搬送装置
【課題】真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現する。
【解決手段】真空排気可能な第２搬送室１４内で被搬送物を搬送する搬送装置１であって、第２搬送室１４内を移動可能に構成された移動容器２０と、第２搬送室１４内に固定配置され気体を供給する供給ノズル４２と、を備え、移動容器２０は、容器内の雰囲気と遮断された空間部２０ｂと、空間部２０ｂに連通する給気口が設けられ、移動容器２０が所定位置へ移動した際に供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、給気口から空間部２０ｂへ気体を導入する給気ユニット２２と、空間部２０ｂに連通する排気口が設けられ、空間部２０ｂの気圧に応じて空間部２０ｂの気体を排気口から排出する排気ユニット２３と、を有する。
【解決手段】真空排気可能な第２搬送室１４内で被搬送物を搬送する搬送装置１であって、第２搬送室１４内を移動可能に構成された移動容器２０と、第２搬送室１４内に固定配置され気体を供給する供給ノズル４２と、を備え、移動容器２０は、容器内の雰囲気と遮断された空間部２０ｂと、空間部２０ｂに連通する給気口が設けられ、移動容器２０が所定位置へ移動した際に供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、給気口から空間部２０ｂへ気体を導入する給気ユニット２２と、空間部２０ｂに連通する排気口が設けられ、空間部２０ｂの気圧に応じて空間部２０ｂの気体を排気口から排出する排気ユニット２３と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体内で被搬送物を搬送する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空排気可能な筐体内で、半導体ウェハ等の被搬送物を搬送する装置が知られている（例えば特許文献１，２参照。）。特許文献１記載の装置では、搬送ロボットを搭載した基台が案内レールにスライド動作可能に取り付けられている。基台は、モータによって駆動するボールスクリューと螺合されることでスライド動作可能とされている。また、基台には、その内部が大気圧状態のフレキシブルアームが接続されており、搬送ロボットを駆動させるモータ等の配線がフレキシブルアーム内に収容されている。
【０００３】
特許文献２記載の装置では、被搬送物を載置するステージが移動部材を介してガイド部材にスライド動作可能に取り付けられている。移動部材とガイド部材とは磁石の反発力により互いに接触しないように維持されている。そして、ステージ内部には、処理容器内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、当該空間部と処理容器外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられている。移動機構の配線はダクト部材に配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２７２０号公報
【特許文献２】ＷＯ２００８／０６６１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、真空容器内の搬送装置にあっては、被搬送物の大型化や処理室の搭載数の増加に伴い、被搬送物をより長い距離移動させることが要求されている。これに対して、電力を非接触で受電する受電部やバッテリー等を移動容器の内部に収容することで、外部からの電源供給用の配線を不要とし、電源系を独立させた自走式の移動容器を採用することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、上記のような自走式の移動容器とした場合であっても、特許文献２に記載のように、移動容器内部の放熱のために、大気と連通されたダクト部材を移動容器へ取り付ける必要がある。当技術分野では、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面は、真空排気可能な容器内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、を備え、前記移動容器は、前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、を有する。
【０００８】
上記構成の装置では、内部に空間部を有する移動容器が移動し、気体供給部の配置位置まで移動すると、移動容器に設けられた給気ユニットへ気体供給部から気体が供給され、供給された気体の圧力に応じて給気口から空間部へ気体が導入される。そして、空間部の気圧に応じて気体が排気ユニットから移動容器外へ排出される。このように、移動容器の移動経路上の所定位置においてのみ、空間部へ気体が供給されるとともに空間部の気体が排出される。このため、移動容器に排気ダクト等を固定で取り付けることなく移動容器の空間部の熱を放熱させることができる。よって、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【０００９】
ここで、前記気体供給部は、供給ノズルであり、前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第１管状部材を有し、前記供給ノズルの先端の軸線と前記第１管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第１管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、前記供給ノズル及び前記第１管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第１管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第１管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられていてもよい。このように構成することで、移動容器が所定位置へ移動した場合には、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズルから給気口に向けて適切に気体を供給することができるため、非接触状態で気体の受け渡しをすることが可能となる。
【００１０】
前記給気ユニットは、前記第１管状部材の内部に設けられた第１弁座と、前記第１弁座に前記空間部側から着座する第１弁体と、前記第１弁体を前記第１弁座に着座する方向に付勢する第１付勢手段と、を有してもよい。前記気体供給部は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で前記給気ユニットへ気体を供給してもよい。このように構成することで、気体供給部から供給された気体の気圧で第１弁体を開くことができる。そして、気体供給部から気体が供給されると、第１弁体が第１弁座から離れて空間部へ気体が流入し、気体供給部からの気体の供給を停止すると、第１弁体が第１弁座に着座して空間部への気体の流入が停止する。このように、気体の供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。
【００１１】
前記排気ユニットは、先端が前記排気口となる第２管状部材と、前記第２管状部材の内部に設けられた第２弁座と、前記第２弁座に前記空間部の外側から着座する第２弁体と、前記第２弁体を前記第２弁座に着座する方向に付勢する第２付勢手段と、を有してもよい。また、前記第２付勢手段は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で前記第２弁体を付勢してもよい。このように構成することで、気体供給部から気体が供給されると、第１弁体が第１弁座から離れて空間部へ気体が流入するとともに、第２弁体が第２弁座から離れて空間部から気体が流出する。このように、簡易な構成で真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００１２】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第１排気管を介して接続されており、前記気体供給部は、前記第１排気管と前記容器との接続箇所に配置されてもよい。このように構成することで、気体供給部から給気口へ供給された気体のうち空間部へ供給されなかった気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。
【００１３】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第２排気管を介して接続されており、前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第２排気管へ前記空間部の気体を排出してもよい。このように構成することで、空間部の気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。
【００１４】
前記移動容器は、直線状の案内レールに沿って移動可能に構成され、前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置されてもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態を簡易に実現することができる。
【００１５】
前記移動容器は、リニアモータを利用して移動してもよい。このように構成することで、移動容器と案内レールとの摩擦力を低減させて移動の効率を向上させることができる。
【００１６】
前記移動容器の内部には、前記移動容器に載置する駆動機構の電源もしくは前記移動容器の移動機構の電源である蓄電池、又は、前記駆動機構もしくは前記移動機構への電力を非接触で受電する受電部が配置されていてもよい。このように構成することで、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。
【００１７】
前記容器は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記処理室と連通されており、前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されていてもよい。移動容器が被搬送物の搬送のために必ず停止する位置に気体供給部を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。
