【課題】ヒューズ素子の仮想切断を可能にすると共に、高電圧又は大電流によるヒューズ溶断の際に、周辺回路を破損する確率も低減できる信頼性の高いトリミング回路を提供する。
【解決手段】ヒューズトリミングを行うための回路であって、トリミングヒューズと、
前記トリミングヒューズに接続されるトリミング用のパッド端子と、仮想切断時に制御信号を入力するテスト端子と、入力端子の一方が前記テスト端子に接続され他方が前記トリミングヒューズに接続され、入力された制御信号に応じた制御信号を出力する制御回路と、を有し、前記トリミングヒューズの切断により、前記制御回路の他方の入力端子がＧＮＤレベルへプルダウンする手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】修正前の特性値がその特性値の出現頻度分布における平均値±２×(標準偏差)の範囲に入る製造品に対するヒューズ溶断本数を少なくする。
【解決手段】素子アレイ１４には抵抗アレイを設け、特性値の分布の平均値を素子アレイ１４で得られる合成抵抗値の中央値に対応付け、トリミング情報生成回路１２における上記中央値より大きい合成抵抗値に対応するトリミング情報の配列を、１０進数で「１５」〜「８」の降順に、上記中央値以下の合成抵抗値に対応するトリミング情報の配列を、１０進数で「０」〜「７」の昇順に設定する。変換回路１３は、トリミング情報生成回路１２からのトリミング情報を変換して、素子アレイ１４の抵抗アレイから各合成抵抗値を得るためにオフする抵抗を選択する素子選択情報を生成する。こうして、上記分布における「平均値±２σ」の範囲内に対応付けられトリミング情報を生成する場合のヒューズ溶断数を大幅に削減する。 （もっと読む）

【課題】多層配線プロセスでＳＯＧエッチバックにて平坦化を行なうプロセスにて、ヒューズ開口部に起因する水分の浸入における長期信頼性の劣化を防止する半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ヒューズ開口部からの水分侵入を防ぐためのメタル１層目のガードリングの下部まで多結晶シリコンが伸びているヒューズ形状にする。これによりヒューズの電極をとるためのメタル配線とガードリングのメタル配線の高さがそろい、ＳＯＧ層がＩＣ内部に到達することを防ぐことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とヒューズ素子が並列に接続された半導体装置において、ヒューズ素子切断時に抵抗体への損傷がなく、抵抗体とヒューズ素子とを積層すること。
【解決手段】半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成された抵抗体を設け、抵抗体の上に第２の絶縁膜を介して形成された遮光層を設け、遮光層の上に第３の絶縁膜を介して形成されたヒューズ素子のヒューズ部を有し、抵抗体と遮光層とヒューズ部を重畳した半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】高品質な半導体装置を提供する。
【解決手段】第１の絶縁膜１１１、第１の電極１１２、第２の絶縁膜１１３、及び第２の電極１１４を含むゲート構造を有するメモリセルＭＣが複数設けられた記憶部１１と、少なくとも外部１００からのデータを受信し、記憶部にデータを供給する端子１５と、第１の絶縁膜、第１及び第２の電極とを含むゲート構造を有し、電流経路の一端に第１の電圧が印加される第１導電型の第１のトランジスタ１６ａ、一端が第１のトランジスタの電流経路の他端に接続され、他端が端子に接続される第１の抵抗素子１６ｂ、一端が端子及び第１の抵抗素子の他端に接続される第２の抵抗素子１６ｃ及び、ゲート構造を有し、電流経路の一端が第２の抵抗素子の他端に接続され、電流経路の他端に第２の電圧が印加される第２導電型の第２のトランジスタ１６ｄを含む第１の回路１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高電圧が不要で安定した状態を得ること。
【解決手段】半導体装置１０に形成されたヒューズ素子１１は、概略的に、拡散領域２２と、拡散領域２２と一部重なるように拡散領域２２より上方に形成された導電体２５を含む。半導体装置１０の半導体基板２１には、拡散領域２２が形成されている。半導体基板２１には素子分離領域２３が形成されている。拡散領域２２を含む半導体基板２１上には絶縁膜２４が形成されている。絶縁膜２４上には、導電体２５が形成されている。導電体２５上には、カバー膜２６が形成されている。カバー膜２６は、導電体２５の上面及び側面を覆うように形成されている。カバー膜２６は、絶縁膜２４より高い引っ張り応力を持つ。 （もっと読む）

