【課題】従来の回路では生じるコストや面積の増大を低く抑えながら高いＥＳＤ耐性が実現できる保護回路を備えた電力増幅器を提供する。
【解決手段】半導体基板には、少なくとも１つのバイポーラトランジスタ１０を有する能動素子と、バイポーラトランジスタ１０のベース５とエミッタ６間をベース・エミッタ間ダイオードとは逆方向となるように接続されたダイオードＤと、ダイオードＤとバイポーラトランジスタ１０のベース５との間に直列に接続された抵抗Ｒと、バイポーラトランジスタ１０のベース５にバラスト抵抗Ｒを介して接続されたバイアス回路１７が形成されている。抵抗Ｒは、バイアス回路１７のバラスト抵抗Ｒを兼ねている。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴでは、ベース電流を増加させて電流密度の向上を図ると、二次降伏を起し、破壊に至りやすくなる。
【解決手段】 単位ＨＢＴと単位ＦＥＴを分離領域を介して隣接して配置し、単位ＨＢＴのベース電極に単位ＦＥＴのソース電極を接続した単位素子を複数接続して能動素子を構成する。これにより、単位素子に電流が集中した場合であっても二次降伏による破壊が発生しない能動素子を実現できる。また単位ＦＥＴでは耐圧を確保するため埋め込みゲート電極構造を採用するが、埋め込み部をＩｎＧａＰ層に拡散させない構造とすることによりＰｔの異常拡散を防止できる。更に、単位ＨＢＴのエミッタメサ、ベースメサ形成、レッジ形成および単位ＦＥＴのゲートリセスエッチングに選択エッチングを採用でき、再現性が良好となる。 （もっと読む）

【課題】定電流回路を構成するチップの面積縮小を図ることができる回路構成を提供する。
【解決手段】トランジスタ６のベース電流を流すための起動素子をツェナーダイオード７で構成する。そして、このツェナーダイオード７を構成する各拡散層２０〜２２をリーク電流が発生するような不純物濃度に設定する。このため、ツェナーダイオード７は、リーク電流分の電流を流し、かつ、ツェナーダイオード７の両端間に電位差（Ｖｚ×ツェナーダイオード７の個数）を発生させるため、抵抗と等価の役割を果たすことができる。このように、起動素子をツェナーダイオード７で構成することにより、起動素子を抵抗で構成する場合と比べて必要な面積を低減することが可能となる。したがって、定電流回路を構成するチップの面積縮小を図ることができる回路構成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】デジタル回路と共に形成しても出力特性が安定している、バイポーラトランジスタ群で構成される基準電圧発生回路を作成する。
【解決手段】本発明の基準電圧発生回路は、第一導電型のコレクタ層と、上記コレクタ層の表面に形成された第一導電型のベース層と、上記ベース層の表面に形成された第一導電型のエミッタ層と、上記エミッタ層に接続された複数のエミッタ電極を含むバンドギャップリファレンス回路において、複数のエミッタ層が形成されたベース層が共通のものであることを特徴とする基準電圧発生回路である。 （もっと読む）

【課題】静電気に対する耐性を向上させることのできるレギュレータ回路及びそれを用いた半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外部回路に電流を供給するための出力段トランジスタＴＲ１を内蔵したレギュレータ回路において、出力段トランジスタＴＲ１に対して並列に静電気保護用トランジスタＴＲ２が形成されている。静電気保護用トランジスタＴＲ２のベースは、例えば、出力段トランジスタＴＲ１のベースに接続される。また例えば、静電気保護用トランジスタＴＲ２のベースは、グランドライン１５または静電気保護用トランジスタＴＲ２のエミッタに接続される。 （もっと読む）

