【課題】基体を処理するための処理システムの基体搬送装置において、搬送チャンバ内でのケーブル引き回し処理を不要とする。
【解決手段】基体搬送装置は、チャンバ壁１２、テーブル１４、リニアモータ搬送機構１６、光学窓１８、及び、レーザ計測器を備える。チャンバ壁は、搬送空間Ｓを画成する。テーブルは、搬送空間内に収容されている。当該テーブル上には基体を載置可能である。リニアモータ搬送機構は、搬送空間内においてリニアモータによりテーブルを移動させる。光学窓は、搬送空間と当該搬送空間の外部空間との間に設けられている。例えば、光学窓は、チャンバ壁に画成された開口を封止するように設けられる。レーザ計測器は、光学窓を介してテーブルに向けてレーザ光を照射し、テーブルからの反射光を受けて、テーブルの位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内を移動する移動容器内部の放熱を、移動容器の移動を妨げることなく実現する。
【解決手段】真空排気可能な第２搬送室１４内で被搬送物を搬送する搬送装置１であって、第２搬送室１４内を移動可能に構成された移動容器２０と、第２搬送室１４内に固定配置され気体を供給する供給ノズル４２と、を備え、移動容器２０は、容器内の雰囲気と遮断された空間部２０ｂと、空間部２０ｂに連通する給気口が設けられ、移動容器２０が所定位置へ移動した際に供給ノズル４２から給気口に供給される気体の圧力に応じて、給気口から空間部２０ｂへ気体を導入する給気ユニット２２と、空間部２０ｂに連通する排気口が設けられ、空間部２０ｂの気圧に応じて空間部２０ｂの気体を排気口から排出する排気ユニット２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板ステージ上の基板の搬出を迅速に行う。
【解決手段】 基板ホルダ３０ａには、基板Ｐの搬送に用いられる基板トレイ４０ａを収容するＸ溝３１ｘが形成されている。また、Ｘ溝３１ｘ内には、基板トレイ４０ａを押圧して基板トレイ４０ａと共に基板Ｐを移動させる基板搬出装置７０ａが設けられている。このため、基板Ｐに対する露光処理が終了した後、基板Ｐの交換のために基板ステージ２０ａを基板交換位置に位置させる前に基板Ｐの搬出動作を開始することができる。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。
【解決手段】浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。真ん中のステージブロックＳＢ_Bには、搬送方向（Ｘ方向）の両端部に専ら噴出口１２を多数配設した突き上げ浮上領域Ｍ_P，Ｍ_Qが局所的に搭載されるとともに、それらの間に噴出口１２と吸引口１４とを混在して多数配設した精密浮上領域Ｍ_CTが搭載される。また、右端の搬出用ステージブロックＳＢ_Cには、専ら噴出口１２を多数配設した第２のラフ浮上領域Ｍ_OUTが搭載される。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける基板の浮上高や姿勢を最適化しつつ、浮上用高圧気体の消費効率を改善すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置における浮上ステージ１０は、搬送方向において塗布領域Ｍ_CTの前後に延びる搬入領域Ｍ_INおよび搬出領域Ｍ_OUTの浮上面をそれぞれ多数の浮上エリアに区画している。これらの浮上面には多数の噴出口１２配置されている。各々の浮上エリアにおける高圧気体の噴出圧力は噴出圧力制御部により独立に可変ないしオン・オフ制御されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】ステータ表面と永久磁石表面の間隔を縮小してリニアモータ効率を向上することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】永久磁石５２と駆動磁石５０の間に配置され、永久磁石５２が配置されている空間を真空雰囲気に、駆動磁石５０が配置されている空間を大気圧雰囲気に隔てる真空隔壁５５は、永久磁石５２側の表面がフラットに形成された上板部５９ａと、上板部５９ａの縁に気密に連結される第２側壁部５９ｃと、第２側壁部５９ｃが対向して配置された部分に架け渡されるとともに上板部５９ａの大気圧雰囲気側に一体に設けられ、上板部５９ａのたわみを抑えるための複数のリブ６１を有している。このため、真空隔壁５５の最大たわみ量を小さくすることができ、永久磁石５２と駆動磁石５０の距離を縮めることができる。 （もっと読む）

【課題】高温の基板を冷却する際に、基板と基板支持部との摩擦により生じる傷を抑制することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置を、基板に熱処理を施す処理室と、前記処理室に接続され基板を搬送する基板搬送装置を備える搬送室と、前記搬送室に接続され前記処理室で熱処理された基板を冷却する冷却室とを備えるように構成し、さらに、前記冷却室内には、基板を支持するための基板支持部を備え、前記熱処理された基板を基板支持部で支持して冷却する際に、前記基板支持部により基板裏面に形成される傷の長さが０．２５ｍｍ以下となるように、前記基板支持部が基板裏面の３ヶ所以上の位置を支持するように構成する。 （もっと読む）

