【課題】 半導体装置の熱抵抗を低減すること、および小型化できる技術を提供する。
【解決手段】 複数の単位トランジスタＱを有する半導体装置であって、半導体装置は、単位トランジスタＱを第１の個数（７個）有するトランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆと、単位トランジスタＱを第２の個数（４個）有するトランジスタ形成領域３ｃ、３ｄとを有し、トランジスタ形成領域３ｃ、３ｄは、トランジスタ形成領域３ａ、３ｂ、３ｅ、３ｆの間に配置され、第１の個数は、第２の個数よりも多い。 （もっと読む）

絶縁体上の半導体装置は、絶縁層と、絶縁層の上の活性層（４０）と、活性層の上のコレクタ（１０）、エミッタ（３０）及びベース（２０）の横方向配置と、エミッタの下を流れる垂直電流を抑制するためにエミッタの下で絶縁層に向かって延在する高ベース−ドース領域（７０）とを有する。この領域（７０）は、基板（支持基板）電圧の電流利得及び他の特性の依存性を減少する。この領域を、ベースと同一のドーピング型で形成することができるが、更に強いドーピングを有する。この領域を、Ｐ型ＤＭＯＳトランジスタのボディに用いられるｎ型そうと同一ステップでマスク位置合わせを用いることによって形成することができる。
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【課題】ヘテロ接合型バイポーラトランジスタの電流利得（hfe）ばらつきを減らすことを目的とする。
【解決手段】第１導電型半導体からなるエミッタ領域およびコレクタ領域と、第２導電型半導体からなるベース領域を有し、前記ベース領域にバンドギャップの狭い領域を有するヘテロ接合型バイポーラトランジスタであって、前記ベース領域とエミッタ領域の接合部近傍のエミッタ領域に所定の厚さ以上のたとえばバンドギャップの小さい再結合電流の大きい領域を有することを特徴とする。
上記構造をとることで、エミッタ領域にバンドギャップの狭い中性領域が形成されるので、再結合電流が増えて、ベース電流が増大する。その結果、たとえば、エミッタ領域に多結晶シリコンを用いている場合に通常みられる界面酸化膜によるベース電流のばらつきが、再結合によって増大したベース電流によって目立たなくなり、電流利得のばらつきが低減される。 （もっと読む）

【課題】 寄生容量及び寄生抵抗の低減を図ることにより、高周波特性の向上を図ることができる、光電子集積素子及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 光電子集積素子１００は、基板１１０と、基板１１０の上方に設けられ、第１ミラー１２０と、活性層１２２と、第２ミラー１２４と、を含む面発光型半導体レーザ１００Ｖと、面発光型半導体レーザ１００Ｖの上方に設けられ、少なくとも光吸収層１４２を含むフォトダイオード１００Ｐと、基板１１０の上方に設けられたバイポーラトランジスタ１００Ｂと、を含む。バイポーラトランジスタ１００Ｂは、第１ミラー１２０、活性層１２２、第２ミラー１２４、及び光吸収層１４２のそれぞれと同一の半導体層を含む。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波集積回路において、能動素子入力部に配置されるノイズ信号カット用容量素子は、容量素子形成に必要な配線等の部品も含め、大きな面積を必要とし、チップサイズ小型化阻害の要因となっている。又、半導体能動素子、特に電界効果トランジスタにおいては、メサ型素子分離の際、メサ段差部分におけるゲート金属の段切れ、ゲート金属と能動層との接触による特性劣化が問題となっている。
【解決手段】 本発明では、チップ裏面に形成される容量素子において、半導体デバイスの１端子の直下に容量素子の２電極のいずれか一方を接続した構造および、半導体デバイスの１端子の直下に容量素子を作製する。又、半導体表面の平面上にゲート金属を被着し、その後裏面から半導体基板およびトランジスタ能動領域以外の能動層を除去する。 （もっと読む）

【課題】 バイポーラトランジスタを必要とするプロセスに容易に適合することができる半導体装置の製造方法を用いながら、電極となる半導体膜自体に発生する寄生抵抗の影響を低減し、かつ半導体基板とコンタクト部を形成しない、つまり寄生容量を抑えた半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 下部引き出し電極としての半導体膜を開口し、開口窓の底部と側壁に容量膜を形成し、容量膜とシリサイド層１２６からなるコンタクト部を近接させる構造とすることで、下部引き出し電極になる半導体膜自体の寄生抵抗の影響を低減することができ、かつ、半導体基板とコンタクト部を形成しないので、半導体基板に対する寄生容量を抑えた容量素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴ（Hetero-junction Bipolar Transistor）の特性を向上させる。
【解決手段】 ＨＢＴ（Ｑ）は、化合物からなる基板の主面上に順に形成されたコレクタ層、ベース層、エミッタ層およびそれぞれに電気的に接続されたコレクタ電極９ａ、ベース電極８、エミッタ電極７を有し、さらにエミッタ電極７とエミッタ層との間に形成されたエミッタコンタクト層６を有する。その基板の主面に平行な平面において、エミッタコンタクト層６およびエミッタ電極７の平面形状は、ベース電極８を囲う略環状形状を有し、エミッタコンタクト層６の最小寸法Ｌｅは、１．２μｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】 小型化および低消費電力化を図りつつ負荷変動時のＨＢＴの破壊を有効に防止することのできる高周波電力増幅用電子部品（ＲＦパワーモジュール）および移動体通信システムを提供する。
【解決手段】 高周波電力増幅回路の少なくとも最終段の増幅素子（Ｑ１）がＨＢＴ（ヘテロ接合バイポーラ・トランジスタ）で構成されている高周波電力増幅用電子部品おいて、上記ＨＢＴとしてそのコレクタ電流−コレクタ電圧特性の非破壊領域と破壊領域との境界が逆Ｓ字カーブを有し、該逆Ｓ字カーブの極小値が当該高周波電力増幅用電子部品（ＲＦパワーモジュール１００）に接続される電源（２００）の実使用時に想定される電圧の最大値の４倍以上の領域に存在するＨＢＴを用いるようにした。 （もっと読む）

