【課題】開又は閉指令を、開度に対応した時間、出力することで、弁を目標開度に操作する場合、目標開度近くで開／閉方向の反転動作を頻繁に繰り返すことなく、目標開度とすることが可能な弁開度制御システムを提供する
【解決手段】弁１１を所望の開度に開閉制御する弁開度制御システムであって、弁１１の開閉速度に基づき、設定された所望の目標開度に達するまでの開又は閉指令の出力時間を出力時間演算手段１７で求め、 この出力時間の間、出力手段と１８により弁１１に開又は閉指令を出力する。この際、弁１１の実測開度を開度制御手段１９に入力し、この実測開度と目標開度との差が、予め設定した不感帯の範囲に入ると、弁１１に対する開又は閉指令の出力を停止させる。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る位置決め装置は、撮像器３による撮像画像データに基づいて追跡誤差信号を算出する画像処理部４０と、追跡誤差信号及び粗動機構のセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御駆動部１０と、追跡誤差信号及び微動機構のセンサ信号に基づく微動機構制御信号により微動機構を制御する微動機構制御駆動部２０と、粗動機構１の駆動力又は駆動トルクと、粗動機構１のセンサ信号と、機構パラメータ記憶部に記憶された機構パラメータとから、機構の運動方程式に基づいて粗動機構の動作により発生する撮像器の撮像画面内の加速度を算出し、粗動微動機構部の目標物に対する追跡誤差を低減させるために微動機構制御信号へ加算する微動機構追跡補正信号を加速度に応じて生成する補正信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】価格の安いリニアエンコーダを用いて安価な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に載置され該プラテン上をＸ−Ｙ方向に駆動可能に構成されたスライダを有する平面モータにおいて、前記スライダの位置検出手段として前記スライダに固定したヘッドと前記スライダが駆動されるＸ−Ｙ方向に配置されたスケールからなるリニアエンコーダを用いた。 （もっと読む）

【課題】 安定した精密な位置決め制御により、振動を防止し、高速で搬送することができる搬送装置を実現する。
【解決手段】 搬送装置１０は、移動手段に載置する装置ベース１１と、平行に設けられた１対の柱状部材１２ａと１対の柱状部材１２ａの一端を連結する連結部１２ｂとからなるコアにソレノイドコイル１２ｃを巻いて形成され、装置ベース１１の上面１１ａに立設された電磁石１２と、ソレノイドコイル１２ｃの間に配置された永久磁石１５を備え、電磁石１２により上方に付勢可能に構成された、被搬送物を載置する搬送台１３と、を備えており、搬送台制御変位計測手段２１により計測された搬送台制御変位ｘと装置ベース変位計測手段２２により計測された装置ベース変位ｙとに基づいて、位置制御手段２３により、電磁石１２に供給する電流を制御することにより搬送台１３の位置を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】減速機構軸の減速後軸の回転角度を検出する必要がある場合、角度検出器の選定は減速機構の構造、被回転体により左右される。その結果角度検出器の大型化、重量化により位置決め装置全体が高額となる。
【解決手段】減速機構２の減速前軸４の角度より減速後軸３の角度を推定計算するようにすることで、減速機構２、被回転体の構造に左右されずに角度検出器７を選定できるようになり、位置決め装置全体の軽量化、低価格化を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】測長距離の制限を受けることがないと共にリニアモータの能力を十分に発揮させて制御時間の短縮を図ることができるリニアモータ位置検出システムを提供する。
【解決手段】リニアモータ５により移動されるテーブル４の直線運動をラック１２とピニオンギア１３により回転運動に変換するようにしたので、直線運動系での検出は有限目盛りであるのに対して回転運動系での検出は無限目盛りとなり、理論的には直線運動系の測長距離が無限であっても、直線運動系の測長距離を回転運動系の測長距離に容易に変換することができ、測長距離の変更に容易に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】高性能のカウント器やそれに代わるＡＩＳＣを用いることなく、現在位置Ｘｄｅｔを把握する。
【解決手段】エンコーダー９１０から出力される２相のパルス信号をそれぞれ検出して計数処理を行う２相カウンタ９０６と、そのうちのＡ相パルス信号だけを検出して計数処理を行う１相カウンタ９０７とを設け、目標位置Ｘｔｇｔと、それらカウンタによって把握した現在位置との差である位置誤差Ｘｅを算出し、位置誤差Ｘｅに応じた目標速度Ｖｔｇｔを増幅手段９０３から出力する一方で、位置誤差Ｘｅについて、比較的小さい値であるのか、比較的大きい値であるのかを誤差判定手段９０５によって判定し、比較的小さい値である場合には、２相カウンタ９０６によって現在位置ｘ２を求める一方で、比較的大きい値である場合には、１相カウンタ９０７によって現在位置ｘ１を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】試料と副ステージを確実に密着させても、試料を破損する危険の少ないステージ装置の制御方法を提供する。
【解決手段】試料９を載置する主基台１と、主基台１に対向配置された副基台７と、副基台７上のアクチュエータ６と、副基台７からバネで吊り下げられるアクチュエータ６によって制御される副ステージ８と、副基台７と前記副ステージ８との間の距離を計測する距離センサとを備え、試料９の厚さ方向の公差を接触時最大位置決め誤差と定義したとき、アクチュエータ６の各出力推力制限値ＦＬ[ｐ]を、予め求めた試料が存在しない場合の各出力推力に試料９が許容する押し当て力を加えた値とするステップと、副ステージ８の位置許容偏差を副ステージ８に設定された位置許容偏差に接触時最大置決め誤差を加えた値とするステップ等の５ステップより試料９にアクチュエータ６が接触したと判断する。 （もっと読む）

