあった。
【０００５】
上記露光装置においては、このような振動が発生すると基板の位置制御の精度が下がり、また、発塵によりマスクや基板に塵がつくと転写不良を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００２／０８６３４９号
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の観点からすると、所定の二次元平面に平行な平面内の所定範囲を該二次元平面に沿って移動する移動体と、外部装置と、の間で伝達される用力の伝達路を形成する可撓性の用力伝達部材の一部が固定される固定部と；前記用力伝達部材の、前記固定部に固定された部位と前記移動体に接続された部位との中間の領域の一箇所又は複数箇所を保持し、その保持する箇所を、前記移動体が移動する際に該移動体の移動方向と同方向に案内しつつ前記二次元平面に交差する方向に案内する案内部と；を備える用力伝達部材ガイド装置である。
【０００８】
ここで、用力とは、移動体又は外部装置で用いられる何らかのエネルギ、物質など（一例として、電力、電気信号、加圧気体、真空吸引力、冷媒）を意味し、用力を伝達するとは、移動体と外部装置との間で上記用力の授受（電力の供給、電気信号の送受信、冷媒の供給及び回収など）を行うことを意味する。本明細書では、かかる意味で用力なる用語を用いるものとする。
【０００９】
これによれば、移動体が所定の二次元平面内に沿って移動する際、案内部は、有限長の用力伝達部材の一箇所又は複数個所を、その移動体と同方向に案内しつつ、その移動体の移動方向に交差する方向に案内することにより、可撓性の用力伝達部材を撓ませる。これにより、用力伝達部材と他の部材との摺動を回避しつつ、用力伝達部材の固定部側から見た繰り出し量を調整できる。従って、用力伝達部材を案内する際の振動の発生及び発塵が防止される。
【００１０】
本発明は、第２の観点からすると、前記移動体は基板が載置されるステージである本発明の用力伝達部材ガイド装置と；前記基板に処理を施す基板処理部と；を備え、該基板処理部は、前記ステージの移動範囲の上方に位置する基板処理装置である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態の液晶露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１の液晶露光装置が有するケーブルガイド装置を模式的に示す図である。
【図３】ケーブルガイド装置の構成を示す平面図である。
【図４】ケーブルガイド装置の構成を示す側面図である。
【図５】隣り合うリンクから成るリンク対の開き角度と、該リンク対の連結部に設けられたローラに固定されたケーブルとの関係を示す図である。
【図６】図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は、ケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態に係るケーブルガイド装置の構成を示す側面図である。
【図８】第３の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図９】図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、図８の液晶露光装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１０】第４の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１１】第５の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１２】第６の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１３】図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、第７の実施形態に係る液晶露光装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１４】図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）は、第８の実施形態に係るケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１５】第８の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置を示す平面図である。
【図１６】図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）は、第９の実施形態に係る基板ステージ装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１７】第２の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置の概略構成を示す側面図である。
【図１８】図１８（Ａ）〜図１８（Ｃ）は、第１の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１９】第１０の実施形態に係る基板ステージ装置を示す図である。
【図２０】図１９のＡ−Ａ線断面図である。
【図２１】図１９の基板ステージ装置を−Ｘ側から見た図である。
【図２２】第１１の実施形態に係る基板ステージ装置を示す図である。
【図２３】図２２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２４】図２２の基板ステージ装置を−Ｘ側から見た図である。
【図２５】図２５（Ａ）〜図２５（Ｃ）は、第１２の実施形態に係るケーブルガイド装置の構成及び動作を説明するための図である。
【図２６】図２６（Ａ）及び図２６（Ｂ）は、リンク対の開き止め装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態について、図１〜図６（Ｃ）を用いて説明する。
【００１３】
図１には、第１の実施形態に係る液晶露光装置１０の概略構成が示されている。液晶露光装置１０は、液晶表示装置の表示パネルに用いられる矩形（角形）のガラス基板Ｐ（以下、単に基板Ｐと称する）を露光対象物とするステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置、いわゆるスキャナである。
【００１４】
液晶露光装置１０は、照明系ＩＯＰ、マスクＭを保持するマスクステージＭＳＴ、投影光学系ＰＬ、上記マスクステージＭＳＴ及び投影光学系ＰＬなどが搭載されたボディＢＤ、基板Ｐを保持する基板ステージ装置ＰＳＴ、及びこれらの制御系等を含んでいる。以下においては、露光時にマスクＭと基板Ｐとが投影光学系ＰＬに対してそれぞれ相対走査される方向をＸ軸方向とし、水平面内でこれに直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向をＺ軸方向とし、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸回りの回転（傾斜）方向をそれぞれθｘ、θｙ、及びθｚ方向として説明を行う。
【００１５】
照明系ＩＯＰは、例えば米国特許第６，５５２，７７５号明細書などに開示される照明系と同様に構成されている。すなわち、照明系ＩＯＰは、図示しない光源（例えば、水銀ランプ）から射出された光を、それぞれ図示しない反射鏡、ダイクロイックミラー、シャッター、波長選択フィルタ、各種レンズなどを介して、露光用照明光（照明光）ＩＬとしてマスクＭに照射する。照明光ＩＬとしては、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）などの光（あるいは、上記ｉ線、ｇ線、ｈ線の合成光）が用いられる。また、照明光ＩＬの波長は、波長選択フィルタにより、例えば要求される解像度に応じて適宜切り替えることが可能になっている。
【００１６】
マスクステージＭＳＴには、回路パターンなどがそのパターン面（図１における下面）に形成されたマスクＭが、例えば真空吸着（あるいは静電吸着）により固定されている。マスクステージＭＳＴは、後述するボディＢＤの一部である鏡筒定盤３１の上面に固定された一対のマスクステージガイド３５上に、例えば不図示のエアベアリングを介して非接触状態で浮上支持されている。マスクステージＭＳＴは、例えばリニアモータを含むマスクステージ駆動系（不図示）により、一対のマスクステージガイド３５上で、走査方向（Ｘ軸方向）に所定のストロークで駆動されるとともに、Ｙ軸方向、及びθｚ方向にそれぞれ適宜微少駆動される。マスクステージＭＳＴのＸＹ平面内の位置情報（θｚ方向の回転情報を含む）は、レーザ干渉計９１を含むマスク干渉計システムにより計測される。
【００１７】
投影光学系ＰＬは、マスクステージＭＳＴの図１における下方において、鏡筒定盤３１に支持されている。本実施形態の投影光学系ＰＬは、例えば米国特許第６，５５２，７７５号明細書に開示された投影光学系と同様の構成を有している。すなわち、投影光学系ＰＬは、レンズモジュールなどを含む光学系を複数有し、その複数の光学系は、Ｙ軸方向に沿って、いわゆる千鳥状に配列されている（マルチレンズ投影光学系とも称される）。複数の光学系それぞれとしては、例えば両側テレセントリックな等倍系で正立正像を形成するものが用いられている。前述の照明系ＩＯＰは、複数の光学系に対応した複数の照明光ＩＬをそれぞれマスクＭに照射するように構成されている。このため、マスクＭ上には、千鳥状に配置された複数の照明光ＩＬの照明領域が形成されるとともに、基板Ｐ上には、複数の光学系それぞれに対応して、千鳥状に配置された複数の照明光ＩＬの照射領域が形成される。液晶露光装置１０では、基板Ｐ上に形成される複数の照射領域が合成されることにより、千鳥状に配置された複数の光学系から成る投影光学系ＰＬが、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形状の単一のイメージフィールドを持つ投影光学系と同等に機能する。
【００１８】
このため、照明系ＩＯＰからの照明光ＩＬによってマスクＭ上の照明領域が照明されると、マスクＭを通過した照明光ＩＬにより、投影光学系ＰＬを介してその照明領域内のマスクＭの回路パターンの投影像（部分正立像）が、投影光学系ＰＬの像面側に配置される、表面にレジスト（感応剤）が塗布された基板Ｐ上の照明領域に共役な照明光ＩＬの照射領域（露光領域）に形成される。そして、マスクステージＭＳＴと基板ステージ装置ＰＳＴとの同期駆動によって、照明領域（照明光ＩＬ）に対してマスクＭを走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させるとともに、露光領域（照明光ＩＬ）に対して基板Ｐを走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させることで、基板Ｐ上の１つのショット領域（区画領域）の走査露光が行われ、そのショット領域にマスクＭのパターン（マスクパターン）が転写される。すなわち、本実施形態では照明系ＩＯＰ及び投影光学系ＰＬによって基板Ｐ上にマスクＭのパターンが生成され、照明光ＩＬによる基板Ｐ上の感応層（レジスト層）の露光によって基板Ｐ上にそのパターンが形成される。
【００１９】
ボディＢＤは、基板ステージ架台３３と、基板ステージ架台３３上に配置された一対の支持部材３２を介して水平に支持された鏡筒定盤３１と、を有している。基板ステージ架台３３は、床面Ｆ上に設置された複数の防振機構３４に支持されており、ボディＢＤは、床面Ｆに対して振動的に分離されている。
【００２０】
基板ステージ装置ＰＳＴは、基板ステージ架台３３上に固定された定盤１２と、床面Ｆ上に固定された一対のベースフレーム１４と、一対のベースフレーム１４上に搭載されたＸ粗動ステージ２３Ｘと、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上に搭載され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと共にＸＹ二次元ステージ装置を構成するＹ粗動ステージ２３Ｙと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｚ側（上方）に配置された微動ステージ２１と、定盤１２上で微動ステージ２１の重量を支持する重量キャンセル装置２６と、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと電源装置（不図示）とに接続されたケーブル５６（図２参照）を案内するケーブルガイド装置１００（図２参照）と、を備えている。
【００２１】
定盤１２は、例えば石材により形成された平面視で（＋Ｚ側から見て）矩形の板状部材から成り、その上面は、平面度が非常に高く仕上げられている。
【００２２】
一対のベースフレーム１４は、一方が定盤１２の＋Ｙ側、他方が定盤１２の−Ｙ側にそれぞれ配置されている。一対のベースフレーム１４それぞれは、Ｘ軸方向を長手方向とする部材から成り、基板ステージ架台３３を跨いだ状態で床面Ｆに固定されている。なお、図１では不図示であるが、一対のベースフレーム１４は、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に直進案内するための複数のＸリニアガイド部材、及びＸ粗動ステージ２３Ｘを駆動するＸリニアモータを構成するＸ固定子（例えば磁石ユニット）などを有している。
【００２３】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、平面視矩形の外形形状を有する枠状の部材から成り、その中央部にＹ軸方向を長手方向とする長孔状の開口部（不図示）を有している。Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面には、ＹＺ断面逆Ｕ字状に形成された一対のＸスライダ５４が固定されている。一対のＸスライダ５４それぞれは、図１では不図示であるが、ベースフレーム１４の有するＸリニアガイド部材（不図示）に対してスライド可能に係合するスライド部材、及び、上述したＸ固定子と共にＸリニアモータを構成するＸ可動子（例えば、コイルユニット）などを有している。Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、Ｘリニアモータを含むＸ粗動ステージ駆動系により、一対のベースフレーム１４上で、Ｘ軸方向に所定ストロークで直進駆動される。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの上面には、Ｘ軸方向に離間して配置された一対のＹリニアガイド部材２８（−Ｘ側のＹリニアガイド部材は、＋Ｘ側のＹリニアガイド部材に対して紙面奥側に重なっている）が固定されている。また、各図面では不図示であるが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの上面には、Ｙ粗動ステージ２３Ｙを駆動するＹリニアモータを構成するＹ固定子（例えばコイルユニット）が固定されている。
【００２４】
Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｘ粗動ステージ２３ＸよりもＹ軸方向の寸法が短い平面視で矩形の外形形状を有する枠状の部材から成り、その中央部に開口部（不図示）を有している。Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、上記Ｙリニアガイド部材２８にスライド可能な状態で係合するＸＺ断面逆Ｕ字状に形成された複数のスライダ２９が固定されている。また、図１では不図示であるが、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、上述したＹ固定子と共にＹリニアモータを構成するＹ可動子（例えば、磁石ユニット）が固定されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｙリニアモータを含むＹ粗動ステージ駆動系により、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上でＹ軸方向に所定ストロークで駆動される。Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、及びＹ粗動ステージ２３Ｙの位置情報は、図示しないリニアエンコーダシステムにより計測される。なお、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ，Ｙ粗動ステージ２３ＹをそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に駆動する駆動方式は、例えば送りねじによる駆動方式、あるいはベルト駆動方式などの他の方式であっても良い。
【００２５】
微動ステージ２１は、平面視略正方形の板状（又は直方体状）の部材から成り、その上面に基板ホルダＰＨを介して基板Ｐを保持する。基板ホルダＰＨは、例えば図示しない真空吸着装置（又は静電吸着装置）を有しており、その上面に基板Ｐを吸着保持する。
【００２６】
微動ステージ２１の−Ｙ側の側面には、ミラーベース２４Ｙを介してＹ軸に直交する反射面を有するＹ移動鏡（バーミラー）２２Ｙが固定されている。また、図１では図示が省略されているが、微動ステージ２１の−Ｘ側の側面には、Ｘ軸に直交する反射面を有するＸ移動鏡が固定されている。微動ステージ２１のＸＹ平面内の位置情報は、Ｙ移動鏡２２Ｙ及びＸ移動鏡それぞれに測長ビームを照射し、その反射光を受光するレーザ干渉計システムによって、例えば０．５〜１ｎｍ程度の分解能で常時検出されている。なお、実際には、レーザ干渉計システムは、Ｙ移動鏡２２Ｙ、Ｘ移動鏡それぞれに対応したＸレーザ干渉計、Ｙレーザ干渉計を有しているが、図１では、代表的にＹレーザ干渉計９２のみが図示されている。
【００２７】
微動ステージ２１は、例えばＹ粗動ステージ２３Ｙに固定された不図示の固定子（例えば、コイルユニット）と、微動ステージ２１に固定された不図示の可動子（例えば、磁石ユニット）とから成るボイスコイルモータを含む、微動ステージ駆動系により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ上で６自由度方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θｘ、θｙ、θｚの各方向）に微少駆動される。これにより、微動ステージ２１は、投影光学系ＰＬに対し、ＸＹ２軸方向に長ストロークで移動（粗動）可能、且つ６自由度方向に微少移動（微動）可能となっている。なお、ボイスコイルモータとしては、Ｘ軸方向に駆動力を発生するＸボイスコイルモータ、Ｙ軸方向に駆動力を発生するＹボイスコイルモータ、及びＺ軸方向に駆動力を発生するＺボイスコイルモータが、それぞれ複数（特にＺボイスコイルモータは、同一直線上にない３箇所以上に）設けられている。
【００２８】
重量キャンセル装置２６は、微動ステージ２１を定盤１２上で支持するＺ軸方向に延設された柱状の部材であり、心柱とも称される。重量キャンセル装置２６は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの開口部、及びＹ粗動ステージ２３Ｙの開口部に挿入されている。重量キャンセル装置２６は、＋Ｚ方向の力を発生することにより、微動ステージ２１を含む系（具体的には微動ステージ２１、基板ホルダＰＨ、基板Ｐなどから成る系）の重量（重力加速度による下向き（−Ｚ方向）の力）を打ち消し、これにより微動ステージ駆動系を構成する複数のボイスコイルモータ（不図示）に対する負荷を低減する。重量キャンセル装置２６は、図示しない気体静圧軸受、例えばエアベアリングにより定盤１２上に浮上支持されている。重量キャンセル装置２６は、板ばねを含む不図示の連結装置（フレクシャ装置とも称される）を介してＹ粗動ステージ２３Ｙに機械的に接続されており、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと一体的に、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動する。重量キャンセル装置２６と微動ステージ２１との間には、レベリング装置２７が配置されている。微動ステージ２１は、レベリング装置２７を介して、重量キャンセル装置２６に対して、θｘ方向及びθｙ方向にチルト自在（揺動自在）な状態で支持されている。上記重量キャンセル装置２６，レベリング装置２７、フレクシャ装置などの構成は、例えば国際公開第２００８／１２９７６２号などに開示されている。
【００２９】
ケーブルガイド装置１００は、図２に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動する際、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに一端が接続され、他端が不図示の電源装置に接続されたケーブル５６が、他の部材（例えば、定盤１２）に接触しないように案内する装置である。なお、図３に示されるように、ケーブル５６は、複数のケーブルが融着され、全体的に長尺の帯状に形成されている。本実施形態では、その複数のケーブルから成るケーブルの束を便宜上、ケーブル５６と称する。
【００３０】
ケーブルガイド装置１００は、図２に示されるように、直列に連結された複数（本実施形態では、４つ）のリンク６８、７０，７２、７４を含むリンク機構６０を有している。以下、説明の便宜上、４つのリンクを、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ側から順に、第１のリンク６８、第２のリンク７０、第３のリンク７２、第４のリンク７４と称する。また、第１のリンク６８は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに固定された軸受部材６２に連結され、第４のリンク７４は、所定の固定部材６６（例えば、床面Ｆ、あるいはボディＢＤ（図１参照）に固定された部材）に固定された軸受部材６４に連結されている。第１のリンク６８と軸受部材６２、第４のリンク７４と軸受部材６４、及び４つのリンクのうちの互いに隣り合う２つのリンクは、それぞれＹ軸に平行に延びる軸部材９３により連結されており、その軸部材９３の軸線周りに相対回転可能となっている。
【００３１】
軸受部材６２は、図３に示されるように、−Ｘ側が開口した平面視（上方から見て）ほぼＵ字形状の部材から成り、ＸＺ平面に平行な一対の対向面部を有している。軸受部材６４は、＋Ｘ側が開口した平面視ほぼＵ字形状の部材から成り、ＸＺ平面に平行な一対の対向面部を有している。
【００３２】
第１及び第３のリンク６８、７２それぞれは、実質的に同じ部材であり、第２及び第４のリンク７０、７４それぞれも、実質的に同じ部材である。従って、以下では、第１のリンク６８、及び第２のリンク７０の構成について説明する。図３に示されるように、第１のリンク６８は、Ｙ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の矩形（長方形状）の板状部材から成るリンク本体８６ａを有する。ここで、リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材の長手方向は、第１のリンク６８の長手方向に平行である。リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材それぞれは、Ｙ軸に平行な一対の連結部材８７により連結されている。また、リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材の互いに対向する対向面（内側面）それぞれには、その板状部材と平行なリニアガイド部材８４が固定されている。
【００３３】
また、第１のリンク６８は、リンク本体８６ａの長手方向の一側、及び他側に一対のスライド部８２ａを有している。一対のスライド部８２ａは、それぞれＹ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の板状部材から成る。一対のスライド部８２ａそれぞれは、リンク本体８６ａに固定されたリニアガイド部材８４にスライド可能に係合するスライダ８８を有しており、リンク本体８６ａに対し、リニアガイド部材８４に沿ってスライド可能となっている。従って、第１のリンク６８は、その長手方向に所定のストロークで伸縮可能となっている。
【００３４】
第２のリンク７０は、第１のリンク６８と同様に、Ｙ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の矩形（長方形状）の板状部材から成るリンク本体８６ｂを有する。第２のリンク７０は、リンク本体８６ｂを構成する一対の板状部材の外側面にリニアガイド部材８４が固定されている点を除き、その長さ及び伸縮量を含み、第１のリンク６８と同様の構成及び機能を有する。すなわち、第２のリンク７０は、リンク本体８６ｂと、そのリンク本体８６ｂに対してスライド可能な一対のスライド部８２ｂと、を有している。なお、第１及び第３のリンク６８，７２のスライド部８２ａが、第２及び第４のリンク７０，７４のスライド部８２ｂを構成する一対の板状部材の間に挿入されていることから、第２及び第４のリンク７０，７４は、第１及び第３のリンク６８，７２よりも幾分幅広に（Ｙ軸方向の寸法が大きく）形成されている。
【００３５】
また、ケーブルガイド装置１００は、図２及び図４に示されるように、第２のリンク７０と第３のリンク７２とを連結する軸部材９３を回転自在に支持し、Ｘ軸方向に直進移動する支持部材１０２を有している。支持部材１０２は、複数の転動体を含むスライダ１０１を有している。スライダ１０１は、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１０３に上記転動体を介してスライド可能に係合しており、Ｘ軸方向にのみ移動自在になっている（Ｙ軸及びＺ軸方向には移動しない）。
【００３６】
ここで、図２に示されるように、軸受部材６２、６４、及び支持部材１０２それぞれに支持される軸部材９３は、ほぼ同じＺ位置に配置されている。従って、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍に位置する場合には、図６（Ａ）に示されるように、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対と、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対とは、それぞれは、Ｙ軸方向から見た側面視で逆Ｖ字状に折れ曲がった状態となる。また、第２のリンク７０と第３のリンク７２とから成るリンク対は、Ｙ軸方向から見た側面視でＶ字状に折れ曲がっている。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍に位置する場合には、互いに隣接するリンク同士の角度が開き、リンク機構６０が全体的にＸ軸に平行にほぼ直線状に延びるようになっている。
【００３７】
ここで、リンク機構６０は、図２に示されるように、隣り合う２つのリンクから成るリンク対の開き角度、あるいは軸受部材６２，６４とリンクとの開き角度を１８０°未満の所定角度（本実施形態では、例えば１５０°程度）に制限する開き止め装置８０を有している。開き止め装置８０は、リンク対を成す２つのリンクの一方（あるいは支持部材）に、該リンク対の開き角度が所定角度になるときに他方のリンクが当接して、その開き方向への回動を制限する。従って、図２に示されるように、例えば、第１のリンク６８と第２のリンク７０とは、開き止め装置８０の作用により、最大に開いた状態であっても、側面視で逆Ｖ字状の形状が維持される。
【００３８】
複数の軸部材９３それぞれは、図３に示されるように、ローラ９０を回転自在に支持している。複数のローラ９０は、それぞれ軸受部材６２，６４の一対の対向面の間、あるいは、スライド部８２ａ、８２ｂを構成する一対の板状部材の間に配置されている。
【００３９】
ケーブル５６は、軸受部材６２，６４の一対の対向面の間、及びリンク本体８６ａ、８６ｂ、スライド部８２ａ、８２ｂを構成する一対の板状部材の間を通って、その長手方向の中間部分が、ローラ９０の外周面にケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。また、ケーブル５６の長手方向の中間部分は、連結部材８７にもケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。これにより、ケーブルガイド装置１００では、リンク機構６０の変形に合わせて、ケーブル５６を側面視でＷ字状に折り曲げたり（図６（Ａ）参照）、ほぼ直線状に延ばしたり（図６（Ｃ）参照）することができる。
【００４０】
ここで、図４に示されるように、ケーブル５６は、軸受部材６２と第１のリンク６８との連結部，第２のリンク７０と第３のリンク７２との連結部，及び第４のリンク７４と軸受部材６４との連結部それぞれに設けられたローラ９０に対しては、そのローラ９０の−Ｚ側を通ってそのローラ９０の外周面に固定されている。また、ケーブル５６は、第１のリンク６８と第２のリンク７０との連結部、及び第３のリンク７２と第４のリンク７４との連結部それぞれに設けられたローラ９０に対しては、そのローラ９０の＋Ｚ側を通ってそのローラ９０の外周面に固定されている。従って、ケーブル５６は、図６（Ａ）に示されるように、隣接するリンクが閉じた状態であっても曲率の小さな状態で曲がるので局部的に折れ曲がることが防止される。
【００４１】
ここで、前述のように、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、その長手方向に所定のストロークで伸縮可能となっている。そして、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ方向に移動する（図６（Ａ）に示される位置から図６（Ｃ）に示される位置に移動する）のに応じて、長手方向の寸法が長くなり、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動するのに応じて、長手方向の寸法が短くなる。以下、その理由及び動作を説明する。
【００４２】
前述のように、ケーブルガイド装置１００では、ケーブル５６がローラ９０の外周面、及び連結部材８７に固定されている（図３参照）。従って、仮に各リンクの長手方向の寸法が変化しないとすると、リンクの開き角度が大きくなるに従って、ローラ９０に対する固定部分と、連結部材８７に対する固定部分との間のケーブル５６に撓みが生ずる。以下、図５を用いて具体的に説明する。図５において、符号Ｒ１、Ｒ２は、隣接する一対のリンク（リンク対）を模式的に示している。図５に示されるように、リンク対が開く際、リンクＲ１，Ｒ２が軸部材９３を中心（支点）に開くのに対し、ケーブル５６は、ケーブル押さえ部材５７を中心（支点）に開く。従って、リンクＲ１，Ｒ２の開き角度が角度αの際にケーブル５６をリンクＲ１，Ｒ２に固定する（図５の白丸参照）と、リンクＲ１、Ｒ２が開いて角度βとなった際、ケーブル５６は、ケーブル押さえ部材５７の一側、他側それぞれに所定長さＷの余剰部分（撓みＷ）が発生する。そこで、本実施形態のケーブルガイド装置１００では、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれが、リンク対の開き角度が大きくなるに従って、その長手方向に伸びることにより、上記撓みＷを吸収する。
【００４３】
すなわち、図６（Ａ）に示される、リンク対の成す角度が小さい状態では、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、その長さが最小となっている。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋方向に移動すると、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）に示されるように、リンク機構６０が全体的にＸ軸方向に平行となるのに併せて、リンク機構６０を構成する第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに引っ張られて伸びる。ここで、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、図示しないストッパ装置を有しており、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに引っ張られて伸びる際に、リンク本体８６ａと一対のスライド部８２ａ（あるいはリンク本体８６ｂと一対のスライド部８２ｂ）とが分離しないようになっている。ただし、通常、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、そのストッパ装置により規定される最大伸び量に達する前にケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６が伸びきることによって伸びが制限される。従って、ストッパ装置の作動による振動の発生などが防止される。
【００４４】
そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際には、上記とは逆に、リンク機構６０を構成する第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４のそれぞれが、ケーブル５６の張力により縮む。なお、本実施形態のリンク機構は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに牽引されることにより（あるいはケーブル５６の張力により）、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４のそれぞれが受動的に伸縮するようになっているが、これに限らず各リンクにアクチュエータを設け、その伸縮量を制御しても良い。
