【課題】波長ずれや光路角度ずれをもたらす機械的な可動機構のない波長選択機構を有するレーザー装置を提供する。
【解決手段】出力する光の波長を複数の波長から選択するレーザー装置であって、固定された複数の反射面を有する反射手段および出力鏡を含む共振器内に形成される光路を複数の光路に分岐させる、偏光子からなる分岐手段であって、出力鏡を端部とする共通光路と、いずれかの反射面を端部とする複数の分岐光路を形成する分岐手段と、共通光路に配置されたレーザー媒質と、複数の分岐光路から、出力する波長に対応する分岐光路を選択する選択手段を有するレーザー装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、所望の波長系列でパルスレーザ光を出射する。
【解決手段】レーザロッド５１を挟んで対向する一対のミラー５３、５４を含む光共振器内に、Ｑスイッチ５５と複屈折フィルタ５６とが挿入される。複屈折フィルタ５６は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。トリガ制御回路３０は、出射すべきパルスレーザ光の波長系列に含まれる波長の数に応じた所定の回転速度で複屈折フィルタ５６を回転させる。また、トリガ制御回路３０は、フラッシュランプ５２からレーザロッド５１に励起光を照射した後、複屈折フィルタ５６の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでＱスイッチ５５をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、所望の波長系列でパルスレーザ光を出射する。
【解決手段】レーザロッド５１を挟んで対向する一対のミラー５３、５４を含む光共振器内に、Ｑスイッチ５５と、複屈折フィルタ５６とが挿入される。複屈折フィルタ５６は、回転変位に伴って光共振器の発振波長を変化させる。回転制御部６０は、出射すべきパルスレーザ光の波長系列に含まれる波長の数に応じた所定の回転速度で複屈折フィルタ５６を回転させる。発光制御部６１は、フラッシュランプ５２からレーザロッド５１に励起光を照射した後、複屈折フィルタ５６の回転変位位置が、出射すべきパルスレーザ光の波長に対応した位置となるタイミングでＱスイッチ５５をオンにしてパルスレーザ光を出射させる。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、入射する第１のレーザ光を第２のレーザ光に波長変換して出力する波長変換部と、前記波長変換部を当該波長変換部の少なくとも１つの面側から冷却する冷却機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】平面導波路の内部を周回する寄生発振光やＡＳＥの発生を抑制することができるようにする。
【解決手段】励起光２によって励起されるコア層１１と、コア層１１の上面に接合された第一クラッド層１２と、コア層１１の下面及び第一クラッド層１２の上面に接合された第二クラッド層１３と、第二クラッド層１３の外側に形成された吸収層１４と、励起光２が入射される平面導波路３の側面３ａと異なる側面に形成された全反射膜１５とを備え、コア層１１で増幅されるレーザ光４が全反射膜１５に反射されながら伝播される一方、平面導波路３の内部に閉じ込められて周回する寄生発振光やＡＳＥ５が吸収層１４によって吸収されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】紫外線のレーザ光の波長の検出精度を高めた波長検出器を提供すること。
【解決手段】レーザ光を拡散させる拡散素子と、拡散素子の下流に設けられる集光光学系と、集光光学系の下流に設けられ、アパーチャを備える部材と、部材の下流に設けられ、貫通孔がそれぞれ形成された筒状のアノードおよびカソードを含み、アノードに直流電圧を印加した状態で所定の第１の波長のレーザ光がカソードの貫通孔を通過するときに、オプトガルバニック効果によってアノードとカソードの間の電気的特性が変化するように構成された放電管と、前記アノードに直流電圧を印加するよう構成された高圧直流電源とを備える。アパーチャを通過するレーザ光が放電管のカソードに直接照射することなくカソードの貫通孔を通過するように放電管が配置されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー照射時のレーザー安定性とレーザー遮光時のフラッシュランプ消耗軽減を兼ね備えたレーザー装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】レーザーの照射手段と、フラッシュランプを含む励起手段と、レーザーの遮光手段と、遮光手段による遮光とその解除を制御するとともに、フラッシュランプの設定条件を制御する制御手段を有し、制御手段が、レーザーの照射を停止する際に遮光手段によりレーザーを遮光する工程に続いて、フラッシュランプの消耗を軽減するように設定条件を制御する工程を行い、照射を再開する際に、レーザーが安定して照射されるように設定条件を制御する工程に続いて、遮光を解除する工程を行うレーザー装置の制御方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 種光をレーザ媒質部において効率良く増幅することができるレーザ増幅装置を提供する。
【解決手段】 レーザ増幅装置は、種光Ｌ１を出力する種光源と、励起光Ｌ２を出力する励起光源と、励起光Ｌ２が入力された状態で種光Ｌ１が入力されることにより、種光Ｌ１を増幅して出力するレーザ媒質部５と、種光Ｌ１が入力されたときに光透過率が高くなる可飽和吸収体６と、を備えている。可飽和吸収体６は、種光Ｌ１の光路に沿ってレーザ媒質部５に並設されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー出力の安定化を図ることが可能な簡潔な構成のレーザー装置を提供する。