【課題】 利得の温度依存性が小さく、入力の整合が良好で、広帯域、低雑音、かつ、小型な高周波電力増幅器を提供する。
【解決手段】 抵抗値が温度に強く依存する抵抗１１０と通常の抵抗１１１との並列回路を、増幅部３０の入力整合回路中に信号経路に直列に挿入し、各々の抵抗値を適切な値、例えば増幅部の入力インピーダンスの２／３程度に設定する。 （もっと読む）

複数のバイポーラトランジスタを備えた半導体集積回路であって、複数のトランジスタ作製領域（Ａ１，Ａ２）において、第１導電型のコレクタ層（２）の表面側に形成されていると共にゲルマニウムを有する第２導電型のベース層（４）の表面側に、ベース層（４）よりもバンドギャップが大きい半導体材料からなる第１導電型のエミッタ層（６）が形成されていることにより複数のバイポーラトランジスタが構成されており、複数のトランジスタ作製領域（Ａ１，Ａ２）間において、エミッタ層（６、６１）に含まれる不純物の濃度が異なっており、これによって、少なくとも２つのトランジスタ作製領域（Ａ１，Ａ２）がそれぞれ有するベース−エミッタ接合界面におけるゲルマニウムの濃度が異なることにより、複数のバイポーラトランジスタをオン動作させるために必要なオン電圧が異なる半導体集積回路である。この半導体集積回路によれば、バイポーラトランジスタの性能を良好に維持しつつ低消費電力化が可能になる。
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【課題】
エミッタ抵抗を低減でき電流利得特性を向上させたバイポーラトランジスタの製造方法及び、このバイポーラトランジスタを有する半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
コレクタ領域の表面に第1酸化膜を形成する工程と、第1酸化膜の表面にベース層を形成する工程と、ベース層の表面に第2酸化膜を形成した後にベース層をパターニングするとともに、コレクタ電極形成位置の第1酸化膜をエッチングすることにより前記第2酸化膜と等しい膜厚にする工程と、エミッタ電極を形成するためのエミッタ用開口及びコレクタ電極を形成するためのコレクタ用開口を形成する工程とを有することとした。 （もっと読む）

【課題】増幅器としての高周波特性を損ねることなく、バイポーラトランジスタの過電流による熱的な粗密を緩和することができ、半導体素子の破壊を小規模な回路構成で防ぐことができる半導体装置を提供する。
【解決手段】複数のＨＢＴを並列接続した高出力トランジスタの各ベースごとにバイアス電流の印加を制御し、また、エミッタ数が、ベースの数ｎに対して２の（ｎ−１）乗倍で増大するマルチエミッタ素子を使うことにより、２進数により表せる値で各ベースごとのバイアス電流の印加を制御し、また、非常に大きな構造を有する方向性結合器の代わりに、高出力トランジスタのエミッタをマルチエミッタ構造にし、そのエミッタの一つの電流をモニタする。 （もっと読む）

【課題】ヘテロバイポーラトランジスタの単一セル内での動作が均一化され、信号増幅用として用いた場合に、その利得の低下および電力効率の低下を防止し、トランジスタ素子としての特性劣化および破壊をなくすことができる半導体装置を提供する。
【解決手段】単一のヘテロバイポーラトランジスタに複数存在するベース１、２を配線５により短絡して実効Ｖｂｅを共通化することにより、ヘテロバイポーラトランジスタの単一セル内に発生する熱的な粗密によるコラプス現象を完全に抑制する。 （もっと読む）