【００１８】
前記移動容器の移動機構の動作及び前記気体供給部からの気体の流量を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御してもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が他方の先端を非接触で収容する状態となったタイミングで、供給ノズルから気体を放出させることができる。このため、容器内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部の熱を放熱することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の種々の側面・種々の実施形態によれば、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る搬送装置を備える成膜装置の構成ブロック図である。
【図２】実施形態に係る搬送装置が配置された第２搬送室の概要図である。
【図３】図２中の移動容器の概略斜視図である。
【図４】図２中の移動容器のガス給気ユニットを説明する断面図である。
【図５】図２中の移動容器のガス排気ユニットを説明する断面図である。
【図６】図２中の移動容器のガスの流れを説明する概要図である。
【図７】図１中の制御部の動作を説明するフローチャートである。
【図８】図２中の移動容器の移動位置を説明する概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る搬送装置１を備える成膜装置１００の構成ブロック図である。本実施形態に係る搬送装置１は、例えば、有機ＥＬ素子、太陽電池等のデバイスの一例である有機ＥＬ素子を製造する際に、採用されるものである。図１に示すように、成膜装置１００は、収容ボックス１０、第１搬送室１１、パージストレージ１２、ロードロック１３、第２搬送室１４、処理室１５及び制御部１６を備えている。
【００２３】
収容ボックス１０は、処理前の基板及び処理後のウェハ（被搬送物）を収容する。収容ボックス１０は、例えばロードポートに載置され、開閉ドア機構を介して第１搬送室１１と連通されている。第１搬送室１１は、大気と連通されており、その内部に搬送装置１の構成要素である搬送アームが配置されている。第１搬送室１１は、パージストレージ１２と連通されている。パージストレージ１２は、一時的にウェハを載置させる載置台を有し、処理後のウェハを一時的に収容する。さらに、第１搬送室１１は、例えば開閉可能なゲートバルブを介してロードロック１３と連通されている。ロードロック１３は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。ロードロック１３は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して第２搬送室１４と連通されている。第２搬送室１４は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。第２搬送室１４は、内部に搬送機構を備えている。第２搬送室１４は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して処理室１５と連通されている。処理室１５は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。処理室１５には、ドライエッチング、スパッタリング又はＣＶＤ等によりウェハを処理する処理機構が配置されている。制御部１６は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えるデバイスであって、第１搬送室１１に配置された搬送アーム及び第２搬送室に配置された搬送機構の動作を制御可能に構成されている。また、制御部１６は、ウェハを処理する際に必要なガスの流量やプラズマ用の電圧等を制御可能に構成されている。
【００２４】
上記構成の成膜装置１００では、収容ボックス１０内の処理前のウェハが、第１搬送室１１の搬送アームによって搬出されてロードロック１３へ搬入され、ロードロック１３内の処理前のウェハが、第２搬送室１４の搬送機構によって搬出されて処理室１５へ搬入される。そして、所定の処理工程を終了後、処理室１５内の処理後のウェハが、第２搬送室１４の搬送機構によって搬出されてロードロック１３へ搬入され、ロードロック１３内の処理後のウェハが、第１搬送室１１の搬送アームによって搬出されて、パージストレージ１２へ搬入される。一定期間後、第１搬送室１１の搬送アームによってパージストレージ１２から処理後のウェハが搬出されて、収容ボックス１０内へ搬入される。
【００２５】
成膜装置１００は、必要に応じて、複数の収容ボックス１０、複数のパージストレージ１２、複数のロードロック１３、複数の第２搬送室１４及び複数の処理室１５を備えてもよい。搬送装置１は、第２搬送室１４内に配置された構成要素及び制御部１６を備えて構成されている。
【００２６】
以下では、第２搬送室（真空容器）１４及び搬送装置１の詳細を説明する。図２は、第２搬送室１４の概略斜視図である。ここでは、成膜装置１００が、ロードロック１３を一つ、第２搬送室１４を一つ、処理室１５を複数備える場合を一例として説明する。図２に示すように、第２搬送室１４は、略長方形状の筐体内部に形成されている。第２搬送室１４は、ゲートバルブ１３ａを介してロードロック１３に接続されている。また、第２搬送室１４は、ゲートバルブ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを介して処理室１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄにそれぞれ接続されている。ロードロック１３及び処理室１５Ａ〜１５Ｄは、第２搬送室１４の長手方向に沿って順に並べて配置されている。なお、ロードロック１３及び処理室１５Ａ〜１５Ｄと第２搬送室１４を挟んで対向する位置に、ロードロック及び処理室がそれぞれ設けられてもよい。また、４つの処理室が接続されているが処理室の個数は何個でもよく、また、配置順や配置位置も適宜変更してもよい。
【００２７】
第２搬送室１４には、ウェハＷを搬送するロボットアーム（搬送ロボット）３０が配置されている。ロボットアーム３０は、例えば図中に示すように、２つのウェハを同時に搬送可能なアームであってもよいし、１つのウェハを搬送する多関節形状のアームであってもよい。ロボットアーム３０は、移動容器２０上に配置されており、移動容器２０とともに第２搬送室１４の長手方向にスライド移動可能に構成されている。第２搬送室１４には、図示しない真空ポンプに接続された排気管４０が設けられている。これにより、第２搬送室１４は真空排気可能に構成されている。排気管４０は、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出する際に移動容器２０が停止する位置近傍であって、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように、第２搬送室１４を画成する筐体の側壁に設けられている。以下では、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出する際に移動容器２０が停止する位置を給排気位置として説明する。
【００２８】
ここで、移動容器２０の詳細を説明する。図３は、移動容器２０の概略斜視図である。移動容器２０は、中空の略直方体状であって、第２搬送室１４の雰囲気と遮断された空間部が内部に形成されている。空間部の気圧は、大気圧である。空間部には、移動容器２０に載置されたロボットアーム３０の電源となる蓄電池２１が配置され、電力を外部から取り入れることなくロボットアーム３０を動作可能に構成されている。なお、空間部にロボットアーム３０の電力を非接触で受電する受電部が配置され、非接触給電可能な構成とされていてもよい。このように、移動容器２０は、電源系統が外部から独立に構成されている。
【００２９】
移動容器２０は、第２搬送室１４の長手方向に沿って配置された直線状の案内レール４１上にスライド移動可能に取り付けられている。移動容器２０は、例えばリニアモータを利用してスライド移動する。移動容器２０及び案内レール４１は、リニアモータの可動子と固定子とがそれぞれ設けられている。案内レール４１には、図示しないリニアモータの駆動機構が接続されている。リニアモータの駆動機構は、制御部１６に接続されている。これにより、制御部１６の信号によってリニアモータが駆動し、移動容器２０が図中の矢印に沿ってスライド移動する。
【００３０】
移動容器２０の側壁には、給気ユニット２２及び排気ユニット２３が取り付けられている。給気ユニット２２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、空間部へ気体を導入し、移動容器２０が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。排気ユニット２３は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、空間部内部から気体を排出し、移動容器２０が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。
【００３１】
排気管４０は、給気ユニット２２及び排気ユニット２３にそれぞれ対応する第１排気管４０ａ及び第２排気管４０ｂを備えている。給気ユニット２２に対応する第１排気管４０ａには、供給ノズル（気体供給部）４２が固定配置されている。供給ノズル４２は、図示しない供給弁及び気体供給源に接続されている。供給弁は制御部１６に接続され、所定のタイミングで開閉動作可能に構成されている。気体供給源から供給される気体は、例えばＮ２である。供給ノズル４２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、給気ユニット２２へ非接触で気体を送り込む。
【００３２】