【００４５】
また、リンク機構６０において、図３に示されるように、複数の軸部材９３のうち、リンク同士を接続する軸部材９３の両端部には、円板状の円板部材９９がその軸部材９３と同軸に固定されている。なお、図４において、軸部材９３の−Ｙ側の端部に固定された円板部材９９は、＋Ｙ側の円板部材９９に対して紙面奥側に隠れている。また、図２では、図面の錯綜を避ける観点から、円板部材は不図示とされている。
【００４６】
また、ケーブルガイド装置１００において、軸受部材６２と第１のリンク６８のスライド部８２ａとには、引っ張りばね１０４が架設されている。なお、引っ張りばね１０４を含み、以降説明する複数の引っ張りばねは、リンク機構６０を構成する各リンクの＋Ｙ側、及び−Ｙ側それぞれに設けられているが、図４では各リンク機構の＋Ｙ側の引っ張りばねのみが図示され、−Ｙ側の引っ張りばねは、紙面奥側に隠れている。また、軸受部材６４と第４のリンク７４のスライド部８２ａとにも、引っ張りばね１１８が架設されている。
【００４７】
さらに、第１のリンク６８のうち、第２のリンク７０に接続される側のスライド部８２ａと、第１のリンク６８と第２のリンク７０とを接続する軸部材９３に固定された円板部材９９とにも、引っ張りばね１０６が架設されている。また、第２〜第３のリンク７０，７２，７４と円板部材９９とにも、同様に引っ張りばね１０８，１１０，１１２，１１４，１１６がそれぞれ架設されている。なお、各円板部材９９は、引っ張りばねの一端を保持するばね掛け部材を有しているが、そのばね掛け部材は、軸部材９３の軸心とは、異なる位置に配置されている。
【００４８】
引っ張りばね１０６〜１１６は、それぞれ隣接するリンク同士を閉じる方向に付勢している。また、引っ張りばね１０４は、第１のリンク６８を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢し、引っ張りばね１１８は、第４のリンク７４を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢している。すなわち、リンク機構６０は、複数の引っ張りばね１０４〜１１８により、図６（Ａ）に示される、全体的に縮んだ状態に付勢され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、＋Ｘ方向に移動する際、その複数の引っ張りばね１０４〜１１８の付勢力に抗してリンク機構６０を変形させる。
【００４９】
ここで、複数の引っ張りばねのうち、第４のリンク７４と軸受部材６４とに架設された引っ張りばね１１８は、その他の引っ張りばね１０４〜１１６よりも引っ張り力が大きく設定されている。なお、本明細書において、引っ張り力とは、隣接するリンク（あるいはリンクと軸受部材）とを互いに近づけるためのばねによる力（閉じ方向への付勢力）を意味する。なお、本実施形態では、引っ張り力の設定は、引っ張りばねのばね定数を適宜設定することにより行われ、引っ張りばね１１８は、その他の引っ張りばね１０４〜１１６よりもばね定数が大きく設定されている。ただし、引っ張り力の大きさは、ばね定数によらず、例えば、ばねの取付位置により適宜設定しても良い。
【００５０】
従って、本実施形態のケーブルガイド装置１００は、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２（図２参照）上の−Ｘ側の端部近傍から、＋Ｘ方向に移動する際、リンク機構６０は、まず引っ張りばね１０４〜１１０が伸びて、第１のリンク６８と第２のリンク７０とが開く。この際、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°を超えるまで、第３のリンク７２には、＋Ｘ方向への力が作用しないので、第３のリンク７２、及び第４のリンク７４は、その姿勢が変化しない。
【００５１】
そして、図６（Ｂ）に示される状態からさらにＸ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、上述した開き止め装置８０（図２参照）の作用（あるいは、ケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６の長さ（張り）の制限の作用）により、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の姿勢の変化が制限される（開ききった状態となる）。そして、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の姿勢の変化が制限された状態で、さらにＸ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、図６（Ｃ）に示されるように、引っ張りばね１１２〜１１８の付勢力に抗して、第３のリンク７２と第４のリンク７４とが開く。
【００５２】
すなわち、本実施形態のケーブルガイド装置１００は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際（固定部材６６から離れる際）には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク７２，７４）から成るリンク対の姿勢が低くなる。
【００５３】
そして、上記の場合とは逆に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍から−Ｘ方向に移動する際には、引っ張りばね１１８の作用により、先行してＸ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク７２，７４）から成るリンク対の姿勢が高くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が高くなる。なお、本実施形態のリンク機構６０では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側のリンク対の姿勢を先行して高くするために、引っ張りばね１１８による引っ張り力がその他の引っ張りばね１０４〜１１６による引っ張り力よりも大きく設定されているが、これに限らず、例えば、引っ張りばね１１４、１１６による引っ張り力をその他のばねよりも大きく設定しても良い。
【００５４】
ここで、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対、及び第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対は、それぞれ開き止め装置８０（図２参照）の作用（あるいは、ケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６の長さ（張り）の制限の作用）により、最も開ききった状態（Ｘ軸方向に伸びきった状態）で、その最もＺ位置の高い部分（ケーブル押さえ部材５７）が、投影光学系ＰＬ（図１参照）の最下面よりも下方となるように、各リンク６８〜７４の長さが設定されている（図２参照）。
【００５５】
上述のようにして構成された液晶露光装置１０（図１参照）では、不図示の制御装置の管理の下、不図示のマスクローダによって、マスクステージＭＳＴ上へのマスクＭのロード、及び不図示の基板ローダによって、基板ステージ装置ＰＳＴ上への基板Ｐのロードが行なわれる。その後、制御装置により、不図示のアライメント検出系を用いてアライメント計測が実行され、アライメント計測の終了後、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作が行なわれる。この露光動作は従来から行われているステップ・アンド・スキャン方式と同様であるのでその説明は省略するものとする。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態の液晶露光装置１０が有するケーブルガイド装置１００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動に伴って、リンク機構６０及びそのリンク機構６０を構成する複数のリンク６８〜７４に保持されたケーブル５６が変形（側面視でジグザグ状に変形）することより、固定部材６６側から見たケーブル５６の繰り出し量が調整されるので、例えばケーブル５６が自重により垂れ下がって他の部材（例えば定盤１２など）と摺動するおそれがない。従って、低発塵、低振動でケーブル５６をＸ粗動ステージ２３Ｘに追従させて案内することができる。また、リンク機構６０は、複数の板状部材を組み合わせて構成される複数のリンク６８〜７４と、複数の軸部材９３とから成るので、その構成が簡単であり、且つ軽量である。また、メンテナンス性にも優れる。
【００５７】
また、リンク機構６０が伸びきった状態（４本のリンク６８〜７４がほぼフラットになった状態）でのケーブル５６の長さは、固定部材６６とＸ粗動ステージ２３Ｘとの距離と略同じであるので、従来のケーブルをＵターンさせる構成のケーブル案内装置に比べ、ケーブル５６の全長を短くできる。
【００５８】
また、ケーブル５６は、隣り合うリンクの連結部、すなわちリンク機構６０の可動部分に設けられたローラ９０の外周面に固定されているため、リンク機構６０の構成するリンク６８〜７４の姿勢が変化（リンク対が開閉）しても、リンク機構６０の可動部分とケーブル５６とが摺動しない。従って、発塵、振動の発生が抑制される。
【００５９】
また、リンク機構６０の姿勢の変化に応じて、各リンク６８〜７４の長さが受動的に変化するので、ケーブル５６の余剰部分とリンク６８〜７４との摺動（滑り接触）が抑制される。
【００６０】
また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなるので、鏡筒定盤３１（図１参照）のＺ位置を低くできる。
【００６１】
《第２の実施形態》
次に第２の実施形態の液晶露光装置について説明する。第２実施形態の液晶露光装置は、上記第１の実施形態と比べ、ケーブルガイド装置の構成が異なるのみなので、以下、ケーブルガイド装置の構成についてのみ説明する。図７には、第２の実施形態に係るケーブルガイド装置２００を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００６２】
第２の実施形態に係るケーブルガイド装置２００が有するリンク機構２０２では、第１〜第４のリンク２０４、２０６，２０８，２１０は、それぞれ一体に成形されており、その長手方向に伸縮しないようになっている。
【００６３】
また、第１及び第３のリンク２０４、２０８それぞれは、その長手方向−Ｘ側の端（上端）に、その長手方向が該リンクの長手方向と所定角度（例えば、４５°程度）を成すように、その長手方向における一端（＋Ｚ側の端）が固定された細長い板状の部材から成る補助リンク１２２を有している。なお、各補助リンク１２２の長手方向の寸法は、リンク２０４，２０８の長手方向の寸法よりも短く（例えば数十分の一程度）設定されている。
【００６４】
リンク機構２０２は、第１のリンク２０４と第２のリンク２０６とを閉じ方向に付勢する引っ張りばね１０８，第３のリンク２０８と第４のリンク２１０とを閉じ方向に付勢する引っ張りばね１１６、及び第４のリンク２１０を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢する引っ張りばね１１８とを有している。引っ張りばね１０８は、その一端が、第１のリンク２０４の補助リンク１２２の−Ｚ側の端部に接続され、その他端が、第２のリンク２０６の長手方向の中央部に接続されている。引っ張りばね１１６も同様に、一端が補助リンク１２２に接続され、他端が第４のリンク２１０に接続されている。引っ張りばね１１６による引っ張り力と、引っ張りばね１１８による引っ張り力とは、概ね等しく設定（等しくなくても良い）されている。また、引っ張りばね１０８による引っ張り力は、引っ張りばね１１６、１１８それぞれによる引っ張り力よりも小さく（弱く）設定されている。また、各引っ張りばねによる引っ張り力は、例えば、各ばねの引っ張りばねのばね定数、あるいは取付位置により適宜設定することができる。
【００６５】
従って、本第２の実施形態のリンク機構２０２も、上記第１の実施形態と同様に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク２０４，２０６）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク２０８，２１０）から成るリンク対の姿勢が低くなる。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍から−Ｘ方向に移動する際には、上記説明とは逆に、先行してＸ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク２０８，２１０）から成るリンク対の姿勢が高くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク２０４，２０６）から成るリンク対の姿勢が高くなる。
【００６６】
ここで、第１〜第４のリンク２０４〜２１０は、それぞれ同じ構成のケーブルリニアガイド装置２２０を有している。以下、第１のリンク２０４に設けられたケーブルリニアガイド装置２２０について説明する。ケーブルリニアガイド装置２２０は、第１のリンク２０４と平行に延びる部材から成り、第１のリンク２０４の上面に固定されたリニアガイド部材１３１と、そのリニアガイド部材１３１上にスライド可能に係合するスライダ１２４と、スライダ１２４に一体的に設けられたケーブル押さえ部材５７とを含む。
【００６７】
ケーブル５６は、各ケーブルリニアガイド装置２２０のスライダ１２４にケーブル押さえ部材５７を介して固定されており、第１〜第４のリンク２０４〜２１０それぞれの上面に沿うように、リンク機構２０２に保持されている。
【００６８】
ここで、ケーブルガイド装置２００では、ケーブル５６は、第１の実施形態と異なり、ローラ９０には、固定されておらず、ケーブル５６には、予めローラ９０の上方に所定量の撓みが設けられている。
【００６９】
上述のように構成された第２実施形態におけるケーブルガイド装置２００では、図７に示される第１、及び第２のリンク２０４，２０６のように、一対のリンクが折り畳まれた状態から開く際に、一対のスライダ１２４が互いに離れる方向に移動（図７の矢印参照）することにより、上記第１の実施形態において図５を用いて説明した、隣接する一対のリンクの曲率と、ケーブル５６の曲率との差に起因するケーブル５６の余剰部分を吸収する。従って、ケーブル５６と各リンク２０４〜２１０との擦れ接触が抑制される。
【００７０】
《第３の実施形態》
次に第３の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。図８には、第３の実施形態に係る液晶露光装置３０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。なお、図８においては、照明系ＩＯＰ、投影光学系ＰＬ、マスクステージＭＳＴ等の図示は、省略されている。第３の実施形態に係るケーブルガイド装置３００は、上記第１の実施形態と比べ、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に駆動するＸリニアモータの一部を用いて支持部材１０２を駆動するようにしている点、及びリンク機構が引っ張りばねを有していない点が異なる。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１及び第２の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１及び第２の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。なお、第３の実施形態において、第１のリンク６８、第４のリンク７４をそれぞれ支持する軸受部材６２，６４は、上記第１の実施形態と異なり、＋Ｚ側に開口する部材となっているが、その機能は、上記第１の実施形態と同じであるため、同じ符号を用いて説明する。
【００７１】
第３の実施形態に係る液晶露光装置３０１では、ベースフレーム１４の上面及び両側面のそれぞれにＸ軸方向に延びるＸリニアガイド５２（−Ｙ側のＸリニアガイド５２は図示省略）が固定されている。なお、上記第１の実施形態で説明したように、ベースフレーム１４は、Ｙ軸方向に所定間隔で一対設けられている。ただし、図８では、−Ｙ側のベースフレーム１４は、＋Ｙ側のベースフレーム１４に対し、紙面奥側に隠れている。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面に固定されたＸスライダ５４の一対の対向面のそれぞれには、ベースフレーム１４の両側面に固定されたＸリニアガイド５２とスライド自在に係合する一対のスライド部材１３５がＸ軸方向に所定間隔で固定されている（−Ｙ側のＸリニアガイド５２に係合するスライド部材１３５は図示省略）。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面には、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライド自在に係合するスライド部材１３９がＸ軸方向に所定間隔で一対固定されている。すなわち、スライド部材１３９は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面の４隅に固定されている。なお、Ｘ粗動ステージ２３ＸとＸスライダ５４とが一体であることから、スライド部材１３９は、Ｘスライダ５４に固定されていても良い。
【００７２】
また、ベースフレーム１４の両側面には、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアモータの固定子（例えば、磁石ユニット）５５が固定されている。Ｘスライダ５４の一対の対向面には、Ｘリニアモータの可動子（例えば、コイルユニット）５９が、固定子５５に対向するように固定されている。可動子５９は電源装置（不図示）にケーブル５６を介して電気接続されており、該電源装置は制御装置（不図示）に制御される。すなわち、制御装置は、電源装置を介して、可動子５９に電力の供給を行い、Ｘ粗動ステージ２３ＸのＸ軸方向の位置を制御する。
【００７３】
また、ケーブルガイド装置３００が有する支持部材１０２の下端には、＋Ｘ方向から見てほぼ逆Ｕ字形状の断面を有する部材から成るＸスライダ１３４が固定されている。Ｘスライダ１３４の一対の対向面間には、＋Ｙ側のベースフレーム１４が挿入されている。また、Ｘスライダ１３４の一対の対向面それぞれには、ベースフレーム１４の両側面に固定されたＸリニアガイド５２とスライド自在に係合するスライド部材１３７が固定されている。また、Ｘスライダ１３４の内壁面のうち、＋Ｚ側の面には、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライド自在に係合するスライド部材１３７が固定されている。これにより、Ｘスライダ１３４は、各Ｘリニアガイド５２に沿ってＸ軸方向にスライド可能になっている。
【００７４】
Ｘスライダ１３４の一対の対向面それぞれには、可動子（例えば、コイルユニット）１３６が、固定子５５に対向するように設けられている（−Ｙ側の可動子１３６は図示省略）。可動子１３６は、固定子５５と共にＸスライダ１３４をＸ軸方向に駆動するＸリニアモータを構成している。可動子１３６は、前述の電源装置にケーブル５６を介して電気接続されており、Ｘリニアモータは該電源装置に接続された前述の制御装置により制御される。すなわち、支持部材１０２は制御装置により、そのＸ軸方向の位置が制御される。Ｘスライダ１３４が有する可動子１３６と電源装置とを電気的に接続するケーブル５６は、第３及び第４のリンク７２，７４に保持されている。
【００７５】
ベースフレーム１４には、Ｘ軸方向に延びるＸリニアスケール１４１が設けられている。Ｘスライダ５４には、Ｘリニアスケール１４１と共にＸリニアエンコーダを構成するヘッド１４３が、Ｘリニアスケール１４１に対向するように固定されている。また、Ｘスライダ１３４にも、Ｘリニアスケール１４１と共にＸリニアエンコーダを構成するヘッド１４５が、Ｘリニアスケール１４１に対向するように固定されている。ヘッド１４３，１４５それぞれの出力は、制御装置に供給される。なお、Ｘスライダ１３４（すなわち支持部材１０２）の位置決め精度は、Ｘスライダ５４（すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘ）に比べラフで良いので、Ｘスライダ１３４に関しては、必ずしもＸスライダ５４と同じ計測系（リニアエンコーダシステム）を用いる必要はなく、例えばホール素子と磁気プレートを用いた計測系の出力に基づいてその位置を制御しても良い。
【００７６】
次に、第３の実施形態におけるケーブルガイド装置３００の動作の一例を説明する。制御装置は、図８に示されるＸ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘの端に位置し、リンク機構が閉じきっている状態から、図９（Ａ）に示されるＸ粗動ステージ２３Ｘを固定部材６６から離れる方向（＋Ｘ方向）に駆動して第１のリンク６８と第２のリンク７０とが開き切った状態となるまで（Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌになるとき）は、支持部材１０２を停止させる（図９（Ａ）参照）。従って、上記Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌになるまでは、第１、及び第２のリンク６８，７０のみが、その姿勢を変化させることによって、ケーブル５６を案内する。
【００７７】
制御装置は、図９（Ａ）に示される位置（第１及び第２のリンク６８，７０が開ききった状態）から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを更に＋Ｘ方向に駆動する場合には、Ｘリニアモータを制御して、支持部材１０２をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さと同じ速さで＋Ｘ方向に移動させる（図９（Ａ）の矢印参照）。従って、上記Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌ以上となった状態では、第１、及び第２のリンク６８，７０は、開ききった状態でその姿勢が変化せず、第３及び第４のリンク７２，７４が、その姿勢を変化させることによって、ケーブル５６を案内する（図９（Ｂ）参照）。
【００７８】
また、図９（Ｂ）に示される、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置する状態から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを固定部材６６に近づく方向（−Ｘ方向）に駆動する際には、制御装置は、まずＸリニアモータを制御して支持部材１０２をＸ粗動ステージ２３Ｘと同じ速さで−Ｘ方向に移動させる。これにより、第３及び第４のリンク７２，７４のみが閉じ、第１、及び第２のリンク６８，７０は、開ききった状態が維持される。そして、第３及び第４のリンク７２，７４が閉じきるとき（支持部材１０２と固定部材６６との距離が図８に示される所定距離Ｓになったとき）に、支持部材１０２を停止させる。この後、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの−Ｘ方向への移動に伴い、第１、及び第２のリンク６８，７０が閉じる（図８参照）。
【００７９】
以上説明した第３の実施形態によれば、支持部材１０２を駆動するＸリニアモータが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するＸリニアモータの固定子５５を利用しているので、支持部材１０２の駆動装置の部品点数削減及び構成の簡素化を図ることができる。
【００８０】
《第４の実施形態》
次に、第４の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。図１０には、第４の実施形態に係る液晶露光装置４０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第４の実施形態のケーブルガイド装置４００は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに対して、＋Ｘ側、及び−Ｘ側それぞれにリンク機構６０を備えている。すなわち、Ｘ粗動ステージ２３Ｘには、２つの（２系統の）ケーブル５６が接続されている。なお、Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、上記第３の実施形態と同様に、一対のベースフレーム１４（−Ｙ側のベースフレーム１４は、＋Ｙ側のベースフレーム１４の紙面奥側に隠れている）上に搭載されている。
【００８１】
一対のリンク機構６０は、上記第１の実施形態のリンク機構（図２〜図６参照）と同様な構成を有している。ただし、上記第１の実施形態では、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１０３（図２参照）に支持部材１０２がスライド可能に搭載されていると説明したが、本実施形態では、一対のリンク機構６０それぞれの支持部材１０２は、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライダ１０５を介してスライド自在に係合している。すなわち、本実施形態では、一対の支持部材１０２をＸ軸方向に直進案内するリニアガイド部材として、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に直進案内するためのＸリニアガイド５２を利用している。これにより、支持部材１０２の移動をガイドする専用のガイドを必要としないので、部品点数が削減でき、ケーブルガイド装置４００全体の構成を簡素化できる。
【００８２】
また、本第４の実施形態に係るケーブルガイド装置４００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに対して＋Ｘ側、及び−Ｘ側の２方向からケーブル５６を接続しているので、ケーブル５６を一系統にするよりも、ケーブル５６の本数を少なくすることができ、リンク機構６０を簡素化できる。また、ケーブル５６の張力をＸ粗動ステージ２３Ｘに対して＋Ｘ方向、−Ｘ方向のそれぞれから均等に作用させることができるので、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの位置制御が容易になる。
【００８３】
《第５の実施形態》
次に第５の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第４の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第４の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１１には、第５の実施形態に係る液晶露光装置５０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。
【００８４】
第５の実施形態に係るケーブルガイド装置５００は、上記第１の実施形態と比べ、リンク機構５０２のリンクが増設されている点、隣り合うリンクの連結部を支持する支持部材が増設されている点が異なる。
【００８５】
第５の実施形態のリンク機構５０２では、軸受部材６２と第１のリンク６８とが、第５のリンク７７により接続されている。第５のリンク７７の長手方向の寸法は、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４それぞれの長手方向の寸法のほぼ半分である。第５のリンク７７は、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４と同様に、その長手方向に伸縮自在になっている。また、図１１では、その図示が省略されているが、第５のリンク７７と軸受部材６２とには、第５のリンク７７を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢する引っ張りばねが架設され、第１のリンク６８と第５のリンク７７との間には、第１のリンク６８と第５のリンク７７とを閉じる方向に付勢する引っ張りばねが架設されている。
【００８６】
そして、リンク機構５０２は、第２のリンク７０と第３のリンク７２との連結部を支持する支持部材１０２ａ（以下、第１の支持部材と称する）に加えて、第５のリンク７７と第１のリンク６８との連結部を支持する第２の支持部材１０２ｂを有している。第１及び第２の支持部材１０２ａ、１０２ｂは、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１４２（すなわち共通のガイド部材）にスライダ１０５を介してスライド自在に搭載されている。Ｘリニアガイド部材１４２は、架台１４７を介して床面Ｆ上に設置されている。第５の実施形態のケーブルガイド装置５００の動作は、上記第１の実施形態のケーブルガイド装置１００と概ね同じなので、その説明は省略する。なお、第５の実施形態においては、リンク機構５０２は、５つのリンクを有し、リンクの連結部を支持する支持部材が２つ（支持部材１０２ａ、１０２ｂ）設けられたが、リンクの数、及び支持部材の数は、これに限られない。この場合、ケーブル長が同じでリンクの数が多ければ、各リンクの長さを短くすることができ、ケーブルガイド装置の高さ方向の寸法を小さくできる。
【００８７】
《第６の実施形態》
次に第６の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第５の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第５の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１２には、第６の実施形態に係る液晶露光装置６０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。
【００８８】
第６の実施形態に係るケーブルガイド装置６００は、上記第４の実施形態と同様に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｘ側、−Ｘ側のそれぞれにケーブル５６が接続されており、ケーブルガイド装置６００もリンク機構６０をＸ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｘ側、−Ｘ側のそれぞれに有している。ただし、上記第４の実施形態（図１０参照）では、リンク機構６０の支持部材１０２は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと共通のＸリニアガイド部材に搭載されたが、本第６の実施形態では、上記第５の実施形態と同様に、支持部材１０２は、専用のＸリニアガイド部材１４２にスライド可能に搭載されている。なお、本実施形態では、一対のリンク機構６０の支持部材１０２それぞれに対応して、Ｘリニアガイド部材１４２が一対設けられているが、一対のＸリニアガイド部材を一体としても良い。
【００８９】
《第７の実施形態》
次に第７の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第６の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第６の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１３には、第７の実施形態に係る液晶露光装置７０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第７の実施形態に係るケーブルガイド装置７００は、Ｚ軸方向（上下方向）に伸縮する伸縮機構１３８，１４０を用いてケーブル５６をＺ軸方向に撓ませる。
【００９０】
第７の実施形態のケーブルガイド装置７００は、図１３（Ａ）に示されるように、Ｚ軸方向（上下方向）に伸縮する第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０と、第１の伸縮機構１３８を支持し、かつＸ軸に平行に移動可能なＸスライダ１３４と、第２の伸縮機構１４０を支持しかつＸ軸方向に移動可能なＸスライダ１４４と、を備えている。第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ側から固定部材６６側に向けてＸ軸方向に所定間隔で配置されている。なお、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０は実質的に同じものであるので、以下、第１の伸縮機構１３８について説明する。
【００９１】
第１の伸縮機構１３８は、長手方向の寸法が同一の２つのリンクがそれぞれの長手方向の中央部にてＹ軸に平行な軸により互いに回動自在に連結されたＸ字状のＸリンク１４６を複数（本実施形態では、３つ）有している。また、最も＋Ｚ側のＸリンク１４６には、長手方向の寸法が同一の２つのリンクがそれぞれの長手方向の一端にてＹ軸に平行な軸により互いに回動自在に連結された逆Ｖ字状のＶリンク１４８が連結されている。３つのＸリンク１４６、及びＶリンク１４８は、Ｚ軸方向に直列に連結されており、いわゆるパンタグラフと同様に機能する。
【００９２】
