【課題】現実の光ファイバの劣化に即して交換寿命を報知し、経済性と安定作動の確保とを両立可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明の態様は、ファイバ光増幅器２２３を有するレーザ光出力部と、波長変換光学素子３４を有する波長変換部とを備えたレーザ装置である。レーザ装置ＬＳは、ファイバ光増幅器２２３の励起光のパワーを検出して第１検出信号Ｐａを出力する励起光検出器６１と、波長変換光学素子に入射させるべき偏光方向の光の強度等を検出して第２検出信号Ｐｂを出力するｓ偏光検出器６２と、ファイバ光増幅器２２３の作動状態を判断するＦＡ判断部６８とを備える。ＦＡ判断部６８は、第１検出信号Ｐａの変化量に対する第２検出信号Ｐｂの変化量（ｄＰｂ）／（ｄＰａ）が寿命基準値以下になったときに、寿命判定信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の安定性と制御性とを向上する。
【解決手段】チャンバ装置は、レーザ装置３と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ装置３から出力されるレーザ光３１を内部に導入するための少なくとも１の入射口が設けられたチャンバ２と、前記レーザ装置３から出力される前記レーザ光３１のビーム断面を拡大する拡大光学系５０と、ビーム断面が拡大された前記レーザ光３１を集光する集光光学系２２と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ワークがひずんでいる場合でもワークの被露光領域に応じてマスクのパターンを精度良く露光転写することができる露光装置及び露光方法。
【解決手段】アライメント検出系で検出された両アライメントマークのずれ量に基づいて、マスクとワークの位置ずれ量とワークのひずみ量とを算出し、算出された位置ずれ量に基づいて、アライメントを調整し、算出されたひずみ量に基づいて、平面ミラー６６の曲率を補正する。曲率補正は、複数のレーザーポインタ９１から平面ミラー６６の裏面に複数のレーザー光Ｌを照射し、平面ミラー６６の裏面にて反射した複数のレーザー光Ｌが集光ミラー群９６で反射して反射板９２に投影され、該反射板９２に映りこんだ複数のレーザー光Ｌをカメラ９３によって撮像する。平面ミラー６６の曲率を補正した際に撮像されるレーザー光の変位量を検出し、該変位量が算出されたひずみ量と対応するように曲率補正する。 （もっと読む）

【課題】現像処理後のレジスト残膜の均一性を向上し、配線パターンの線幅及びピッチのばらつきを抑制する。
【解決手段】被処理基板Ｇに形成された感光膜を複数の大ブロックＢ１に分割し、前記大ブロックを複数の小ブロックＢ２に分割するステップと、前記大ブロック内の小ブロック毎に、段階的に異なる照射照度を設定するステップと、複数の発光素子Ｌに対し相対的に移動する前記基板の感光膜に対し、前記小ブロック毎に設定された照射照度に基づき、前記発光素子を発光制御するステップと、前記感光膜を現像処理するステップと、前記小ブロック毎に、前記感光膜の残膜厚を測定し、前記小ブロックに設定された照度と残膜厚との相関データを得るステップと、前記相関データに基づき前記大ブロック毎に設定された感光膜の目標残膜厚から、各大ブロックに照射する必要照度を求めるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、カセット８１には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材１０１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持するカセット８１とを備え、複数のカセット８１が配設された支持体８２の前面側の４隅には、支持体８２に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する支持体用緩衝部材８８が配置されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃が作用したとき、少ないスペースで効果的にランプ及びカバーガラスの損傷を防止することができる露光装置用光照射装置を提供する。
【解決手段】複数の光源部７３と、複数の光源部７３を支持する略矩形状のカセット８１とを備え、光源部７３には、カセット８１に加わる衝撃力を吸収して光源部７３に作用する衝撃力を緩和する緩衝部材８８、８９が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 放物トーリック形状の回転体で構成されたミラーを用いた場合でも、結像性能を低下させない照明光学系を提供する。
【解決手段】 照明光学系は、被照明面のフーリエ変換面又はその近傍に配置された開口絞りと、前記開口絞りと前記被照明面との間に配置され、放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とするミラーと、を備える。形状の面積をＳ、該形状の周囲長をＬとし（４πＳ／Ｌ^２）で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、前記開口絞りの形状は、前記ミラーよりも前記被照明面側であって前記被照明面とフーリエ変換の関係である面における光強度分布の外形形状を０．８以上の円形度とする形状に定められる。 （もっと読む）