ここで、給気ユニット２２の詳細を説明する。図４は、移動容器２０の給気ユニット２２を説明する概要断面図である。給気ユニット２２は、先端が給気口となる管状の本体部（第１管状部材）２２ａを有している。移動容器２０が給排気位置へ移動した場合に、本体部２２ａに対応する位置には第１排気管４０ａ及び供給ノズル４２が固定配置されている。第１排気管４０ａ及び供給ノズル４２は、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部２２ａの先端の軸線と第１排気管４０ａの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２２ａの先端側の内径は、第１排気管４０ａの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部２２ａは、第１排気管４０ａの先端側の内部に収容可能に構成されている。供給ノズル４２は、第１排気管４０ａと第２搬送室１４との接続箇所に配置されている。本体部２２ａの先端の軸線と供給ノズル４２の先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２２ａの先端側の内径は、供給ノズル４２の先端側の外径よりも大きく形成されている。これにより、本体部２２ａは、その内部に供給ノズル４２の先端を収容可能に構成されている。
【００３３】
給気ユニット２２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、空間部２０ｂへ気体を導入するように構成されている。例えば、給気ユニット２２は、本体部２２ａの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、給気ユニット２２は、第１弁座２２ｂ、第１弁体２２ｃ及びバネ部材（第１付勢手段）２２ｄを備えている。第１弁座２２ｂは、本体部２２ａの内部に設けられている。例えば、第１弁座２２ｂは、本体部２２ａ内部に配置され、本体部２２ａの内側へ向けて突出された突起部である。第１弁体２２ｃは、略円柱体形状であり、第１弁座２２ｂに空間部２０ｂ側から着座する。バネ部材２２ｄは、本体部２２ａ内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部２２ｅによって支持され、第１弁体２２ｃを第１弁座２２ｂに着座する方向に付勢する。
【００３４】
バネ部材２２ｄは、単位面積あたりに加える付勢力が大気圧よりも大きくなるように設定される。すなわち、付勢力として１［ｋｇ／ｃｍ２］＋αが設定される。αとしては、例えば０．１［ｋｇ／ｃｍ２］が用いられる。供給ノズル４２は、バネ部材２２ｄにより単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で給気ユニット２２へ気体を供給する。
【００３５】
上記構成において、移動容器２０が給排気位置へ移動すると、給気ユニット２２の本体部２２ａが第１排気管４０ａに挿入されるとともに、供給ノズル４２の先端が給気ユニット２２の本体部２２ａに挿入される。この状態で供給ノズル４２からＮ２ガスが供給される。Ｎ２ガスは、空間部２０ｂの内部へ向けて第１弁体２２ｃを押圧する。このため、第１弁体２２ｃは、第１弁座２２ｂから離れる方向へ移動する。これにより、Ｎ２ガスが空間部２０ｂへ導入される。なお、空間部２０ｂへ供給されずに漏れたＮ２ガスは、第１排気管４０ａから排気される。本体部２２ａと第１排気管４０ａとの隙間、本体部２２ａと供給ノズル４２との隙間を小さくすることで、漏れたＮ２ガスを第２搬送室１４へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器２０が給排気位置以外へ移動すると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂに着座して、空間部２０ｂと第２搬送室１４との雰囲気とが遮断される。
【００３６】
次に、排気ユニット２３の詳細を説明する。図５は、移動容器２０の排気ユニット２３を説明する概要断面図である。排気ユニット２３は、先端が排気口となる管状の本体部（第２管状部材）２３ａを有している。移動容器２０が給排気位置へ移動した場合に、本体部２２ａに対応する位置には第２排気管４０ｂが固定配置されている。第２排気管４０ｂは、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部２３ａの先端の軸線と第２排気管４０ｂの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２３ａの先端側の内径は、第２排気管４０ｂの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部２３ａは、第２排気管４０ｂの先端側の内部に収容可能に構成されている。
【００３７】
排気ユニット２３は、空間部２０ｂの内部の圧力に応じて、空間部２０ｂから気体を排出するように構成されている。例えば、排気ユニット２３は、本体部２３ａの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、排気ユニット２３は、第２弁座２３ｂ、第２弁体２３ｃ及びバネ部材（第２付勢手段）２３ｄを備えている。第２弁座２３ｂは、本体部２３ａの内部に設けられている。例えば、第２弁座２３ｂは、本体部２２ａの内側へ向けて突出された突出部である。第２弁体２３ｃは、略円柱体形状であり、第２弁座２３ｂに空間部２０ｂの外側から着座する。バネ部材２３ｄは、本体部２３ａ内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部２３ｅによって支持され、第２弁体２３ｃを第２弁座２３ｂに着座する方向に付勢する。
【００３８】
バネ部材２３ｄは、給気ユニット２２のバネ部材２２ｄにより単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で第２弁体２３ｃを付勢する。すなわち、付勢力として１［ｋｇ／ｃｍ２］＋αが設定される。αとしては、例えば０．１［ｋｇ／ｃｍ２］が用いられる。
【００３９】
上記構成において、移動容器２０が給排気位置へ移動し、給気ユニット２２からＮ２ガスが空間部２０ｂへ導入されると、空間部２０ｂの気圧が上昇し、空間部２０ｂの外側へ向けて第２弁体２３ｃを押圧する。このため、第２弁体２３ｃは、第２弁座２３ｂから離れる方向へ移動する。これにより、空間部２０ｂに配置された機器類による熱により温められたＮ２ガスが排出され、第２排気管４０ｂにより排気される。よって、空間部２０ｂの温度が低下する。なお、本体部２３ａと第２排気管４０ｂとの隙間を小さくすることで、Ｎ２ガスを第２搬送室１４へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器２０が給排気位置以外へ移動すると、第２弁体２３ｃが第２弁座２３ｂに着座して、空間部２０ｂと第２搬送室１４との雰囲気とが遮断される。
【００４０】
以上、図６に示すように、給気ユニット２２により空間部２０ｂへＮ２ガスが導入されることで、Ｎ２ガスが空間部２０ｂを旋回し空間部２０ｂに配置された機器から熱を奪い、排気ユニット２３により温められたＮ２ガスが排出される。これにより、空間部２０ｂの温度調整（放熱）を実現することができる。
【００４１】
次に、搬送装置１における給排気動作について説明する。図７は、本実施形態に係る搬送装置１の動作を説明するフローチャートである。図７に示す処理は、制御部１６により実行される。例えば、成膜装置１００の電源がＯＮされたタイミングから所定の間隔で繰り返し実行される。なお、説明理解の容易性を考慮して、図８を用いて処理を説明する。図８は、図２に示す装置の概略上面図であり、移動容器２０の移動位置を説明する概要図である。図８に示すように、移動容器２０は、第２搬送室１４内を位置Ｌ１〜位置Ｌ２まで移動可能に構成されている。なお、位置Ｌ１が給排気位置となる。また、図７の開始前には、供給ノズル４２に接続された供給弁が閉とされているものとする。
【００４２】
図７に示すように、制御部１６は、移動容器２０の停止位置判定から開始する（Ｓ１０）。例えば、制御部１６は、メモリに備わるウェハＷの処理スケジュールを参照し、ウェハＷの受け渡しタイミングを取得して、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するタイミングか否かを判定する。ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するタイミングであれば、移動容器２０が図８に示す給排気位置Ｌ１に位置していると判定することができる。Ｓ１０の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１に位置していないと判定した場合には、ガスを供給する必要がないので図７に示す制御処理を終了する。一方、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１に位置していると判定した場合には、ガス供給処理へ移行する（Ｓ１２）。
【００４３】
Ｓ１２の処理では、制御部１６が、供給ノズル４２に接続された供給弁を開とする。これにより、移動容器２０の空間部２０ｂに対してＮ２ガスの給排気が行われる。Ｓ１２の処理が終了すると、移動判定処理へ移行する（Ｓ１４）。
【００４４】
Ｓ１４の処理では、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動したか否かを判定する。Ｓ１４の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動していないと判定した場合には、再度Ｓ１２の処理へ移行する。これにより、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動するまで、Ｎ２ガスの給排気が続行される。一方、Ｓ１４の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動したと判定した場合には、ガス供給停止処理へ移行する（Ｓ１６）。
【００４５】
Ｓ１６の処理では、制御部１６が、供給ノズル４２に接続された供給弁を閉とする。これにより、供給ノズル４２からのガス供給が停止される。Ｓ１６の処理が終了すると、図７に示す制御処理を終了する。
【００４６】
以上で図７に示す制御処理を終了する。図７に示す制御処理を実行することで、制御部１６は、ロボットアーム３０によりロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するために移動容器２０を停止させたタイミングで、供給ノズル４２から給気ユニット２２へＮ２ガスを供給するように、Ｎ２ガスの流量を制御することができる。このため、第２搬送室１４の真空度を低下させることなく、移動容器２０の放熱を行うことが可能となる。
【００４７】