また、第１の伸縮機構１３８の最も−Ｚ側のＸリンク１４６には、不図示のアクチュエータが接続されている。アクチュエータは、最も−Ｚ側のＸリンク１４６の２つのリンクの−Ｚ側の端部を接近、離間させる方向に駆動する。これにより、第１の伸縮機構１３８は、Ｚ軸方向に伸縮する。アクチュエータは、不図示の制御装置により制御される。
【００９３】
第１の伸縮機構１３８は、Ｘスライダ１３４に支持されている。Ｘスライダ１３４は、上記第３の実施形態で説明したＸスライダ１３４（図８及び図９参照）と同じものであり、Ｘリニアモータにより、ベースフレーム１４に沿ってＸ軸方向に駆動されるようになっている。また、第２の伸縮機構１４０もＸスライダ１３４と同様の構成のＸスライダ１４４に搭載され、第１の伸縮機構１３８とは独立してＸ軸方向に駆動される。
【００９４】
第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０のＶリンク１４８の連結部には、それぞれローラ９０が回転可能に支持されている。ケーブル５６は、軸受部材６２、６４それぞれに軸支されたローラ９０、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０それぞれに軸支されたローラ９０の外周面に、それぞれケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。
【００９５】
ここで、伸縮機構１３８、１４０がＺ軸方向に最も伸びた状態において、それぞれの上端は、鏡筒定盤３１よりも高い位置にある。一方、伸縮機構１３８、１４０がＺ軸方向に最も縮んだ状態において、それぞれのケーブル５６が固定された箇所は、投影光学系ＰＬの下面よりも低い位置（Ｘ粗動ステージ２３Ｘのケーブル取り付け部材１５３とほぼ同じ高さ）にある。
【００９６】
次に、第７の実施形態に係るケーブルガイド装置７００の動作の一例を説明する。Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置するとき、伸縮機構１３８、１４０は、それぞれの移動範囲の−Ｘ側の端に位置し、互いに最も近づいて位置される。そして、伸縮機構１３８、１４０は、それぞれＺ軸方向に最も伸びた状態にあり、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと第１の伸縮機構１３８との間、及び両伸縮機構１３８、１４０の間において、ケーブル５６は大きく撓んでいる。
【００９７】
そして、図１３（Ａ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを＋Ｘ方向に駆動すると同時に、制御装置は、第１の伸縮機構１３８をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向に移動させると共に、第１の伸縮機構１３８を−Ｚ方向に徐々に縮ませる。
【００９８】
また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが図１３（Ａ）に示される状態から、更に＋Ｘ方向に移動し、第１の伸縮機構１３８が縮みきると（Ｘ粗動ステージ２３Ｘと第１の伸縮機構１３８との間隔が、これらの間に架設されるケーブル５６の長さにほぼ等しくなるとき）、制御装置は、第１の伸縮機構１３８の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度と同じに制御するとともに、第２の伸縮機構１４０をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向へ移動させつつ、第２の伸縮機構１４０を−Ｚ方向に徐々に縮ませる。
【００９９】
そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ（並びに第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０）が更に＋Ｘ方向に移動し、第２の伸縮機構１４０が縮みきると（伸縮機構１３８、１４０の間隔が、これらの間に架設されるケーブル５６の長さにほぼ等しくなるとき）、制御装置は、第２の伸縮機構１４０の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度と同じにする。Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に達するときに、制御装置は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０を停止させる（図１３（Ｂ）参照）。この状態で、ケーブル５６は、図１３（Ｂ）に示されるように、ほぼ水平となる。
【０１００】
一方、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置し、両伸縮機構１３８、１４０が縮みきっている状態（図１３（Ｂ）参照）から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを−Ｘ方向へ駆動する際、制御装置は、第１の伸縮機構１３８をＸ粗動ステージ２３Ｘと同じ速さで−Ｘ方向へ移動させるとともに（ただし、第１の伸縮機構１３８を＋Ｚ方向に伸ばさないで）、第２の伸縮機構１４０をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向へ移動させつつ、第２の伸縮機構１４０を＋Ｚ方向に徐々に伸ばす。
【０１０１】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及び伸縮機構１３８、１４０が更に＋Ｘ方向へ移動すると、第２の伸縮機構１４０が＋Ｚ方向に伸びきり、その移動範囲の−Ｘ側の端に達する。制御装置は、第２の伸縮機構１４０を停止させ、第１の伸縮機構１３８の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度よりも遅い速度（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速度の１／２）にするとともに、第１の伸縮機構１３８を＋Ｚ方向に徐々に伸ばす（図１３（Ａ）参照）。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及び第１の伸縮機構１３８が更に−Ｘ方向へ移動すると、第１の伸縮機構１３８が、＋Ｚ方向に伸びきり、その移動範囲の−Ｘ側の端に達する。このとき、制御装置は、第１の伸縮機構１３８を停止させる。この後、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが更に−Ｘ方向へ移動し、その移動範囲の−Ｘ側の端に達するときに、制御装置は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを停止させる。
【０１０２】
本実施形態のケーブルガイド装置７００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの位置に応じてケーブル５６をＺ軸方向に案内して撓ませることにより、固定部材６６から見たケーブル５６の繰り出し量を制御する。従って、ケーブル５６は、自重により垂れ下がった状態ではあるが、そのＺ位置が常に制御されるので、他の部材（例えば定盤１２、ベースフレーム１４（図２参照）など）と摺動するおそれがない。従って、低発塵、低振動でケーブル５６をＸ粗動ステージ２３Ｘに追従させて案内することができる。
【０１０３】
また、第１の伸縮機構１３８が、＋Ｘ方向に移動し、鏡筒定盤３１の下方に差し掛かる前に、第１の伸縮機構１３８の上端の高さを、投影光学系ＰＬより低くしているので、第１の伸縮機構１３８を鏡筒定盤３１の下方を確実に通過させることができる。
【０１０４】
《第８の実施形態》
次に第８の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第７の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第７の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１４（Ａ）には、第８の実施形態に係るケーブルガイド装置を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第８の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴ８は、上記第１の実施形態と比べ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及びＹ粗動ステージ２３Ｙの機能を併せ持つＸＹステージ１６６を有する点が異なる。
【０１０５】
ＸＹステージ１６６は、＋Ｚ方向から見て矩形の箱形の部材から成り、例えば米国特許出願公開第２００３／００８５６７６号明細書に開示されるような平面モータにより、定盤１２上でＸ軸方向及び／又はＹ軸方向（及び／又はθｚ方向）に駆動される。
【０１０６】
第８の実施形態のケーブルガイド装置８００は、上記第１の実施形態と同様の４つ（４節）のリンクから成るリンク機構６０を有している。そして、４つのリンクのうち、最もＸＹステージ１６６側のリンク（第１のリンク）を軸支する軸受部材６２は、ＸＹステージ１６６に設けられたＺ軸に平行な軸部材１６７に回転自在に支持されている。また、４つのリンクのうち、最も固定部材６６側のリンク（第４のリンク）を軸支する軸受部材６４は、固定部材６６に設けられたＺ軸に平行な軸部材１６８に回転自在に支持されている。
【０１０７】
また、支持部材１０２の下端には、非接触軸受けの一種であるエアベアリング１７２が固定されている。エアベアリング１７２は、定盤１２の上面に高圧エアを噴出し、支持部材１０２を定盤１２上に所定のクリアランスを介して浮上させている（図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）参照）。
【０１０８】
従って、リンク機構６０は、ＸＹステージ１６６及び固定部材６６のそれぞれに対して、相対的にＺ軸に平行な軸線回りに回動自在なので、ＸＹステージ１６６がＸ軸方向のみならずＹ軸方向に移動しても、ＸＹステージ１６６の動きに追従して、その向きを変えることができる。
【０１０９】
なお、ケーブル５６の本数が多い場合等に、図１５に示されるように、ＸＹステージ１６６と電源装置とに異なる経路（図１５においては、４つの経路）で複数のケーブル５６を接続して、各ケーブル５６に対して、リンク機構６０を１つずつ設けても良い。図１５に示されるケーブルガイド装置８５０では、ＸＹステージ１６６の対角線が延びる方向（平面視でＸ字状に）にそれぞれリンク機構６０が延びている。
【０１１０】
《第９の実施形態》
次に第９の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第８の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第８の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１６（Ａ）には、第９の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴ９を＋Ｚ側から見た平面図が示されている。
【０１１１】
基板ステージ装置ＰＳＴ９は、定盤１２上の＋Ｙ側、及び−Ｙ側それぞれにＸ軸方向に延びるＸリニアガイド部材９０４を有している。また、一対のＸリニアガイド部材９０４上には、Ｙ軸方向に延びるＹリニアガイド部材９０６が架設されている。Ｙリニアガイド部材９０６は、一対のＸリニアガイド部材９０４に対して、Ｘ軸方向に移動可能に架設されており、図示しないＸリニアモータによりＸ軸方向に所定ストロークで駆動される。また、基板ステージ装置ＰＳＴ９では、不図示の基板は、直方体状の部材からなる基板テーブル９０２の上面に載置される。基板テーブル９０２は、その側面にＹ軸に平行に貫通する不図示の貫通孔を有しており、その貫通孔には、Ｙリニアガイド部材９０６が挿入されている。基板テーブル９０２は、図示しないＹリニアモータにより、Ｙリニアガイド部材９０６に沿ってＹ軸方向に駆動される。
【０１１２】
また、本第９の実施形態の上記第１の実施形態のリンク機構６０（図２など参照）をＸ軸回りに９０°回転させたような構成を有する、４節のリンクを含むリンク機構９６０を複数（例えば、４つ）有する。４つのリンク機構９６０は、基板テーブル９０２の対角線が延びる方向（平面視でＸ字状に）にそれぞれ延びている。すなわち、上記第１〜８の実施形態に係るケーブルガイド装置では、ケーブル５６は、ステージ装置の位置に応じてその中間部分の複数箇所がＺ軸方向に案内された（側面視でＷ字状に撓んだ）のに対し、本実施形態のケーブルガイド装置９００では、基板テーブル９０２の位置に応じて、ケーブル５６の中間部分の複数箇所を水平面に平行な方向に案内する（平面視でＷ字状に撓む）ようになっている。
【０１１３】
また、ケーブルガイド装置９００では、上記第８の実施形態と同様に、リンク機構９６０は、基板テーブル９０２及び固定部材６６に対して、それぞれＺ軸に平行な軸線回りに相対回転可能に支持されている。従って、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）を用いて一例を説明すると、図１６（Ａ）に示されるように、基板テーブル９０２が定盤１２の中央に位置する場合は、４つのリンク機構９６０は、基板テーブル９０２を中心に放射状（平面視でＸ字状）に延びている。これに対し、図１６（Ｂ）に示されるように、基板テーブル９０２が定盤１２上の−Ｘ側且つ＋Ｙ側の領域に位置する場合には、定盤１２の−Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれリンクが閉じられ、その全体長が短くなり、定盤１２の＋Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれリンクが開かれ、その全体長が長くなっている。また、定盤１２の−Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれ＋Ｚ方向から見て右回りに回転し、定盤１２の＋Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれ＋Ｚ方向から見て左回りに回転する。
【０１１４】
また、ケーブルガイド装置９００では、４つのリンク機構９６０において、例えば基板テーブル９０２から見て２番目のリンクと３番目のリンクとの連結部に、それぞれ第８の実施形態と同様に、定盤１２に対向する軸受面を有するエアベアリング（図示省略）が取り付けられている。なお、エアベアリングは、その他の場所、例えばリンク自体に取り付けられても良いし、各リンク機構９６０に複数取り付けられていても良い。
【０１１５】
第９の実施形態に係るケーブルガイド装置９００は、リンク機構６０を、ＸＹ平面に平行な平面に沿って変形させることができるので、例えば、リンク機構６０を配置するためのスペースがＺ軸方向に関して狭い（高さが限られている）場合に、特に有効である。
【０１１６】
《第１０の実施形態》
次に、第１０の実施形態について図１９〜図２１に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第９の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第９の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。第１０の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｂは、図１に示される上記第１の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴとケーブルガイド装置１００（図２参照）を除き実質的に同じものである。すなわち、基板ステージ装置ＰＳＴｂは、図１９に示されるように、定盤１２、一対のベースフレーム１４（一方のベースフレーム１４は不図示）上でＸ軸方向に長ストロークで移動するＸ粗動ステージ２３Ｘ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上に搭載され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘとともにガントリ式のＸＹ２軸ステージ装置を構成するＹ粗動ステージ２３Ｙ，Ｙ粗動ステージ２３Ｙの上方に配置された微動ステージ２１，微動ステージ２１などの重量をキャンセルする重量キャンセル装置２６、ケーブルガイド装置１００ｂなどを備えている。
【０１１７】
基板ステージ装置ＰＳＴｂについて詳述すると、図１９に示されるように、ベースフレーム１４は、Ｘ軸方向に延びるＸＺ平面に平行な板状部材から成る本体部１４ａと、本体部１４ａの長手方向両端部近傍を下方から支持する２つの脚部１４ｂとを含む。脚部１４ｂの下端部には、複数のアジャスタ１４ｃが設けられ、本体部１４ａのＺ位置が調整できるようになっている。図２０から分かるように、本体部１４ａの両側面には、それぞれＸリニアモータの要素である固定子５５が固定されている。固定子５５は、Ｘ軸方向に所定間隔で配列された複数の永久磁石を含む磁石ユニットを有している。また、本体部１４ａの上端面、及び両側面（上記固定子５５の下方）には、それぞれ機械的な一軸ガイド装置の要素であるＸリニアガイド５２が固定されている（図１９では、本体部１４ａの−Ｙ側の側面に固定されたＸリニアガイド５２は不図示）。
【０１１８】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、図２０に示されるように、一対のＹビーム２３Ｘａと、一対のＹビーム２３Ｘａの両端部近傍それぞれを連結する一対の連結部材２３Ｘｂとを有し、その中央部に開口部が形成されている。一対の連結部材２３Ｘｂそれぞれの下面には、Ｘスライダ５４（図１９，及び図２１参照）が固定されている。
【０１１９】
Ｘスライダ５４は、図２１に示されるように、ＹＺ断面逆Ｕ字状の部材から成り、一対の対向面それぞれに固定子５５と共にＸリニアモータを構成する可動子５９が固定されている。また、Ｘスライダ５４の一対の対向面、及び天井面それぞれには、Ｘリニアガイド５２にスライド可能に係合するＸスライダ５８が固定されている。一対のＹビーム２３Ｘａそれぞれの上面には、図２０に示されるように、一対のＹリニアガイド部材２８が固定されている。また、一対のＹビーム２３Ｘａそれぞれの上面であって、一対のＹリニアガイド部材２８間の領域には、Ｙ固定子４１が固定されている。Ｙ固定子４１は、Ｙ軸方向に所定間隔で配列された複数の永久磁石を含む磁石ユニットを有している。
【０１２０】
Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、平面視ほぼ正方形の板状部材から成り、その中央部には、開口部が形成されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、図１９に示されるように、Ｙ固定子４１に所定のクリアランスを介して対向する一対のＹ可動子４２が固定されている。Ｙ可動子４２は、不図示のコイルユニットを含み、上述したＹ固定子４１と共にＹ粗動ステージ２３ＹをＹ軸方向に所定のストロークで駆動するためのＹリニアモータを構成している。また、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、Ｙリニアガイド部材２８にスライド可能に係合するＹスライダ２９が複数固定されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｙリニアガイド部材２８とＹスライダ２９との作用によりＸ粗動ステージ２３Ｘに対するＸ軸方向への相対移動が制限されており、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと一体的にＸ軸方向に移動する。
【０１２１】
微動ステージ２１は、平面視ほぼ正方形の板状（又は箱形）部材から成り、その上面に基板ホルダＰＨを介して基板Ｐ（図１９では不図示。図１参照）を、例えば真空吸着（又は静電吸着）により吸着保持する。
【０１２２】
微動ステージ２１は、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに固定された固定子と、微動ステージ２１に固定された可動子とから成る複数のボイスコイルモータ（あるいはリニアモータ。図２１では不図示）を含む微動ステージ駆動系により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ上で３自由度方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θｚ方向）に微少駆動される。複数のボイスコイルモータとしては、微動ステージ２１をＸ軸方向に微少駆動する複数のＸボイスコイルモータ２０Ｘ、及び微動ステージ２１をＹ軸方向に微少駆動する複数のＹボイスコイルモータ（不図示）を含む。なお、図１９では、複数のＸボイスコイルモータ２０Ｘは、紙面奥行き方向に重なっている。微動ステージ２１は、上記Ｘボイスコイルモータ２０Ｘ、及び／又はＹボイスコイルモータを用いてＹ粗動ステージ２３Ｙに同期駆動（Ｙ粗動ステージ２３Ｙと同方向に同速度で駆動）されることにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと共に（Ｙ粗動ステージ２３Ｙに誘導されて）Ｘ軸方向、及び／又はＹ軸方向に所定のストロークで移動する。また、微動ステージ駆動系は、微動ステージ２１をθｘ、θｙ、及びＺ軸方向の３自由度方向に微少駆動するための複数のＺボイスコイルモータ（不図示）を有している。複数のＺボイスコイルモータは、例えば微動ステージ２１の四隅部に対応する箇所に配置されている。複数のボイスコイルモータを含み、微動ステージ駆動系の構成については、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２３】
微動ステージ２１のＸＹ平面内の位置情報（θｚ方向の回転量を含む）は、微動ステージ２１にミラーベース２４Ｘを介して固定されたＸ移動鏡２２Ｘ、及び微動ステージ２１にミラーベース２４Ｙを介して固定されたＹ移動鏡２２Ｙ(図２１参照）を用いたレーザ干渉計システムによって求められる。また、微動ステージ２１のθｘ、θｙ、及びＺ軸方向に関する位置情報は、微動ステージ２１の下面に固定された複数のＺセンサ４３により、後述する重量キャンセル装置２６の筐体２６ａにアーム部材４４を介して固定されたターゲット４５を用いて求められる。Ｚセンサ４３は、例えば少なくとも同一直線上にない３箇所に配置されている。上記微動ステージ２１の位置計測系の構成については、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２４】
重量キャンセル装置２６は、図１９に示されるように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの開口部、及びＸ粗動ステージ２３Ｘの開口部内に挿入されている。重量キャンセル装置２６は、筐体２６ａ、空気ばね２６ｂ，空気ばね２６ｂ上にプレート２６ｃを介して搭載されたＺスライダ２６ｄなどを有する。筐体２６ａは、＋Ｚ側に開口する有底の筒状部材から成る。筐体２６ａの下面には、軸受面が定盤１２の上面に対向する複数のエアベアリング（以下、ベースパッドと呼ぶ）２６ｅが取り付けられている。空気ばね２６ｂは、筐体２６ａの内部に収容されている。空気ばね２６ｂには、後述するケーブルガイド装置１００ｂを介して外部から加圧気体が供給される。Ｚスライダ２６ｄは、Ｚ軸方向に延びる筒状の部材から成り、筐体２６ａに対してＺ軸方向に相対移動可能になっている。Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部には、軸受面が＋Ｚ側を向いた不図示のエアベアリングが取り付けられている。ベースパッド２６ｅ、Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部に取り付けられた不図示のエアベアリングなどには、後述するケーブルガイド装置１００ｂを介して外部から加圧気体が供給される。プレート２６ｃは、その一部が筐体２６ａに形成された開口部を介して筐体２６ａの外部に突き出している。筐体２６ａの外周面には、プレート２６ｃに当接してプレート２６ｃのＺ軸方向に関する移動可能範囲を規定するストッパ２６ｆが複数固定されている。
【０１２５】
重量キャンセル装置２６は、空気ばね２６ｂが発生する重力方向上向きの力により、Ｚスライダ２６ｄ、及びレベリング装置２７を介して微動ステージ２１を含む系の重量（重力方向下向きの力）を打ち消す（キャンセルする）ことにより、上述した微動ステージ駆動系を構成する複数の複数のボイスコイルモータの負荷を低減する。
【０１２６】
重量キャンセル装置２６は、複数の連結装置２５を介してＹ粗動ステージ２３Ｙに機械的に接続されている。複数の連結装置２５のＺ位置は、重量キャンセル装置２６のＺ軸方向に関する重心位置とほぼ一致している。連結装置２５は、ＸＹ平面に平行な厚さの薄い鋼板などを含み、フレクシャ装置とも称される。連結装置２５は、重量キャンセル装置２６の＋Ｘ側、−Ｘ側、＋Ｙ側、−Ｙ側で重量キャンセル装置２６の筐体２６ａとＹ粗動ステージ２３Ｙを連結している（図１９では＋Ｙ側、−Ｙ側の連結装置２５は不図示）。従って、重量キャンセル装置２６は、複数の連結装置２５のいずれかを介してＹ粗動ステージ２３Ｙに牽引されることにより、そのＹ粗動ステージ２３Ｙと一体的にＸ軸方向、及び／又はＹ軸方向に移動する。この際、重量キャンセル装置２６には、そのＺ軸方向に関する重心位置を含むＸＹ平面に平行な平面内で牽引力が作用するので、移動方向に直交する軸線周りのモーメント（ピッチングモーメント）が作用しない。
【０１２７】
レベリング装置２７は、微動ステージ２１をチルト自在（ＸＹ平面に対してθｘ及びθｙ方向に揺動自在）に支持する。レベリング装置２７は、Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部に取り付けられた上記エアベアリングにより下方から非接触支持されたベース部材２７ａと、ベース部材２７ａの上面に形成された凹部にその下部が、微動ステージ２１の下面に形成された凹部にその上部がそれぞれ挿入される球面エアベアリング２７ｂと、を備える。なお、微動ステージ２１をＸＹ平面に対して揺動自在に支持する装置としては、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されるような、複数のエアベアリングを用いた疑似球面軸受装置であっても良いし、弾性ヒンジ装置を用いても良い。なお、上記重量キャンセル装置２６、連結装置２５、レベリング装置２７の詳細な構成について、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２８】
また、微動ステージ２１は、微動ステージ２１の下面に固定された微動ステージ側ストッパブロック４６ａと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの上面に固定され、その上端部が微動ステージ側ストッパブロック４６ａの下端部に所定のクリアランスを介して対向するＹ粗動ステージ側ストッパブロック４６ｂとから成るＺストッパ装置４６により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに対する−Ｚ方向の移動可能量が規定されている。微動ステージ２１は、例えば重量キャンセル装置２６のメンテナンス時など、空気ばね２６ｂに対する加圧気体の供給が停止されると−Ｚ方向に降下し、Ｚストッパ装置４６の作用によりＹ粗動ステージ２３Ｙ上に接触状態で搭載される。Ｚストッパ装置４６は、例えば同一直線上にない３箇所に配置されている。
【０１２９】
ケーブルガイド装置１００ｂは、上記第８の実施形態（図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）参照）と同様に、支持部材１０２にエアベアリング４８が取り付けられている。ここで、本第１０の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂでは、支持部材１０２は、図２１に示されるように、Ｙ軸方向に延びる板状の部材から成るベース５１と、ベース５１上面の両端部近傍に固定された軸受け部材５３とを有する。エアベアリング４８は、ベース５１下面の長手方向両端部近傍に取り付けられている。エアベアリング４８は、定盤１２上面に対して加圧気体を噴出するパッド部材４８ａと、パッド部材４８ａをベース５１の下面に対してθｙ方向、及びθｘ方向に微少角度で揺動自在に取り付けるためのボールジョイント４８ｂとを含む。なお、図２１では、図面の錯綜を避ける観点から、ケーブル５６、及びケーブルガイド装置１００ｂのうち支持部材１０２よりも−Ｘ側に配置された部材については、その図示が省略されている。第１０の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂは、複数のリンク６８〜７４が定盤１２上に配置されるので、例えば米国特許出願公開第２００３／００００１９８号明細書に開示されるようにケーブルガイド装置を定盤１２の両側に配置する場合に比べ、基板ステージ架台３３（図２１参照）を短くでき（ボディＢＤを狭幅にでき）、その剛性を向上させることができる。
【０１３０】
また、上記第１の実施形態では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６から離れる方向（＋Ｘ方向）に移動する際に、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開き、かつＸ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６に近づく方向（−Ｘ方向）に移動する際に、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じるようにするために、複数の引っ張りばね１０４〜１１８が用いられたが、本第１０の実施形態のケーブルガイド装置１００ｂは、それに加えて、ウエイトＷを用いて複数のリンク６８〜７４が上記のように動作するように構成されている。
【０１３１】
詳述すると、図２０に示されるように、支持部材１０２のベース５１の−Ｘ側の側面の両端部近傍それぞれには、ロープ３６の一端が接続されている。また、図１９に示されるように、ロープ３６の他端は、固定部材６６に接続されている。ロープ３６の中間部分は、一端側において固定部材６６に取り付けられた定滑車３７に巻き掛けられ、他端側において、ウエイトＷに取り付けられた動滑車３８に巻き掛けられている。動滑車３８、及びウエイトＷは、固定部材６６に固定されたＺリニアガイド３９ａとウエイトＷに固定されたＺスライダ３９ｂとを含むＺリニアガイド装置３９を介してＺ軸方向に移動可能（上下動可能）となっている。
【０１３２】
ケーブルガイド装置１００ｂでは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置するとき、ウエイトＷは、その移動範囲の−Ｚ側の端に位置している。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、そのＸ粗動ステージ２３Ｘに牽引されて第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が開く。この際、第２のリンク７０と第３のリンク７２との間に配置された支持部材１０２には、ウエイトＷによる−Ｘ方向の負荷が作用している。従って、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開くように、より確実に動作させることができる。
【０１３３】
これに対し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置した状態から−Ｘ側に移動する場合には、支持部材１０２に作用するウエイトＷによる−Ｘ方向の負荷により、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じるように、より確実に動作させることができる。
【０１３４】
《第１１の実施形態》
次に、第１１の実施形態について図２２〜図２４に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第１０の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第１０の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。第１１の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｃは、上記第１０の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｂ（図１９〜図２１参照）とケーブルガイド装置１００ｃを除き実質的に同じものであるので、以下、ケーブルガイド装置１００ｃについてのみ説明する。なお、図２４では、図面の錯綜を避ける観点から、ケーブル５６、及びケーブルガイド装置１００ｃのうち支持部材１０２ｃよりも−Ｘ側に配置された部材については、その図示が省略されている。
【０１３５】
