【課題】セルベースの半導体集積回路において、異なるセル高さを有するセルを効率良く配置するための技術を提供する。
【解決手段】半導体集積回路が、基準ハイトセル３０、マルチハイトセル４０、ＶＤＤ電源配線、ＶＳＳ電源配線を備え、マルチハイトセルは、Ｙ軸方向に延伸するＶＤＤ側電源供給配線５Ｂ、ＶＳＳ側電源供給配線６Ｂを備え、基準ハイトセルの高さをａ、マルチハイトセルの高さをｂ、ＶＤＤ、ＶＳＳ電源配線の幅をｗとしたときに、ＶＳＳ側電源供給配線は、少なくとも、マルチハイトセルの下端からｗ／２高さ方向に離れた位置とマルチハイトセルの下端からｂ−ａ−ｗ／２高さ方向に離れた位置の間の高さ範囲をカバーするように設けられ、ＶＤＤ側電源供給配線は、少なくとも、マルチハイトセルの下端からａ＋ｗ／２高さ方向に離れた位置とマルチハイトセルの下端からｂ−ｗ／２高さ方向に離れた位置の間の高さ範囲をカバーするように設けられる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留まりが低下することを抑制する。
【解決手段】配線パターンを示す配線パターンデータを取得する（ステップＳ１０）。次いで、配線パターンデータを解析して、第１方向パターン及び第２方向パターンを特定する（ステップＳ２０）。第１方向パターンは、第１の方向に延伸するパターンであり、第２方向パターンは、第１の方向に直交する方向に延伸するパターンである。次いで、第１方向パターと第２方向パターンの交点を検出する。そして、この交点から延伸するパターンのうち、ビア、コンタクト及び他のパターンのいずれにも接続していないパターンを不要パターンとして検出し、検出した不要パターンを除去する（ステップＳ３０）。そしてその後、設計した配線パターンに対して光近接効果補正を行う（ステップＳ４０）。 （もっと読む）

【課題】容量素子を有する半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】ＭＩＳＦＥＴ形成領域Ａ１の配線Ｍ１Ａと配線Ｍ２Ａとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ａと、キャパシタ形成領域Ｂ１の導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ｂについて、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを、層間絶縁膜ＩＬ２Ａより誘電率の大きい膜[ε（ＩＬ２Ａ）＜ε（ＩＬ２Ｂ）]とする。また、導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとは、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを介して対向し、導電膜Ｍ１Ｂには第１電位が印加され、導電膜Ｍ２Ｂには第１電位とは異なる第２電位が印加される。このように、縦方向に容量（Ｃｖ）を形成することで、耐圧劣化の問題を回避し、容量を構成する導電膜Ｍ１ＢとＭ２Ｂ間に高誘電率の絶縁膜を用いることで、容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】「局所優先方向」配線モデルを使用してネットをルーティングするための機器を提供する。
【解決手段】本発明の一部の実施形態は、１つ又はそれよりも多くのＥＤＡツール（プレーシング、ルーティングなどのような）と共に使用される「局所優先方向（ＬＰＤ）」配線モデルを提供する。ＬＰＤ配線モデルは、少なくとも１つの配線層が、各々が特定の配線層とは異なる優先方向を有する一組の領域を有することを可能にするものである。更に、各領域は、その組における少なくとも１つの他の領域の局所優先方向とは異なる局所優先方向を有する。更に、少なくとも２つの領域は、２つの異なる多角形形状を有し、その組における領域は、その組における別の領域を取り囲むことはない。 （もっと読む）