【課題】 特徴的な素子構造を用いて、ベースバラスト抵抗及び容量を含んだ構成を少ないチップ面積で実現できるトランジスタを提供する。
【解決手段】 トランジスタ１１のベースフィンガＢの上には、電気的に接続された下部電極１３ａが形成される。下部電極１３ａの上には、薄膜抵抗体１２ａ及び誘電体１３ｂが形成される。薄膜抵抗体１２ａ及び誘電体１３ｂの上には、上部電極１３ｃが形成される。上部電極１３ｃは、信号入力配線１４に電気的に接続されている。薄膜抵抗体１２ａは、下面が下部電極１３ａと、上面が上部電極１３ｃとそれぞれ電気的に接続されており、信号入力配線１４とトランジスタ１１のベースフィンガＢとの間に挿入されるベースバラスト抵抗１２として機能する。また、下部電極１３ａ、誘電体１３ｂ及び上部電極１３ｃによって容量１３が形成され、ベースバラスト抵抗１２と並列に挿入される構造となる。 （もっと読む）

【課題】 能動素子、受動素子、配線、及び電極からなる半導体装置において、機械的強度の確保、小型化、及び熱的安定性を満たすことの出来る半導体装置を提供することにある。
【解決手段】 半導体装置において、能動素子直下の開口の位置に開口を充填するための導体層を有し、開口のない位置にも導体層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 トランジスタの熱暴走を防止すると共に、ベースバラスト抵抗による所望周波数成分の電力利得の低下を抑制しつつ、不要な高調波成分や帯域外信号成分の電力利得を大幅に低減させることができるトランジスタ回路を提供する。
【解決手段】 トランジスタ回路１は、トランジスタ１１、ベースバラスト抵抗１２、容量１３及びインダクタ１４で構成される複数のトランジスタセル１０からなる。トランジスタ１１のコレクタ及びエミッタは、それぞれトランジスタ回路１のコレクタ端子１ｃ及びエミッタ端子１ｅに共通接続される。ベースバラスト抵抗１２は、一方端がトランジスタ１１のベースに、他方端がトランジスタ回路１のベース端子１ｂに接続される。容量１３とインダクタ１４とは、直列接続されて直列共振回路１５を形成し、ベースバラスト抵抗１２と並列に、トランジスタ１１のベースとトランジスタ回路１のベース端子１ｂとの間に接続される。 （もっと読む）

【課題】チップ面積の増大を抑制しつつ、電流コラプス現象を低減することができる半導体装置と高周波増幅器を提供する。
【解決手段】半導体装置は、GaAs基板６と、GaAs基板の上に設けられたサブコレクタ層５と、サブコレクタ層５の上の一部に設けられたコレクタ層４と、コレクタ層４の上に設けられたベース層（第１の半導体層）３と、ベース層３のうち真性ベース領域１１の上に設けられた第２エミッタ層（第２の半導体層）２ａと、ベース層３のうち外部ベース領域２ａの上に設けられた第２エミッタ層（第２の半導体層）２ｂと、第２エミッタ層２ａの上に設けられた第１エミッタ層１とを有している。 （もっと読む）

エミッタ・アウト拡散、又は縦型バイポーラ装置を形成するために用いられるのと同じ工程で形成されるソース領域及びドレイン領域（１７、１８）を備えたＢｉＣＭＯＳと互換性があるＪＦＥＴ装置であって、バイポーラ装置内にエミッタ・キャップを形成する半導体層がＪＦＥＴ装置のチャネル（１６）を形成し、バイポーラ装置の真性ベース領域を形成する材料層（すなわちベース・エピ・スタック）がＪＦＥＴ装置の真性ゲート領域（１４）を形成するＪＦＥＴ装置。その結果、如何なる更なるマスキング又は他の処理ステップの必要なしに、ＪＦＥＴ装置の標準的なＢｉＣＭＯＳプロセスへの組み込みが達成される。
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照明システムは、複数個の発光素子（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を含む光源（１）を有する。これらの発光素子は、少なくとも第１の原色の第１の発光ダイオードと、少なくとも第２の原色の第２の発光ダイオードとを備え、第１と第２の原色がお互いに異なっている。この照明システムは、発光素子によって発せられた光を平行にするためのファセット光コリメータ（２）を有する。このファセット光コリメータは、照明システムの長手方向軸（２５）に沿って構成される。ファセット光コリメータ内の光伝搬は、全内部反射に、又はファセット光コリメータのファセット上に施された反射コーティングでの反射に基づいている。ファセット光コリメータは、光源から離れて面する側で、ファセット光反射板に組み合わせる。この照明システムは、光整形拡散体（１７）を更に備える。この照明システムは、均一な空間の及び空間角度色分散で光を発する。
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【課題】構造形成のためのプロセスの共通性を出来るだけ維持しながら、異なる要求特性の２つのトランジスタに関するトレードオフを緩和し、半導体集積回路全体としての特性を向上させる。
【解決手段】高周波トランジスタと高耐圧トランジスタの各々は、半導体基板１０に形成されているエピタキシャル成長層１３からなる領域１３Ａおよび１３Ｂと、エピタキシャル成長層１３の表面より半導体基板１０側に離れた位置に埋め込んで形成され、基板深さ方向の不純物濃度プロファイルが高周波トランジスタと高耐圧トランジスタで異なる埋め込み層１１と１２とを備える。 （もっと読む）