【課題】凹面鏡の設置時に凹面鏡が破損するのを防止する。
【解決手段】露光光照射装置３０は、凹面鏡３７の裏面を支持する支持台５１と、支持台５１に取り付けられて凹面鏡３７の表面の縁を支持する複数の支持機構６０とを有する凹面鏡支持装置５０を備える。支持台５１は、直径が凹面鏡３７の寸法より小さな丸穴５２を有し、丸穴５２の縁（支持部５３）で凹面鏡３７の裏面に接触して凹面鏡３７の裏面を支持する。複数の支持機構６０は、凹面鏡３７の表面の縁を支持する支持部材６７と、支持部材６７を移動する移動部材６３と、移動部材６３を支持台５１の方向へ付勢する付勢手段（引張コイルバネ６９）とを有し、付勢手段により支持部材６７を凹面鏡３７の表面の縁に押し付けて凹面鏡３７の表面の縁を支持する。 （もっと読む）

【課題】 複数個のＬＥＤ光源の放射光を合成して出射する構成のものにおいて、複数のピーク波長を有する連続した広範囲の波長範囲の光を出射することができると共に高い輝度を得ることのできる光源装置を提供すること。
【解決手段】 この光源装置は、ピーク波長が互いに近接する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源と、第１のＬＥＤ光源から放射された放射光と、第２のＬＥＤ光源から放射された放射光を合成するダイクロイックミラーとを有し、前記ダイクロイックミラーは、前記第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、前記第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】 複数個のＬＥＤ光源の放射光を合成して出射する構成のものにおいて、複数のピーク波長を有する連続した広範囲の波長範囲の光を出射することができると共に高い輝度を得ることのできる光源装置を提供すること。
【解決手段】 この光源装置は、ピーク波長が互いに異なる３つ以上のＬＥＤ光源の各々の放射光を合成して出射するものにおいて、第１のＬＥＤ光源からの放射光および第２のＬＥＤ光源からの放射光を合成する第１のダイクロイックミラーと、第１のダイクロイックミラーによる合成光および第３のＬＥＤ光源からの放射光を合成する第２のダイクロイックミラーとを有し、第２のダイクロイックミラーは、第１のダイクロイックミラーにより得られる合成光を反射すると共に第３のＬＥＤ光源からの放射光を透過して合成光を得るものである。 （もっと読む）

【課題】 光源から射出された光の強度分布を平滑化して露光装置本体の光取入口へ入射させることのできる伝送光学系。
【解決手段】 光源の光出力口から射出されたほぼ平行光束状態の光を露光装置本体の光取入口まで導いて該光取入口へほぼ平行光束状態で入射させる伝送光学系は、光出力口と光取入口とを光学的にフーリエ変換の関係にする集光光学系と、光出力口と集光光学系との間の光路中に配置されて、入射光束の角度分布の範囲よりも大きい範囲の角度分布を射出光束に付与する角度分布付与素子とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ランプを過冷却にすることなく、集光鏡に対して十分な冷却風を供給できる構造を実現すること
【解決手段】 ランプと、このランプからの光を反射する曲面の反射面を有する集光鏡と、この集光鏡を上向きに支持する集光鏡支持機構と、ランプと集光鏡を冷却する冷却風を取り入れる冷却風取入れ口ランプと集光鏡を冷却した後の冷却風を排気する冷却風排気口とを備えた光照射装置において、集光鏡支持機構は、集光鏡を裏面側から集光鏡の曲面に対して法線方向に弾性体により持上げる支持棒を設けた複数個の支持体と、支持体を取り付けられるフレームと、集光鏡の光出射口の周縁が押付けられる集光鏡押さえ板を備える。集光鏡の光出射口の周縁は、集光鏡押さえ板の開口とこの開口の周辺に形成した通風孔との間に押付ける。 （もっと読む）