【課題】配線すべき複数の信号線を、ユーザの指定する目的に従って適切にグループ化する。
【解決手段】配線すべき複数の信号線を複数のグループに分けるための方法は、ユーザから、複数の信号線のグループ化の条件の指定を受け付けるステップと、指定された、グループ化の条件と、データ格納部に格納されている、複数の信号線の始点端子群と終点端子群との配置パターンとに基づいて、複数の信号線のグループ化の処理を切り替えて実施する実施ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】配線間の影響を抑制することができる多層配線を有する半導体装置を実現する。
【解決手段】本発明の実施形態における半導体装置は、下層の配線層に第１の方向に沿って形成された信号配線１１と、下層の配線層と絶縁膜を介して配置される上層の配線層に第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成された基準電位配線１３と、 上層の配線層に基準電位配線１３に沿って近接して形成されたシールド線１４ａ、１４ｂと、を有し、信号配線１１と基準電位配線１３の交差部１５ｃにおいて基準電位配線１３とシールド線１４ａ、１４ｂとの距離が他の部分に比べてより狭くなっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配線層に形成される信号配線をなるべく迂回させずに配線できるように電源スタックビアが配置された半導体集積回路を提供すること。
【解決手段】半導体集積回路は、第１の方向に延伸された第１，第２の下層電源配線１１Ａ，１１Ｂと、第２の方向に延伸された第１，第２の上層電源配線１２Ａ，１２Ｂと、上層，下層電源配線を接続させる第１，第２接続部３Ａ，３Ｂと、を備え、第１，第２接続部は、第１，第２の接続用配線２６Ａ，２６Ｂと、第１，第２の位置変換用配線２７Ａ，２７Ｂと、第１，第２の上側ビア２８Ａ，２８Ｂと、を有して構成され、第１，第２の接続用配線は、第２の方向に沿った同一ライン上に配置され、第１，第２の位置変換用配線は、第１，第２の接続用配線を第２の方向に沿って延長した領域内に形成され、第１，第２の上側ビアは、第１の方向に沿った同一ライン上となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】高電圧が不要で安定した状態を得ること。
【解決手段】半導体装置１０に形成されたヒューズ素子１１は、概略的に、拡散領域２２と、拡散領域２２と一部重なるように拡散領域２２より上方に形成された導電体２５を含む。半導体装置１０の半導体基板２１には、拡散領域２２が形成されている。半導体基板２１には素子分離領域２３が形成されている。拡散領域２２を含む半導体基板２１上には絶縁膜２４が形成されている。絶縁膜２４上には、導電体２５が形成されている。導電体２５上には、カバー膜２６が形成されている。カバー膜２６は、導電体２５の上面及び側面を覆うように形成されている。カバー膜２６は、絶縁膜２４より高い引っ張り応力を持つ。 （もっと読む）

【課題】 より簡易な設計手法で作製可能なテスト回路を提供する。
【解決手段】 テスト回路１００は、基板と、基板上に形成された配線部及び被試験デバイス部１０とを備える構成とする。テスト回路１００では、被試験デバイス本体のパターン形成面内における回転中心位置Ｏと複数の接続電極１３ａ〜１３ｄのそれぞれとを結ぶ直線Ｌ１の延在方向が、配線２１の延在方向に対して所定の角度で傾いている。さらに、被試験デバイス本体及び複数の接続電極１３ａ〜１３ｄをパターン形成面内で９０度回転させた際にも、複数の接続電極１３ａ〜１３ｄ及び複数の配線２１〜２４間の接続が維持されるような位置に複数の接続電極１３ａ〜１３ｄが配置される。 （もっと読む）

【課題】集積回路インダクターを提供すること。
【解決手段】第１の端子と、第２の端子と、第１の端子と第２の端子との間に連結された伝導性経路とを備え、伝導性経路は、集積回路上に複数の撚り合わされた伝導性線を含む、インダクター。撚り合わされた伝導性線は、集積回路上に少なくとも１つの金属層から形成された少なくとも第１の伝導性線と、集積回路上に少なくとも１つの金属層から形成された少なくとも第２の伝導性線とを含む、インダクター。 （もっと読む）

【課題】拡散層等のバルクが固定であってメタル層、コンタクト層の少なくとも何れか１層を変更して複数の仕様に対応可能なメモリセルを提供すること。
【解決手段】メモリユニットが列方向に沿って鏡面対称に行方向に沿って並置されて、２行２列に配置されメモリセルを構成する。メモリユニットは、行方向に沿って並置され列方向に伸長される第１〜第４拡散層を備え一対の記憶ノードが構成される。第１および第２ワード線は第１〜第４拡散層の両端部外方に配置される。第１及び第２ワード線の間に行方向に沿って第１のメタル配線領域が確保され、第１メタル層が配線可能とされる。列方向に隣接配置されるメモリユニットの境界領域でありは第３、第４拡散層が配置される列方向の位置には列方向に沿って第２のメタル配線領域が確保され、第２メタル層が配線可能とされる。 （もっと読む）

