【課題】プレートステージを駆動する、高帯域でロバストな駆動システムを設計する。
【解決手段】 操作量に従って駆動されるプレートステージＰＳＴの位置（第１制御量）Ｘ_１を計測する干渉計１８Ｘが設置されたプレートテーブルＰＴＢが示す共振モードに対して逆相の共振モードを示すキャリッジ３０に、プレートステージＰＳＴの位置（第２制御量）Ｘ_２を計測する干渉計１８Ｘ_１が設置される。干渉計１８Ｘ及び干渉計１８Ｘ_１を用いることにより、プレートステージＰＳＴの駆動する、高帯域でロバストな駆動システムを設計することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】通信遅延時間の変動を抑制しながら制御性能を維持してフィードバック制御によるプロセス管理を実行することが可能なネットワーク型制御システム、およびネットワーク型制御システムにおける通信遅延時間制御方法を提供する。
【解決手段】ネットワーク型制御システムは、管理対象プロセスの状態を制御する制御対象機器と、対象プロセスの状態量を計測する計測装置２０Ａと、制御対象機器および計測装置２０Ａにネットワーク３０を介して接続され、計測装置２０Ａによる管理対象プロセスの状態量の計測値に基づいて制御対象機器をフィードバック制御する制御装置４０とを有する。このネットワーク型制御システムは、ネットワークにおける通信遅延時間を演算する手段と、通信遅延時間が所定値以上になったときに、前記フィードバック制御を行うために前記ネットワークに送出する情報量を低減させる手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】最短時間制御にフィードバック制御の要素を取り入れると共に、制御終了後に制御出力を収束できるアクチュエータの制御方法及び制御装置を提供する。
【解決手段】最短時間制御を用いると共に、制御力の最大出力時の最大加速度αｐと最大減速度αｍを用いて、加速出力から減速出力へ切り替える切替時刻ｔ１と、減速出力の終了時刻ｔ２を算出し、計算時刻ｔ０から切替時刻ｔ１までは、アクチュエータの制御力を最大加速出力とし、切替時刻ｔ１から終了時刻ｔ２まではアクチュエータの制御力を最大減速出力とし、終了時刻ｔ２では制御力の出力を終了すると共に、予め設定した時間毎に切替時刻ｔ１と終了時刻ｔ２を繰り返して算出して更新し、更に、制御系が持つ残り仕事と運動エネルギーの和である残留エネルギーの減少と共に、制御出力を小さくする。 （もっと読む）

【課題】アドミッタンス制御の不安定化を緩和できる制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置１は、推力を発生させるアクチュエータ１２とエンコーダ１５と力覚センサ１１とを有したアーム１０を制御する力制御手段３の内部に、アームの質量よりも小さな０でない質量を有した仮想物体について予め定められた、仮想質量ｍ_d、仮想粘性ｃ_dおよび仮想物体に加えられる仮想的な力としての目標力ｆ_dの各パラメータを含む運動方程式を力覚センサ１１で検出された接触力ｆを入力として用いて解くことで目標位置ｐ_dを算出する仮想物体運動算出手段７と、目標位置ｐ_dとエンコーダ１５で検出されたアームの位置ｐとを入力としてプロクシベーストスライディングモード制御を用いてアームに加える推力ｇを算出し、これをアクチュエータ１２への指令値とする位置制御手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 移動体の状態を反映する画像情報をもとに、特徴量を抽出する手法を用いることはなく移動体を的確に制御することを可能にする移動体の動作制御装置を提供する。
【解決手段】 水を収容した水槽１０と、水槽１０を一方向に往復動させる駆動部１２と、水槽１０を視認するカメラ１４と、カメラ１４により取得された画像情報に基づき駆動部１２により水槽１０を制御して水槽１０内の水を揺動状態から静止状態へ整定する制御部１６とを備えるスロッシング制御装置であって、制御部１６は、カメラ１４から所定周期にしたがって順次取り込まれる水槽１０中の水の画像情報を、数ベクトル空間を除くヒルベルト空間における１点と解釈して、安定化制御方法により、水槽１０内の水を揺動状態から静止状態へ整定するようにモータ１２を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】既設の主たる制御装置に、容易に追加して制御能力を向上させることができるようにする。
【解決手段】制御対象２の温度をフィードバック制御する主たる制御装置１から出力される主制御信号に基づいて、制御対象２を制御する追加制御信号を出力する追加型制御装置７であって、前記主制御信号を、前記主たる制御装置１と当該追加型制御装置７とが干渉しないように、前記追加制御信号に変換する変換手段を備え、前記変換手段は、前記主制御信号の操作量を演算して、該操作量に予め対応付けられた操作量の前記追加御信号に変換する。 （もっと読む）