以上、本実施形態に係る搬送装置１によれば、内部に空間部２０ｂを有する移動容器２０が移動し、供給ノズル４２の配置位置まで移動すると、供給ノズル４２から供給されたＮ２ガスが、移動容器２０に設けられた給気ユニット２２へ供給され、供給されたＮ２ガスの圧力に応じて、給気口からＮ２ガスが空間部２０ｂへ導入される。そして、空間部２０ｂの気圧に応じてＮ２ガスが排気ユニット２３から移動容器２０の外へ排出される。このように、移動容器２０の移動経路上の給排気位置Ｌ１においてのみ、空間部２０ｂへＮ２ガスが供給されるとともに空間部２０ｂからＮ２ガスが排出される。このため、移動容器２０に排気ダクト等を固定で取り付けることなく、移動容器２０の空間部２０ｂからＮ２ガスを排気させることができる。よって、第２搬送室１４内を移動する移動容器２０の熱の放熱を、移動容器２０の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００４８】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、移動容器２０が給排気位置Ｌ１へ移動した場合には、給気ユニット２２の本体部２２ａが供給ノズル４２を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズル４２から給気口に向けて適切にＮ２ガスを供給することができる。このように、供給ノズル４２と供給ユニット２２とが接触することなく、Ｎ２ガスを移動容器２０の空間部２０ｂへ供給することが可能となる。
【００４９】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２から供給されたＮ２ガスの気圧で第１弁体２２ｃを開くことができる。そして、供給ノズル４２からＮ２ガスが供給されると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂから離れて空間部２０ｂへＮ２ガスが流入し、供給ノズル４２からＮ２ガスの供給を停止すると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂに着座して空間部２０ｂへのＮ２ガスの流入が停止する。このように、Ｎ２ガスの供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。すなわち、圧縮空気等のボンベを用いることなく大気雰囲気を維持することが可能となるため、簡易な構成とすることができる。
【００５０】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２からＮ２ガスが供給されると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂから離れて空間部２０ｂへＮ２ガスが流入するとともに、第２弁体２３ｃが第２弁座２３ｂから離れて空間部２０ｂからＮ２ガスが流出する。このように、リリーフバルブを用いた簡易な構成で、第２搬送室１４内を移動する移動容器２０内部の熱の放熱を、移動容器２０の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００５１】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２から給気口へ供給されたＮ２ガスのうち空間部２０ｂへ供給されなかったＮ２ガスを適切に排気することができる。このため、第２搬送室１４内の真空度の低下を抑制しつつ空間部２０ｂの放熱をすることが可能となる。
【００５２】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器２０において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。
【００５３】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、移動容器２０がウェハＷの搬送のために必ず停止する位置に供給ノズル４２を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。
【００５４】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、給排気のタイミングで供給ノズル４２からＮ２ガスを放出させることができる。このため、第２搬送室１４内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部２０ｂの放熱をすることが可能となる。
【００５５】
なお、上述した実施形態は搬送装置１の一例を示すものであり、実施形態に係る搬送装置１を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
【００５６】
例えば、上述した実施形態では、第２搬送室１４を真空排気するための排気管４０に供給ノズル４２を設ける場合を説明したが、排気管４０とは別の排気管を第２搬送室１４にさらに設けて、当該排気管に供給ノズル４２を設ける構成としてもよい。
【００５７】
また、上述した実施形態では、給気ユニット２２の本体部２２ａが供給ノズル４２を収容する例を説明したが、供給ノズル４２が給気ユニット２２の本体部２２ａを収容する場合であってもよい。
【００５８】
また、上述した実施形態では、空間部２０ｂには、ロボットアーム３０の駆動機構及び電源が配置されている例を説明したが、これに限られるものではなく、例えば、移動容器２０のリニアモータの可動子が配置されてもよいし、移動容器２０の移動機構の電源となる蓄電池を配置してもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１…搬送装置、１４…第２搬送室、１５，１５Ａ〜１５Ｄ…処理室、１６…制御部、２０…移動容器、２０ｂ…空間部、２１…蓄電池、２２…給気ユニット、２２ａ…本体部（第１管状部材）、２２ｂ…第１弁座、２２ｃ…第１弁体、２２ｄ…バネ部材（第１付勢手段）、２３…排気ユニット、２３ａ…本体部（第２管状部材）、２３ｂ…第２弁座、２３ｃ…第２弁体、２３ｄ…バネ部材（第２付勢手段）、３０…ロボットアーム（搬送ロボット）、４０…排気管、４０ａ…第１排気管、４０ｂ…第２排気管、４１…案内レール、４２…供給ノズル（気体供給部）。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体内で被搬送物を搬送する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空排気可能な筐体内で、半導体ウェハ等の被搬送物を搬送する装置が知られている（例えば特許文献１，２参照。）。特許文献１記載の装置では、搬送ロボットを搭載した基台が案内レールにスライド動作可能に取り付けられている。基台は、モータによって駆動するボールスクリューと螺合されることでスライド動作可能とされている。また、基台には、その内部が大気圧状態のフレキシブルアームが接続されており、搬送ロボットを駆動させるモータ等の配線がフレキシブルアーム内に収容されている。
【０００３】
特許文献２記載の装置では、被搬送物を載置するステージが移動部材を介してガイド部材にスライド動作可能に取り付けられている。移動部材とガイド部材とは磁石の反発力により互いに接触しないように維持されている。そして、ステージ内部には、処理容器内部の雰囲気と遮断された空間部が形成され、当該空間部と処理容器外部との雰囲気を連通させるダクト部材が設けられている。移動機構の配線はダクト部材に配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２７２０号公報
【特許文献２】ＷＯ２００８／０６６１０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、真空容器内の搬送装置にあっては、被搬送物の大型化や処理室の搭載数の増加に伴い、被搬送物をより長い距離移動させることが要求されている。これに対して、電力を非接触で受電する受電部やバッテリー等を移動容器の内部に収容することで、外部からの電源供給用の配線を不要とし、電源系を独立させた自走式の移動容器を採用することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、上記のような自走式の移動容器とした場合であっても、特許文献２に記載のように、移動容器内部の放熱のために、大気と連通されたダクト部材を移動容器へ取り付ける必要がある。当技術分野では、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面は、真空排気可能な容器内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、を備え、前記移動容器は、前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、を有する。
【０００８】
上記構成の装置では、内部に空間部を有する移動容器が移動し、気体供給部の配置位置まで移動すると、移動容器に設けられた給気ユニットへ気体供給部から気体が供給され、供給された気体の圧力に応じて給気口から空間部へ気体が導入される。そして、空間部の気圧に応じて気体が排気ユニットから移動容器外へ排出される。このように、移動容器の移動経路上の所定位置においてのみ、空間部へ気体が供給されるとともに空間部の気体が排出される。このため、移動容器に排気ダクト等を固定で取り付けることなく移動容器の空間部の熱を放熱させることができる。よって、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【０００９】
ここで、前記気体供給部は、供給ノズルであり、前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第１管状部材を有し、前記供給ノズルの先端の軸線と前記第１管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第１管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、前記供給ノズル及び前記第１管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第１管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第１管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられていてもよい。このように構成することで、移動容器が所定位置へ移動した場合には、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズルから給気口に向けて適切に気体を供給することができるため、非接触状態で気体の受け渡しをすることが可能となる。