【課題】基板支持装置上に載置された基板の位置を修正する。
【解決手段】 基板Ｐは、基板トレイ９０上に載置された状態で基板搬入装置８０により搬送される。基板搬入装置８０は、搬送時における基板Ｐの移動経路上に基板ＰのＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びθｚ方向に関する位置情報を計測する基板位置検出装置を有し、その計測結果に基づいて押圧装置８８ａ、８９ａ、８８ｂ、８９ｂを用いて基板トレイ９０上で基板Ｐの位置調整（アライメント）を行う。この際、基板トレイ９０は、基板Ｐの下面に対して加圧気体を噴出し、該基板Ｐを浮上支持する。 （もっと読む）

【課題】充分な保持剛性で基板を浮上保持すると共に省スペース化を可能とする。
【解決手段】エア浮上ユニット５０は、ベース５１の盤面５１ａ上でエアを吹出及び吸引することで基板を浮上保持する。ベース４１は、盤面５１ａに形成されエアを噴き出すための複数の噴出孔５２と、盤面５１ａに形成されエアを吸引するための複数の吸引孔５３と、ベース５１の内部にて水平方向に延在するように設けられ噴出孔５２から噴き出すエアを流通させて該エアの圧力を損失させるための圧損回路５４と、を備えている。ここで、圧損回路５４は、水平方向に曲がる曲がり部６４を有しており、水平方向に曲がりくねるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】１装置当たりの処理能力を増加する基板搬送装置。
【解決手段】半導体加工部品処理装置は第１チャンバと、搬送ビークルと、他のチャンバとを有している。第１チャンバは外部環境から隔離されることが可能である。搬送ビークルは第１チャンバ内に位置しており、第１チャンバから移動自在に支持されており、第１チャンバに対して直線状運動する。搬送ビークルはベースと、該ベースに運動自在に取り付けられて、該ベースに対して多アクセス運動が可能な統合した半導体加工部品移送アームとを有している。他のチャンバは第１チャンバに第１チャンバの閉鎖自在な開口部を介して連通自在に接続されている。開口部は搬送ビークルが第１チャンバと他のチャンバとの間で開口部を介して通行可能な大きさを有している。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームを構成する部材に、高いアライメント精度を要求することなく、その動作を実現することができるロボットアーム及びこれを用いた搬送装置を提供すること。
【解決手段】ガイド機構１０は、上述のガイド軸１５と、これらガイド軸１５の動きをガイドする部材としてガイドプレート１６とを備えている。ガイドプレート１６には、ガイド軸１５が挿通されるガイド穴１７ａを形成するためのガイド穴形成部材１７が固定されている。ガイド穴１７ａは、一方向であるＸ軸方向に長い形状に形成され、ガイドプレート１６をベースとしてガイド軸１５がＸ軸方向に移動するようにそれの動きをガイドする。軸受ローラ１８の外周面１８ａと、ガイド穴形成部材１７の内側壁１７ｂとの間には隙間Ｑが設けられている。これにより、実質的に重力方向でガイド軸１５の自由度を維持でき、ガイド軸１５及び軸受ローラ１８のＹ軸方向の動きの自由度も確保される。 （もっと読む）

【課題】搬送システムの設置作業を簡易化する。
【解決手段】容器Ｆの下面には位置決め用の穴が形成されている。製造装置上の載置ポートには容器Ｆ側の位置決め穴に対応する位置決め突起が形成されている。搬送台車２００から容器Ｆを載置ポート上に載置する際は、載置ポートの位置決め突起を位置決め穴にはめ込むことで、容器Ｆの載置位置を規定する。保管装置３００には、製造装置の載置ポートとは異なる載置ポートが設けられている。この載置ポートには位置決め突起が設けられておらず、上面に滑り止め部材３１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】テーブルが軽量化及び小型化され、テーブルの緊急停止時に、位置制御や速度制御などの制御駆動機能に依存せずに、強い制動力を有する位置決め装置を提供する。
【解決手段】定盤２上の駆動領域内でテーブル１を駆動するモータ１２と、テーブル１の位置を検出する位置検出器３と、モータ１２を制御する制御部３０とを備え、テーブル１を位置決めする位置決め装置であって、制御部３０は、位置検出器３の出力に基づいて、テーブル１の位置を制御するための電流を出力する第１出力部７、８ａ、８ｄと、駆動領域の中心に向かう推力をテーブル１に付与するための電流を出力する第２出力部１６ａ、１６ｄと、テーブル１を停止させるための停止信号に基づいて、第１出力部７、８ａ、８ｄの出力に応じてモータ１２が制御される状態から、第２出力部１６ａ、１６ｄの出力に応じてモータ１２が制御される状態に切り替える切替部１０ａ、１０ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】基板処理システムの構成を簡素化しつつ、処理チャンバ内の載置台に対して基板を所定位置に高精度かつ迅速に搬送する。
【解決手段】基板処理システムは、搬送装置３２による基板の搬送や、処理装置２３における基板の処理の制御を行う制御装置１００を有している。制御装置１００のレシピ設定部１０１では、処理レシピの設定を行う。記憶部１０２は、搬送アームの初期基準位置と、処理レシピと処理チャンバの側壁温度との第１の相関と、処理チャンバの側壁温度と基準位置の補正値との第２の相関とが記憶されている。補正部１０３では、レシピ設定部１０１で設定された処理レシピと、記憶部１０２に記憶された初期基準位置、第１の相関及び第２の相関に基づいて、搬送アームの基準位置が補正される。 （もっと読む）