上記第１０の実施形態のケーブルガイド装置１００ｂ（図１９〜図２１参照）では、支持部材１０２が２つのエアベアリング４８により定盤１２上に浮上支持されたのに対し、本第１１の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｃでは、図２４に示されるように、支持部材１０２ｃのベース５１ｃは、上記第１０の実施形態よりも長手方向の寸法が長く設定されている。ベース５１ｃの下面の長手方向両端部近傍には、スペーサ５８ａを介してＸスライダ５８が固定されている。Ｘスライダ５８は、ＹＺ断面逆Ｕ字状の部材を含み、ベースフレーム１４の本体部１４ａ上面に固定されたＸリニアガイド５２に低摩擦でスライド自在に係合している。第１１の実施形態において、支持部材１０２ｃは、定盤１２に非接触で一対のベースフレーム１４上を移動するので、支持部材１０２ｃがＸ軸方向に確実に直進案内される。なお、支持部材１０２ｃに−Ｘ方向の負荷を作用させる装置（ウエイトＷ、定滑車３７、動滑車３８などを含む）の構成及び作用については、上記第１０の実施形態と同じなので、その説明を省略する。第１１の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂでは、上記第１０の実施形態に比べ、エアベアリング、及びエアベアリング用の配管などが不要なので構成が簡単でかつ経済的である。また、支持部材１０２ｃが一対のベースフレーム１４上を移動するので、ケーブルガイド装置１００ｂで発生する振動などが定盤１２に伝達されるおそれがなく、基板Ｐの高精度位置決めが可能となる。
【０１３６】
《第１２の実施形態》
次に、第１２の実施形態について図２５（Ａ）〜図２５（Ｃ）に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第１１の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第１１の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
【０１３７】
ケーブルガイド装置１００ｄは、上記第１１の実施形態と同様に支持部材１０２ｃには、ウエイトＷにより−Ｘ方向に負荷が作用している。なお、本第１２の実施形態において、ウエイトＷ、動滑車３８、定滑車３７を含む負荷装置は、その配置が異なる点を除き、上記第１１の実施形態と同じ機能を有するため、上記第１１の実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。なお、支持部材１０２ｃは、Ｘリニアガイド５２上でＸ軸方向に直進案内される構成であるが、上記第１０の実施形態のように、エアベアリングを介して定盤上に浮上支持されていても良い。また、Ｘリニアガイド５２は、ベースフレーム１４（図２４参照）に固定されたものでなくても良い。
【０１３８】
また、支持部材１０２ｃには、接続部材１０２ｄ、及びロープ１６ａを介して第１動滑車１６が接続されている。第１動滑車１６に巻き掛けられたロープ１７の一端は、後述するＸスライド部材１８に接続されている。また、ロープ１７の他端は、第２動滑車１９に接続されている。第２動滑車１９に巻き掛けられたロープ１５の一端は、後述するＸスライド部材１８に接続されている。また、ロープ１５の他端は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに接続されている。Ｘスライド部材１８には、位置が固定のＸリニアガイド９５にスライド自在に係合するＸスライダ９４が取り付けられており、Ｘ軸方向に所定のストロークで移動自在となっている。また、Ｘリニアガイド９５の−Ｘ側の端部近傍には、Ｘスライダ９４の移動を制限するストッパ９７が配置されている。なお、図面の錯綜を避ける観点から、図２５（Ｂ）、及び図２５（Ｃ）では、ケーブルガイド装置１００ｄに案内されるケーブル５６などの図示が省略されている。
【０１３９】
ケーブルガイド装置１００ｄでは、図２５（Ｂ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置した状態から＋Ｘ方向に移動すると、ロープ１５に牽引されて第２動滑車１９がＸ粗動ステージ２３Ｘのほぼ半分の速度（すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘのほぼ半分の移動量）で＋Ｘ方向に移動する。また、第２動滑車１９が＋Ｘ方向に移動すると、ロープ１７に牽引されることにより、第１動滑車１６が、第２動滑車１９のほぼ半分の速度、すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘの１／４の速度（Ｘ粗動ステージ２３Ｘのほぼ１／４の移動量）で＋Ｘ方向に移動する。これにより、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対に先行して開く（ただし、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対もわずかに開く）。従って、複数のリンク６８〜７４を、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６から離れる方向（−Ｘ方向）に移動する際に、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開くように確実に動作させることができる。
【０１４０】
また、Ｘスライド部材１８は、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の開き角度が所望量となった場合にＸ粗動ステージ２３Ｘに当接する位置に位置決めされて配置されている。従って、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の開き角度が所望量となった後は、Ｘスライド部材１８がＸ粗動ステージ２３Ｘに押圧されて、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと一体的に＋Ｘ方向に移動する。これにより、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２とがほぼ一体的に＋Ｘ方向に移動する。このように支持部材１０２ｃを直接＋Ｘ方向に駆動するようにしたので、第１のリンク６８，及び第２のリンク７０を介して駆動するよりも確実に支持部材１０２ｃに駆動力が伝わり、各リンク６８〜７４，及び支持部材１０２ｃが振動的になるおそれがない。従って、各リンク６８〜７４の高速動作、支持部材１０２ｃの高速移動が可能となる。また、図２５（Ｃ）に示される、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置した状態から−Ｘ方向に移動するときは、ウエイトＷ（及び不図示の複数の引っ張りばね）の作用によりＸ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２とが、ほぼ同期して−Ｘ方向に移動する。これにより、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じる。
【０１４１】
なお、上記第１〜第１２の各実施形態に係るケーブルガイド装置の構成は、一例であって、本発明がこれに限定されるものではない。例えば、上記第１〜第１２の各実施形態では、用力伝達部材の一例として、電源装置からＸ粗動ステージ２３Ｘ等の移動体に電力を供給するケーブル５６がガイド対象物であったが、これに換えて、あるいはこれに加えて、例えば、移動体と外部装置との間での、気体、冷媒等の流体の伝達を行うチューブ（あるいはホース）、移動体と外部装置との間での信号の送受信を行う通信ケーブル等をガイド対象物としても良い。この場合、外部装置には、例えば制御装置等の通信装置、冷却装置、基板を吸着保持するための真空吸引力を発生するバキューム装置等が含まれる。
【０１４２】
また、上記第１〜第４、第６、第８〜第１２の各実施形態では、リンク機構のリンクの数を、４節としているが、これに限らず、リンクの数を適宜増減しても良い。そして、これに併せて隣り合うリンクの連結部を支持する支持部材の数を増減しても良い。なお、リンクの数を少なくした場合（例えば、リンクが２つ又は３つの場合）に、ケーブル５６の一箇所のみを、一つのリンクに固定しても良く、更にこの場合、リンク機構を水平面上で支持する支持部材を設けない構成も可能である。また、第３の実施形態において、リンク及び支持部材を増設した場合には、増設した支持部材を移動させるＸリニアモータの可動子も併せて増設すると良い。
【０１４３】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では、リンク機構の各リンクの軸がＹ軸、あるいはＺ軸に平行に設けられているが、リンク同士を接続する軸の軸線方向は、これに限られない。要は、リンク機構を移動体に同期して案内できれば良く、リンク同士を接続する軸の軸線方向は、例えば水平面に傾斜する方向に平行であっても良い。
【０１４４】
また、上記第２の実施形態を除く各実施形態のケーブルガイド装置において、ケーブル５６の所定箇所は、円筒形状の部材から成るローラの外周面に固定されていたが、ケーブル５６が固定される部材は、それぞれ回転軸回りに所定の角度、θｙ方向又はθｚ方向に回転（揺動）できれば良い（ケーブルに作用する張力を緩和できれば良い）ので、円筒形状以外の形状の部材でも良い。
【０１４５】
また、上記第２の実施形態のようにリンクが伸縮しない場合には、隣接するリンク間に直接引っ張りばねを掛け渡しても良い。一例を挙げると、例えば、図１７に示されるリンク機構２４８では、第２のリンク２０６と第３のリンク２５２とに引っ張りばね１１９が架け渡され、第２のリンク２０６と第３のリンク２５２とを閉じ方向に付勢している。また、第４のリンク２１０と軸受部材６４にも引っ張りばね１１８が架け渡されている（第１のリンク２５０には、ばねが架け渡されない）。なお、図１７において、ケーブル５６などの図示は、省略されている。本変形例のリンク機構２４８であっても、引っ張りばね１１８による引っ張り力を引っ張りばね１１９による引っ張り力よりも大きくすることにより、上記第２の実施形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
【０１４６】
また、上記第１の実施形態（図４参照）のリンク機構６０では、複数の引っ張りばね１０４〜１１８による引っ張り力の差により、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際に、第３及び第４のリンク７２，７４から成るリンク対が、第１及び第２のリンク６８，７０から成るリンク対に先立って閉じるように構成されたが、他の構成によりリンク機構６０を上記のように動作させても良い。図１８（Ａ）には、上記第１の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置１００ａが示されている。ケーブルガイド装置１００ａでは、支持部材１０２の−Ｘ側の端部にワイヤロープ１５０の一端が接続されている。ワイヤロープ１５０は、支持部材１０２の−Ｘ側の端部から−Ｘ方向に延びるとともに、その長手方向の中間部が、位置が固定のプーリ１５２に巻き掛けられることにより＋Ｘ側に折り曲げられ、他端がＸリニアガイド部材１０３よりも＋Ｘ側に設けられた固定部材１５４に、引っ張りばね１５６（引っ張りコイルばね）を介して接続されている。Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、図１８（Ｂ）に示されるように、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°となる前は、第１及び第２のリンク６８，７０のみを引っ張り、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°となった後は、図１８（Ｃ）に示されるように、引っ張りばね１５６の引っ張り力に抗してワイヤロープ１５０で支持部材１０２を牽引することにより、第３及び第４のリンク７２，７４を開かせる。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが図１８（Ｃ）に示される位置（移動範囲の＋Ｘ側の位置）から−Ｘ方向に移動する際は、が引っ張りばね１５６の作用により支持部材１０２がワイヤロープ１５０に牽引されることにより、第３及び第４のリンク７２，７４から成るリンク対が、第１及び第２のリンク６８，７０から成るリンク対に先立って閉じる。なお、引っ張りばね１５６は、支持部材１０２を−Ｘ方向に付勢できれば良いので、ワイヤロープ１５０及びプーリ１５２を介さず、例えば固定部材６６と支持部材１０２とに架け渡されても良い。
【０１４７】
また、上記第１〜第７の各実施形態において、リンクの連結部を支持する支持部材を案内する案内部材は、直線（一軸）ガイド部材であったがこれに限らず曲線ガイド部材であっても良い。また、上記第１〜第６、第８、及び第９の各実施形態において、リンク機構を構成する各リンクの長さは同じでなくても良い。例えば、上記第１の実施形態において、第１及び第２のリンク６８、７０の長さに対して、第３、及び第４のリンク７２，７４の長さをそれぞれ長く、あるいは短くても良い。また、上記第１〜第６、第８、及び第９の各実施形態において、複数のリンクは、引っ張りばねにより所定の方向に付勢されていたが、リンクを付勢する部材はこれに限らず、例えばリンクを軸支する軸受部に捻りばね（トーションばね）を設けても良い。
【０１４８】
また、上記第１、第３、第４、第５、第６、第８及〜第１２の各実施形態では、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４を、３つの部材により構成して、その長手方向に伸縮可能にしているが、これに限らず、例えば、各リンクを２つ、あるいは４つ以上の部材により構成して、その長手方向に伸縮可能にしても良い。
【０１４９】
上記第３、第４、第５、第６、第８〜第１２の各実施形態においては、リンク機構を、第２の実施形態と同様に構成しても良い。
【０１５０】
また、上記第３の実施形態では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置し、＋Ｘ方向に移動を開始した後、基板ステージ側の一対のリンク対（最初のリンク対）が開ききった（開き角度が１５０°になるとき）のちに、次のリンク対が開くようにリンク機構が制御されるが、これに限らず、最初のリンク対の開き角度が、例えば、９０°、１０５°、１２０°、１３５°等になるときに、支持部材１０２を＋Ｘ方向に移動させて次のリンク対が開き始めるようにして制御しても良い。この場合、支持部材１０２の速さをＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅くすれば、最初のリンク対を開きつつ次のリンク対を開くことができる。
【０１５１】
また、上記第７の実施形態では、各伸縮部が複数のリンクにより構成されているが、これに限らず、例えばエアシリンダなどの長さ方向の寸法が変化する装置であれば、伸縮部として用いることができる。
【０１５２】
また、上記第７の実施形態では、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０の双方をＺ軸方向に伸縮可能としているが、これらの少なくとも一方を、例えば、ＸＺ平面に平行で、かつＺ軸に対し角度を成した方向に伸縮可能としても良い。
【０１５３】
上記第１〜第７、及び第１０〜第１２の各実施形態においては、Ｘ粗動ステージ２３Ｘにのみ、ケーブル５６及びこのケーブル５６を案内するケーブルガイド装置を設けているが、これに換えてあるいはこれに加えて、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに、ケーブル及びこのケーブルを案内するケーブルガイド装置を設けても良い。
【０１５４】
また、上記第１〜第１２の各実施形態において、ケーブルが接続される移動体は、ＸＹ二次元平面に沿って一軸、又は２軸方向に移動するものであったが、移動体は、これに限らず、ＸＹ二次元平面、及びＸＹ二次元平面に交差する方向（例えばＺ軸方向）に長ストロークで移動可能なものであっても良い。
【０１５５】
また、本発明に係る用力伝達部材ガイド装置は、基板を保持する基板ステージ装置以外の移動体、例えば図１に示されるマスクステージＭＳＴに接続されたケーブル（不図示）等を案内するために用いても良い。
【０１５６】
また、上記第１０〜第１２の各実施形態では、ウエイトＷを用いて支持部材１０２に−Ｘ方向の負荷を与える構成であったが、支持部材１０２に−Ｘ方向の負荷を作用させることができれば、例えばばね定数の小さな引っ張りばね（例えば、コンストンばね（登録商標））などを用いても良い。
【０１５７】
また、上記第１〜第１２の各実施形態（ただし第７の実施形態を除く）では、隣り合うリンクの最大開き角度を規定する装置として、機械的な開き止め装置８０（図２参照）が用いられたが、これに替えて、例えば図２６に示されるような４節リンク機構を用いても良い。なお、図２６では、一例として、第１のリンク６８と軸受部材６２の開き角度を規定する開き止め装置８０ａが示されている。開き止め装置８０ａは、第１のリンク６８のスライド部８２ａが軸受部材６２に軸部材９３を介して支持されている。また、軸受部材６２には、円板クランク９９８が軸部材９９９を介して支持されている。円板クランク９９８には、軸部材９９７を介して連結板９９６の一端が支持され、その連結板９９６の他端は、第１のリンク６８のスライド部８２ａに軸部材９９５を介して支持されている。円板クランク９９８は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに固定されたＹＺ断面逆Ｕ字状の部材から成るブラケット９９４の一対の対向面間に挿入されている。ブラケット９９４の一対の対向面には、それぞれ複数のマグネット９９３が、円板クランク９９８に所定のクリアランスを介して固定されている。円板クランク９９８と複数のマグネット９９３とは、渦電流ブレーキ装置を構成し、円板クランク９９８に渦電流を発生させることによって、第１のリンク６８に制動力を発生させる。この場合、上記機械的な開き止め装置８０（ストッパ）に比べて衝撃の発生する可能性が少ない。
【０１５８】
なお、露光装置で使用される照明光は、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）などの紫外光や、Ｆ2レーザ光（波長１５７ｎｍ）などの真空紫外光であっても良い。また、照明光としては、例えばＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（又はエルビウムとイッテルビウムの両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。また、固体レーザ（波長：３５５ｎｍ、２６６ｎｍ）などを使用しても良い。
【０１５９】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では、投影光学系ＰＬが、複数本の光学系を備えたマルチレンズ方式の投影光学系である場合について説明したが、投影光学系の本数はこれに限らず、１本以上あれば良い。また、マルチレンズ方式の投影光学系に限らず、オフナー型の大型ミラーを用いた投影光学系などであっても良い。
【０１６０】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では投影光学系ＰＬとして、投影倍率が等倍系のものを用いる場合について説明したが、これに限らず、投影光学系は拡大系及び縮小系のいずれでも良い。
【０１６１】
また、本発明の用力伝達部材案内装置は、露光装置以外の装置、例えばインクジェット式の機能性液体付与装置を備えた素子製造装置などに適用することもできる。また、本発明の用力伝達部材案内装置を有する基板処理装置は、露光装置に限らず、例えば露光装置の露光対象である基板の検査に用いる基板検査装置などであっても良い。
【０１６２】
なお、上記第１〜第１２の各実施形態では、ステップ・アンド・スキャン動作を伴う露光装置に本発明が適用された場合について説明したが、これに限らず、本発明は、ステップ・アンド・リピート方式の露光装置（いわゆるステッパ）あるいはステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用することができる。また、本発明は、投影光学系を用いない、プロキシミティ方式の露光装置にも適用することができる。
【０１６３】
また、露光装置の用途としては角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを転写する液晶用の露光装置に限定されることなく、例えば半導体製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン及びＤＮＡチップなどを製造するための露光装置にも広く適用できる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるマスク又はレチクルを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。なお、露光対象となる物体はガラスプレートに限られるものでなく、例えばウエハ、セラミック基板、フィルム部材、あるいはマスクブランクスなど、他の物体でも良い。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
以上説明したように、本発明の用力伝達ガイド装置は、所定の二次元平面に沿って移動体と外部装置との間で用力の伝達を行う用力伝達部材を案内するのに適している。また、本発明の基板処理装置は、基板に所定の処理を行うのに適している。
【符号の説明】
【０１６５】
１０…液晶露光装置、２３Ｘ…Ｘ粗動ステージ、５６…ケーブル、６０…リンク機構、６２…軸受部材、６４…軸受部材、６６…固定部材、６８…第１のリンク、７０…第２のリンク、７２…第３のリンク、７４…第４のリンク、９０…ローラ、１００…ケーブルガイド装置、１０２…支持部材、Ｐ…基板、ＰＳＴ…基板ステージ装置。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、用力伝達部材ガイド装置、及び基板処理装置に係り、更に詳しくは、所定の二次元平面内の所定範囲を移動する移動体と外部装置との間での用力の伝達に用いられる用力伝達部材を案内する用力伝達部材ガイド装置、及びこの用力伝達部材ガイド装置を有し、移動体に載置された基板に処理を施す基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示素子、半導体素子（集積回路等）等の電子デバイス（マイクロデバイス）を製造するリソグラフィ工程では、マスク又はレチクル（以下、「マスク」と総称する）と、ガラスプレート又はウエハ（以下、「基板」と総称する）とを所定の走査方向（スキャン方向）に沿って同期移動させつつ、マスクに形成された微細なパターンを、投影光学系を介して基板上に転写するステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置（いわゆるスキャニング・ステッパ（スキャナとも呼ばれる））などが用いられている。
【０００３】
この種の露光装置は、基板を保持し、この基板をスキャン方向に案内する基板ステージ装置を備えており、この基板ステージ装置には、外部から各種用力、例えば電力などを供給するためのケーブルが接続されている。ケーブルは、基板ステージ装置の移動に伴い、ケーブル案内装置により基板ステージ装置に追従するように所定の方向に案内される。従来、ケーブル案内装置としては、複数のリンク部材が繋がれたチェーンリンク機構を用いるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載のケーブル案内装置においては、ケーブルが各チェーンリンクに沿って配置されているため、チェーンリンク機構の変形に伴いケーブルが変形する際、ケーブルとチェーンリンクとが摺動し、振動が発生するおそれ及び発塵するおそれがあった。
【０００５】
上記露光装置においては、このような振動が発生すると基板の位置制御の精度が下がり、また、発塵によりマスクや基板に塵がつくと転写不良を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００２／０８６３４９号
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の観点からすると、所定の二次元平面に平行な平面内の所定範囲を該二次元平面に沿って移動する移動体と、外部装置と、の間で伝達される用力の伝達路を形成する可撓性の用力伝達部材の一部が固定される固定部と；前記用力伝達部材の、前記固定部に固定された部位と前記移動体に接続された部位との中間の領域の一箇所又は複数箇所を保持し、その保持する箇所を、前記移動体が移動する際に該移動体の移動方向と同方向に案内しつつ前記二次元平面に交差する方向に案内する案内部と；を備える用力伝達部材ガイド装置である。
【０００８】
ここで、用力とは、移動体又は外部装置で用いられる何らかのエネルギ、物質など（一例として、電力、電気信号、加圧気体、真空吸引力、冷媒）を意味し、用力を伝達するとは、移動体と外部装置との間で上記用力の授受（電力の供給、電気信号の送受信、冷媒の供給及び回収など）を行うことを意味する。本明細書では、かかる意味で用力なる用語を用いるものとする。
【０００９】
これによれば、移動体が所定の二次元平面内に沿って移動する際、案内部は、有限長の用力伝達部材の一箇所又は複数個所を、その移動体と同方向に案内しつつ、その移動体の移動方向に交差する方向に案内することにより、可撓性の用力伝達部材を撓ませる。これにより、用力伝達部材と他の部材との摺動を回避しつつ、用力伝達部材の固定部側から見た繰り出し量を調整できる。従って、用力伝達部材を案内する際の振動の発生及び発塵が防止される。
【００１０】
本発明は、第２の観点からすると、前記移動体は基板が載置されるステージである本発明の用力伝達部材ガイド装置と；前記基板に処理を施す基板処理部と；を備え、該基板処理部は、前記ステージの移動範囲の上方に位置する基板処理装置である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態の液晶露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１の液晶露光装置が有するケーブルガイド装置を模式的に示す図である。
【図３】ケーブルガイド装置の構成を示す平面図である。
【図４】ケーブルガイド装置の構成を示す側面図である。
【図５】隣り合うリンクから成るリンク対の開き角度と、該リンク対の連結部に設けられたローラに固定されたケーブルとの関係を示す図である。
【図６】図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は、ケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図７】第２の実施形態に係るケーブルガイド装置の構成を示す側面図である。
【図８】第３の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図９】図９（Ａ）及び図９（Ｂ）は、図８の液晶露光装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１０】第４の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１１】第５の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１２】第６の実施形態に係る液晶露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図１３】図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、第７の実施形態に係る液晶露光装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１４】図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）は、第８の実施形態に係るケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１５】第８の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置を示す平面図である。
【図１６】図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）は、第９の実施形態に係る基板ステージ装置が有するケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１７】第２の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置の概略構成を示す側面図である。
【図１８】図１８（Ａ）〜図１８（Ｃ）は、第１の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置の動作を説明するための図である。
【図１９】第１０の実施形態に係る基板ステージ装置を示す図である。
【図２０】図１９のＡ−Ａ線断面図である。
【図２１】図１９の基板ステージ装置を−Ｘ側から見た図である。
【図２２】第１１の実施形態に係る基板ステージ装置を示す図である。
【図２３】図２２のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２４】図２２の基板ステージ装置を−Ｘ側から見た図である。
【図２５】図２５（Ａ）〜図２５（Ｃ）は、第１２の実施形態に係るケーブルガイド装置の構成及び動作を説明するための図である。
【図２６】図２６（Ａ）及び図２６（Ｂ）は、リンク対の開き止め装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態について、図１〜図６（Ｃ）を用いて説明する。
【００１３】
図１には、第１の実施形態に係る液晶露光装置１０の概略構成が示されている。液晶露光装置１０は、液晶表示装置の表示パネルに用いられる矩形（角形）のガラス基板Ｐ（以下、単に基板Ｐと称する）を露光対象物とするステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置、いわゆるスキャナである。
【００１４】
液晶露光装置１０は、照明系ＩＯＰ、マスクＭを保持するマスクステージＭＳＴ、投影光学系ＰＬ、上記マスクステージＭＳＴ及び投影光学系ＰＬなどが搭載されたボディＢＤ、基板Ｐを保持する基板ステージ装置ＰＳＴ、及びこれらの制御系等を含んでいる。以下においては、露光時にマスクＭと基板Ｐとが投影光学系ＰＬに対してそれぞれ相対走査される方向をＸ軸方向とし、水平面内でこれに直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向をＺ軸方向とし、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸回りの回転（傾斜）方向をそれぞれθｘ、θｙ、及びθｚ方向として説明を行う。
【００１５】
照明系ＩＯＰは、例えば米国特許第６，５５２，７７５号明細書などに開示される照明系と同様に構成されている。すなわち、照明系ＩＯＰは、図示しない光源（例えば、水銀ランプ）から射出された光を、それぞれ図示しない反射鏡、ダイクロイックミラー、シャッター、波長選択フィルタ、各種レンズなどを介して、露光用照明光（照明光）ＩＬとしてマスクＭに照射する。照明光ＩＬとしては、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）などの光（あるいは、上記ｉ線、ｇ線、ｈ線の合成光）が用いられる。また、照明光ＩＬの波長は、波長選択フィルタにより、例えば要求される解像度に応じて適宜切り替えることが可能になっている。
【００１６】
マスクステージＭＳＴには、回路パターンなどがそのパターン面（図１における下面）に形成されたマスクＭが、例えば真空吸着（あるいは静電吸着）により固定されている。マスクステージＭＳＴは、後述するボディＢＤの一部である鏡筒定盤３１の上面に固定された一対のマスクステージガイド３５上に、例えば不図示のエアベアリングを介して非接触状態で浮上支持されている。マスクステージＭＳＴは、例えばリニアモータを含むマスクステージ駆動系（不図示）により、一対のマスクステージガイド３５上で、走査方向（Ｘ軸方向）に所定のストロークで駆動されるとともに、Ｙ軸方向、及びθｚ方向にそれぞれ適宜微少駆動される。マスクステージＭＳＴのＸＹ平面内の位置情報（θｚ方向の回転情報を含む）は、レーザ干渉計９１を含むマスク干渉計システムにより計測される。
【００１７】
投影光学系ＰＬは、マスクステージＭＳＴの図１における下方において、鏡筒定盤３１に支持されている。本実施形態の投影光学系ＰＬは、例えば米国特許第６，５５２，７７５号明細書に開示された投影光学系と同様の構成を有している。すなわち、投影光学系ＰＬは、レンズモジュールなどを含む光学系を複数有し、その複数の光学系は、Ｙ軸方向に沿って、いわゆる千鳥状に配列されている（マルチレンズ投影光学系とも称される）。複数の光学系それぞれとしては、例えば両側テレセントリックな等倍系で正立正像を形成するものが用いられている。前述の照明系ＩＯＰは、複数の光学系に対応した複数の照明光ＩＬをそれぞれマスクＭに照射するように構成されている。このため、マスクＭ上には、千鳥状に配置された複数の照明光ＩＬの照明領域が形成されるとともに、基板Ｐ上には、複数の光学系それぞれに対応して、千鳥状に配置された複数の照明光ＩＬの照射領域が形成される。液晶露光装置１０では、基板Ｐ上に形成される複数の照射領域が合成されることにより、千鳥状に配置された複数の光学系から成る投影光学系ＰＬが、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形状の単一のイメージフィールドを持つ投影光学系と同等に機能する。
【００１８】