【００１０】
前記給気ユニットは、前記第１管状部材の内部に設けられた第１弁座と、前記第１弁座に前記空間部側から着座する第１弁体と、前記第１弁体を前記第１弁座に着座する方向に付勢する第１付勢手段と、を有してもよい。前記気体供給部は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で前記給気ユニットへ気体を供給してもよい。このように構成することで、気体供給部から供給された気体の気圧で第１弁体を開くことができる。そして、気体供給部から気体が供給されると、第１弁体が第１弁座から離れて空間部へ気体が流入し、気体供給部からの気体の供給を停止すると、第１弁体が第１弁座に着座して空間部への気体の流入が停止する。このように、気体の供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。
【００１１】
前記排気ユニットは、先端が前記排気口となる第２管状部材と、前記第２管状部材の内部に設けられた第２弁座と、前記第２弁座に前記空間部の外側から着座する第２弁体と、前記第２弁体を前記第２弁座に着座する方向に付勢する第２付勢手段と、を有してもよい。また、前記第２付勢手段は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で前記第２弁体を付勢してもよい。このように構成することで、気体供給部から気体が供給されると、第１弁体が第１弁座から離れて空間部へ気体が流入するとともに、第２弁体が第２弁座から離れて空間部から気体が流出する。このように、簡易な構成で真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００１２】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第１排気管を介して接続されており、前記気体供給部は、前記第１排気管と前記容器との接続箇所に配置されてもよい。このように構成することで、気体供給部から給気口へ供給された気体のうち空間部へ供給されなかった気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。
【００１３】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第２排気管を介して接続されており、前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第２排気管へ前記空間部の気体を排出してもよい。このように構成することで、空間部の気体を適切に排気することができる。このため、容器内の真空度の低下を抑制しつつ空間部の放熱をすることが可能となる。
【００１４】
前記移動容器は、直線状の案内レールに沿って移動可能に構成され、前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置されてもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が、他方の先端を非接触で収容する状態を簡易に実現することができる。
【００１５】
前記移動容器は、リニアモータを利用して移動してもよい。このように構成することで、移動容器と案内レールとの摩擦力を低減させて移動の効率を向上させることができる。
【００１６】
前記移動容器の内部には、前記移動容器に載置する駆動機構の電源もしくは前記移動容器の移動機構の電源である蓄電池、又は、前記駆動機構もしくは前記移動機構への電力を非接触で受電する受電部が配置されていてもよい。このように構成することで、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。
【００１７】
前記容器は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記処理室と連通されており、前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されていてもよい。移動容器が被搬送物の搬送のために必ず停止する位置に気体供給部を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。
【００１８】
前記移動容器の移動機構の動作及び前記気体供給部からの気体の流量を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御してもよい。このように構成することで、供給ノズル及び菅状部材の何れか一方が他方の先端を非接触で収容する状態となったタイミングで、供給ノズルから気体を放出させることができる。このため、容器内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部の熱を放熱することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の種々の側面・種々の実施形態によれば、真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る搬送装置を備える成膜装置の構成ブロック図である。
【図２】実施形態に係る搬送装置が配置された第２搬送室の概要図である。
【図３】図２中の移動容器の概略斜視図である。
【図４】図２中の移動容器のガス給気ユニットを説明する断面図である。
【図５】図２中の移動容器のガス排気ユニットを説明する断面図である。
【図６】図２中の移動容器のガスの流れを説明する概要図である。
【図７】図１中の制御部の動作を説明するフローチャートである。
【図８】図２中の移動容器の移動位置を説明する概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、実施形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る搬送装置１を備える成膜装置１００の構成ブロック図である。本実施形態に係る搬送装置１は、例えば、有機ＥＬ素子、太陽電池等のデバイスの一例である有機ＥＬ素子を製造する際に、採用されるものである。図１に示すように、成膜装置１００は、収容ボックス１０、第１搬送室１１、パージストレージ１２、ロードロック１３、第２搬送室１４、処理室１５及び制御部１６を備えている。
【００２３】
収容ボックス１０は、処理前の基板及び処理後のウェハ（被搬送物）を収容する。収容ボックス１０は、例えばロードポートに載置され、開閉ドア機構を介して第１搬送室１１と連通されている。第１搬送室１１は、大気と連通されており、その内部に搬送装置１の構成要素である搬送アームが配置されている。第１搬送室１１は、パージストレージ１２と連通されている。パージストレージ１２は、一時的にウェハを載置させる載置台を有し、処理後のウェハを一時的に収容する。さらに、第１搬送室１１は、例えば開閉可能なゲートバルブを介してロードロック１３と連通されている。ロードロック１３は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。ロードロック１３は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して第２搬送室１４と連通されている。第２搬送室１４は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。第２搬送室１４は、内部に搬送機構を備えている。第２搬送室１４は、例えば開閉可能なゲートバルブを介して処理室１５と連通されている。処理室１５は、真空ポンプに接続されており、真空排気可能に構成されている。処理室１５には、ドライエッチング、スパッタリング又はＣＶＤ等によりウェハを処理する処理機構が配置されている。制御部１６は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えるデバイスであって、第１搬送室１１に配置された搬送アーム及び第２搬送室に配置された搬送機構の動作を制御可能に構成されている。また、制御部１６は、ウェハを処理する際に必要なガスの流量やプラズマ用の電圧等を制御可能に構成されている。
【００２４】
上記構成の成膜装置１００では、収容ボックス１０内の処理前のウェハが、第１搬送室１１の搬送アームによって搬出されてロードロック１３へ搬入され、ロードロック１３内の処理前のウェハが、第２搬送室１４の搬送機構によって搬出されて処理室１５へ搬入される。そして、所定の処理工程を終了後、処理室１５内の処理後のウェハが、第２搬送室１４の搬送機構によって搬出されてロードロック１３へ搬入され、ロードロック１３内の処理後のウェハが、第１搬送室１１の搬送アームによって搬出されて、パージストレージ１２へ搬入される。一定期間後、第１搬送室１１の搬送アームによってパージストレージ１２から処理後のウェハが搬出されて、収容ボックス１０内へ搬入される。
【００２５】
成膜装置１００は、必要に応じて、複数の収容ボックス１０、複数のパージストレージ１２、複数のロードロック１３、複数の第２搬送室１４及び複数の処理室１５を備えてもよい。搬送装置１は、第２搬送室１４内に配置された構成要素及び制御部１６を備えて構成されている。
【００２６】
以下では、第２搬送室（真空容器）１４及び搬送装置１の詳細を説明する。図２は、第２搬送室１４の概略斜視図である。ここでは、成膜装置１００が、ロードロック１３を一つ、第２搬送室１４を一つ、処理室１５を複数備える場合を一例として説明する。図２に示すように、第２搬送室１４は、略長方形状の筐体内部に形成されている。第２搬送室１４は、ゲートバルブ１３ａを介してロードロック１３に接続されている。また、第２搬送室１４は、ゲートバルブ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを介して処理室１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄにそれぞれ接続されている。ロードロック１３及び処理室１５Ａ〜１５Ｄは、第２搬送室１４の長手方向に沿って順に並べて配置されている。なお、ロードロック１３及び処理室１５Ａ〜１５Ｄと第２搬送室１４を挟んで対向する位置に、ロードロック及び処理室がそれぞれ設けられてもよい。また、４つの処理室が接続されているが処理室の個数は何個でもよく、また、配置順や配置位置も適宜変更してもよい。