【課題】プログラマブルなアナログデバイスを提供する。また、電源電位の供給が遮断されたときでもデータの保持が可能で、且つ、低消費電力化が可能なアナログデバイスを提供する。
【解決手段】アナログ素子を含むユニットセルにおいて、ユニットセルのスイッチとして、第１乃至第４のトランジスタを用い、第１のトランジスタと第２のトランジスタとが接続された第１のノード、及び、第３のトランジスタと第４のトランジスタが接続された第２のノードの電位を制御することで、ユニットセルの出力を導通状態、非導通状態、又はアナログ素子を介した導通状態のいずれかに切り替える半導体装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＰのチップ間を接続するための端子数が増加する。
【解決手段】パッケージ内部に第１の半導体チップと第２の半導体チップが集積される半導体集積回路であって、前記第１の半導体チップは、第１の通信部と、複数のアナログ回路とを備え、前記第２の半導体チップは、第２の通信部と、前記複数のアナログ回路の特性調整用データを格納するメモリ部とを備え、前記第１の通信部と前記第２の通信部とがシリアルデータ通信線で接続され、前記シリアルデータ線を経由して前記第１の半導体チップが備える複数のアナログ回路の特性調整用データをそれぞれ複数のアナログ回路に転送する半導体集積回路。 （もっと読む）

【課題】回路規模が増大化する。
【解決手段】抵抗値が順に小さい値となって直列接続される複数のヒューズを備えるヒューズ部と、前記ヒューズ部の複数のヒューズのそれぞれ一端と、第１の電源電圧との間に接続される複数の選択スイッチと、前記第１の電源電圧から所定の電位差を有するヒューズ溶断用電圧を、前記ヒューズ部の最も小さい抵抗値のヒューズ側に出力するヒューズ溶融電圧出力回路と、ヒューズ溶断時に、前記ヒューズ溶融電圧出力回路が前記ヒューズ溶断用電圧を出力し、前記ヒューズ部の最も大きい抵抗値のヒューズに接続される選択スイッチから最も小さい抵抗値のヒューズに接続される選択スイッチまでを順に導通させる制御回路と、を備える半導体装置。 （もっと読む）

【課題】ヒューズを切断するための電流を入力する専用の端子を必要としないトリミング回路及び半導体装置を提供する。
【解決手段】内部回路の外部端子であるパッドに接続された入力端子と、電源端子と出力端子との間に設けられたヒューズと、入力端子と出力端子との間に設けられたダイオードと、を備え、パッドにダイオードが順方向バイアスになるように電圧を印加して、トリミング回路のトリミングを行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】抵抗変化素子の閾値電圧のばらつきを生じさせることなく、閾値電圧を低電圧化すること。
【解決手段】印加されたパルス電圧の極性に応じて抵抗値の異なる第１の状態と第２の状態との間で遷移する抵抗変化層と、抵抗変化層の一端に接続された第１の電極と、他端に接続された第２の電極とを備えた抵抗変化素子の制御方法であって、抵抗変化層を第１の状態から前記第２の状態へ遷移させる第１の極性とは逆の第２の極性を有する第１のパルス電圧を、抵抗変化層を第１の状態に保ちつつ、両電極間に印加した後、第１の極性を有する第２のパルス電圧を両電極間に印加して、抵抗変化層を第１の状態から第２の状態へ遷移させる。 （もっと読む）

【課題】より小型なｅヒューズモジュールを提供する。
【解決手段】半導体デバイスが、ｅヒューズモジュールおよびプログラミング電流生成器を有する。ｅヒューズモジュールが電気的にプログラミングするｅヒューズ素子（２２６）のアレイを含む。プログラミング電流発生器が、複数の基準トランジスタ素子（Ｍ０〜Ｍ６）のセットと、基準トランジスタ素子（Ｍ０〜Ｍ６）を活性化させて、選択された基準電流を生成するセレクタ（２５４）と、アレイの選択されたｅヒューズ素子（２２６）に、選択された基準電流に応じたプログラミング電流を印加して、ｅヒューズ素子（２２６）の抵抗をプログラミングするカレントミラー（Ｍ７、Ｍ８、Ｍ９）とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電源線および接地線の高抵抗化を抑制する。
【解決手段】第１の方向に延伸された第１の回路セル列及び第２の回路セル列と、第１の方向に延伸され、第１の回路セル列上に配置され、第１の電源線には第１の電源電位が供給される、第１及び第２の電源線と、第１の方向に延伸され、第２の回路セル列上に配置され、第２の電源電位が供給される第３の電源線と、第２の電源線と第３の電源線との間に接続され、導通状態において第２の電源線と第３の電源線とを接続して第３の電源線から第２の電源線に第２の電源電位を供給し、非導通状態において第２の電源線と第３の電源線とを電気的に切り離す第１のトランジスタと、第１の回路セル列に配置され、第１の電源線から供給される第１の電源電位と第２の電源線から供給される第２の電源電位との間の電源電圧で動作する第１の回路素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】省面積化を図ることが可能な半導体装置およびその動作方法を提供する。
【解決手段】各記憶素子２１は、Ｐ型の半導体層２１１Ｐと、半導体層２１１Ｐ内で互いに分離するように配設されたＮ型の半導体層２１２Ｎ，２１３Ｎと、半導体層２１１Ｐ上の半導体層２１２Ｎ，２１３Ｎ間に対応する領域に設けられた下層側の誘電体膜２１６および上層側の導電体膜２１７と、半導体層２１２Ｎと電気的に接続された電極２１５Ａと、半導体層２１３Ｎと電気的に接続された電極２１５Ｂと、導電体膜２１７と電気的に接続された電極２１５Ｃとを有する。駆動対象の記憶素子２１に対して、電極２１５Ｂ，２１５Ｃ間に所定の閾値以上の電圧Ｖ１を印加して、誘電体膜２１６の少なくとも一部分を絶縁破壊させて導電体膜２１７，半導体層２１３Ｎ間に電流を流し、半導体層２１２Ｎ，２１３Ｎ間の領域にフィラメント２１０を形成することにより、情報の書き込み動作を行う。 （もっと読む）