【解決手段】レーザー媒質と、レーザー媒質に光を照射して励起させるとともに温度を上昇させる光源と、レーザー媒質が励起されて発生する光のうち所定の波長の範囲の光を反射する第一の平面を含む反射手段と、レーザー媒質を間にして反射手段と対向して配置され、所定の波長の範囲の光を前記第一の平面との間で共振させることによりレーザーを発振する出力鏡を有するレーザー装置であって、反射手段は、出力鏡と第一の平面との間で光を共振させてレーザー装置を発振状態にする位置と、レーザー装置を非発振状態にする位置との間で移動可能に構成されているレーザー装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、該マスタオシレータから出力された前記パルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータと前記増幅装置とを制御するコントローラとを備えてもよい。前記マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも１つの光シャッタと、を備えてもよい。前記コントローラが、前記光シャッタを通過したパルスレーザ光が前記増幅装置を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記光シャッタの開閉と前記増幅装置の放電とを制御してもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光のコヒーレンスを低下させる低コヒーレンス化光学システムと、前記パルスレーザ光のスペックルが変化するように前記低コヒーレンス化光学システムを制御するコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記マスタオシレータから出力されたパルスレーザ光を増幅する増幅装置と、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光のタイミングを検出する第１のタイミング検出器と、前記増幅装置の放電タイミングを検出する第２のタイミング検出器と、前記第１のタイミング検出器と前記第２のタイミング検出器との検出結果に基づいて、前記パルスレーザ光が前記増幅装置の放電空間内を通過する際に該増幅装置が放電するように、前記マスタオシレータが前記パルスレーザ光を出力するタイミングおよび前記増幅装置が放電するタイミングのうち少なくとも一方を制御するコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも１つの光シャッタと、前記ポンピングレーザを所定の繰返し周波数で継続的に発振させるとともに、前記光シャッタを開閉制御するコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、第１面を備える非線形結晶と、前記第１面に接合し、少なくとも１つの層を含む第１膜と、前記第１膜に接合する第１プリズムと、を備えてもよい。前記第１膜と前記第１プリズムとの前記接合は、オプティカルコンタクトであってもよい。前記非線形結晶は、ＫＢＢＦ結晶であってもよい。 （もっと読む）

【課題】導波路型レーザの利得係数が非常に高い場合に、ＡＳＥが発生するが、このＡＳＥの発生を抑え、一方で、レーザ光の発振、増幅には損失を与えない、固体レーザ装置を得る。
【解決手段】導波路型固体レーザ装置の励起媒質１の対向する２辺に施された全反射膜４，５に、レーザ光路２を伝播するレーザ光の入射角に対する反射率依存性を持たせて、レーザ光の最大入射角α以下の範囲の入射角においては、全反射膜４，５の反射率を高い反射率とし、レーザ光の最大入射角αよりも大きい範囲の入射角においては、全反射膜４，５の反射率を低下させることにより、反射時のＡＳＥ光の損失を高くしてＡＳＥの発生を抑制し、一方で、レーザ光には大きな損失を与えることなく、発振、増幅させることができる。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いずに導波路を構成できる構造の平面導波路型レーザ装置を得る。
【解決手段】表面に酸化膜２ａを有するＳｉ基板２と、平板状の形状を成し、酸化膜２ａよりも高い屈折率を有し、厚さ方向に対して垂直な面のうちの一方の面がＳｉ基板２の酸化膜２ａを有する面に、拡散接合または表面活性化接合により直接接合された、レーザ媒質１と、レーザ媒質１の面に、直接接合または成膜されたクラッド層３を備え、レーザ媒質１を導波路のコアとして使用し、酸化膜２ａおよびクラッド層３を導波路のクラッドとして使用する平面導波路型レーザ装置であるので、レーザ光の照射や温度上昇により劣化してしまう接着剤を用いずに導波路を構成することができ、高信頼性化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】変換効率の良い波長変換装置及び紫外光生成レーザ装置を提供すること。
【解決手段】光入射面と、光出射面とを備え、前記光入射面から入射した光の第２高調波光を発生する波長変換素子と、前記波長変換素子に入射する光が通る入射部と、前記波長変換素子から出射した光が通る出射部とを備える液体セルと、前記波長変換素子と共に前記液体セル内に収容されて、かつ前記波長変換素子が少なくとも前記光出射面が液体と接するように浸漬される浸漬液と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザービームを放射するための軸方向冷却を伴う反横断レーザー発振装置を提供する。
【解決手段】本発明は２つの面Ｓ１とＳ２をつなぐ表面積Σにより範囲を定められ、そして利得媒体となるためにその面の両方、又はその内の１つを通じてポンピングされることを目的とする、蛍光波長λを持つ円筒形の固体増幅媒体（１）を含む、レーザービームを放射するための装置に関する。装置は面のうちの１つにわたり増幅媒体（１）と接触する熱伝導率Ｃｒの冷却液（３１）と、その表面積Σにわたり増幅媒体（１）と接触する熱伝導率Ｃｉ＜０．３Ｃｒの、蛍光波長を吸収し又は散乱させる屈折率整合液（２１）とを含む。 （もっと読む）