本発明は、製作中に追加の注入物を受け取るＪＦＥＴを提供する。この注入物は、ＪＦＥＴのドレイン領域をそのソース領域の方へ延ばし、かつ／またはそのソース領域をそのドレイン領域の方へ延ばす。注入物は、ドレイン／チャネル（および／またはソース／チャネル）接合部で所与のドレイン電圧および／またはソース電圧に対して普通なら生じるはずの電界の大きさを低減させ、それによって電界に関連するゲート電流および降伏の問題の重大度を軽減する。ＪＦＥＴのゲート層は、各注入物に対して、ゲート層の横方向の境界とドレイン領域および／またはソース領域との間にそれぞれ間隙を設ける幅を有するように寸法設定され、各注入物がそれぞれの間隙内に注入されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱暴走対策としてエミッタバラスト方式を採用するＲＦ信号増幅用のパワーバイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）を採用したＲＦ電力増幅器全体の電力利得と電力効率とを改善すること。
【解決手段】ひとつのパワー素子を構成する複数のユニット・トランジスタには、ぞれぞれエミッタバラスト抵抗が接続されている。その結果、複数のユニット・トランジスタの複数のベースには、１個の結合容量ＣによりＲＦ入力信号を共通に供給できる。ＲＦ入力信号が供給される１個の結合容量Ｃの一方の電極プレート１００の配線幅Ｗを、複数のベースへの信号注入配線領域２０４＿１、２０４＿２…２０４＿Ｎの配線幅ｗより大きくする。複数のコレクタ増幅出力信号の間での位相差が小さくなる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上にダイオードを搭載した構成において、基板への漏れ電流の低減を図る。
【解決手段】第１導電型不純物からなる第１の領域１０１と、この第１の領域１０１の内部に形成された第２導電型不純物からなる第２の領域１０４と、この第２の領域１０４の内部に形成された高濃度の第２導電型不純物からなる第３の領域１１２と、この第３の領域１１２を取り囲むように第２の領域１０４の内部に形成された高濃度の第１導電型不純物からなる第４の領域１０７とを備え、第１の領域１０１下に予め高濃度の第１導電型不純物のドープ層が形成され、及び第４の領域１０７は環状になるように形成され、第３の領域１１２と第４の領域１０７は電気的に同電位にした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、エミッタ拡散領域、ベースコンタクト領域、及びコレクタコンタクト領域を有する保護素子と、コレクタコンタクト領域と電気的に接続されるボンディングパッドとを備えた半導体装置に関し、半導体装置の小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】 保護素子１４の形成領域に対応するＮ型エピタキシャル層１２と、ボンディングパッド２２の形成領域に対応するＮ型エピタキシャル層１２とを分離することなく、保護素子１４及びボンディングパッド２２の形成領域に対応するＮ型エピタキシャル層１２を連続して囲むようにＰ型アイソレーション領域１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】 電力増幅モジュールやそれに用いる集積受動部品または半導体チップの低コスト化および高性能化を図る。
【解決手段】 集積受動部品５において、シード膜５１、銅膜５３およびニッケル膜５４の積層膜からなる配線５５により、ＲＦパワーモジュールのローパスフィルタ回路を構成するインダクタ素子が形成される。ニッケル膜５４は、銅膜５３の全面上に形成され、表面保護膜としての絶縁膜６１の開口部６２から露出するニッケル膜５４上に、金膜６３およびバンプ電極６４が形成されている。ニッケル膜５４は、無電解Ｎｉ−Ｐめっき膜であり、リンを１０重量％以上含有し、非磁性状態とされている。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合バイポーラトランジスタ及びフォトダイオードが電気信号の劣化を伴うことなく接続され、全面再成長の特徴である高集積度を損ねることなく、動作速度及び受光感度に優れた光電子集積回路を提供する。
【解決手段】 光電子集積回路は、光素子２のアノード電極９又はカソード電極８からの配線１９が［０１１］方向に形成されて素子に接続されることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴセル内での発熱均一性を保ち、かつ、高周波帯域の利得特性を向上させたバイポーラトランジスタを提供する。
【解決手段】 ベースメサフィンガー（エミッタレッジ層１５、ベース層１６及びコレクタ層１７）を２本のコレクタフィンガー（コレクタ電極１３）で挟み、ベースメサフィンガー上に１本のベースフィンガー（ベース電極１２）及びその両側の２本のエミッタフィンガー（エミッタ層１４及びエミッタ電極１１）を形成した構造である。２本のエミッタフィンガーは、ベースフィンガーを基準に対称の位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】 互いに並列に接続されたベースバラスト抵抗及び容量を付加したＨＢＴ等のヘテロ接合型半導体素子を有する半導体装置において、その素子面積を縮小し、かつ作製工程の簡略化も可能にすること。
【解決手段】
少なくともコレクタ層３とベース層５と第１のエミッタ層７Ａとからなる積層体によって構成されたＨＢＴ１５ａ及び１５ｂを有し、これらのＨＢＴと同一構成材料からなる積層体１６において、各ＨＢＴのベースに接続されたベース構成材料層５と、ベース信号入力端子電極に相当するエミッタ構成材料層上のエミッタ電極９との間に、ベース構成材料によるベースバラスト抵抗１３と、エミッタ及びベース構成材料からなる逆方向ダイオードによる容量１４とが並列に接続されることによって、並列の複数のＨＢＴの熱暴走を防止する構造を素子面積の縮小の下で容易に作製することができる。 （もっと読む）