このため、照明系ＩＯＰからの照明光ＩＬによってマスクＭ上の照明領域が照明されると、マスクＭを通過した照明光ＩＬにより、投影光学系ＰＬを介してその照明領域内のマスクＭの回路パターンの投影像（部分正立像）が、投影光学系ＰＬの像面側に配置される、表面にレジスト（感応剤）が塗布された基板Ｐ上の照明領域に共役な照明光ＩＬの照射領域（露光領域）に形成される。そして、マスクステージＭＳＴと基板ステージ装置ＰＳＴとの同期駆動によって、照明領域（照明光ＩＬ）に対してマスクＭを走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させるとともに、露光領域（照明光ＩＬ）に対して基板Ｐを走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させることで、基板Ｐ上の１つのショット領域（区画領域）の走査露光が行われ、そのショット領域にマスクＭのパターン（マスクパターン）が転写される。すなわち、本実施形態では照明系ＩＯＰ及び投影光学系ＰＬによって基板Ｐ上にマスクＭのパターンが生成され、照明光ＩＬによる基板Ｐ上の感応層（レジスト層）の露光によって基板Ｐ上にそのパターンが形成される。
【００１９】
ボディＢＤは、基板ステージ架台３３と、基板ステージ架台３３上に配置された一対の支持部材３２を介して水平に支持された鏡筒定盤３１と、を有している。基板ステージ架台３３は、床面Ｆ上に設置された複数の防振機構３４に支持されており、ボディＢＤは、床面Ｆに対して振動的に分離されている。
【００２０】
基板ステージ装置ＰＳＴは、基板ステージ架台３３上に固定された定盤１２と、床面Ｆ上に固定された一対のベースフレーム１４と、一対のベースフレーム１４上に搭載されたＸ粗動ステージ２３Ｘと、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上に搭載され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと共にＸＹ二次元ステージ装置を構成するＹ粗動ステージ２３Ｙと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｚ側（上方）に配置された微動ステージ２１と、定盤１２上で微動ステージ２１の重量を支持する重量キャンセル装置２６と、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと電源装置（不図示）とに接続されたケーブル５６（図２参照）を案内するケーブルガイド装置１００（図２参照）と、を備えている。
【００２１】
定盤１２は、例えば石材により形成された平面視で（＋Ｚ側から見て）矩形の板状部材から成り、その上面は、平面度が非常に高く仕上げられている。
【００２２】
一対のベースフレーム１４は、一方が定盤１２の＋Ｙ側、他方が定盤１２の−Ｙ側にそれぞれ配置されている。一対のベースフレーム１４それぞれは、Ｘ軸方向を長手方向とする部材から成り、基板ステージ架台３３を跨いだ状態で床面Ｆに固定されている。なお、図１では不図示であるが、一対のベースフレーム１４は、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に直進案内するための複数のＸリニアガイド部材、及びＸ粗動ステージ２３Ｘを駆動するＸリニアモータを構成するＸ固定子（例えば磁石ユニット）などを有している。
【００２３】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、平面視矩形の外形形状を有する枠状の部材から成り、その中央部にＹ軸方向を長手方向とする長孔状の開口部（不図示）を有している。Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面には、ＹＺ断面逆Ｕ字状に形成された一対のＸスライダ５４が固定されている。一対のＸスライダ５４それぞれは、図１では不図示であるが、ベースフレーム１４の有するＸリニアガイド部材（不図示）に対してスライド可能に係合するスライド部材、及び、上述したＸ固定子と共にＸリニアモータを構成するＸ可動子（例えば、コイルユニット）などを有している。Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、Ｘリニアモータを含むＸ粗動ステージ駆動系により、一対のベースフレーム１４上で、Ｘ軸方向に所定ストロークで直進駆動される。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの上面には、Ｘ軸方向に離間して配置された一対のＹリニアガイド部材２８（−Ｘ側のＹリニアガイド部材は、＋Ｘ側のＹリニアガイド部材に対して紙面奥側に重なっている）が固定されている。また、各図面では不図示であるが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの上面には、Ｙ粗動ステージ２３Ｙを駆動するＹリニアモータを構成するＹ固定子（例えばコイルユニット）が固定されている。
【００２４】
Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｘ粗動ステージ２３ＸよりもＹ軸方向の寸法が短い平面視で矩形の外形形状を有する枠状の部材から成り、その中央部に開口部（不図示）を有している。Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、上記Ｙリニアガイド部材２８にスライド可能な状態で係合するＸＺ断面逆Ｕ字状に形成された複数のスライダ２９が固定されている。また、図１では不図示であるが、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、上述したＹ固定子と共にＹリニアモータを構成するＹ可動子（例えば、磁石ユニット）が固定されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｙリニアモータを含むＹ粗動ステージ駆動系により、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上でＹ軸方向に所定ストロークで駆動される。Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、及びＹ粗動ステージ２３Ｙの位置情報は、図示しないリニアエンコーダシステムにより計測される。なお、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ，Ｙ粗動ステージ２３ＹをそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に駆動する駆動方式は、例えば送りねじによる駆動方式、あるいはベルト駆動方式などの他の方式であっても良い。
【００２５】
微動ステージ２１は、平面視略正方形の板状（又は直方体状）の部材から成り、その上面に基板ホルダＰＨを介して基板Ｐを保持する。基板ホルダＰＨは、例えば図示しない真空吸着装置（又は静電吸着装置）を有しており、その上面に基板Ｐを吸着保持する。
【００２６】
微動ステージ２１の−Ｙ側の側面には、ミラーベース２４Ｙを介してＹ軸に直交する反射面を有するＹ移動鏡（バーミラー）２２Ｙが固定されている。また、図１では図示が省略されているが、微動ステージ２１の−Ｘ側の側面には、Ｘ軸に直交する反射面を有するＸ移動鏡が固定されている。微動ステージ２１のＸＹ平面内の位置情報は、Ｙ移動鏡２２Ｙ及びＸ移動鏡それぞれに測長ビームを照射し、その反射光を受光するレーザ干渉計システムによって、例えば０．５〜１ｎｍ程度の分解能で常時検出されている。なお、実際には、レーザ干渉計システムは、Ｙ移動鏡２２Ｙ、Ｘ移動鏡それぞれに対応したＸレーザ干渉計、Ｙレーザ干渉計を有しているが、図１では、代表的にＹレーザ干渉計９２のみが図示されている。
【００２７】
微動ステージ２１は、例えばＹ粗動ステージ２３Ｙに固定された不図示の固定子（例えば、コイルユニット）と、微動ステージ２１に固定された不図示の可動子（例えば、磁石ユニット）とから成るボイスコイルモータを含む、微動ステージ駆動系により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ上で６自由度方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θｘ、θｙ、θｚの各方向）に微少駆動される。これにより、微動ステージ２１は、投影光学系ＰＬに対し、ＸＹ２軸方向に長ストロークで移動（粗動）可能、且つ６自由度方向に微少移動（微動）可能となっている。なお、ボイスコイルモータとしては、Ｘ軸方向に駆動力を発生するＸボイスコイルモータ、Ｙ軸方向に駆動力を発生するＹボイスコイルモータ、及びＺ軸方向に駆動力を発生するＺボイスコイルモータが、それぞれ複数（特にＺボイスコイルモータは、同一直線上にない３箇所以上に）設けられている。
【００２８】
重量キャンセル装置２６は、微動ステージ２１を定盤１２上で支持するＺ軸方向に延設された柱状の部材であり、心柱とも称される。重量キャンセル装置２６は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの開口部、及びＹ粗動ステージ２３Ｙの開口部に挿入されている。重量キャンセル装置２６は、＋Ｚ方向の力を発生することにより、微動ステージ２１を含む系（具体的には微動ステージ２１、基板ホルダＰＨ、基板Ｐなどから成る系）の重量（重力加速度による下向き（−Ｚ方向）の力）を打ち消し、これにより微動ステージ駆動系を構成する複数のボイスコイルモータ（不図示）に対する負荷を低減する。重量キャンセル装置２６は、図示しない気体静圧軸受、例えばエアベアリングにより定盤１２上に浮上支持されている。重量キャンセル装置２６は、板ばねを含む不図示の連結装置（フレクシャ装置とも称される）を介してＹ粗動ステージ２３Ｙに機械的に接続されており、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと一体的に、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動する。重量キャンセル装置２６と微動ステージ２１との間には、レベリング装置２７が配置されている。微動ステージ２１は、レベリング装置２７を介して、重量キャンセル装置２６に対して、θｘ方向及びθｙ方向にチルト自在（揺動自在）な状態で支持されている。上記重量キャンセル装置２６，レベリング装置２７、フレクシャ装置などの構成は、例えば国際公開第２００８／１２９７６２号などに開示されている。
【００２９】
ケーブルガイド装置１００は、図２に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動する際、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに一端が接続され、他端が不図示の電源装置に接続されたケーブル５６が、他の部材（例えば、定盤１２）に接触しないように案内する装置である。なお、図３に示されるように、ケーブル５６は、複数のケーブルが融着され、全体的に長尺の帯状に形成されている。本実施形態では、その複数のケーブルから成るケーブルの束を便宜上、ケーブル５６と称する。
【００３０】
ケーブルガイド装置１００は、図２に示されるように、直列に連結された複数（本実施形態では、４つ）のリンク６８、７０，７２、７４を含むリンク機構６０を有している。以下、説明の便宜上、４つのリンクを、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ側から順に、第１のリンク６８、第２のリンク７０、第３のリンク７２、第４のリンク７４と称する。また、第１のリンク６８は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに固定された軸受部材６２に連結され、第４のリンク７４は、所定の固定部材６６（例えば、床面Ｆ、あるいはボディＢＤ（図１参照）に固定された部材）に固定された軸受部材６４に連結されている。第１のリンク６８と軸受部材６２、第４のリンク７４と軸受部材６４、及び４つのリンクのうちの互いに隣り合う２つのリンクは、それぞれＹ軸に平行に延びる軸部材９３により連結されており、その軸部材９３の軸線周りに相対回転可能となっている。
【００３１】
軸受部材６２は、図３に示されるように、−Ｘ側が開口した平面視（上方から見て）ほぼＵ字形状の部材から成り、ＸＺ平面に平行な一対の対向面部を有している。軸受部材６４は、＋Ｘ側が開口した平面視ほぼＵ字形状の部材から成り、ＸＺ平面に平行な一対の対向面部を有している。
【００３２】
第１及び第３のリンク６８、７２それぞれは、実質的に同じ部材であり、第２及び第４のリンク７０、７４それぞれも、実質的に同じ部材である。従って、以下では、第１のリンク６８、及び第２のリンク７０の構成について説明する。図３に示されるように、第１のリンク６８は、Ｙ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の矩形（長方形状）の板状部材から成るリンク本体８６ａを有する。ここで、リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材の長手方向は、第１のリンク６８の長手方向に平行である。リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材それぞれは、Ｙ軸に平行な一対の連結部材８７により連結されている。また、リンク本体８６ａを構成する一対の板状部材の互いに対向する対向面（内側面）それぞれには、その板状部材と平行なリニアガイド部材８４が固定されている。
【００３３】
また、第１のリンク６８は、リンク本体８６ａの長手方向の一側、及び他側に一対のスライド部８２ａを有している。一対のスライド部８２ａは、それぞれＹ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の板状部材から成る。一対のスライド部８２ａそれぞれは、リンク本体８６ａに固定されたリニアガイド部材８４にスライド可能に係合するスライダ８８を有しており、リンク本体８６ａに対し、リニアガイド部材８４に沿ってスライド可能となっている。従って、第１のリンク６８は、その長手方向に所定のストロークで伸縮可能となっている。
【００３４】
第２のリンク７０は、第１のリンク６８と同様に、Ｙ軸方向に所定間隔で対向配置された一対の矩形（長方形状）の板状部材から成るリンク本体８６ｂを有する。第２のリンク７０は、リンク本体８６ｂを構成する一対の板状部材の外側面にリニアガイド部材８４が固定されている点を除き、その長さ及び伸縮量を含み、第１のリンク６８と同様の構成及び機能を有する。すなわち、第２のリンク７０は、リンク本体８６ｂと、そのリンク本体８６ｂに対してスライド可能な一対のスライド部８２ｂと、を有している。なお、第１及び第３のリンク６８，７２のスライド部８２ａが、第２及び第４のリンク７０，７４のスライド部８２ｂを構成する一対の板状部材の間に挿入されていることから、第２及び第４のリンク７０，７４は、第１及び第３のリンク６８，７２よりも幾分幅広に（Ｙ軸方向の寸法が大きく）形成されている。
【００３５】
また、ケーブルガイド装置１００は、図２及び図４に示されるように、第２のリンク７０と第３のリンク７２とを連結する軸部材９３を回転自在に支持し、Ｘ軸方向に直進移動する支持部材１０２を有している。支持部材１０２は、複数の転動体を含むスライダ１０１を有している。スライダ１０１は、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１０３に上記転動体を介してスライド可能に係合しており、Ｘ軸方向にのみ移動自在になっている（Ｙ軸及びＺ軸方向には移動しない）。
【００３６】
ここで、図２に示されるように、軸受部材６２、６４、及び支持部材１０２それぞれに支持される軸部材９３は、ほぼ同じＺ位置に配置されている。従って、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍に位置する場合には、図６（Ａ）に示されるように、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対と、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対とは、それぞれは、Ｙ軸方向から見た側面視で逆Ｖ字状に折れ曲がった状態となる。また、第２のリンク７０と第３のリンク７２とから成るリンク対は、Ｙ軸方向から見た側面視でＶ字状に折れ曲がっている。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍に位置する場合には、互いに隣接するリンク同士の角度が開き、リンク機構６０が全体的にＸ軸に平行にほぼ直線状に延びるようになっている。
【００３７】
ここで、リンク機構６０は、図２に示されるように、隣り合う２つのリンクから成るリンク対の開き角度、あるいは軸受部材６２，６４とリンクとの開き角度を１８０°未満の所定角度（本実施形態では、例えば１５０°程度）に制限する開き止め装置８０を有している。開き止め装置８０は、リンク対を成す２つのリンクの一方（あるいは支持部材）に、該リンク対の開き角度が所定角度になるときに他方のリンクが当接して、その開き方向への回動を制限する。従って、図２に示されるように、例えば、第１のリンク６８と第２のリンク７０とは、開き止め装置８０の作用により、最大に開いた状態であっても、側面視で逆Ｖ字状の形状が維持される。
【００３８】
複数の軸部材９３それぞれは、図３に示されるように、ローラ９０を回転自在に支持している。複数のローラ９０は、それぞれ軸受部材６２，６４の一対の対向面の間、あるいは、スライド部８２ａ、８２ｂを構成する一対の板状部材の間に配置されている。
【００３９】
ケーブル５６は、軸受部材６２，６４の一対の対向面の間、及びリンク本体８６ａ、８６ｂ、スライド部８２ａ、８２ｂを構成する一対の板状部材の間を通って、その長手方向の中間部分が、ローラ９０の外周面にケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。また、ケーブル５６の長手方向の中間部分は、連結部材８７にもケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。これにより、ケーブルガイド装置１００では、リンク機構６０の変形に合わせて、ケーブル５６を側面視でＷ字状に折り曲げたり（図６（Ａ）参照）、ほぼ直線状に延ばしたり（図６（Ｃ）参照）することができる。
【００４０】
ここで、図４に示されるように、ケーブル５６は、軸受部材６２と第１のリンク６８との連結部，第２のリンク７０と第３のリンク７２との連結部，及び第４のリンク７４と軸受部材６４との連結部それぞれに設けられたローラ９０に対しては、そのローラ９０の−Ｚ側を通ってそのローラ９０の外周面に固定されている。また、ケーブル５６は、第１のリンク６８と第２のリンク７０との連結部、及び第３のリンク７２と第４のリンク７４との連結部それぞれに設けられたローラ９０に対しては、そのローラ９０の＋Ｚ側を通ってそのローラ９０の外周面に固定されている。従って、ケーブル５６は、図６（Ａ）に示されるように、隣接するリンクが閉じた状態であっても曲率の小さな状態で曲がるので局部的に折れ曲がることが防止される。
【００４１】
ここで、前述のように、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、その長手方向に所定のストロークで伸縮可能となっている。そして、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ方向に移動する（図６（Ａ）に示される位置から図６（Ｃ）に示される位置に移動する）のに応じて、長手方向の寸法が長くなり、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動するのに応じて、長手方向の寸法が短くなる。以下、その理由及び動作を説明する。
【００４２】
前述のように、ケーブルガイド装置１００では、ケーブル５６がローラ９０の外周面、及び連結部材８７に固定されている（図３参照）。従って、仮に各リンクの長手方向の寸法が変化しないとすると、リンクの開き角度が大きくなるに従って、ローラ９０に対する固定部分と、連結部材８７に対する固定部分との間のケーブル５６に撓みが生ずる。以下、図５を用いて具体的に説明する。図５において、符号Ｒ１、Ｒ２は、隣接する一対のリンク（リンク対）を模式的に示している。図５に示されるように、リンク対が開く際、リンクＲ１，Ｒ２が軸部材９３を中心（支点）に開くのに対し、ケーブル５６は、ケーブル押さえ部材５７を中心（支点）に開く。従って、リンクＲ１，Ｒ２の開き角度が角度αの際にケーブル５６をリンクＲ１，Ｒ２に固定する（図５の白丸参照）と、リンクＲ１、Ｒ２が開いて角度βとなった際、ケーブル５６は、ケーブル押さえ部材５７の一側、他側それぞれに所定長さＷの余剰部分（撓みＷ）が発生する。そこで、本実施形態のケーブルガイド装置１００では、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれが、リンク対の開き角度が大きくなるに従って、その長手方向に伸びることにより、上記撓みＷを吸収する。
【００４３】
すなわち、図６（Ａ）に示される、リンク対の成す角度が小さい状態では、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、その長さが最小となっている。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋方向に移動すると、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）に示されるように、リンク機構６０が全体的にＸ軸方向に平行となるのに併せて、リンク機構６０を構成する第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに引っ張られて伸びる。ここで、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、図示しないストッパ装置を有しており、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに引っ張られて伸びる際に、リンク本体８６ａと一対のスライド部８２ａ（あるいはリンク本体８６ｂと一対のスライド部８２ｂ）とが分離しないようになっている。ただし、通常、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４それぞれは、そのストッパ装置により規定される最大伸び量に達する前にケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６が伸びきることによって伸びが制限される。従って、ストッパ装置の作動による振動の発生などが防止される。
【００４４】
そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際には、上記とは逆に、リンク機構６０を構成する第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４のそれぞれが、ケーブル５６の張力により縮む。なお、本実施形態のリンク機構は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに牽引されることにより（あるいはケーブル５６の張力により）、第１〜第４のリンク６８，７０，７２，７４のそれぞれが受動的に伸縮するようになっているが、これに限らず各リンクにアクチュエータを設け、その伸縮量を制御しても良い。
【００４５】
また、リンク機構６０において、図３に示されるように、複数の軸部材９３のうち、リンク同士を接続する軸部材９３の両端部には、円板状の円板部材９９がその軸部材９３と同軸に固定されている。なお、図４において、軸部材９３の−Ｙ側の端部に固定された円板部材９９は、＋Ｙ側の円板部材９９に対して紙面奥側に隠れている。また、図２では、図面の錯綜を避ける観点から、円板部材は不図示とされている。
【００４６】
また、ケーブルガイド装置１００において、軸受部材６２と第１のリンク６８のスライド部８２ａとには、引っ張りばね１０４が架設されている。なお、引っ張りばね１０４を含み、以降説明する複数の引っ張りばねは、リンク機構６０を構成する各リンクの＋Ｙ側、及び−Ｙ側それぞれに設けられているが、図４では各リンク機構の＋Ｙ側の引っ張りばねのみが図示され、−Ｙ側の引っ張りばねは、紙面奥側に隠れている。また、軸受部材６４と第４のリンク７４のスライド部８２ａとにも、引っ張りばね１１８が架設されている。
【００４７】
さらに、第１のリンク６８のうち、第２のリンク７０に接続される側のスライド部８２ａと、第１のリンク６８と第２のリンク７０とを接続する軸部材９３に固定された円板部材９９とにも、引っ張りばね１０６が架設されている。また、第２〜第３のリンク７０，７２，７４と円板部材９９とにも、同様に引っ張りばね１０８，１１０，１１２，１１４，１１６がそれぞれ架設されている。なお、各円板部材９９は、引っ張りばねの一端を保持するばね掛け部材を有しているが、そのばね掛け部材は、軸部材９３の軸心とは、異なる位置に配置されている。
【００４８】
引っ張りばね１０６〜１１６は、それぞれ隣接するリンク同士を閉じる方向に付勢している。また、引っ張りばね１０４は、第１のリンク６８を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢し、引っ張りばね１１８は、第４のリンク７４を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢している。すなわち、リンク機構６０は、複数の引っ張りばね１０４〜１１８により、図６（Ａ）に示される、全体的に縮んだ状態に付勢され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、＋Ｘ方向に移動する際、その複数の引っ張りばね１０４〜１１８の付勢力に抗してリンク機構６０を変形させる。
【００４９】
ここで、複数の引っ張りばねのうち、第４のリンク７４と軸受部材６４とに架設された引っ張りばね１１８は、その他の引っ張りばね１０４〜１１６よりも引っ張り力が大きく設定されている。なお、本明細書において、引っ張り力とは、隣接するリンク（あるいはリンクと軸受部材）とを互いに近づけるためのばねによる力（閉じ方向への付勢力）を意味する。なお、本実施形態では、引っ張り力の設定は、引っ張りばねのばね定数を適宜設定することにより行われ、引っ張りばね１１８は、その他の引っ張りばね１０４〜１１６よりもばね定数が大きく設定されている。ただし、引っ張り力の大きさは、ばね定数によらず、例えば、ばねの取付位置により適宜設定しても良い。
【００５０】
従って、本実施形態のケーブルガイド装置１００は、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２（図２参照）上の−Ｘ側の端部近傍から、＋Ｘ方向に移動する際、リンク機構６０は、まず引っ張りばね１０４〜１１０が伸びて、第１のリンク６８と第２のリンク７０とが開く。この際、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°を超えるまで、第３のリンク７２には、＋Ｘ方向への力が作用しないので、第３のリンク７２、及び第４のリンク７４は、その姿勢が変化しない。
【００５１】
そして、図６（Ｂ）に示される状態からさらにＸ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、上述した開き止め装置８０（図２参照）の作用（あるいは、ケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６の長さ（張り）の制限の作用）により、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の姿勢の変化が制限される（開ききった状態となる）。そして、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の姿勢の変化が制限された状態で、さらにＸ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、図６（Ｃ）に示されるように、引っ張りばね１１２〜１１８の付勢力に抗して、第３のリンク７２と第４のリンク７４とが開く。
【００５２】
すなわち、本実施形態のケーブルガイド装置１００は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際（固定部材６６から離れる際）には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク７２，７４）から成るリンク対の姿勢が低くなる。
【００５３】
そして、上記の場合とは逆に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍から−Ｘ方向に移動する際には、引っ張りばね１１８の作用により、先行してＸ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク７２，７４）から成るリンク対の姿勢が高くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が高くなる。なお、本実施形態のリンク機構６０では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側のリンク対の姿勢を先行して高くするために、引っ張りばね１１８による引っ張り力がその他の引っ張りばね１０４〜１１６による引っ張り力よりも大きく設定されているが、これに限らず、例えば、引っ張りばね１１４、１１６による引っ張り力をその他のばねよりも大きく設定しても良い。
【００５４】
ここで、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対、及び第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対は、それぞれ開き止め装置８０（図２参照）の作用（あるいは、ケーブル押さえ部材５７により固定されたケーブル５６の長さ（張り）の制限の作用）により、最も開ききった状態（Ｘ軸方向に伸びきった状態）で、その最もＺ位置の高い部分（ケーブル押さえ部材５７）が、投影光学系ＰＬ（図１参照）の最下面よりも下方となるように、各リンク６８〜７４の長さが設定されている（図２参照）。
【００５５】
上述のようにして構成された液晶露光装置１０（図１参照）では、不図示の制御装置の管理の下、不図示のマスクローダによって、マスクステージＭＳＴ上へのマスクＭのロード、及び不図示の基板ローダによって、基板ステージ装置ＰＳＴ上への基板Ｐのロードが行なわれる。その後、制御装置により、不図示のアライメント検出系を用いてアライメント計測が実行され、アライメント計測の終了後、ステップ・アンド・スキャン方式の露光動作が行なわれる。この露光動作は従来から行われているステップ・アンド・スキャン方式と同様であるのでその説明は省略するものとする。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態の液晶露光装置１０が有するケーブルガイド装置１００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動に伴って、リンク機構６０及びそのリンク機構６０を構成する複数のリンク６８〜７４に保持されたケーブル５６が変形（側面視でジグザグ状に変形）することより、固定部材６６側から見たケーブル５６の繰り出し量が調整されるので、例えばケーブル５６が自重により垂れ下がって他の部材（例えば定盤１２など）と摺動するおそれがない。従って、低発塵、低振動でケーブル５６をＸ粗動ステージ２３Ｘに追従させて案内することができる。また、リンク機構６０は、複数の板状部材を組み合わせて構成される複数のリンク６８〜７４と、複数の軸部材９３とから成るので、その構成が簡単であり、且つ軽量である。また、メンテナンス性にも優れる。
【００５７】
また、リンク機構６０が伸びきった状態（４本のリンク６８〜７４がほぼフラットになった状態）でのケーブル５６の長さは、固定部材６６とＸ粗動ステージ２３Ｘとの距離と略同じであるので、従来のケーブルをＵターンさせる構成のケーブル案内装置に比べ、ケーブル５６の全長を短くできる。
【００５８】
また、ケーブル５６は、隣り合うリンクの連結部、すなわちリンク機構６０の可動部分に設けられたローラ９０の外周面に固定されているため、リンク機構６０の構成するリンク６８〜７４の姿勢が変化（リンク対が開閉）しても、リンク機構６０の可動部分とケーブル５６とが摺動しない。従って、発塵、振動の発生が抑制される。
【００５９】
また、リンク機構６０の姿勢の変化に応じて、各リンク６８〜７４の長さが受動的に変化するので、ケーブル５６の余剰部分とリンク６８〜７４との摺動（滑り接触）が抑制される。
【００６０】
また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク６８，７０）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなるので、鏡筒定盤３１（図１参照）のＺ位置を低くできる。
【００６１】
《第２の実施形態》
次に第２の実施形態の液晶露光装置について説明する。第２実施形態の液晶露光装置は、上記第１の実施形態と比べ、ケーブルガイド装置の構成が異なるのみなので、以下、ケーブルガイド装置の構成についてのみ説明する。図７には、第２の実施形態に係るケーブルガイド装置２００を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００６２】