【課題】対象物に刺激を与えるシステムにおいて、差し迫った制御不安定性を検出してこれを回避する方法を提供する。
【解決手段】システム１１０は、刺激エフェクター１２０により対象物１００に刺激が与えられている間にセンサー１３０により対象物の発振を示すシステムパラメータを表すパラメータ信号ＯＳＣを測定する。制御装置１４０はパラメータ信号の選択された周波数帯における支配的なトーンの最大振幅を監視し、最大振幅が指定された期間にわたって持続する場合、制御不安定性を回避する信号ＣＳを刺激エフェクター１２０に与える。 （もっと読む）

【課題】 周波数特性に不確かさを有する制御対象を含む制御系の安定性を正確に評価する。
【解決手段】 特性データ取得部11は、制御器の周波数特性を取得する。変動データ取得部12は、制御対象のゲイン特性および位相差特性を取得する。伝達特性演算部13は、複素座標系において、ゲイン特性の変動範囲と位相差特性の変動範囲が重なる領域を制御対象の周波数特性の変動範囲として、周波数特性の変動範囲と制御器の周波数特性から制御系の一巡伝達特性とその変動範囲を演算する。評価部13は、一巡伝達特性とその変動範囲から制御系の安定性を評価する。 （もっと読む）

【課題】制御動作が不安定化するパラメータ設定が行なわれてしまう恐れを低減する。
【解決手段】制御装置は、設定値ＳＰの変更による過渡応答時に有効な操作量上限値ＯＨｓを記憶する過渡操作量上限値記憶部３と、定常運転時に有効な操作量上限値ＯＨｇを記憶する定常操作量上限値記憶部４と、設定値ＳＰの変更を検出する設定値変更検出部５と、過渡応答の完了を検出する過渡応答完了検出部６と、設定値ＳＰの変更時点から過渡応答の完了時点までの時間帯では操作量上限値ＯＨｓを制御演算で使用する操作量上限値ＯＨとして設定し、それ以外の時間帯では操作量上限値ＯＨｇを操作量上限値ＯＨとして設定する操作量上限値切り替え部７と、制御演算により操作量ＭＶを算出し、操作量ＭＶを操作量上限値ＯＨ以下に制限する上限処理を実行して出力する制御演算部８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】安定したプロセス制御を実現する適応制御装置の設計を速やかに行うことのできる適応制御装置の設計方法を提供することを目的とする。
【解決手段】プラント１、ＰＩ制御器３、適応制御器５の伝達関数を与える第１工程と、ＰＩ制御器３と適応制御器５とを合わせた制御系全体の伝達関数を求める第２工程と、制御対象の入力側に制御系外部から与えられる外乱を想定したときに、該外乱から出力までの伝達関数を、制御系全体の伝達関数とプラント１の伝達関数とを用いて表現する第３工程と、規範モデルを設定する第４工程と、規範モデルと第３工程で求めた伝達関数とによる部分モデルマッチングにより、ＰＩ制御器３における比例ゲイン及び積分ゲイン並びに適応制御器５の時定数を決定する第５工程とを有する適応制御装置の設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】十分な位相余裕が確保されるようにノッチフィルタのノッチ幅を調整する。
【解決手段】適応ノッチフィルタは、ノッチフィルタと、該ノッチフィルタの幅を表すパラメタを調整するパラメタ調整部と、を備える。パラメタ調整部は、パラメタの候補値よりも広い幅を表す値を試行し、検出された振動が試行期間の完了まで基準内に収まっている場合にパラメタを候補値に設定する。検出された振動が基準を超えた場合に試行を中断して前記パラメタを試行前の値に戻してもよい。 （もっと読む）

【課題】分散型制御装置による制御からに多変数モデル予測制御装置による制御への切り替えを、１制御周期の欠落もなく実行することができるプロセス制御システムを実現する。
【解決手段】プロセス出力値を共通に入力する分散型制御装置と多変数モデル予測制御装置とを、双方のステータス変更操作により切り替える機能を有し、分散型制御装置が稼動するスタンドバイモードのステータスから多変数モデル予測制御装置が稼動するコントロールモードのステータスに切り替える際に、多変数モデル予測制御装置は、所定の制御周期で分散型制御装置と多変数モデル予測制御装置に設定されているステータスの読み込み処理と、双方のステータスをコントロールモードに一致させるステータス等値化処理と、プロセスの制御演算処理と、演算結果を分散型制御装置側に渡す書き込み処理とを制御周期の期間中に少なくとも１回の追加ステータス等値化処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】障害が識別されるだけではなく、有効信号に対する影響ができる限り小さくなるように障害を弱め且つ最少化し、障害を受けていない有効信号のダイナミクスができるだけ維持されるように拡張する、直接制御量の障害を弱めるための方法を提供する。
【解決手段】操作量が有効信号であるときに、閉制御回路内の直接制御量の障害を弱めるための方法において、直接制御量がそれぞれ相連続する二つの走査時点で連続的に測定され、直接制御量の値が差し引かれ、この差の大きさが予め定められている基準値だけずれている場合に、少なくとも一つの制御パラメータが、障害に対する操作量の反応が最少化されるように変化される。 （もっと読む）