【００２７】
第２搬送室１４には、ウェハＷを搬送するロボットアーム（搬送ロボット）３０が配置されている。ロボットアーム３０は、例えば図中に示すように、２つのウェハを同時に搬送可能なアームであってもよいし、１つのウェハを搬送する多関節形状のアームであってもよい。ロボットアーム３０は、移動容器２０上に配置されており、移動容器２０とともに第２搬送室１４の長手方向にスライド移動可能に構成されている。第２搬送室１４には、図示しない真空ポンプに接続された排気管４０が設けられている。これにより、第２搬送室１４は真空排気可能に構成されている。排気管４０は、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出する際に移動容器２０が停止する位置近傍であって、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように、第２搬送室１４を画成する筐体の側壁に設けられている。以下では、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出する際に移動容器２０が停止する位置を給排気位置として説明する。
【００２８】
ここで、移動容器２０の詳細を説明する。図３は、移動容器２０の概略斜視図である。移動容器２０は、中空の略直方体状であって、第２搬送室１４の雰囲気と遮断された空間部が内部に形成されている。空間部の気圧は、大気圧である。空間部には、移動容器２０に載置されたロボットアーム３０の電源となる蓄電池２１が配置され、電力を外部から取り入れることなくロボットアーム３０を動作可能に構成されている。なお、空間部にロボットアーム３０の電力を非接触で受電する受電部が配置され、非接触給電可能な構成とされていてもよい。このように、移動容器２０は、電源系統が外部から独立に構成されている。
【００２９】
移動容器２０は、第２搬送室１４の長手方向に沿って配置された直線状の案内レール４１上にスライド移動可能に取り付けられている。移動容器２０は、例えばリニアモータを利用してスライド移動する。移動容器２０及び案内レール４１は、リニアモータの可動子と固定子とがそれぞれ設けられている。案内レール４１には、図示しないリニアモータの駆動機構が接続されている。リニアモータの駆動機構は、制御部１６に接続されている。これにより、制御部１６の信号によってリニアモータが駆動し、移動容器２０が図中の矢印に沿ってスライド移動する。
【００３０】
移動容器２０の側壁には、給気ユニット２２及び排気ユニット２３が取り付けられている。給気ユニット２２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、空間部へ気体を導入し、移動容器２０が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。排気ユニット２３は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、空間部内部から気体を排出し、移動容器２０が給排気位置以外に位置する場合には、空間部の大気圧を維持する。
【００３１】
排気管４０は、給気ユニット２２及び排気ユニット２３にそれぞれ対応する第１排気管４０ａ及び第２排気管４０ｂを備えている。給気ユニット２２に対応する第１排気管４０ａには、供給ノズル（気体供給部）４２が固定配置されている。供給ノズル４２は、図示しない供給弁及び気体供給源に接続されている。供給弁は制御部１６に接続され、所定のタイミングで開閉動作可能に構成されている。気体供給源から供給される気体は、例えばＮ２である。供給ノズル４２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、給気ユニット２２へ非接触で気体を送り込む。
【００３２】
ここで、給気ユニット２２の詳細を説明する。図４は、移動容器２０の給気ユニット２２を説明する概要断面図である。給気ユニット２２は、先端が給気口となる管状の本体部（第１管状部材）２２ａを有している。移動容器２０が給排気位置へ移動した場合に、本体部２２ａに対応する位置には第１排気管４０ａ及び供給ノズル４２が固定配置されている。第１排気管４０ａ及び供給ノズル４２は、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部２２ａの先端の軸線と第１排気管４０ａの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２２ａの先端側の内径は、第１排気管４０ａの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部２２ａは、第１排気管４０ａの先端側の内部に収容可能に構成されている。供給ノズル４２は、第１排気管４０ａと第２搬送室１４との接続箇所に配置されている。本体部２２ａの先端の軸線と供給ノズル４２の先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２２ａの先端側の内径は、供給ノズル４２の先端側の外径よりも大きく形成されている。これにより、本体部２２ａは、その内部に供給ノズル４２の先端を収容可能に構成されている。
【００３３】
給気ユニット２２は、移動容器２０が給排気位置へ移動した際に、供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、空間部２０ｂへ気体を導入するように構成されている。例えば、給気ユニット２２は、本体部２２ａの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、給気ユニット２２は、第１弁座２２ｂ、第１弁体２２ｃ及びバネ部材（第１付勢手段）２２ｄを備えている。第１弁座２２ｂは、本体部２２ａの内部に設けられている。例えば、第１弁座２２ｂは、本体部２２ａ内部に配置され、本体部２２ａの内側へ向けて突出された突起部である。第１弁体２２ｃは、略円柱体形状であり、第１弁座２２ｂに空間部２０ｂ側から着座する。バネ部材２２ｄは、本体部２２ａ内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部２２ｅによって支持され、第１弁体２２ｃを第１弁座２２ｂに着座する方向に付勢する。
【００３４】
バネ部材２２ｄは、単位面積あたりに加える付勢力が大気圧よりも大きくなるように設定される。すなわち、付勢力として１［ｋｇ／ｃｍ２］＋αが設定される。αとしては、例えば０．１［ｋｇ／ｃｍ２］が用いられる。供給ノズル４２は、バネ部材２２ｄにより単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で給気ユニット２２へ気体を供給する。
【００３５】
上記構成において、移動容器２０が給排気位置へ移動すると、給気ユニット２２の本体部２２ａが第１排気管４０ａに挿入されるとともに、供給ノズル４２の先端が給気ユニット２２の本体部２２ａに挿入される。この状態で供給ノズル４２からＮ２ガスが供給される。Ｎ２ガスは、空間部２０ｂの内部へ向けて第１弁体２２ｃを押圧する。このため、第１弁体２２ｃは、第１弁座２２ｂから離れる方向へ移動する。これにより、Ｎ２ガスが空間部２０ｂへ導入される。なお、空間部２０ｂへ供給されずに漏れたＮ２ガスは、第１排気管４０ａから排気される。本体部２２ａと第１排気管４０ａとの隙間、本体部２２ａと供給ノズル４２との隙間を小さくすることで、漏れたＮ２ガスを第２搬送室１４へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器２０が給排気位置以外へ移動すると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂに着座して、空間部２０ｂと第２搬送室１４との雰囲気とが遮断される。
【００３６】
次に、排気ユニット２３の詳細を説明する。図５は、移動容器２０の排気ユニット２３を説明する概要断面図である。排気ユニット２３は、先端が排気口となる管状の本体部（第２管状部材）２３ａを有している。移動容器２０が給排気位置へ移動した場合に、本体部２２ａに対応する位置には第２排気管４０ｂが固定配置されている。第２排気管４０ｂは、移動容器２０の移動方向の正面に位置するように設けられている。本体部２３ａの先端の軸線と第２排気管４０ｂの先端の軸線は同一方向に延びている。また、本体部２３ａの先端側の内径は、第２排気管４０ｂの先端側の外径よりも小さく形成されている。これにより、本体部２３ａは、第２排気管４０ｂの先端側の内部に収容可能に構成されている。
【００３７】
排気ユニット２３は、空間部２０ｂの内部の圧力に応じて、空間部２０ｂから気体を排出するように構成されている。例えば、排気ユニット２３は、本体部２３ａの内部にリリーフバルブを備えている。すなわち、排気ユニット２３は、第２弁座２３ｂ、第２弁体２３ｃ及びバネ部材（第２付勢手段）２３ｄを備えている。第２弁座２３ｂは、本体部２３ａの内部に設けられている。例えば、第２弁座２３ｂは、本体部２２ａの内側へ向けて突出された突出部である。第２弁体２３ｃは、略円柱体形状であり、第２弁座２３ｂに空間部２０ｂの外側から着座する。バネ部材２３ｄは、本体部２３ａ内部に配置され、内側へ向けて突出された突起部２３ｅによって支持され、第２弁体２３ｃを第２弁座２３ｂに着座する方向に付勢する。
【００３８】
バネ部材２３ｄは、給気ユニット２２のバネ部材２２ｄにより単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で第２弁体２３ｃを付勢する。すなわち、付勢力として１［ｋｇ／ｃｍ２］＋αが設定される。αとしては、例えば０．１［ｋｇ／ｃｍ２］が用いられる。
【００３９】
上記構成において、移動容器２０が給排気位置へ移動し、給気ユニット２２からＮ２ガスが空間部２０ｂへ導入されると、空間部２０ｂの気圧が上昇し、空間部２０ｂの外側へ向けて第２弁体２３ｃを押圧する。このため、第２弁体２３ｃは、第２弁座２３ｂから離れる方向へ移動する。これにより、空間部２０ｂに配置された機器類による熱により温められたＮ２ガスが排出され、第２排気管４０ｂにより排気される。よって、空間部２０ｂの温度が低下する。なお、本体部２３ａと第２排気管４０ｂとの隙間を小さくすることで、Ｎ２ガスを第２搬送室１４へ拡散させることなく排気することができる。一方、移動容器２０が給排気位置以外へ移動すると、第２弁体２３ｃが第２弁座２３ｂに着座して、空間部２０ｂと第２搬送室１４との雰囲気とが遮断される。
【００４０】