第２の実施形態に係るケーブルガイド装置２００が有するリンク機構２０２では、第１〜第４のリンク２０４、２０６，２０８，２１０は、それぞれ一体に成形されており、その長手方向に伸縮しないようになっている。
【００６３】
また、第１及び第３のリンク２０４、２０８それぞれは、その長手方向−Ｘ側の端（上端）に、その長手方向が該リンクの長手方向と所定角度（例えば、４５°程度）を成すように、その長手方向における一端（＋Ｚ側の端）が固定された細長い板状の部材から成る補助リンク１２２を有している。なお、各補助リンク１２２の長手方向の寸法は、リンク２０４，２０８の長手方向の寸法よりも短く（例えば数十分の一程度）設定されている。
【００６４】
リンク機構２０２は、第１のリンク２０４と第２のリンク２０６とを閉じ方向に付勢する引っ張りばね１０８，第３のリンク２０８と第４のリンク２１０とを閉じ方向に付勢する引っ張りばね１１６、及び第４のリンク２１０を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢する引っ張りばね１１８とを有している。引っ張りばね１０８は、その一端が、第１のリンク２０４の補助リンク１２２の−Ｚ側の端部に接続され、その他端が、第２のリンク２０６の長手方向の中央部に接続されている。引っ張りばね１１６も同様に、一端が補助リンク１２２に接続され、他端が第４のリンク２１０に接続されている。引っ張りばね１１６による引っ張り力と、引っ張りばね１１８による引っ張り力とは、概ね等しく設定（等しくなくても良い）されている。また、引っ張りばね１０８による引っ張り力は、引っ張りばね１１６、１１８それぞれによる引っ張り力よりも小さく（弱く）設定されている。また、各引っ張りばねによる引っ張り力は、例えば、各ばねの引っ張りばねのばね定数、あるいは取付位置により適宜設定することができる。
【００６５】
従って、本第２の実施形態のリンク機構２０２も、上記第１の実施形態と同様に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の−Ｘ側の端部近傍から＋Ｘ方向に移動する際には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク２０４，２０６）から成るリンク対の姿勢が先行して低くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク２０８，２１０）から成るリンク対の姿勢が低くなる。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが定盤１２上の＋Ｘ側の端部近傍から−Ｘ方向に移動する際には、上記説明とは逆に、先行してＸ粗動ステージ２３Ｘに遠い側の一対のリンク（第３及び第４のリンク２０８，２１０）から成るリンク対の姿勢が高くなり、その後に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに近い側の一対のリンク（第１及び第２のリンク２０４，２０６）から成るリンク対の姿勢が高くなる。
【００６６】
ここで、第１〜第４のリンク２０４〜２１０は、それぞれ同じ構成のケーブルリニアガイド装置２２０を有している。以下、第１のリンク２０４に設けられたケーブルリニアガイド装置２２０について説明する。ケーブルリニアガイド装置２２０は、第１のリンク２０４と平行に延びる部材から成り、第１のリンク２０４の上面に固定されたリニアガイド部材１３１と、そのリニアガイド部材１３１上にスライド可能に係合するスライダ１２４と、スライダ１２４に一体的に設けられたケーブル押さえ部材５７とを含む。
【００６７】
ケーブル５６は、各ケーブルリニアガイド装置２２０のスライダ１２４にケーブル押さえ部材５７を介して固定されており、第１〜第４のリンク２０４〜２１０それぞれの上面に沿うように、リンク機構２０２に保持されている。
【００６８】
ここで、ケーブルガイド装置２００では、ケーブル５６は、第１の実施形態と異なり、ローラ９０には、固定されておらず、ケーブル５６には、予めローラ９０の上方に所定量の撓みが設けられている。
【００６９】
上述のように構成された第２実施形態におけるケーブルガイド装置２００では、図７に示される第１、及び第２のリンク２０４，２０６のように、一対のリンクが折り畳まれた状態から開く際に、一対のスライダ１２４が互いに離れる方向に移動（図７の矢印参照）することにより、上記第１の実施形態において図５を用いて説明した、隣接する一対のリンクの曲率と、ケーブル５６の曲率との差に起因するケーブル５６の余剰部分を吸収する。従って、ケーブル５６と各リンク２０４〜２１０との擦れ接触が抑制される。
【００７０】
《第３の実施形態》
次に第３の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。図８には、第３の実施形態に係る液晶露光装置３０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。なお、図８においては、照明系ＩＯＰ、投影光学系ＰＬ、マスクステージＭＳＴ等の図示は、省略されている。第３の実施形態に係るケーブルガイド装置３００は、上記第１の実施形態と比べ、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に駆動するＸリニアモータの一部を用いて支持部材１０２を駆動するようにしている点、及びリンク機構が引っ張りばねを有していない点が異なる。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１及び第２の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１及び第２の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。なお、第３の実施形態において、第１のリンク６８、第４のリンク７４をそれぞれ支持する軸受部材６２，６４は、上記第１の実施形態と異なり、＋Ｚ側に開口する部材となっているが、その機能は、上記第１の実施形態と同じであるため、同じ符号を用いて説明する。
【００７１】
第３の実施形態に係る液晶露光装置３０１では、ベースフレーム１４の上面及び両側面のそれぞれにＸ軸方向に延びるＸリニアガイド５２（−Ｙ側のＸリニアガイド５２は図示省略）が固定されている。なお、上記第１の実施形態で説明したように、ベースフレーム１４は、Ｙ軸方向に所定間隔で一対設けられている。ただし、図８では、−Ｙ側のベースフレーム１４は、＋Ｙ側のベースフレーム１４に対し、紙面奥側に隠れている。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面に固定されたＸスライダ５４の一対の対向面のそれぞれには、ベースフレーム１４の両側面に固定されたＸリニアガイド５２とスライド自在に係合する一対のスライド部材１３５がＸ軸方向に所定間隔で固定されている（−Ｙ側のＸリニアガイド５２に係合するスライド部材１３５は図示省略）。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面には、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライド自在に係合するスライド部材１３９がＸ軸方向に所定間隔で一対固定されている。すなわち、スライド部材１３９は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの下面の４隅に固定されている。なお、Ｘ粗動ステージ２３ＸとＸスライダ５４とが一体であることから、スライド部材１３９は、Ｘスライダ５４に固定されていても良い。
【００７２】
また、ベースフレーム１４の両側面には、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアモータの固定子（例えば、磁石ユニット）５５が固定されている。Ｘスライダ５４の一対の対向面には、Ｘリニアモータの可動子（例えば、コイルユニット）５９が、固定子５５に対向するように固定されている。可動子５９は電源装置（不図示）にケーブル５６を介して電気接続されており、該電源装置は制御装置（不図示）に制御される。すなわち、制御装置は、電源装置を介して、可動子５９に電力の供給を行い、Ｘ粗動ステージ２３ＸのＸ軸方向の位置を制御する。
【００７３】
また、ケーブルガイド装置３００が有する支持部材１０２の下端には、＋Ｘ方向から見てほぼ逆Ｕ字形状の断面を有する部材から成るＸスライダ１３４が固定されている。Ｘスライダ１３４の一対の対向面間には、＋Ｙ側のベースフレーム１４が挿入されている。また、Ｘスライダ１３４の一対の対向面それぞれには、ベースフレーム１４の両側面に固定されたＸリニアガイド５２とスライド自在に係合するスライド部材１３７が固定されている。また、Ｘスライダ１３４の内壁面のうち、＋Ｚ側の面には、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライド自在に係合するスライド部材１３７が固定されている。これにより、Ｘスライダ１３４は、各Ｘリニアガイド５２に沿ってＸ軸方向にスライド可能になっている。
【００７４】
Ｘスライダ１３４の一対の対向面それぞれには、可動子（例えば、コイルユニット）１３６が、固定子５５に対向するように設けられている（−Ｙ側の可動子１３６は図示省略）。可動子１３６は、固定子５５と共にＸスライダ１３４をＸ軸方向に駆動するＸリニアモータを構成している。可動子１３６は、前述の電源装置にケーブル５６を介して電気接続されており、Ｘリニアモータは該電源装置に接続された前述の制御装置により制御される。すなわち、支持部材１０２は制御装置により、そのＸ軸方向の位置が制御される。Ｘスライダ１３４が有する可動子１３６と電源装置とを電気的に接続するケーブル５６は、第３及び第４のリンク７２，７４に保持されている。
【００７５】
ベースフレーム１４には、Ｘ軸方向に延びるＸリニアスケール１４１が設けられている。Ｘスライダ５４には、Ｘリニアスケール１４１と共にＸリニアエンコーダを構成するヘッド１４３が、Ｘリニアスケール１４１に対向するように固定されている。また、Ｘスライダ１３４にも、Ｘリニアスケール１４１と共にＸリニアエンコーダを構成するヘッド１４５が、Ｘリニアスケール１４１に対向するように固定されている。ヘッド１４３，１４５それぞれの出力は、制御装置に供給される。なお、Ｘスライダ１３４（すなわち支持部材１０２）の位置決め精度は、Ｘスライダ５４（すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘ）に比べラフで良いので、Ｘスライダ１３４に関しては、必ずしもＸスライダ５４と同じ計測系（リニアエンコーダシステム）を用いる必要はなく、例えばホール素子と磁気プレートを用いた計測系の出力に基づいてその位置を制御しても良い。
【００７６】
次に、第３の実施形態におけるケーブルガイド装置３００の動作の一例を説明する。制御装置は、図８に示されるＸ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘの端に位置し、リンク機構が閉じきっている状態から、図９（Ａ）に示されるＸ粗動ステージ２３Ｘを固定部材６６から離れる方向（＋Ｘ方向）に駆動して第１のリンク６８と第２のリンク７０とが開き切った状態となるまで（Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌになるとき）は、支持部材１０２を停止させる（図９（Ａ）参照）。従って、上記Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌになるまでは、第１、及び第２のリンク６８，７０のみが、その姿勢を変化させることによって、ケーブル５６を案内する。
【００７７】
制御装置は、図９（Ａ）に示される位置（第１及び第２のリンク６８，７０が開ききった状態）から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを更に＋Ｘ方向に駆動する場合には、Ｘリニアモータを制御して、支持部材１０２をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さと同じ速さで＋Ｘ方向に移動させる（図９（Ａ）の矢印参照）。従って、上記Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２との距離が所定距離Ｌ以上となった状態では、第１、及び第２のリンク６８，７０は、開ききった状態でその姿勢が変化せず、第３及び第４のリンク７２，７４が、その姿勢を変化させることによって、ケーブル５６を案内する（図９（Ｂ）参照）。
【００７８】
また、図９（Ｂ）に示される、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置する状態から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを固定部材６６に近づく方向（−Ｘ方向）に駆動する際には、制御装置は、まずＸリニアモータを制御して支持部材１０２をＸ粗動ステージ２３Ｘと同じ速さで−Ｘ方向に移動させる。これにより、第３及び第４のリンク７２，７４のみが閉じ、第１、及び第２のリンク６８，７０は、開ききった状態が維持される。そして、第３及び第４のリンク７２，７４が閉じきるとき（支持部材１０２と固定部材６６との距離が図８に示される所定距離Ｓになったとき）に、支持部材１０２を停止させる。この後、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの−Ｘ方向への移動に伴い、第１、及び第２のリンク６８，７０が閉じる（図８参照）。
【００７９】
以上説明した第３の実施形態によれば、支持部材１０２を駆動するＸリニアモータが、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するＸリニアモータの固定子５５を利用しているので、支持部材１０２の駆動装置の部品点数削減及び構成の簡素化を図ることができる。
【００８０】
《第４の実施形態》
次に、第４の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。図１０には、第４の実施形態に係る液晶露光装置４０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第４の実施形態のケーブルガイド装置４００は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに対して、＋Ｘ側、及び−Ｘ側それぞれにリンク機構６０を備えている。すなわち、Ｘ粗動ステージ２３Ｘには、２つの（２系統の）ケーブル５６が接続されている。なお、Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、上記第３の実施形態と同様に、一対のベースフレーム１４（−Ｙ側のベースフレーム１４は、＋Ｙ側のベースフレーム１４の紙面奥側に隠れている）上に搭載されている。
【００８１】
一対のリンク機構６０は、上記第１の実施形態のリンク機構（図２〜図６参照）と同様な構成を有している。ただし、上記第１の実施形態では、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１０３（図２参照）に支持部材１０２がスライド可能に搭載されていると説明したが、本実施形態では、一対のリンク機構６０それぞれの支持部材１０２は、ベースフレーム１４の上面に固定されたＸリニアガイド５２にスライダ１０５を介してスライド自在に係合している。すなわち、本実施形態では、一対の支持部材１０２をＸ軸方向に直進案内するリニアガイド部材として、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸ軸方向に直進案内するためのＸリニアガイド５２を利用している。これにより、支持部材１０２の移動をガイドする専用のガイドを必要としないので、部品点数が削減でき、ケーブルガイド装置４００全体の構成を簡素化できる。
【００８２】
また、本第４の実施形態に係るケーブルガイド装置４００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに対して＋Ｘ側、及び−Ｘ側の２方向からケーブル５６を接続しているので、ケーブル５６を一系統にするよりも、ケーブル５６の本数を少なくすることができ、リンク機構６０を簡素化できる。また、ケーブル５６の張力をＸ粗動ステージ２３Ｘに対して＋Ｘ方向、−Ｘ方向のそれぞれから均等に作用させることができるので、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの位置制御が容易になる。
【００８３】
《第５の実施形態》
次に第５の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第４の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第４の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１１には、第５の実施形態に係る液晶露光装置５０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。
【００８４】
第５の実施形態に係るケーブルガイド装置５００は、上記第１の実施形態と比べ、リンク機構５０２のリンクが増設されている点、隣り合うリンクの連結部を支持する支持部材が増設されている点が異なる。
【００８５】
第５の実施形態のリンク機構５０２では、軸受部材６２と第１のリンク６８とが、第５のリンク７７により接続されている。第５のリンク７７の長手方向の寸法は、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４それぞれの長手方向の寸法のほぼ半分である。第５のリンク７７は、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４と同様に、その長手方向に伸縮自在になっている。また、図１１では、その図示が省略されているが、第５のリンク７７と軸受部材６２とには、第５のリンク７７を軸部材９３回りにＺ軸と平行になる方向に付勢する引っ張りばねが架設され、第１のリンク６８と第５のリンク７７との間には、第１のリンク６８と第５のリンク７７とを閉じる方向に付勢する引っ張りばねが架設されている。
【００８６】
そして、リンク機構５０２は、第２のリンク７０と第３のリンク７２との連結部を支持する支持部材１０２ａ（以下、第１の支持部材と称する）に加えて、第５のリンク７７と第１のリンク６８との連結部を支持する第２の支持部材１０２ｂを有している。第１及び第２の支持部材１０２ａ、１０２ｂは、Ｘ軸方向に延設されたＸリニアガイド部材１４２（すなわち共通のガイド部材）にスライダ１０５を介してスライド自在に搭載されている。Ｘリニアガイド部材１４２は、架台１４７を介して床面Ｆ上に設置されている。第５の実施形態のケーブルガイド装置５００の動作は、上記第１の実施形態のケーブルガイド装置１００と概ね同じなので、その説明は省略する。なお、第５の実施形態においては、リンク機構５０２は、５つのリンクを有し、リンクの連結部を支持する支持部材が２つ（支持部材１０２ａ、１０２ｂ）設けられたが、リンクの数、及び支持部材の数は、これに限られない。この場合、ケーブル長が同じでリンクの数が多ければ、各リンクの長さを短くすることができ、ケーブルガイド装置の高さ方向の寸法を小さくできる。
【００８７】
《第６の実施形態》
次に第６の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第５の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第５の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１２には、第６の実施形態に係る液晶露光装置６０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。
【００８８】
第６の実施形態に係るケーブルガイド装置６００は、上記第４の実施形態と同様に、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｘ側、−Ｘ側のそれぞれにケーブル５６が接続されており、ケーブルガイド装置６００もリンク機構６０をＸ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｘ側、−Ｘ側のそれぞれに有している。ただし、上記第４の実施形態（図１０参照）では、リンク機構６０の支持部材１０２は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと共通のＸリニアガイド部材に搭載されたが、本第６の実施形態では、上記第５の実施形態と同様に、支持部材１０２は、専用のＸリニアガイド部材１４２にスライド可能に搭載されている。なお、本実施形態では、一対のリンク機構６０の支持部材１０２それぞれに対応して、Ｘリニアガイド部材１４２が一対設けられているが、一対のＸリニアガイド部材を一体としても良い。
【００８９】
《第７の実施形態》
次に第７の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第６の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第６の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１３には、第７の実施形態に係る液晶露光装置７０１を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第７の実施形態に係るケーブルガイド装置７００は、Ｚ軸方向（上下方向）に伸縮する伸縮機構１３８，１４０を用いてケーブル５６をＺ軸方向に撓ませる。
【００９０】
第７の実施形態のケーブルガイド装置７００は、図１３（Ａ）に示されるように、Ｚ軸方向（上下方向）に伸縮する第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０と、第１の伸縮機構１３８を支持し、かつＸ軸に平行に移動可能なＸスライダ１３４と、第２の伸縮機構１４０を支持しかつＸ軸方向に移動可能なＸスライダ１４４と、を備えている。第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ側から固定部材６６側に向けてＸ軸方向に所定間隔で配置されている。なお、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０は実質的に同じものであるので、以下、第１の伸縮機構１３８について説明する。
【００９１】
第１の伸縮機構１３８は、長手方向の寸法が同一の２つのリンクがそれぞれの長手方向の中央部にてＹ軸に平行な軸により互いに回動自在に連結されたＸ字状のＸリンク１４６を複数（本実施形態では、３つ）有している。また、最も＋Ｚ側のＸリンク１４６には、長手方向の寸法が同一の２つのリンクがそれぞれの長手方向の一端にてＹ軸に平行な軸により互いに回動自在に連結された逆Ｖ字状のＶリンク１４８が連結されている。３つのＸリンク１４６、及びＶリンク１４８は、Ｚ軸方向に直列に連結されており、いわゆるパンタグラフと同様に機能する。
【００９２】
また、第１の伸縮機構１３８の最も−Ｚ側のＸリンク１４６には、不図示のアクチュエータが接続されている。アクチュエータは、最も−Ｚ側のＸリンク１４６の２つのリンクの−Ｚ側の端部を接近、離間させる方向に駆動する。これにより、第１の伸縮機構１３８は、Ｚ軸方向に伸縮する。アクチュエータは、不図示の制御装置により制御される。
【００９３】
第１の伸縮機構１３８は、Ｘスライダ１３４に支持されている。Ｘスライダ１３４は、上記第３の実施形態で説明したＸスライダ１３４（図８及び図９参照）と同じものであり、Ｘリニアモータにより、ベースフレーム１４に沿ってＸ軸方向に駆動されるようになっている。また、第２の伸縮機構１４０もＸスライダ１３４と同様の構成のＸスライダ１４４に搭載され、第１の伸縮機構１３８とは独立してＸ軸方向に駆動される。
【００９４】
第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０のＶリンク１４８の連結部には、それぞれローラ９０が回転可能に支持されている。ケーブル５６は、軸受部材６２、６４それぞれに軸支されたローラ９０、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０それぞれに軸支されたローラ９０の外周面に、それぞれケーブル押さえ部材５７を介して固定されている。
【００９５】
ここで、伸縮機構１３８、１４０がＺ軸方向に最も伸びた状態において、それぞれの上端は、鏡筒定盤３１よりも高い位置にある。一方、伸縮機構１３８、１４０がＺ軸方向に最も縮んだ状態において、それぞれのケーブル５６が固定された箇所は、投影光学系ＰＬの下面よりも低い位置（Ｘ粗動ステージ２３Ｘのケーブル取り付け部材１５３とほぼ同じ高さ）にある。
【００９６】
次に、第７の実施形態に係るケーブルガイド装置７００の動作の一例を説明する。Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置するとき、伸縮機構１３８、１４０は、それぞれの移動範囲の−Ｘ側の端に位置し、互いに最も近づいて位置される。そして、伸縮機構１３８、１４０は、それぞれＺ軸方向に最も伸びた状態にあり、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと第１の伸縮機構１３８との間、及び両伸縮機構１３８、１４０の間において、ケーブル５６は大きく撓んでいる。
【００９７】
そして、図１３（Ａ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを＋Ｘ方向に駆動すると同時に、制御装置は、第１の伸縮機構１３８をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向に移動させると共に、第１の伸縮機構１３８を−Ｚ方向に徐々に縮ませる。
【００９８】
また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが図１３（Ａ）に示される状態から、更に＋Ｘ方向に移動し、第１の伸縮機構１３８が縮みきると（Ｘ粗動ステージ２３Ｘと第１の伸縮機構１３８との間隔が、これらの間に架設されるケーブル５６の長さにほぼ等しくなるとき）、制御装置は、第１の伸縮機構１３８の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度と同じに制御するとともに、第２の伸縮機構１４０をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向へ移動させつつ、第２の伸縮機構１４０を−Ｚ方向に徐々に縮ませる。
【００９９】
そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ（並びに第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０）が更に＋Ｘ方向に移動し、第２の伸縮機構１４０が縮みきると（伸縮機構１３８、１４０の間隔が、これらの間に架設されるケーブル５６の長さにほぼ等しくなるとき）、制御装置は、第２の伸縮機構１４０の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度と同じにする。Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に達するときに、制御装置は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０を停止させる（図１３（Ｂ）参照）。この状態で、ケーブル５６は、図１３（Ｂ）に示されるように、ほぼ水平となる。
【０１００】
一方、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置し、両伸縮機構１３８、１４０が縮みきっている状態（図１３（Ｂ）参照）から、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを−Ｘ方向へ駆動する際、制御装置は、第１の伸縮機構１３８をＸ粗動ステージ２３Ｘと同じ速さで−Ｘ方向へ移動させるとともに（ただし、第１の伸縮機構１３８を＋Ｚ方向に伸ばさないで）、第２の伸縮機構１４０をＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅い速さ（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速さの１／２）で＋Ｘ方向へ移動させつつ、第２の伸縮機構１４０を＋Ｚ方向に徐々に伸ばす。
【０１０１】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及び伸縮機構１３８、１４０が更に＋Ｘ方向へ移動すると、第２の伸縮機構１４０が＋Ｚ方向に伸びきり、その移動範囲の−Ｘ側の端に達する。制御装置は、第２の伸縮機構１４０を停止させ、第１の伸縮機構１３８の速度をＸ粗動ステージ２３Ｘの速度よりも遅い速度（例えば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの速度の１／２）にするとともに、第１の伸縮機構１３８を＋Ｚ方向に徐々に伸ばす（図１３（Ａ）参照）。また、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及び第１の伸縮機構１３８が更に−Ｘ方向へ移動すると、第１の伸縮機構１３８が、＋Ｚ方向に伸びきり、その移動範囲の−Ｘ側の端に達する。このとき、制御装置は、第１の伸縮機構１３８を停止させる。この後、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが更に−Ｘ方向へ移動し、その移動範囲の−Ｘ側の端に達するときに、制御装置は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを停止させる。
【０１０２】
本実施形態のケーブルガイド装置７００によれば、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの位置に応じてケーブル５６をＺ軸方向に案内して撓ませることにより、固定部材６６から見たケーブル５６の繰り出し量を制御する。従って、ケーブル５６は、自重により垂れ下がった状態ではあるが、そのＺ位置が常に制御されるので、他の部材（例えば定盤１２、ベースフレーム１４（図２参照）など）と摺動するおそれがない。従って、低発塵、低振動でケーブル５６をＸ粗動ステージ２３Ｘに追従させて案内することができる。
【０１０３】
また、第１の伸縮機構１３８が、＋Ｘ方向に移動し、鏡筒定盤３１の下方に差し掛かる前に、第１の伸縮機構１３８の上端の高さを、投影光学系ＰＬより低くしているので、第１の伸縮機構１３８を鏡筒定盤３１の下方を確実に通過させることができる。
【０１０４】
《第８の実施形態》
次に第８の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第７の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第７の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１４（Ａ）には、第８の実施形態に係るケーブルガイド装置を＋Ｙ側から見た側面図が示されている。第８の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴ８は、上記第１の実施形態と比べ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ及びＹ粗動ステージ２３Ｙの機能を併せ持つＸＹステージ１６６を有する点が異なる。
【０１０５】
ＸＹステージ１６６は、＋Ｚ方向から見て矩形の箱形の部材から成り、例えば米国特許出願公開第２００３／００８５６７６号明細書に開示されるような平面モータにより、定盤１２上でＸ軸方向及び／又はＹ軸方向（及び／又はθｚ方向）に駆動される。
【０１０６】
第８の実施形態のケーブルガイド装置８００は、上記第１の実施形態と同様の４つ（４節）のリンクから成るリンク機構６０を有している。そして、４つのリンクのうち、最もＸＹステージ１６６側のリンク（第１のリンク）を軸支する軸受部材６２は、ＸＹステージ１６６に設けられたＺ軸に平行な軸部材１６７に回転自在に支持されている。また、４つのリンクのうち、最も固定部材６６側のリンク（第４のリンク）を軸支する軸受部材６４は、固定部材６６に設けられたＺ軸に平行な軸部材１６８に回転自在に支持されている。
【０１０７】
また、支持部材１０２の下端には、非接触軸受けの一種であるエアベアリング１７２が固定されている。エアベアリング１７２は、定盤１２の上面に高圧エアを噴出し、支持部材１０２を定盤１２上に所定のクリアランスを介して浮上させている（図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）参照）。
【０１０８】
従って、リンク機構６０は、ＸＹステージ１６６及び固定部材６６のそれぞれに対して、相対的にＺ軸に平行な軸線回りに回動自在なので、ＸＹステージ１６６がＸ軸方向のみならずＹ軸方向に移動しても、ＸＹステージ１６６の動きに追従して、その向きを変えることができる。
【０１０９】