【課題】光源装置において光を集光するために用いられるミラー装置において、温度調節機構からミラー基板に力が加わっても、ミラーの歪みを発生しにくくする。
【解決手段】ミラー装置は、一方の面に反射層が形成され、内部に温度調節媒体のための少なくとも１つの流路が形成されたミラー基板と、ミラー基板を複数の位置においてそれぞれ支持する複数の支持部と、ミラー基板が複数の支持部によって支持される複数の位置の内の少なくとも１つの位置の近傍において少なくとも１つの流路に接続された少なくとも１つの供給配管及び少なくとも１つの排出配管とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光取出部に形成するガスカーテンのガスの供給量を少なくし、ＥＵＶ光源装置および露光機内の圧力に与える影響を極力小さくすること。
【解決手段】放電部１により放出されるＥＵＶ光は、ＥＵＶ集光鏡２により集光され、ＥＵＶ光取出部４の開口より露光機筐体３０内の露光機３１へ導かれる。ＥＵＶ光源装置１０において発生したデブリが露光機３１に進入することを防ぐため、ＥＵＶ光取出部４にガスの導入口２２と排気口２３と設け、ＥＵＶ光取出部４を横切るように、ガス流してガスカーテンを形成する。露光を行っていない時には、ＥＵＶ光源装置はパルス状の放電により光を放射する動作（バースト動作）を停止しており、この期間には、ガスカーテンを形成するガスの供給を行わないか供給量を減らす。これにより、ストップガスの量を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプ表面温度を規定温度範囲内に収める管理を可能としたことでランプの長寿命化を実現する。
【解決手段】ランプハウス１０内に、紫外線を放射される紫外線ランプ１３を主に構成するランプユニット部１１とランプユニット部１１から放射される紫外線が照射される照射部１２が構成される。さらに、紫外線ランプ１３と反射板１７１，１７２との間には耐熱性の紫外線透過ガラス板２７２，２７２を設置した。紫外線透過ガラス板２７１，２７２が紫外線ランプ１３に対して風量を増やす作用を生かしてランプ温度の管理を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】光の反射効率が高く、製造プロセスが簡便な空間光変調素子を提供する。
【解決手段】空間光変調素子の製造方法であって、電極が形成された電極側基板を準備するステップと、電極との間の静電力により可動する可動部、可動部の動きに連れて傾斜する反射鏡および可動部を支持する支持部を有する可動側基板を準備するステップと、可動側基板の支持部を電極側基板に貼り合わせるステップとを備える製造方法が提供される。可動側基板を準備するステップは、基板本体を準備するステップと、基板本体の一面をエッチングすることにより可動部を形成するステップと、可動部上に反射鏡を成膜するステップと、基板本体に他面をエッチングすることにより支持部を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】紫外光を検出するセンサーの劣化を抑えるとともに、制御系統を増やすことなく照度分布のフィードバック制御の実現を図る。
【解決手段】ランプハウス１１内に配置された紫外光を発する無電極ランプ１２から照射される紫外光を、開口２２２を介してランプハウス１１外に放射させる。開口２２２は、シャッター２４で開閉可能となる。シャッター２４の先端には紫外光の照度を検出するためのセンサー２５が取着され、シャッター２４の開閉に伴い照度の検出を行う。この検出結果に基づきランプ１２の照度を調整するようにした。センサー２４未使用時には紫外光が照射されないように、遮蔽板２６１，２６２を配置する。これにより、紫外光を検出するセンサーの劣化を抑えるとともに、制御系統を増やすことなく照度分布のフィードバック制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】特殊な光源を用いず、通常の超高圧水銀灯の放電管やレーザー光源を用いつつ、照明効率が良い照明光学系を提供する。
【解決手段】光源１８から導入した光を照射対象物に照射する照明光学系１０であって、照射対象物と共役な面１４に入射した光の一部を取得し、該取得した光を照射対象物と共役な面１４に再度導く循環光学系１７を有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置の光源画像を簡潔な方法で生成する。
【解決手段】照明光をマスクに導く照明光学系を有する露光装置において、照明光学系に入射する入射光に求められた照度分布が形成されるように、光源から入射した照明光に形成する光源画像を生成する生成方法であって、光源マスク最適化法により露光パターンに応じた複数の最適化光源画像を算出する算出ステップと、主成分解析により複数の最適化光源画像から互いに直交する複数の基底画像を獲得する獲得ステップと、複数の基底画像の一部を除外して基底画像サブセットを組成する組成ステップと、初期光源画像を照明光学系に照射する初期照射ステップと、照明光学系に入射した入射画像を計測する計測ステップと、初期光源画像および入射画像のそれぞれを基底画像サブセットに展開した場合の係数の差に基づいて初期光源画像を補正した補正画像を生成する生成ステップとを含む。 （もっと読む）