以上、図６に示すように、給気ユニット２２により空間部２０ｂへＮ２ガスが導入されることで、Ｎ２ガスが空間部２０ｂを旋回し空間部２０ｂに配置された機器から熱を奪い、排気ユニット２３により温められたＮ２ガスが排出される。これにより、空間部２０ｂの温度調整（放熱）を実現することができる。
【００４１】
次に、搬送装置１における給排気動作について説明する。図７は、本実施形態に係る搬送装置１の動作を説明するフローチャートである。図７に示す処理は、制御部１６により実行される。例えば、成膜装置１００の電源がＯＮされたタイミングから所定の間隔で繰り返し実行される。なお、説明理解の容易性を考慮して、図８を用いて処理を説明する。図８は、図２に示す装置の概略上面図であり、移動容器２０の移動位置を説明する概要図である。図８に示すように、移動容器２０は、第２搬送室１４内を位置Ｌ１〜位置Ｌ２まで移動可能に構成されている。なお、位置Ｌ１が給排気位置となる。また、図７の開始前には、供給ノズル４２に接続された供給弁が閉とされているものとする。
【００４２】
図７に示すように、制御部１６は、移動容器２０の停止位置判定から開始する（Ｓ１０）。例えば、制御部１６は、メモリに備わるウェハＷの処理スケジュールを参照し、ウェハＷの受け渡しタイミングを取得して、ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するタイミングか否かを判定する。ロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するタイミングであれば、移動容器２０が図８に示す給排気位置Ｌ１に位置していると判定することができる。Ｓ１０の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１に位置していないと判定した場合には、ガスを供給する必要がないので図７に示す制御処理を終了する。一方、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１に位置していると判定した場合には、ガス供給処理へ移行する（Ｓ１２）。
【００４３】
Ｓ１２の処理では、制御部１６が、供給ノズル４２に接続された供給弁を開とする。これにより、移動容器２０の空間部２０ｂに対してＮ２ガスの給排気が行われる。Ｓ１２の処理が終了すると、移動判定処理へ移行する（Ｓ１４）。
【００４４】
Ｓ１４の処理では、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動したか否かを判定する。Ｓ１４の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動していないと判定した場合には、再度Ｓ１２の処理へ移行する。これにより、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動するまで、Ｎ２ガスの給排気が続行される。一方、Ｓ１４の処理において、制御部１６が、移動容器２０が給排気位置Ｌ１から移動したと判定した場合には、ガス供給停止処理へ移行する（Ｓ１６）。
【００４５】
Ｓ１６の処理では、制御部１６が、供給ノズル４２に接続された供給弁を閉とする。これにより、供給ノズル４２からのガス供給が停止される。Ｓ１６の処理が終了すると、図７に示す制御処理を終了する。
【００４６】
以上で図７に示す制御処理を終了する。図７に示す制御処理を実行することで、制御部１６は、ロボットアーム３０によりロードロック１３に対してウェハＷを搬入出するために移動容器２０を停止させたタイミングで、供給ノズル４２から給気ユニット２２へＮ２ガスを供給するように、Ｎ２ガスの流量を制御することができる。このため、第２搬送室１４の真空度を低下させることなく、移動容器２０の放熱を行うことが可能となる。
【００４７】
以上、本実施形態に係る搬送装置１によれば、内部に空間部２０ｂを有する移動容器２０が移動し、供給ノズル４２の配置位置まで移動すると、供給ノズル４２から供給されたＮ２ガスが、移動容器２０に設けられた給気ユニット２２へ供給され、供給されたＮ２ガスの圧力に応じて、給気口からＮ２ガスが空間部２０ｂへ導入される。そして、空間部２０ｂの気圧に応じてＮ２ガスが排気ユニット２３から移動容器２０の外へ排出される。このように、移動容器２０の移動経路上の給排気位置Ｌ１においてのみ、空間部２０ｂへＮ２ガスが供給されるとともに空間部２０ｂからＮ２ガスが排出される。このため、移動容器２０に排気ダクト等を固定で取り付けることなく、移動容器２０の空間部２０ｂからＮ２ガスを排気させることができる。よって、第２搬送室１４内を移動する移動容器２０の熱の放熱を、移動容器２０の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００４８】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、移動容器２０が給排気位置Ｌ１へ移動した場合には、給気ユニット２２の本体部２２ａが供給ノズル４２を非接触で収容する状態となる。このため、供給ノズル４２から給気口に向けて適切にＮ２ガスを供給することができる。このように、供給ノズル４２と供給ユニット２２とが接触することなく、Ｎ２ガスを移動容器２０の空間部２０ｂへ供給することが可能となる。
【００４９】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２から供給されたＮ２ガスの気圧で第１弁体２２ｃを開くことができる。そして、供給ノズル４２からＮ２ガスが供給されると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂから離れて空間部２０ｂへＮ２ガスが流入し、供給ノズル４２からＮ２ガスの供給を停止すると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂに着座して空間部２０ｂへのＮ２ガスの流入が停止する。このように、Ｎ２ガスの供給と大気雰囲気の維持を簡易な構成で実現することができる。すなわち、圧縮空気等のボンベを用いることなく大気雰囲気を維持することが可能となるため、簡易な構成とすることができる。
【００５０】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２からＮ２ガスが供給されると、第１弁体２２ｃが第１弁座２２ｂから離れて空間部２０ｂへＮ２ガスが流入するとともに、第２弁体２３ｃが第２弁座２３ｂから離れて空間部２０ｂからＮ２ガスが流出する。このように、リリーフバルブを用いた簡易な構成で、第２搬送室１４内を移動する移動容器２０内部の熱の放熱を、移動容器２０の移動を妨げることなく実現することが可能となる。
【００５１】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、供給ノズル４２から給気口へ供給されたＮ２ガスのうち空間部２０ｂへ供給されなかったＮ２ガスを適切に排気することができる。このため、第２搬送室１４内の真空度の低下を抑制しつつ空間部２０ｂの放熱をすることが可能となる。
【００５２】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、電源系統を内部に収容した自走式の移動容器２０において、電源系統によって発生した熱を適切に放出することができる。
【００５３】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、移動容器２０がウェハＷの搬送のために必ず停止する位置に供給ノズル４２を備えることで、既存の搬送動作中に放熱することができる。
【００５４】
また、本実施形態に係る搬送装置１によれば、給排気のタイミングで供給ノズル４２からＮ２ガスを放出させることができる。このため、第２搬送室１４内の真空度の低下を一層抑制しつつ空間部２０ｂの放熱をすることが可能となる。
【００５５】
なお、上述した実施形態は搬送装置１の一例を示すものであり、実施形態に係る搬送装置１を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
【００５６】
例えば、上述した実施形態では、第２搬送室１４を真空排気するための排気管４０に供給ノズル４２を設ける場合を説明したが、排気管４０とは別の排気管を第２搬送室１４にさらに設けて、当該排気管に供給ノズル４２を設ける構成としてもよい。
【００５７】
また、上述した実施形態では、給気ユニット２２の本体部２２ａが供給ノズル４２を収容する例を説明したが、供給ノズル４２が給気ユニット２２の本体部２２ａを収容する場合であってもよい。
【００５８】
また、上述した実施形態では、空間部２０ｂには、ロボットアーム３０の駆動機構及び電源が配置されている例を説明したが、これに限られるものではなく、例えば、移動容器２０のリニアモータの可動子が配置されてもよいし、移動容器２０の移動機構の電源となる蓄電池を配置してもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１…搬送装置、１４…第２搬送室、１５，１５Ａ〜１５Ｄ…処理室、１６…制御部、２０…移動容器、２０ｂ…空間部、２１…蓄電池、２２…給気ユニット、２２ａ…本体部（第１管状部材）、２２ｂ…第１弁座、２２ｃ…第１弁体、２２ｄ…バネ部材（第１付勢手段）、２３…排気ユニット、２３ａ…本体部（第２管状部材）、２３ｂ…第２弁座、２３ｃ…第２弁体、２３ｄ…バネ部材（第２付勢手段）、３０…ロボットアーム（搬送ロボット）、４０…排気管、４０ａ…第１排気管、４０ｂ…第２排気管、４１…案内レール、４２…供給ノズル（気体供給部）。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空排気可能な容器内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、
前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、
前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記移動容器は、
前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、
前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、
前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、
を有する搬送装置。
【請求項２】
前記気体供給部は、供給ノズルであり、