なお、ケーブル５６の本数が多い場合等に、図１５に示されるように、ＸＹステージ１６６と電源装置とに異なる経路（図１５においては、４つの経路）で複数のケーブル５６を接続して、各ケーブル５６に対して、リンク機構６０を１つずつ設けても良い。図１５に示されるケーブルガイド装置８５０では、ＸＹステージ１６６の対角線が延びる方向（平面視でＸ字状に）にそれぞれリンク機構６０が延びている。
【０１１０】
《第９の実施形態》
次に第９の実施形態に係るケーブルガイド装置について説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第８の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第８の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。図１６（Ａ）には、第９の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴ９を＋Ｚ側から見た平面図が示されている。
【０１１１】
基板ステージ装置ＰＳＴ９は、定盤１２上の＋Ｙ側、及び−Ｙ側それぞれにＸ軸方向に延びるＸリニアガイド部材９０４を有している。また、一対のＸリニアガイド部材９０４上には、Ｙ軸方向に延びるＹリニアガイド部材９０６が架設されている。Ｙリニアガイド部材９０６は、一対のＸリニアガイド部材９０４に対して、Ｘ軸方向に移動可能に架設されており、図示しないＸリニアモータによりＸ軸方向に所定ストロークで駆動される。また、基板ステージ装置ＰＳＴ９では、不図示の基板は、直方体状の部材からなる基板テーブル９０２の上面に載置される。基板テーブル９０２は、その側面にＹ軸に平行に貫通する不図示の貫通孔を有しており、その貫通孔には、Ｙリニアガイド部材９０６が挿入されている。基板テーブル９０２は、図示しないＹリニアモータにより、Ｙリニアガイド部材９０６に沿ってＹ軸方向に駆動される。
【０１１２】
また、本第９の実施形態の上記第１の実施形態のリンク機構６０（図２など参照）をＸ軸回りに９０°回転させたような構成を有する、４節のリンクを含むリンク機構９６０を複数（例えば、４つ）有する。４つのリンク機構９６０は、基板テーブル９０２の対角線が延びる方向（平面視でＸ字状に）にそれぞれ延びている。すなわち、上記第１〜８の実施形態に係るケーブルガイド装置では、ケーブル５６は、ステージ装置の位置に応じてその中間部分の複数箇所がＺ軸方向に案内された（側面視でＷ字状に撓んだ）のに対し、本実施形態のケーブルガイド装置９００では、基板テーブル９０２の位置に応じて、ケーブル５６の中間部分の複数箇所を水平面に平行な方向に案内する（平面視でＷ字状に撓む）ようになっている。
【０１１３】
また、ケーブルガイド装置９００では、上記第８の実施形態と同様に、リンク機構９６０は、基板テーブル９０２及び固定部材６６に対して、それぞれＺ軸に平行な軸線回りに相対回転可能に支持されている。従って、図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）を用いて一例を説明すると、図１６（Ａ）に示されるように、基板テーブル９０２が定盤１２の中央に位置する場合は、４つのリンク機構９６０は、基板テーブル９０２を中心に放射状（平面視でＸ字状）に延びている。これに対し、図１６（Ｂ）に示されるように、基板テーブル９０２が定盤１２上の−Ｘ側且つ＋Ｙ側の領域に位置する場合には、定盤１２の−Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれリンクが閉じられ、その全体長が短くなり、定盤１２の＋Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれリンクが開かれ、その全体長が長くなっている。また、定盤１２の−Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれ＋Ｚ方向から見て右回りに回転し、定盤１２の＋Ｘ側の２つのリンク機構９６０は、それぞれ＋Ｚ方向から見て左回りに回転する。
【０１１４】
また、ケーブルガイド装置９００では、４つのリンク機構９６０において、例えば基板テーブル９０２から見て２番目のリンクと３番目のリンクとの連結部に、それぞれ第８の実施形態と同様に、定盤１２に対向する軸受面を有するエアベアリング（図示省略）が取り付けられている。なお、エアベアリングは、その他の場所、例えばリンク自体に取り付けられても良いし、各リンク機構９６０に複数取り付けられていても良い。
【０１１５】
第９の実施形態に係るケーブルガイド装置９００は、リンク機構６０を、ＸＹ平面に平行な平面に沿って変形させることができるので、例えば、リンク機構６０を配置するためのスペースがＺ軸方向に関して狭い（高さが限られている）場合に、特に有効である。
【０１１６】
《第１０の実施形態》
次に、第１０の実施形態について図１９〜図２１に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第９の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第９の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。第１０の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｂは、図１に示される上記第１の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴとケーブルガイド装置１００（図２参照）を除き実質的に同じものである。すなわち、基板ステージ装置ＰＳＴｂは、図１９に示されるように、定盤１２、一対のベースフレーム１４（一方のベースフレーム１４は不図示）上でＸ軸方向に長ストロークで移動するＸ粗動ステージ２３Ｘ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上に搭載され、Ｘ粗動ステージ２３Ｘとともにガントリ式のＸＹ２軸ステージ装置を構成するＹ粗動ステージ２３Ｙ，Ｙ粗動ステージ２３Ｙの上方に配置された微動ステージ２１，微動ステージ２１などの重量をキャンセルする重量キャンセル装置２６、ケーブルガイド装置１００ｂなどを備えている。
【０１１７】
基板ステージ装置ＰＳＴｂについて詳述すると、図１９に示されるように、ベースフレーム１４は、Ｘ軸方向に延びるＸＺ平面に平行な板状部材から成る本体部１４ａと、本体部１４ａの長手方向両端部近傍を下方から支持する２つの脚部１４ｂとを含む。脚部１４ｂの下端部には、複数のアジャスタ１４ｃが設けられ、本体部１４ａのＺ位置が調整できるようになっている。図２０から分かるように、本体部１４ａの両側面には、それぞれＸリニアモータの要素である固定子５５が固定されている。固定子５５は、Ｘ軸方向に所定間隔で配列された複数の永久磁石を含む磁石ユニットを有している。また、本体部１４ａの上端面、及び両側面（上記固定子５５の下方）には、それぞれ機械的な一軸ガイド装置の要素であるＸリニアガイド５２が固定されている（図１９では、本体部１４ａの−Ｙ側の側面に固定されたＸリニアガイド５２は不図示）。
【０１１８】
Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、図２０に示されるように、一対のＹビーム２３Ｘａと、一対のＹビーム２３Ｘａの両端部近傍それぞれを連結する一対の連結部材２３Ｘｂとを有し、その中央部に開口部が形成されている。一対の連結部材２３Ｘｂそれぞれの下面には、Ｘスライダ５４（図１９，及び図２１参照）が固定されている。
【０１１９】
Ｘスライダ５４は、図２１に示されるように、ＹＺ断面逆Ｕ字状の部材から成り、一対の対向面それぞれに固定子５５と共にＸリニアモータを構成する可動子５９が固定されている。また、Ｘスライダ５４の一対の対向面、及び天井面それぞれには、Ｘリニアガイド５２にスライド可能に係合するＸスライダ５８が固定されている。一対のＹビーム２３Ｘａそれぞれの上面には、図２０に示されるように、一対のＹリニアガイド部材２８が固定されている。また、一対のＹビーム２３Ｘａそれぞれの上面であって、一対のＹリニアガイド部材２８間の領域には、Ｙ固定子４１が固定されている。Ｙ固定子４１は、Ｙ軸方向に所定間隔で配列された複数の永久磁石を含む磁石ユニットを有している。
【０１２０】
Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、平面視ほぼ正方形の板状部材から成り、その中央部には、開口部が形成されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、図１９に示されるように、Ｙ固定子４１に所定のクリアランスを介して対向する一対のＹ可動子４２が固定されている。Ｙ可動子４２は、不図示のコイルユニットを含み、上述したＹ固定子４１と共にＹ粗動ステージ２３ＹをＹ軸方向に所定のストロークで駆動するためのＹリニアモータを構成している。また、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの下面には、Ｙリニアガイド部材２８にスライド可能に係合するＹスライダ２９が複数固定されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、Ｙリニアガイド部材２８とＹスライダ２９との作用によりＸ粗動ステージ２３Ｘに対するＸ軸方向への相対移動が制限されており、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと一体的にＸ軸方向に移動する。
【０１２１】
微動ステージ２１は、平面視ほぼ正方形の板状（又は箱形）部材から成り、その上面に基板ホルダＰＨを介して基板Ｐ（図１９では不図示。図１参照）を、例えば真空吸着（又は静電吸着）により吸着保持する。
【０１２２】
微動ステージ２１は、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに固定された固定子と、微動ステージ２１に固定された可動子とから成る複数のボイスコイルモータ（あるいはリニアモータ。図２１では不図示）を含む微動ステージ駆動系により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ上で３自由度方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θｚ方向）に微少駆動される。複数のボイスコイルモータとしては、微動ステージ２１をＸ軸方向に微少駆動する複数のＸボイスコイルモータ２０Ｘ、及び微動ステージ２１をＹ軸方向に微少駆動する複数のＹボイスコイルモータ（不図示）を含む。なお、図１９では、複数のＸボイスコイルモータ２０Ｘは、紙面奥行き方向に重なっている。微動ステージ２１は、上記Ｘボイスコイルモータ２０Ｘ、及び／又はＹボイスコイルモータを用いてＹ粗動ステージ２３Ｙに同期駆動（Ｙ粗動ステージ２３Ｙと同方向に同速度で駆動）されることにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと共に（Ｙ粗動ステージ２３Ｙに誘導されて）Ｘ軸方向、及び／又はＹ軸方向に所定のストロークで移動する。また、微動ステージ駆動系は、微動ステージ２１をθｘ、θｙ、及びＺ軸方向の３自由度方向に微少駆動するための複数のＺボイスコイルモータ（不図示）を有している。複数のＺボイスコイルモータは、例えば微動ステージ２１の四隅部に対応する箇所に配置されている。複数のボイスコイルモータを含み、微動ステージ駆動系の構成については、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２３】
微動ステージ２１のＸＹ平面内の位置情報（θｚ方向の回転量を含む）は、微動ステージ２１にミラーベース２４Ｘを介して固定されたＸ移動鏡２２Ｘ、及び微動ステージ２１にミラーベース２４Ｙを介して固定されたＹ移動鏡２２Ｙ(図２１参照）を用いたレーザ干渉計システムによって求められる。また、微動ステージ２１のθｘ、θｙ、及びＺ軸方向に関する位置情報は、微動ステージ２１の下面に固定された複数のＺセンサ４３により、後述する重量キャンセル装置２６の筐体２６ａにアーム部材４４を介して固定されたターゲット４５を用いて求められる。Ｚセンサ４３は、例えば少なくとも同一直線上にない３箇所に配置されている。上記微動ステージ２１の位置計測系の構成については、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２４】
重量キャンセル装置２６は、図１９に示されるように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの開口部、及びＸ粗動ステージ２３Ｘの開口部内に挿入されている。重量キャンセル装置２６は、筐体２６ａ、空気ばね２６ｂ，空気ばね２６ｂ上にプレート２６ｃを介して搭載されたＺスライダ２６ｄなどを有する。筐体２６ａは、＋Ｚ側に開口する有底の筒状部材から成る。筐体２６ａの下面には、軸受面が定盤１２の上面に対向する複数のエアベアリング（以下、ベースパッドと呼ぶ）２６ｅが取り付けられている。空気ばね２６ｂは、筐体２６ａの内部に収容されている。空気ばね２６ｂには、後述するケーブルガイド装置１００ｂを介して外部から加圧気体が供給される。Ｚスライダ２６ｄは、Ｚ軸方向に延びる筒状の部材から成り、筐体２６ａに対してＺ軸方向に相対移動可能になっている。Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部には、軸受面が＋Ｚ側を向いた不図示のエアベアリングが取り付けられている。ベースパッド２６ｅ、Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部に取り付けられた不図示のエアベアリングなどには、後述するケーブルガイド装置１００ｂを介して外部から加圧気体が供給される。プレート２６ｃは、その一部が筐体２６ａに形成された開口部を介して筐体２６ａの外部に突き出している。筐体２６ａの外周面には、プレート２６ｃに当接してプレート２６ｃのＺ軸方向に関する移動可能範囲を規定するストッパ２６ｆが複数固定されている。
【０１２５】
重量キャンセル装置２６は、空気ばね２６ｂが発生する重力方向上向きの力により、Ｚスライダ２６ｄ、及びレベリング装置２７を介して微動ステージ２１を含む系の重量（重力方向下向きの力）を打ち消す（キャンセルする）ことにより、上述した微動ステージ駆動系を構成する複数の複数のボイスコイルモータの負荷を低減する。
【０１２６】
重量キャンセル装置２６は、複数の連結装置２５を介してＹ粗動ステージ２３Ｙに機械的に接続されている。複数の連結装置２５のＺ位置は、重量キャンセル装置２６のＺ軸方向に関する重心位置とほぼ一致している。連結装置２５は、ＸＹ平面に平行な厚さの薄い鋼板などを含み、フレクシャ装置とも称される。連結装置２５は、重量キャンセル装置２６の＋Ｘ側、−Ｘ側、＋Ｙ側、−Ｙ側で重量キャンセル装置２６の筐体２６ａとＹ粗動ステージ２３Ｙを連結している（図１９では＋Ｙ側、−Ｙ側の連結装置２５は不図示）。従って、重量キャンセル装置２６は、複数の連結装置２５のいずれかを介してＹ粗動ステージ２３Ｙに牽引されることにより、そのＹ粗動ステージ２３Ｙと一体的にＸ軸方向、及び／又はＹ軸方向に移動する。この際、重量キャンセル装置２６には、そのＺ軸方向に関する重心位置を含むＸＹ平面に平行な平面内で牽引力が作用するので、移動方向に直交する軸線周りのモーメント（ピッチングモーメント）が作用しない。
【０１２７】
レベリング装置２７は、微動ステージ２１をチルト自在（ＸＹ平面に対してθｘ及びθｙ方向に揺動自在）に支持する。レベリング装置２７は、Ｚスライダ２６ｄの＋Ｚ側の端部に取り付けられた上記エアベアリングにより下方から非接触支持されたベース部材２７ａと、ベース部材２７ａの上面に形成された凹部にその下部が、微動ステージ２１の下面に形成された凹部にその上部がそれぞれ挿入される球面エアベアリング２７ｂと、を備える。なお、微動ステージ２１をＸＹ平面に対して揺動自在に支持する装置としては、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されるような、複数のエアベアリングを用いた疑似球面軸受装置であっても良いし、弾性ヒンジ装置を用いても良い。なお、上記重量キャンセル装置２６、連結装置２５、レベリング装置２７の詳細な構成について、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。
【０１２８】
また、微動ステージ２１は、微動ステージ２１の下面に固定された微動ステージ側ストッパブロック４６ａと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの上面に固定され、その上端部が微動ステージ側ストッパブロック４６ａの下端部に所定のクリアランスを介して対向するＹ粗動ステージ側ストッパブロック４６ｂとから成るＺストッパ装置４６により、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに対する−Ｚ方向の移動可能量が規定されている。微動ステージ２１は、例えば重量キャンセル装置２６のメンテナンス時など、空気ばね２６ｂに対する加圧気体の供給が停止されると−Ｚ方向に降下し、Ｚストッパ装置４６の作用によりＹ粗動ステージ２３Ｙ上に接触状態で搭載される。Ｚストッパ装置４６は、例えば同一直線上にない３箇所に配置されている。
【０１２９】
ケーブルガイド装置１００ｂは、上記第８の実施形態（図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）参照）と同様に、支持部材１０２にエアベアリング４８が取り付けられている。ここで、本第１０の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂでは、支持部材１０２は、図２１に示されるように、Ｙ軸方向に延びる板状の部材から成るベース５１と、ベース５１上面の両端部近傍に固定された軸受け部材５３とを有する。エアベアリング４８は、ベース５１下面の長手方向両端部近傍に取り付けられている。エアベアリング４８は、定盤１２上面に対して加圧気体を噴出するパッド部材４８ａと、パッド部材４８ａをベース５１の下面に対してθｙ方向、及びθｘ方向に微少角度で揺動自在に取り付けるためのボールジョイント４８ｂとを含む。なお、図２１では、図面の錯綜を避ける観点から、ケーブル５６、及びケーブルガイド装置１００ｂのうち支持部材１０２よりも−Ｘ側に配置された部材については、その図示が省略されている。第１０の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂは、複数のリンク６８〜７４が定盤１２上に配置されるので、例えば米国特許出願公開第２００３／００００１９８号明細書に開示されるようにケーブルガイド装置を定盤１２の両側に配置する場合に比べ、基板ステージ架台３３（図２１参照）を短くでき（ボディＢＤを狭幅にでき）、その剛性を向上させることができる。
【０１３０】
また、上記第１の実施形態では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６から離れる方向（＋Ｘ方向）に移動する際に、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開き、かつＸ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６に近づく方向（−Ｘ方向）に移動する際に、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じるようにするために、複数の引っ張りばね１０４〜１１８が用いられたが、本第１０の実施形態のケーブルガイド装置１００ｂは、それに加えて、ウエイトＷを用いて複数のリンク６８〜７４が上記のように動作するように構成されている。
【０１３１】
詳述すると、図２０に示されるように、支持部材１０２のベース５１の−Ｘ側の側面の両端部近傍それぞれには、ロープ３６の一端が接続されている。また、図１９に示されるように、ロープ３６の他端は、固定部材６６に接続されている。ロープ３６の中間部分は、一端側において固定部材６６に取り付けられた定滑車３７に巻き掛けられ、他端側において、ウエイトＷに取り付けられた動滑車３８に巻き掛けられている。動滑車３８、及びウエイトＷは、固定部材６６に固定されたＺリニアガイド３９ａとウエイトＷに固定されたＺスライダ３９ｂとを含むＺリニアガイド装置３９を介してＺ軸方向に移動可能（上下動可能）となっている。
【０１３２】
ケーブルガイド装置１００ｂでは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置するとき、ウエイトＷは、その移動範囲の−Ｚ側の端に位置している。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが＋Ｘ側に移動すると、そのＸ粗動ステージ２３Ｘに牽引されて第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が開く。この際、第２のリンク７０と第３のリンク７２との間に配置された支持部材１０２には、ウエイトＷによる−Ｘ方向の負荷が作用している。従って、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開くように、より確実に動作させることができる。
【０１３３】
これに対し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置した状態から−Ｘ側に移動する場合には、支持部材１０２に作用するウエイトＷによる−Ｘ方向の負荷により、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じるように、より確実に動作させることができる。
【０１３４】
《第１１の実施形態》
次に、第１１の実施形態について図２２〜図２４に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第１０の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第１０の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。第１１の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｃは、上記第１０の実施形態に係る基板ステージ装置ＰＳＴｂ（図１９〜図２１参照）とケーブルガイド装置１００ｃを除き実質的に同じものであるので、以下、ケーブルガイド装置１００ｃについてのみ説明する。なお、図２４では、図面の錯綜を避ける観点から、ケーブル５６、及びケーブルガイド装置１００ｃのうち支持部材１０２ｃよりも−Ｘ側に配置された部材については、その図示が省略されている。
【０１３５】
上記第１０の実施形態のケーブルガイド装置１００ｂ（図１９〜図２１参照）では、支持部材１０２が２つのエアベアリング４８により定盤１２上に浮上支持されたのに対し、本第１１の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｃでは、図２４に示されるように、支持部材１０２ｃのベース５１ｃは、上記第１０の実施形態よりも長手方向の寸法が長く設定されている。ベース５１ｃの下面の長手方向両端部近傍には、スペーサ５８ａを介してＸスライダ５８が固定されている。Ｘスライダ５８は、ＹＺ断面逆Ｕ字状の部材を含み、ベースフレーム１４の本体部１４ａ上面に固定されたＸリニアガイド５２に低摩擦でスライド自在に係合している。第１１の実施形態において、支持部材１０２ｃは、定盤１２に非接触で一対のベースフレーム１４上を移動するので、支持部材１０２ｃがＸ軸方向に確実に直進案内される。なお、支持部材１０２ｃに−Ｘ方向の負荷を作用させる装置（ウエイトＷ、定滑車３７、動滑車３８などを含む）の構成及び作用については、上記第１０の実施形態と同じなので、その説明を省略する。第１１の実施形態に係るケーブルガイド装置１００ｂでは、上記第１０の実施形態に比べ、エアベアリング、及びエアベアリング用の配管などが不要なので構成が簡単でかつ経済的である。また、支持部材１０２ｃが一対のベースフレーム１４上を移動するので、ケーブルガイド装置１００ｂで発生する振動などが定盤１２に伝達されるおそれがなく、基板Ｐの高精度位置決めが可能となる。
【０１３６】
《第１２の実施形態》
次に、第１２の実施形態について図２５（Ａ）〜図２５（Ｃ）に基づいて説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第１〜第１１の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第１〜第１１の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
【０１３７】
ケーブルガイド装置１００ｄは、上記第１１の実施形態と同様に支持部材１０２ｃには、ウエイトＷにより−Ｘ方向に負荷が作用している。なお、本第１２の実施形態において、ウエイトＷ、動滑車３８、定滑車３７を含む負荷装置は、その配置が異なる点を除き、上記第１１の実施形態と同じ機能を有するため、上記第１１の実施形態と同じ符号を付して説明を省略する。なお、支持部材１０２ｃは、Ｘリニアガイド５２上でＸ軸方向に直進案内される構成であるが、上記第１０の実施形態のように、エアベアリングを介して定盤上に浮上支持されていても良い。また、Ｘリニアガイド５２は、ベースフレーム１４（図２４参照）に固定されたものでなくても良い。
【０１３８】
また、支持部材１０２ｃには、接続部材１０２ｄ、及びロープ１６ａを介して第１動滑車１６が接続されている。第１動滑車１６に巻き掛けられたロープ１７の一端は、後述するＸスライド部材１８に接続されている。また、ロープ１７の他端は、第２動滑車１９に接続されている。第２動滑車１９に巻き掛けられたロープ１５の一端は、後述するＸスライド部材１８に接続されている。また、ロープ１５の他端は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに接続されている。Ｘスライド部材１８には、位置が固定のＸリニアガイド９５にスライド自在に係合するＸスライダ９４が取り付けられており、Ｘ軸方向に所定のストロークで移動自在となっている。また、Ｘリニアガイド９５の−Ｘ側の端部近傍には、Ｘスライダ９４の移動を制限するストッパ９７が配置されている。なお、図面の錯綜を避ける観点から、図２５（Ｂ）、及び図２５（Ｃ）では、ケーブルガイド装置１００ｄに案内されるケーブル５６などの図示が省略されている。
【０１３９】
ケーブルガイド装置１００ｄでは、図２５（Ｂ）に示されるように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置した状態から＋Ｘ方向に移動すると、ロープ１５に牽引されて第２動滑車１９がＸ粗動ステージ２３Ｘのほぼ半分の速度（すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘのほぼ半分の移動量）で＋Ｘ方向に移動する。また、第２動滑車１９が＋Ｘ方向に移動すると、ロープ１７に牽引されることにより、第１動滑車１６が、第２動滑車１９のほぼ半分の速度、すなわちＸ粗動ステージ２３Ｘの１／４の速度（Ｘ粗動ステージ２３Ｘのほぼ１／４の移動量）で＋Ｘ方向に移動する。これにより、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対に先行して開く（ただし、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対もわずかに開く）。従って、複数のリンク６８〜７４を、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが固定部材６６から離れる方向（−Ｘ方向）に移動する際に、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対が、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対よりも先に開くように確実に動作させることができる。
【０１４０】
また、Ｘスライド部材１８は、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の開き角度が所望量となった場合にＸ粗動ステージ２３Ｘに当接する位置に位置決めされて配置されている。従って、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対の開き角度が所望量となった後は、Ｘスライド部材１８がＸ粗動ステージ２３Ｘに押圧されて、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと一体的に＋Ｘ方向に移動する。これにより、Ｘ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２とがほぼ一体的に＋Ｘ方向に移動する。このように支持部材１０２ｃを直接＋Ｘ方向に駆動するようにしたので、第１のリンク６８，及び第２のリンク７０を介して駆動するよりも確実に支持部材１０２ｃに駆動力が伝わり、各リンク６８〜７４，及び支持部材１０２ｃが振動的になるおそれがない。従って、各リンク６８〜７４の高速動作、支持部材１０２ｃの高速移動が可能となる。また、図２５（Ｃ）に示される、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の＋Ｘ側の端に位置した状態から−Ｘ方向に移動するときは、ウエイトＷ（及び不図示の複数の引っ張りばね）の作用によりＸ粗動ステージ２３Ｘと支持部材１０２とが、ほぼ同期して−Ｘ方向に移動する。これにより、第３のリンク７２と第４のリンク７４とから成るリンク対が、第１のリンク６８と第２のリンク７０とから成るリンク対よりも先に閉じる。
【０１４１】
なお、上記第１〜第１２の各実施形態に係るケーブルガイド装置の構成は、一例であって、本発明がこれに限定されるものではない。例えば、上記第１〜第１２の各実施形態では、用力伝達部材の一例として、電源装置からＸ粗動ステージ２３Ｘ等の移動体に電力を供給するケーブル５６がガイド対象物であったが、これに換えて、あるいはこれに加えて、例えば、移動体と外部装置との間での、気体、冷媒等の流体の伝達を行うチューブ（あるいはホース）、移動体と外部装置との間での信号の送受信を行う通信ケーブル等をガイド対象物としても良い。この場合、外部装置には、例えば制御装置等の通信装置、冷却装置、基板を吸着保持するための真空吸引力を発生するバキューム装置等が含まれる。
【０１４２】
また、上記第１〜第４、第６、第８〜第１２の各実施形態では、リンク機構のリンクの数を、４節としているが、これに限らず、リンクの数を適宜増減しても良い。そして、これに併せて隣り合うリンクの連結部を支持する支持部材の数を増減しても良い。なお、リンクの数を少なくした場合（例えば、リンクが２つ又は３つの場合）に、ケーブル５６の一箇所のみを、一つのリンクに固定しても良く、更にこの場合、リンク機構を水平面上で支持する支持部材を設けない構成も可能である。また、第３の実施形態において、リンク及び支持部材を増設した場合には、増設した支持部材を移動させるＸリニアモータの可動子も併せて増設すると良い。
【０１４３】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では、リンク機構の各リンクの軸がＹ軸、あるいはＺ軸に平行に設けられているが、リンク同士を接続する軸の軸線方向は、これに限られない。要は、リンク機構を移動体に同期して案内できれば良く、リンク同士を接続する軸の軸線方向は、例えば水平面に傾斜する方向に平行であっても良い。
【０１４４】
また、上記第２の実施形態を除く各実施形態のケーブルガイド装置において、ケーブル５６の所定箇所は、円筒形状の部材から成るローラの外周面に固定されていたが、ケーブル５６が固定される部材は、それぞれ回転軸回りに所定の角度、θｙ方向又はθｚ方向に回転（揺動）できれば良い（ケーブルに作用する張力を緩和できれば良い）ので、円筒形状以外の形状の部材でも良い。
【０１４５】
また、上記第２の実施形態のようにリンクが伸縮しない場合には、隣接するリンク間に直接引っ張りばねを掛け渡しても良い。一例を挙げると、例えば、図１７に示されるリンク機構２４８では、第２のリンク２０６と第３のリンク２５２とに引っ張りばね１１９が架け渡され、第２のリンク２０６と第３のリンク２５２とを閉じ方向に付勢している。また、第４のリンク２１０と軸受部材６４にも引っ張りばね１１８が架け渡されている（第１のリンク２５０には、ばねが架け渡されない）。なお、図１７において、ケーブル５６などの図示は、省略されている。本変形例のリンク機構２４８であっても、引っ張りばね１１８による引っ張り力を引っ張りばね１１９による引っ張り力よりも大きくすることにより、上記第２の実施形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
【０１４６】