【課題】ノッチフィルタの中心周波数を良好に調整する。
【解決手段】共振抑制装置は、制御系の共振を抑制するために当該制御系に設けられているノッチフィルタ１２と、ノッチフィルタ１２の中心周波数を更新する中心周波数演算部１７と、中心周波数演算部１７への入力信号の帯域を制限するための振動成分抽出部１４であって、その通過帯域が中心周波数に連動して設定される第１のフィルタを含む振動成分抽出部１４と、を備える。通過帯域は中心周波数の修正量が基準を下回る場合に中心周波数に連動して設定されてもよい。 （もっと読む）

【課題】回路規模やコスト、消費電力を低減しつつ、信号伝達遅延を抑制することが可能なフィードバック制御回路、及びこれを一部に含むフィードバック制御システムを提供する。
【解決手段】入力信号を増幅する増幅手段１２と、前記増幅手段の出力信号に対して積分演算を行う一段以上の積分手段３０と、前記積分手段の少なくとも一部をバイパスして信号を伝達する一以上のフィードフォワード経路ＦＦ１と、前記積分手段から入力される信号と前記フィードフィードフォワード経路を介して入力される信号を加算する加算手段２２と、前記加算手段の出力を量子化して出力信号を生成する量子化手段３２と、前記量子化手段により生成される出力信号を、前記一段以上の積分手段のうち最終段の積分手段の入力側に伝達するフィードバック経路ＦＢ１と、を備えるフィードバック制御回路。 （もっと読む）

【課題】上体の運動によって指定タスクを実行しながら、継続的に安定することができるロボット等を提供する。
【解決手段】本発明のロボット１または行動制御システム２によれば、確率遷移モデルにしたがって、腕体の運動状態を表わす「第１状態変数」の時系列的な変化態様が、第１状態変数のうち少なくとも１つがロボット１に指定タスクを実行させるための第１指定運動軌道｛ｒ｝に追従するように生成される。また、同じく確率遷移モデルにしたがって、上体の運動状態を表わす「第２状態変数」の時系列的な変化態様が、第２状態変数が継続的に安定な動力学的条件を充足するように生成される。 （もっと読む）

【課題】バッチプロセスを制御するためのシステムおよび方法が提供される。
【解決手段】バッチプロセスをシミュレートするために、第１原理モデルが用いられ、この第１原理モデルは、バッチプロセスを制御するために、多重入力／多重出力制御ルーチンを構成するのに用いられ得る。第１原理モデルは、実際のバッチプロセスの動作の間に測定することができず、または測定されないバッチ変数の推定値を発生することができる。このような変数の例としては、バッチプロセスの構成成分（例えば、生成速度、細胞成長速度等）の変化速度であってもよい。第１原理モデルおよびその構成された多重入力／多重出力制御ルーチンは、バッチプロセスの制御を容易にするために用いられ得る。 （もっと読む）

【課題】プロセス制御データを収集するための方法、装置、および製造物品を開示する。
【解決手段】プロセス制御データを収集するための例示的方法は、測定されるパラメータおよび測定サンプリングレートを記述する電子デバイス記述を登録することと、その測定サンプリングレートに基づいてパラメータを測定することと、測定されたパラメータを代表するデータをデータ構造に保存することと、データの要求、データと関連付けられる状態、またはデータと関連付けられるイベントのうちの少なくとも１つに応答して、プロセス制御ネットワークを介して、データ構造内のデータを第１のプロセス制御デバイスに転送させることと、を含む。 （もっと読む）

【課題】設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。
【解決手段】
制御対象２８に加わる外乱ｄを推定する外乱オブザーバ２１において、外乱オブザーバ２１は、制御対象２８の共振成分を外乱ｄの一部として含んだ外乱モデルに基づいて相補感度関数のパラメータが設計されたことを特徴とする。 （もっと読む）