前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第１管状部材を有し、
前記供給ノズルの先端の軸線と前記第１管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第１管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、
前記供給ノズル及び前記第１管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第１管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第１管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記給気ユニットは、
前記第１管状部材の内部に設けられた第１弁座と、
前記第１弁座に前記空間部側から着座する第１弁体と、
前記第１弁体を前記第１弁座に着座する方向に付勢する第１付勢手段と、
を有する請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記気体供給部は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で前記給気ユニットへ気体を供給する請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記排気ユニットは、
先端が前記排気口となる第２管状部材と、
前記第２管状部材の内部に設けられた第２弁座と、
前記第２弁座に前記空間部の外側から着座する第２弁体と、
前記第２弁体を前記第２弁座に着座する方向に付勢する第２付勢手段と、
を有する請求項３又は４に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第２付勢手段は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で前記第２弁体を付勢する請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第１排気管を介して接続されており、
前記気体供給部は、前記第１排気管と前記容器との接続箇所に配置される請求項２〜６の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第２排気管を介して接続されており、
前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第２排気管へ前記空間部の気体を排出する請求項１〜７の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記移動容器は、直線状の案内レールに沿って移動可能に構成され、
前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置される請求項１〜８の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記移動容器は、リニアモータを利用して移動する請求項１〜９の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記移動容器の内部には、前記移動容器に載置する駆動機構の電源もしくは前記移動容器の移動機構の電源である蓄電池、又は、前記駆動機構もしくは前記移動機構への電力を非接触で受電する受電部が配置されている請求項１〜１０の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１２】
前記容器は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記処理室と連通されており、
前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、
前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されている請求項１〜１１の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記移動容器の移動機構の動作及び前記気体供給部からの気体の流量を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御する請求項１２に記載の搬送装置。
【請求項１】
真空排気可能な容器内で被搬送物を搬送する搬送装置であって、
前記容器内を移動可能に構成された移動容器と、
前記容器内に固定配置され、気体を供給する気体供給部と、
を備え、
前記移動容器は、
前記容器内の雰囲気と遮断された空間部と、
前記空間部に連通する給気口が設けられ、前記移動容器が所定位置へ移動した際に前記気体供給部から前記給気口に供給される気体の圧力に応じて、前記給気口から前記空間部へ気体を導入する給気ユニットと、
前記空間部に連通する排気口が設けられ、前記空間部の気圧に応じて前記空間部の気体を前記排気口から排出する排気ユニットと、
を有する搬送装置。
【請求項２】
前記気体供給部は、供給ノズルであり、
前記給気ユニットは、先端が前記給気口となる第１管状部材を有し、
前記供給ノズルの先端の軸線と前記第１管状部材の先端の軸線とが同一方向に延び、前記供給ノズル及び前記第１管状部材のうち一方の内径が他方の外径よりも大きく形成されており、
前記供給ノズル及び前記第１管状部材は、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第１管状部材の内部に前記供給ノズルが挿通されるように、又は、前記供給ノズルの内部に前記第１管状部材が挿通されるように、前記容器内及び前記移動容器にそれぞれ設けられている請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記給気ユニットは、
前記第１管状部材の内部に設けられた第１弁座と、
前記第１弁座に前記空間部側から着座する第１弁体と、
前記第１弁体を前記第１弁座に着座する方向に付勢する第１付勢手段と、
を有する請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記気体供給部は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力よりも大きい圧力で前記給気ユニットへ気体を供給する請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記排気ユニットは、
先端が前記排気口となる第２管状部材と、
前記第２管状部材の内部に設けられた第２弁座と、
前記第２弁座に前記空間部の外側から着座する第２弁体と、
前記第２弁体を前記第２弁座に着座する方向に付勢する第２付勢手段と、
を有する請求項３又は４に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第２付勢手段は、前記第１付勢手段により単位面積あたりに加わる付勢力と同一の大きさの付勢力で前記第２弁体を付勢する請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第１排気管を介して接続されており、
前記気体供給部は、前記第１排気管と前記容器との接続箇所に配置される請求項２〜６の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記容器は、前記容器内部を排気する真空ポンプと第２排気管を介して接続されており、
前記排気ユニットは、前記移動容器が所定位置へ移動した際に、前記第２排気管へ前記空間部の気体を排出する請求項１〜７の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記移動容器は、直線状の案内レールに沿って移動可能に構成され、
前記気体供給部は、前記移動容器の移動方向の正面に配置される請求項１〜８の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記移動容器は、リニアモータを利用して移動する請求項１〜９の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記移動容器の内部には、前記移動容器に載置する駆動機構の電源もしくは前記移動容器の移動機構の電源である蓄電池、又は、前記駆動機構もしくは前記移動機構への電力を非接触で受電する受電部が配置されている請求項１〜１０の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１２】
前記容器は、前記被搬送物を処理室へ搬入出するために設けられたロードロック、及び前記処理室と連通されており、
前記移動容器には、前記ロードロックと前記処理室との間で被搬送物を搬送する搬送ロボットが載置され、
前記気体供給部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器が停止する位置で、前記給気ユニットへ気体を供給するように配置されている請求項１〜１１の何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記移動容器の移動機構の動作及び前記気体供給部からの気体の流量を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記搬送ロボットにより前記ロードロックに対して前記被搬送物を搬入出するために前記移動容器を停止させたタイミングで、前記気体供給部から前記給気ユニットへ気体を供給するように流量を制御する請求項１２に記載の搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−７７７７３（Ｐ２０１３−７７７７３Ａ）
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１８０３２（Ｐ２０１１−２１８０３２）
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２５日（２０１３．４．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月３０日（２０１１．９．３０）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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