【課題】安定した特性のヒューズ素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成され、空洞部２０を画成する被覆構造体３０と、空洞部２０に収容されたヒューズ素子４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、を含み、被覆構造体３０は、導電層を有し、ヒューズ素子４０ａ，４０ｂ，４０ｃの材質は、導電層の材質と同じである。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ配線を溶断する際に素子分離構造や半導体基板に与えるダメージを抑制することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、半導体基板１０と、半導体基板の主面の面内方向に互いに離間するように形成された一対の電極１２Ａ，１２Ｂと、これら電極１２Ａ，１２Ｂを被覆し、上面に凹部１３ｃを有する下層絶縁膜１３と、凹部１３ｃに形成されたヒューズ配線２０Ｃと、下層絶縁膜１３及びヒューズ配線２０Ｃを被覆する層間絶縁膜２１と、層間絶縁膜２１上に形成され、ヒューズ配線２０Ｃの直上にレーザトリミング用の開口部１ｈを有する上層絶縁膜３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハテスト後のウェーハ状態において所望の回路を印刷処理により容易に形成することが可能な半導体製造方法および半導体装置を提供することを課題する。
【解決手段】本発明に係る半導体製造方法は、ウェーハの被描画パターン形成領域に所定の深さを有する溝部を形成する工程、ウェーハに対してトリミング要否の検査を行う工程、前記ウェーハにおけるトリミング必要なウェーハの前記溝部に導電性溶剤を射出し描画パターンを描画する工程、描画パターンを描画した後、脱気および低温アニールする工程、脱気および低温アニールした成膜後、当該成膜表面を平坦化する工程、および平坦化した後、高温アニールする工程、を有する。 （もっと読む）

【課題】 メモリの動作特性の向上を図る。
【解決手段】本実施形態の半導体集積回路は、第１の端子ａが第１の電源スイッチを介して第１の電源に接続され、第２の端子ｂがノードＮ１に接続される第１の抵抗変化型メモリ素子Ｒ１と、第３の端子ａがノードＮ１に接続され、第４の端子ｂが第２の電源スイッチを介して第２の電源に接続される第２の抵抗変化型メモリ素子Ｒ２と、電流経路の一端が第１のプログラム電源ＰＶ１に接続され、電流経路の他端がノードＮ１に接続される第１のスイッチＭ２と、電流経路の一端がノードＮ１に接続され、電流経路の他端が第１のプログラム電源ＰＶ１と異なる電圧値を出力する第２のプログラム電源ＰＶ２に接続される第２のスイッチＭ３と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】簡易で精度の高いＯＤＴ回路の抵抗補償方式を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のトランジスタの組み合わせによって所望の抵抗値と同等の抵抗値を実現するＯＤＴ回路２００であって、組み合わせるべきトランジスタを順次選択することにより、選択されたトランジスタによって実現される抵抗値を順次変化させる構成である。 （もっと読む）

【課題】トリミングデータによって調整可能な基準電圧発生回路を備えた半導体装置において、電源が立上がるまでの基準電圧のばらつきの影響を受けないようにする。
【解決手段】半導体装置１０において、基準電圧生成部１は、外部電源電圧ＶＣＣに基づいて、トリミングデータＴＲＭ１に応じて調整された第１の基準電圧Ｖ１＊およびこのトリミングデータＴＲＭ１に依存しない第２の基準電圧Ｖ２を生成する。不揮発性メモリ３は、第１の基準電圧Ｖ１＊に基づく電圧によって動作し、上記のトリミングデータＴＲＭ１を記憶する。パワーオンリセット回路５は、電源立上げ時に外部電源電圧ＶＣＣが第２の基準電圧Ｖ２の定数倍に達したときにリセット信号の論理レベルを切替える。制御回路６は、リセット信号の論理レベルの切替に応答して、不揮発性メモリ３に記憶された上記のトリミングデータＴＲＭ１を基準電圧生成部１に読込ませる。 （もっと読む）