【課題】
全セルが均一動作せずに、一部のセルの温度上昇により生じる熱暴走による素子の破壊を抑止し、安定した高出力動作が可能なトランジスタチップを提供する。
【解決手段】
それぞれが、制御信号が入力される制御端子１２１と制御信号に従って電流が流れる第１及び第２端子１１１、１３１とを備える、複数のトランジスタ素子と、それぞれが、トランジスタ素子が形成された領域１０と異なる領域２０に形成され、第１端子の基板１４１への導通を与える、複数の基板導通部２３２と、を備え、各異なるトランジスタ素子は、異なる基板導通部２３２と接続され、各基板導通部２３２は、他の基板導通部２３２から分離された半導体層を備える、半導体装置。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴセル内での発熱均一性を保ち、かつ、高周波帯域の利得特性を向上させたバイポーラトランジスタを提供する。
【解決手段】 ベースメサフィンガー（エミッタレッジ層１５、ベース層１６及びコレクタ層１７）を２本のコレクタフィンガー（コレクタ電極１３）で挟み、ベースメサフィンガー上に１本のベースフィンガー（ベース電極１２）及びその両側の２本のエミッタフィンガー（エミッタ層１４及びエミッタ電極１１）を形成した構造である。２本のエミッタフィンガーは、ベースフィンガーを基準に対称の位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合半導体素子と別の半導体素子とが同一基板上に集積され、かつ、この別の半導体素子の電極取り出し構造が改良された半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 前記別の半導体素子の一例である抵抗素子２０を構成する抵抗層１１を、イオン注入法または不純物拡散法によって半絶縁性基板１内に形成する。次に、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５、そしてエミッタキャップ層６の構成材料層を、基板１の全面にエピタキシャル成長法によって形成する。次に、これらの一部をメサ構造に加工して、ＨＢＴ１０を形成する。一方、抵抗素子２０の素子電極１４、１５を高い位置で取り出すための導電層１２、１３を、サブコレクタ層２の構成材料層４２のパターニングによって形成し、素子電極１４、１５をこの上に形成する。次に、ＢＣＢなどの平坦化膜３０を形成し、これを介して配線３１、３２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合半導体素子とダイオード素子とが同一基板上に集積され、ヘテロ接合半導体素子単独の場合と同程度の簡易なエピタキシャル層の積層構造からなり、かつ、ダイオード素子の特性が、ヘテロ接合半導体素子の構成材料層の特性によって制約されることが少ない半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 半絶縁性基板１の上にエピタキシャル成長法によって、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５、エミッタキャップ層６の構成材料層を形成し、これらの一部をメサ構造に加工してＨＢＴ１０を形成する。また、別の領域をメサ形状に加工して、それぞれ、ＰＩＮダイオードのｎ型層１６ａと１６ｂ、ｉ型層１５ａと１５ｂおよびｐ型層１４とする。このうち、ｉ型層１５ａと１５ｂは、エミッタ構成材料層１５に不活性化イオンを注入して高抵抗化して形成する。 （もっと読む）

本発明は、エミッター領域（１）と、ベース領域（２）と、第一、第二及び第三の接続導体を具えるコレクタ領域（３）とを有するバイポーラトランジスタを具える半導体本体（１１）及び基板（１１）を有する半導体デバイスであって、エミッター領域（１）は、スペーサ（４）を設けたメサ形のエミッター接続領域（１Ａ）と、それに隣接し多結晶シリコンからなる一の導電領域（２ＡＡ）をもつベース接続領域（２Ａ）とを具える。本発明に従うデバイス（１０）において、ベース接続領域（２Ａ）は、他の導電領域（２ＡＢ）を有し、多結晶シリコンからなる一の導電領域（２ＡＡ）とベース領域（２）との間に位置決めされ、多結晶シリコンからなる一の導電領域（２ＡＡ）の選択エッチングが可能な材料で構成される。このようなデバイス（１０）は、本発明に従う方法によって製造することが容易であり、そのバイポーラトランジスタは優れたＲＦ性質を具備する。
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本発明は、シリコンからなる基板（１１）および半導体本体（１２）を有し、この半導体本体（１２）は、トランジスタ（Ｔ）を有する能動領域（Ａ）および該能動領域（Ａ）を囲む受動領域（Ｐ）を具え、前記半導体本体（１２）の表面から埋め込まれた金属材料からなる第１導電領域（２）に接続している金属材料からなる第２導電領域（１）が設けられ、これによって、前記第２導電領域（１）が、前記半導体本体（１２）の表面で電気的に接続可能とされる半導体デバイス（１０）に関するものである。本発明によれば、前記第２導電領域（１）は、前記半導体本体（１２）の能動領域（Ａ）の場所で作られる。このような方法で、非常に低い埋込抵抗は、前記周囲のシリコンとは完全に異なる結晶特性を有する金属材料を用いて、前記半導体本体（１２）の能動領域（Ａ）の中で局所的に生成されることができる。これは、本発明に従う方法を用いることによって可能となる。そのような埋込低抵抗は、バイポーラトランジスタおよびＭＯＳトランジスタの双方にとって多くの利点を提案する。
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【課題】近接する２つの素子間に高濃度不純物領域を配置し、フローティング電位またはＧＮＤ電位を印加することにより２つの素子間のアイソレーションを向上させる手法は、漏れた高周波信号のパワーが大きい場合に高濃度不純物領域の電位が変動してしまう。このため、結果として２つの素子間のアイソレーションが十分確保できなくなる問題があった。
【解決手段】近接する２つの素子間に伝導領域または金属層による分離素子を配置する。分離素子は高抵抗素子を接続し、直流端子パッドに接続する。また直流端子パッドから分離素子に至る接続経路は電位が高周波振動しない経路とする。これにより、少なくとも一方に高周波信号が伝搬する２つの素子の間に高周波ＧＮＤ電位を配置したこととなり、２つの素子間の高周波信号の漏れを防止できる。 （もっと読む）