搬送装置の駆動システムは、搬送装置に接続されている複数の永久マグネット、複数の永久マグネットの少なくとも１つの磁界に曝されている複数の固定巻線、固定巻線に電圧を加えて搬送装置に磁力をもたらす制御システム、及び搬送装置の浮揚、ピッチ及びロールの受動的安定化を提供するための搬送装置の少なくとも一側部に近接している強磁性コンポーネントの配列を含んでいる。
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【課題】ウエハキャリア駆動装置およびそれを動作させるための方法
【解決手段】駆動レールは、密封内部空洞と、駆動レールの長手方向に沿って伸びる外側駆動表面とを含む。内部空洞内に、外側駆動表面のちょうど反対側で内部空洞の表面に隣接して第１の磁気部材が配置される。内部空洞内に、第１の磁気部材に関連して駆動メカニズムが配置され、該駆動メカニズムは、第１の磁気部材が外側駆動表面のちょうど反対側にあり続けるように、第１の磁気部材を内部空洞内において駆動レールの長手方向に沿って移動させるように構成される。第１の磁気部材は、外側駆動表面に隣接して配置されたウエハキャリアに外側駆動表面を通じて磁気的に結合するように構成される。内部空洞内における駆動レールに沿った第１の磁気部材の移動は、外側駆動表面に沿ったウエハキャリアの対応する移動を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】システム内の基板キャリアの移動を改善する磁気コンジット構成を有する基板処理システムを提供する。
【解決手段】本構成では、具体的には磁気コンジットを使用してリニアモータによって生み出される磁力の方向を変え、キャリアの移動を妨げないシステム外部の位置にリニアモータを配置することを可能にすることにより、基板処理システム内の複数のレベル間でキャリアを安全且つ安定した状態で移動させることが可能となる。 （もっと読む）

コントローラと、可動部と搬送経路とを有し前記コントローラと連通するワークピース搬送機と、前記可動部に固着した少なくとも１つの界生成プラテンと、搬送経路に沿って配置されコントローラと連通する少なくとも１つのセンサ群とを含み、前記界生成プラテンが位置計測とともに可動部を推進させるように構成される多次元測位装置とを備える装置であって、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサは、少なくとも１つの界生成プラテンで発生させる検知界内の単軸に沿ったばらつきに対応する１つのみの出力信号を提供するように構成され、前記コントローラは、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサに隣接した前記可動部の多次元位置を、前記の少なくとも１つのセンサ群内の少なくとも１つのセンサの前記１つのみの出力信号に基づいて、多次元位置には、少なくとも平面位置と、ワークピース搬送機と少なくとも１つの前記センサ群との間のギャップとを含めて算出するよう構成されている装置。
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【目的】半導体製造装置の位置決め装置において、高速・高精度な位置決めが実現できる移動体を提供すること。
【構成】位置決め装置の移動体である天板をＳｉＣのコンポジット材からなる一体中空構造体で構成し、軽量、高強度、高剛性を実現する。この中空構造体には、電磁継ぎ手やローレンツ力アクチュエータによって、制御特性に優れたステージ装置を実現する。さらに、中空構造体を製作する時、内部に粉体を入れて、ラップ加工することにより、ラップ面の面圧が均一になり高い面精度が実現する。 （もっと読む）

【課題】ガイドローラー等の機械的な案内機構を用いずに曲線的な走路に沿って浮上搬送し、搬送経路を周囲条件に合わせて柔軟に設定可能にするとともに、案内機構からの発塵及び案内機構と被搬送物との接触によるロスの発生等の歩留り低下の要因を除去する。
【解決手段】多孔質材の走路１に空気供給路３から空気圧を供し上面及び両側面から一様に空気を出し、走路１に跨座したキャリヤー２の滑り面４と走路面との間に発生する空気の静圧でキャリヤー２を浮上させる。曲線走路に沿った浮上搬送を実現するため、キャリヤー滑り面４は、滑らかで走路表面の曲率に倣って柔軟に変形する部材、及び走路面に垂直方向の柔軟な変形が可能で且つ適度のバネ性を備えた部材を重ねて組み合せて構成する。搬送は搬送対象物９を搭載した搬送テーブル１１を前後から走路に沿い案内することにより、曲線走路に沿った非接触的な浮上搬送を実現する。 （もっと読む）