【課題】電荷転送効率が高い転送トランジスタを備える半導体集積回路を提供することを目的とする。
【解決手段】実施形態に係る半導体集積回路は、ゲート電極を有し、当該ゲート電極及び一の拡散層が第１配線でダイオード接続された転送トランジスタと、クロック信号が供給されるクロック信号線とを備え、前記クロック信号線の一部である第１部分クロック信号線の少なくとも一部が前記ゲート電極上に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配線抵抗に起因した電圧降下を抑制し、検査工程での誤判定を受けにくい半導体チップおよび半導体ウェハを提供する。更に、配線抵抗に起因した電圧降下を抑制し、検査工程で誤判定を受けにくい半導体チップの検査方法を提供する。
【解決手段】電極パッド領域は、絶縁膜（７）上で一列に配列されたｎ個（ｎ≧３）の電極パッド（４_ｍ−４から４_ｍ＋４）を備える。内部セル領域は、電極パッド領域側に配列されている半導体回路（３_ｌ−３から３_ｌ＋３）にそれぞれ接続された配線（ＶＤＤＬ）をｎ個の電極パッドの配列方向に備える。ｎ個の電極パッドの内、第１の電極パッド（４_ｍ−１）と、第１の電極パッドから１個の電極パッドを隔てた第２の電極パッド（４_ｍ＋１）とが、絶縁膜中で互いに接続され、かつ、配線Ｌ_ｍ−１およびＬ_ｍ＋１によって、配線（ＶＤＤＬ）にそれぞれ接続されている。 （もっと読む）

【課題】より多くのＩ／Ｏセルを配置することができるようにする。
【解決手段】多層配線層には、電位供給用接続配線２３０が設けられている。電位供給用接続配線２３０は、平面視で外周セル列２０を構成するＩ／Ｏセル２００のいずれか、および内周セル列３０を構成するＩ／Ｏセル２００のいずれかと重なっている。そして電位供給用接続配線２３０は、外周セル列２０の下方に位置する電源電位供給配線２２２を、内周セル列３０の下方に位置する電源電位供給配線２２２に接続するとともに、外周セル列２０の下方に位置する接地電位供給配線２２４を、内周セル列３０の下方に位置する接地電位供給配線２２４に接続している。 （もっと読む）

【課題】キャパシタの電極として機能する配線の延伸方向への電流供給を容易とすること。
【解決手段】第１金属層１２と、前記第１金属層の膜厚方向に離間して設けられ、第１方向および前記第１方向に交差する第２方向に配列された複数の孔３６を備えた第２金属層１４と、前記第２金属層の膜厚方向で前記第１金属層とは反対側に離間して設けられ、前記第１方向および前記第２方向とは異なる方向に延伸し、第１配線と第２配線とが交互に設けられた複数の第１配線１６ａおよび複数の第２配線１６ｂと、前記複数の第１配線と前記複数の第２配線との間に設けられた誘電体膜２６と、前記複数の第１配線を、それぞれ前記複数の孔を通過し前記第１金属層に電気的に接続する複数の第１ビア配線３２と、前記複数の第２配線を、それぞれ前記第２金属層に電気的に接続する複数の第２ビア配線３４と、を具備するキャパシタ。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路装置において、レイアウトの面積効率の低下を抑制可能となる、マルチハイトセルのレイアウト構造を提供する。
【解決手段】標準論理セル１０は、電源配線または接地配線となるメタル配線１２を共有するようにＹ方向に隣接して配置された第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２を備えている。Ｘ方向において、第１回路領域Ａ１の両端部の位置ｘ１ａ，ｘ１ｂと第２回路領域Ａ２の両端部の位置ｘ２ａ，ｘ２ｂとは、少なくともいずれか一方が異なっている。すなわち、標準論理セル１０の外形形状ＣＦは、第１および第２回路領域Ａ１，Ａ２の外形形状が矩形であるにもかかわらず、非矩形となっている。 （もっと読む）

【課題】配線間のピッチを縮小可能にした半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板に形成された複数のトランジスタと、第１の方向に延在する第１の配線を備えた第１の配線層と、第１の配線層よりも上層に設けられ、第１の方向と交差する第２の方向に延在し、第１の配線と電気的に接続された第２の配線を備えた第２の配線層と、半導体基板と第１の配線層との間に設けられ、複数のトランジスタに接続する第１の中継配線と、第１の中継配線が形成された第１の中継配線層と第１の配線層との間に設けられ、第１の配線と複数のトランジスタのうちの一つとを接続する第２の中継配線とを有する構成である。 （もっと読む）

【課題】セル高さが低減した場合であっても、容量セルの容量値を十分に確保可能なレイアウト構成を提供する。
【解決手段】第１の電源電圧を供給する電源配線１１が第１の方向に延びており、電源配線１１と平行に、第２の電源電圧を供給する電源配線１２および第３の電源電圧を供給する電源配線１３が延びている。容量素子１６は、ソースおよびドレインに第１の電源電圧が与えられ、ゲートに第２または第３の電源電圧が与えられるトランジスタによって構成されている。容量素子１６は電源配線１１の下に、電源配線１２側の領域から電源配線１３側の領域にわたって形成されている。 （もっと読む）