また、上記第１の実施形態（図４参照）のリンク機構６０では、複数の引っ張りばね１０４〜１１８による引っ張り力の差により、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが−Ｘ方向に移動する際に、第３及び第４のリンク７２，７４から成るリンク対が、第１及び第２のリンク６８，７０から成るリンク対に先立って閉じるように構成されたが、他の構成によりリンク機構６０を上記のように動作させても良い。図１８（Ａ）には、上記第１の実施形態の変形例に係るケーブルガイド装置１００ａが示されている。ケーブルガイド装置１００ａでは、支持部材１０２の−Ｘ側の端部にワイヤロープ１５０の一端が接続されている。ワイヤロープ１５０は、支持部材１０２の−Ｘ側の端部から−Ｘ方向に延びるとともに、その長手方向の中間部が、位置が固定のプーリ１５２に巻き掛けられることにより＋Ｘ側に折り曲げられ、他端がＸリニアガイド部材１０３よりも＋Ｘ側に設けられた固定部材１５４に、引っ張りばね１５６（引っ張りコイルばね）を介して接続されている。Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、図１８（Ｂ）に示されるように、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°となる前は、第１及び第２のリンク６８，７０のみを引っ張り、第２のリンク７０と第３のリンク７２との開き角度が９０°となった後は、図１８（Ｃ）に示されるように、引っ張りばね１５６の引っ張り力に抗してワイヤロープ１５０で支持部材１０２を牽引することにより、第３及び第４のリンク７２，７４を開かせる。そして、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが図１８（Ｃ）に示される位置（移動範囲の＋Ｘ側の位置）から−Ｘ方向に移動する際は、が引っ張りばね１５６の作用により支持部材１０２がワイヤロープ１５０に牽引されることにより、第３及び第４のリンク７２，７４から成るリンク対が、第１及び第２のリンク６８，７０から成るリンク対に先立って閉じる。なお、引っ張りばね１５６は、支持部材１０２を−Ｘ方向に付勢できれば良いので、ワイヤロープ１５０及びプーリ１５２を介さず、例えば固定部材６６と支持部材１０２とに架け渡されても良い。
【０１４７】
また、上記第１〜第７の各実施形態において、リンクの連結部を支持する支持部材を案内する案内部材は、直線（一軸）ガイド部材であったがこれに限らず曲線ガイド部材であっても良い。また、上記第１〜第６、第８、及び第９の各実施形態において、リンク機構を構成する各リンクの長さは同じでなくても良い。例えば、上記第１の実施形態において、第１及び第２のリンク６８、７０の長さに対して、第３、及び第４のリンク７２，７４の長さをそれぞれ長く、あるいは短くても良い。また、上記第１〜第６、第８、及び第９の各実施形態において、複数のリンクは、引っ張りばねにより所定の方向に付勢されていたが、リンクを付勢する部材はこれに限らず、例えばリンクを軸支する軸受部に捻りばね（トーションばね）を設けても良い。
【０１４８】
また、上記第１、第３、第４、第５、第６、第８及〜第１２の各実施形態では、第１〜第４のリンク６８、７０、７２、７４を、３つの部材により構成して、その長手方向に伸縮可能にしているが、これに限らず、例えば、各リンクを２つ、あるいは４つ以上の部材により構成して、その長手方向に伸縮可能にしても良い。
【０１４９】
上記第３、第４、第５、第６、第８〜第１２の各実施形態においては、リンク機構を、第２の実施形態と同様に構成しても良い。
【０１５０】
また、上記第３の実施形態では、Ｘ粗動ステージ２３Ｘがその移動範囲の−Ｘ側の端に位置し、＋Ｘ方向に移動を開始した後、基板ステージ側の一対のリンク対（最初のリンク対）が開ききった（開き角度が１５０°になるとき）のちに、次のリンク対が開くようにリンク機構が制御されるが、これに限らず、最初のリンク対の開き角度が、例えば、９０°、１０５°、１２０°、１３５°等になるときに、支持部材１０２を＋Ｘ方向に移動させて次のリンク対が開き始めるようにして制御しても良い。この場合、支持部材１０２の速さをＸ粗動ステージ２３Ｘの速さよりも遅くすれば、最初のリンク対を開きつつ次のリンク対を開くことができる。
【０１５１】
また、上記第７の実施形態では、各伸縮部が複数のリンクにより構成されているが、これに限らず、例えばエアシリンダなどの長さ方向の寸法が変化する装置であれば、伸縮部として用いることができる。
【０１５２】
また、上記第７の実施形態では、第１及び第２の伸縮機構１３８、１４０の双方をＺ軸方向に伸縮可能としているが、これらの少なくとも一方を、例えば、ＸＺ平面に平行で、かつＺ軸に対し角度を成した方向に伸縮可能としても良い。
【０１５３】
上記第１〜第７、及び第１０〜第１２の各実施形態においては、Ｘ粗動ステージ２３Ｘにのみ、ケーブル５６及びこのケーブル５６を案内するケーブルガイド装置を設けているが、これに換えてあるいはこれに加えて、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに、ケーブル及びこのケーブルを案内するケーブルガイド装置を設けても良い。
【０１５４】
また、上記第１〜第１２の各実施形態において、ケーブルが接続される移動体は、ＸＹ二次元平面に沿って一軸、又は２軸方向に移動するものであったが、移動体は、これに限らず、ＸＹ二次元平面、及びＸＹ二次元平面に交差する方向（例えばＺ軸方向）に長ストロークで移動可能なものであっても良い。
【０１５５】
また、本発明に係る用力伝達部材ガイド装置は、基板を保持する基板ステージ装置以外の移動体、例えば図１に示されるマスクステージＭＳＴに接続されたケーブル（不図示）等を案内するために用いても良い。
【０１５６】
また、上記第１０〜第１２の各実施形態では、ウエイトＷを用いて支持部材１０２に−Ｘ方向の負荷を与える構成であったが、支持部材１０２に−Ｘ方向の負荷を作用させることができれば、例えばばね定数の小さな引っ張りばね（例えば、コンストンばね（登録商標））などを用いても良い。
【０１５７】
また、上記第１〜第１２の各実施形態（ただし第７の実施形態を除く）では、隣り合うリンクの最大開き角度を規定する装置として、機械的な開き止め装置８０（図２参照）が用いられたが、これに替えて、例えば図２６に示されるような４節リンク機構を用いても良い。なお、図２６では、一例として、第１のリンク６８と軸受部材６２の開き角度を規定する開き止め装置８０ａが示されている。開き止め装置８０ａは、第１のリンク６８のスライド部８２ａが軸受部材６２に軸部材９３を介して支持されている。また、軸受部材６２には、円板クランク９９８が軸部材９９９を介して支持されている。円板クランク９９８には、軸部材９９７を介して連結板９９６の一端が支持され、その連結板９９６の他端は、第１のリンク６８のスライド部８２ａに軸部材９９５を介して支持されている。円板クランク９９８は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに固定されたＹＺ断面逆Ｕ字状の部材から成るブラケット９９４の一対の対向面間に挿入されている。ブラケット９９４の一対の対向面には、それぞれ複数のマグネット９９３が、円板クランク９９８に所定のクリアランスを介して固定されている。円板クランク９９８と複数のマグネット９９３とは、渦電流ブレーキ装置を構成し、円板クランク９９８に渦電流を発生させることによって、第１のリンク６８に制動力を発生させる。この場合、上記機械的な開き止め装置８０（ストッパ）に比べて衝撃の発生する可能性が少ない。
【０１５８】
なお、露光装置で使用される照明光は、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）などの紫外光や、Ｆ2レーザ光（波長１５７ｎｍ）などの真空紫外光であっても良い。また、照明光としては、例えばＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（又はエルビウムとイッテルビウムの両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。また、固体レーザ（波長：３５５ｎｍ、２６６ｎｍ）などを使用しても良い。
【０１５９】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では、投影光学系ＰＬが、複数本の光学系を備えたマルチレンズ方式の投影光学系である場合について説明したが、投影光学系の本数はこれに限らず、１本以上あれば良い。また、マルチレンズ方式の投影光学系に限らず、オフナー型の大型ミラーを用いた投影光学系などであっても良い。
【０１６０】
また、上記第１〜第１２の各実施形態では投影光学系ＰＬとして、投影倍率が等倍系のものを用いる場合について説明したが、これに限らず、投影光学系は拡大系及び縮小系のいずれでも良い。
【０１６１】
また、本発明の用力伝達部材案内装置は、露光装置以外の装置、例えばインクジェット式の機能性液体付与装置を備えた素子製造装置などに適用することもできる。また、本発明の用力伝達部材案内装置を有する基板処理装置は、露光装置に限らず、例えば露光装置の露光対象である基板の検査に用いる基板検査装置などであっても良い。
【０１６２】
なお、上記第１〜第１２の各実施形態では、ステップ・アンド・スキャン動作を伴う露光装置に本発明が適用された場合について説明したが、これに限らず、本発明は、ステップ・アンド・リピート方式の露光装置（いわゆるステッパ）あるいはステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用することができる。また、本発明は、投影光学系を用いない、プロキシミティ方式の露光装置にも適用することができる。
【０１６３】
また、露光装置の用途としては角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを転写する液晶用の露光装置に限定されることなく、例えば半導体製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン及びＤＮＡチップなどを製造するための露光装置にも広く適用できる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるマスク又はレチクルを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。なお、露光対象となる物体はガラスプレートに限られるものでなく、例えばウエハ、セラミック基板、フィルム部材、あるいはマスクブランクスなど、他の物体でも良い。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
以上説明したように、本発明の用力伝達ガイド装置は、所定の二次元平面に沿って移動体と外部装置との間で用力の伝達を行う用力伝達部材を案内するのに適している。また、本発明の基板処理装置は、基板に所定の処理を行うのに適している。
【符号の説明】
【０１６５】
１０…液晶露光装置、２３Ｘ…Ｘ粗動ステージ、５６…ケーブル、６０…リンク機構、６２…軸受部材、６４…軸受部材、６６…固定部材、６８…第１のリンク、７０…第２のリンク、７２…第３のリンク、７４…第４のリンク、９０…ローラ、１００…ケーブルガイド装置、１０２…支持部材、Ｐ…基板、ＰＳＴ…基板ステージ装置。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の二次元平面に平行な平面内の所定範囲を該二次元平面に沿って移動する移動体と、外部装置と、の間で伝達される用力の伝達路を形成する可撓性の用力伝達部材の一部が固定される固定部と；
前記用力伝達部材の前記固定部に固定された部位と前記移動体に接続された部位との中間の領域の一箇所又は複数箇所を保持し、その保持する箇所を、前記移動体が移動する際に該移動体の移動方向と同方向に案内しつつ前記二次元平面に交差する方向に案内する案内部と；を備える用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２】
前記案内部は、直列に連結された複数のリンクを有し、かつ一端側の前記リンクが前記移動体に連結されるとともに、他端側の前記リンクが前記固定部に連結されるリンク機構を含み、
前記用力伝達部材は、前記複数のリンクのそれぞれに沿うように前記リンク機構に保持され、前記リンク機構の変形に伴い変形する請求項１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項３】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクの連結部の少なくとも１つには、回転体が設けられ、
前記用力伝達部材は、前記回転体に固定される請求項２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項４】
前記一対のリンクは、軸部材により連結され、
前記回転体は、前記軸部材の軸線周りに回転可能なローラであり、
前記用力伝達部材は、前記ローラの外周面に固定される請求項３に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項５】
前記ローラが設けられた前記連結部にて連結された前記一対のリンクのうちの少なくとも一方は、そのリンクの長手方向に伸縮可能である請求項４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項６】
前記伸縮可能なリンクは、該リンクの長手方向における一端を含む第１の構成部材と、前記長手方向における他端を含む第２の構成部材と、前記長手方向における中間部に設けられ、前記第１及び第２の構成部材のそれぞれに対し前記長手方向に相対移動可能な第３の構成部材とを備え、
前記用力伝達部材の所定箇所が前記第３の構成部材に固定される請求項５に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項７】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクの少なくとも一方には、該リンクの長手方向に沿って移動可能であり、かつ前記用力伝達部材の所定箇所を保持する保持部材が設けられる請求項２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項８】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対には、その最大開き角度を１８０°未満の所定角度に制限する開き角度制限部が設けられる請求項２〜７のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項９】
前記角度制限部は、前記隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対に非接触で制動力を作用させる渦電流ブレーキ装置を含む請求項８に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１０】
前記リンク機構は、少なくとも３つのリンクを有し、
隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対は、前記移動体が前記固定部から離れる方向に移動するとき前記移動体に近いものから順に開き、前記移動体が前記固定部に近づく方向に移動するとき前記移動体から遠いものから順に閉じる請求項２〜９のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１１】
前記リンク機構は、少なくとも２つの前記リンク対の開閉度合いを設定する設定部材を有し、
前記設定部材は、前記移動体に近い前記リンク対に設けられたものほど、該リンク対の開閉度合いを開き易くかつ閉じ難く設定する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１２】
前記設定部材のそれぞれは、前記リンク対を閉じ方向に付勢する弾性部材であり、
前記弾性部材は、前記リンク対のうちの移動体に近いものに設けられたものほど弾性力が小さい請求項１１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１３】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体と前記支持部材との距離が所定距離になったときに前記支持部材を移動させる請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１４】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体が前記固定部から離れる方向に移動するとき、前記移動体の速度の１／２よりも遅い速度で前記支持部材を駆動する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１５】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体が前記固定部に近づく方向に移動するとき、前記移動体の速度の１／２よりも速く、かつ前記移動体の速度よりも遅い速度で前記支持部材を駆動する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１６】
前記駆動装置は、前記移動体を移動させる移動体駆動装置の一部を用いて前記支持部材を駆動する駆動力を発生する請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１７】
前記駆動装置は、前記移動体に牽引される第１の動滑車と、前記支持部材に設けられ前記第１の動滑車に牽引される第２の動滑車を有し、
前記第１及び第２の動滑車は、前記移動体に近い前記リンク対が所定の開き角度となった状態で、前記移動体と一体的に移動する請求項１４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１８】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動自在な支持部材と、前記支持部材を前記固定部材に接近する方向に付勢する付勢部材とを備える請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１９】
前記付勢装置は、バネ、又は錘を含む請求項１８に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２０】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動自在な支持部材を備え、
前記支持部材は、前記移動体の移動に追従して移動する請求項２〜１２のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２１】
前記リンク機構は、前記一端側のリンクが前記移動体に対し、前記二次元平面に直交する軸線回りに回転可能に連結され、前記他端側のリンクが前記固定部に対し、前記二次元平面に直交する軸線回りに回転可能に連結される請求項２〜２０のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２２】
前記案内部は、前記移動体の移動方向に交差する方向に伸縮可能な伸縮部と、該伸縮部の伸縮方向における一端を支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、を備え、
前記用力伝達部材の所定箇所が、前記伸縮部の伸縮方向の他端に固定されている請求項１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２３】
前記案内部は、前記伸縮部の伸縮方向における他端に回転体を有し、
前記用力伝達部材の所定箇所が、前記回転体に固定される請求項２２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２４】
前記伸縮部は、前記移動体と前記固定部との間に、前記移動体との間隔が異なるように複数設けられ、前記移動体が前記固定部材から離れる方向に移動するとき前記移動体に近いものから順に縮み、前記移動体が前記固定部材から離れる方向に移動するとき前記移動体から遠いものから順に伸びる請求項２２又は２３に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２５】
前記案内部は、前記複数の伸縮部それぞれを独立して前記二次元平面に平行な方向に駆動する駆動装置を有し、
前記駆動装置は、前記移動体を移動させる移動体駆動装置の一部を用いて、前記複数の伸縮部それぞれの前記支持部材を駆動する駆動力を発生する請求項２４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２６】
前記移動体駆動装置は、前記移動体に設けられた第１の可動子と、前記所定の二次元平面に平行に配置された固定子とを有する第１のモータを含み、
前記駆動装置は、前記固定子と、前記支持部材に設けられた第２の可動子とを有する第２のモータである請求項１６又は２５に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２７】
前記支持部材は、前記移動体の移動をガイドする移動体ガイドにより、前記二次元平面に沿って案内される請求項１３〜２６のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２８】
前記移動体と前記外部装置とには、異なる経路で複数の前記用力伝達部材が接続されており、
前記案内部は、前記複数の用力伝達部材それぞれに対応して複数設けられる請求項１〜２７のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２９】
前記移動体は基板が載置されるステージである請求項１〜２８のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置と；
前記基板に処理を施す基板処理部と；を備え、
該基板処理部は、前記ステージの移動範囲の上方に位置する基板処理装置。
【請求項３０】
前記二次元平面に平行なガイド面を有する定盤上で前記ステージの重量をキャンセルする重量キャンセル装置を更に備え、
前記用力伝達部材ガイド装置は、前記ガイド面の上方に配置される請求項２９に記載の基板処理装置。
【請求項１】
所定の二次元平面に平行な平面内の所定範囲を該二次元平面に沿って移動する移動体と、外部装置と、の間で伝達される用力の伝達路を形成する可撓性の用力伝達部材の一部が固定される固定部と；
前記用力伝達部材の前記固定部に固定された部位と前記移動体に接続された部位との中間の領域の一箇所又は複数箇所を保持し、その保持する箇所を、前記移動体が移動する際に該移動体の移動方向と同方向に案内しつつ前記二次元平面に交差する方向に案内する案内部と；を備える用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２】
前記案内部は、直列に連結された複数のリンクを有し、かつ一端側の前記リンクが前記移動体に連結されるとともに、他端側の前記リンクが前記固定部に連結されるリンク機構を含み、
前記用力伝達部材は、前記複数のリンクのそれぞれに沿うように前記リンク機構に保持され、前記リンク機構の変形に伴い変形する請求項１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項３】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクの連結部の少なくとも１つには、回転体が設けられ、
前記用力伝達部材は、前記回転体に固定される請求項２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項４】
前記一対のリンクは、軸部材により連結され、
前記回転体は、前記軸部材の軸線周りに回転可能なローラであり、
前記用力伝達部材は、前記ローラの外周面に固定される請求項３に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項５】
前記ローラが設けられた前記連結部にて連結された前記一対のリンクのうちの少なくとも一方は、そのリンクの長手方向に伸縮可能である請求項４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項６】
前記伸縮可能なリンクは、該リンクの長手方向における一端を含む第１の構成部材と、前記長手方向における他端を含む第２の構成部材と、前記長手方向における中間部に設けられ、前記第１及び第２の構成部材のそれぞれに対し前記長手方向に相対移動可能な第３の構成部材とを備え、
前記用力伝達部材の所定箇所が前記第３の構成部材に固定される請求項５に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項７】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクの少なくとも一方には、該リンクの長手方向に沿って移動可能であり、かつ前記用力伝達部材の所定箇所を保持する保持部材が設けられる請求項２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項８】
前記複数のリンクのうち、隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対には、その最大開き角度を１８０°未満の所定角度に制限する開き角度制限部が設けられる請求項２〜７のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項９】
前記角度制限部は、前記隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対に非接触で制動力を作用させる渦電流ブレーキ装置を含む請求項８に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１０】
前記リンク機構は、少なくとも３つのリンクを有し、
隣り合う一対の前記リンクから成るリンク対は、前記移動体が前記固定部から離れる方向に移動するとき前記移動体に近いものから順に開き、前記移動体が前記固定部に近づく方向に移動するとき前記移動体から遠いものから順に閉じる請求項２〜９のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１１】
前記リンク機構は、少なくとも２つの前記リンク対の開閉度合いを設定する設定部材を有し、
前記設定部材は、前記移動体に近い前記リンク対に設けられたものほど、該リンク対の開閉度合いを開き易くかつ閉じ難く設定する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１２】
前記設定部材のそれぞれは、前記リンク対を閉じ方向に付勢する弾性部材であり、
前記弾性部材は、前記リンク対のうちの移動体に近いものに設けられたものほど弾性力が小さい請求項１１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１３】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体と前記支持部材との距離が所定距離になったときに前記支持部材を移動させる請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１４】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体が前記固定部から離れる方向に移動するとき、前記移動体の速度の１／２よりも遅い速度で前記支持部材を駆動する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１５】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、該支持部材を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記移動体が前記固定部に近づく方向に移動するとき、前記移動体の速度の１／２よりも速く、かつ前記移動体の速度よりも遅い速度で前記支持部材を駆動する請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１６】
前記駆動装置は、前記移動体を移動させる移動体駆動装置の一部を用いて前記支持部材を駆動する駆動力を発生する請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１７】
前記駆動装置は、前記移動体に牽引される第１の動滑車と、前記支持部材に設けられ前記第１の動滑車に牽引される第２の動滑車を有し、
前記第１及び第２の動滑車は、前記移動体に近い前記リンク対が所定の開き角度となった状態で、前記移動体と一体的に移動する請求項１４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１８】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動自在な支持部材と、前記支持部材を前記固定部材に接近する方向に付勢する付勢部材とを備える請求項１０に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項１９】
前記付勢装置は、バネ、又は錘を含む請求項１８に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２０】
前記案内部は、隣り合う前記リンクの連結部のいずれか１つを支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動自在な支持部材を備え、
前記支持部材は、前記移動体の移動に追従して移動する請求項２〜１２のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２１】
前記リンク機構は、前記一端側のリンクが前記移動体に対し、前記二次元平面に直交する軸線回りに回転可能に連結され、前記他端側のリンクが前記固定部に対し、前記二次元平面に直交する軸線回りに回転可能に連結される請求項２〜２０のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２２】
前記案内部は、前記移動体の移動方向に交差する方向に伸縮可能な伸縮部と、該伸縮部の伸縮方向における一端を支持し、かつ前記所定の二次元平面に平行に移動可能な支持部材と、を備え、
前記用力伝達部材の所定箇所が、前記伸縮部の伸縮方向の他端に固定されている請求項１に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２３】
前記案内部は、前記伸縮部の伸縮方向における他端に回転体を有し、
前記用力伝達部材の所定箇所が、前記回転体に固定される請求項２２に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２４】
前記伸縮部は、前記移動体と前記固定部との間に、前記移動体との間隔が異なるように複数設けられ、前記移動体が前記固定部材から離れる方向に移動するとき前記移動体に近いものから順に縮み、前記移動体が前記固定部材から離れる方向に移動するとき前記移動体から遠いものから順に伸びる請求項２２又は２３に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２５】
前記案内部は、前記複数の伸縮部それぞれを独立して前記二次元平面に平行な方向に駆動する駆動装置を有し、
前記駆動装置は、前記移動体を移動させる移動体駆動装置の一部を用いて、前記複数の伸縮部それぞれの前記支持部材を駆動する駆動力を発生する請求項２４に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２６】
前記移動体駆動装置は、前記移動体に設けられた第１の可動子と、前記所定の二次元平面に平行に配置された固定子とを有する第１のモータを含み、
前記駆動装置は、前記固定子と、前記支持部材に設けられた第２の可動子とを有する第２のモータである請求項１６又は２５に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２７】
前記支持部材は、前記移動体の移動をガイドする移動体ガイドにより、前記二次元平面に沿って案内される請求項１３〜２６のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２８】
前記移動体と前記外部装置とには、異なる経路で複数の前記用力伝達部材が接続されており、
前記案内部は、前記複数の用力伝達部材それぞれに対応して複数設けられる請求項１〜２７のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置。
【請求項２９】
前記移動体は基板が載置されるステージである請求項１〜２８のいずれか一項に記載の用力伝達部材ガイド装置と；
前記基板に処理を施す基板処理部と；を備え、
該基板処理部は、前記ステージの移動範囲の上方に位置する基板処理装置。
【請求項３０】
前記二次元平面に平行なガイド面を有する定盤上で前記ステージの重量をキャンセルする重量キャンセル装置を更に備え、
前記用力伝達部材ガイド装置は、前記ガイド面の上方に配置される請求項２９に記載の基板処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【公開番号】特開２０１１−８１３６７（Ｐ２０１１−８１３６７Ａ）
【公開日】平成２３年４月２１日（２０１１．４．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２００５０３（Ｐ２０１０−２００５０３）
【出願日】平成２２年９月８日（２０１０．９．８）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月２１日（２０１１．４．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月８日（２０１０．９．８）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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