【課題】回転軸である追従軸が回転軸である被追従軸に同期する制御を行う同期制御装置を提供すること。
【解決手段】追従軸ｘの速度Ｖｃが被追従軸ｙの速度Ｖｐ（目標速度）に到達した時、１回転の移動量で丸めた目標位置との遅れ量を挽回するために更に加速してから減速させる制御を行う。追従軸ｘの速度Ｖｃが被追従軸ｙの速度Ｖｐ（目標速度）に到達した時、追従軸ｘの１回転の移動量で丸めた被追従軸ｙに対する目標位置との遅れ量は面積Ｓ４で表され、追従軸ｘを時間ｔ５まで加速しその後時間ｔ６まで減速する。従来方式による追従軸ｘの加減速方法に比較し、同期完了までの時間が（ｔ４−ｔ６）の長さ短縮されている。また、追従軸ｘの最大速度Ｖｃｍａｘも従来方式に比べて遅い速度である。 （もっと読む）

【課題】二重ジンバル機構においてインナージンバルとアウタージンバルの駆動制御を行う制御装置に関し、アウタージンバルとインナージンバル間の衝突や視軸変動の発生を抑止する。
【解決手段】アウタージンバルとインナージンバルを有する二重多軸ジンバルの駆動制御を行う制御装置であって、ジョイスティク５１からのアウター用基準指令値とアウター速度センサ２４の出力値との偏差であるアウター偏差値に基づきアウタージンバルを駆動制御するアウター制御部６０Ａと、中心角度指令値とインナー角度センサ３６の出力値との偏差であるインナー偏差値とに基づきインナージンバルを駆動制御するインナー制御部７０Ａと、ジョイスティク５１から指向操作によりアウター用基準指令値が入力されている時、前記インナー偏差値をアウター制御部６０Ａに反映させる補正手段（差角指令補償器８２,加算器８３）を設ける。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】対象物を移動させる駆動力を発生する駆動部と、対象物を目標位置に向かって移動させるべく駆動部をサーボ制御する制御部と、対象物を、駆動力よりも大きな固定力で固定する固定部とを備え、移動した対象物が目標位置に到達した後、少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、対象物が移動していた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続する。上記位置決め装置において、浮上力を発生させて対象物を浮上させる浮上力発生部を更に備え、浮上力発生部が浮上力の発生を停止した後、少なくとも少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、力発生部が対象物を浮上させていた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続してもよい。 （もっと読む）

【課題】加工精度をより向上でき得る位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置は、位置指令Ｐｃと検出位置Ｐｍとの位置偏差に位置ループゲインＫｐを乗じて速度指令Ｖｃを算出する位置制御と、速度指令Ｖｃと検出速度Ｖｍとの差分値である速度偏差を求めた後に当該速度偏差と速度ループ比例ゲインＰｖとの乗算値および当該速度偏差と速度ループ積分ゲインＩｖとの乗算値を加算してトルク指令Ｔｃを算出する速度制御と、を行なってサーボモータ１０を制御することで該サーボモータ１０によりボールネジ１１を介して駆動される制御対象１２の位置を制御する。この位置制御装置は、位置指令Ｐｃの値変化の加加速度を算出する手段１６，１７，１８と、該加加速度の大きさに応じて、位置ループゲインＫｐ、速度ループ比例ゲインＰｖ、および、速度ループ積分ゲインＩｖの少なくとも一つを可変するゲイン演算部１９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い損傷状況の診断を可能とする。
【解決手段】機械診断装置２０は、位置指令値から得られるサーボモータ３へのトルク指令値に基づいて駆動対象駆動力を推定する駆動対象駆動力推定部２１と、駆動対象駆動力からボールネジ４の弾性変形誤差を推定する弾性変形誤差推定部２３と、サーボモータ３の回転位置とテーブル２の位置とから位置偏差を演算する位置偏差演算部２２と、弾性変形誤差と位置偏差とを用いて機械損傷係数を演算し、得られた機械損傷係数を予め設定されている閾値と比較して駆動対象の損傷状況を診断する機械損傷診断部２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】多慣性系と見なされる機構をモータによって位置制御する時に、動作指令に対して、振動等を生じずに応答性高く追従するフィードフォワード制御を実現するモータ制御装置を提供する。
【解決手段】位置フィードバックコントローラを通して与えられる指令出力に対して、負荷速度からモータ速度までの伝達特性に基づくフィルタ処理を行い、処理結果を前記速度フィードバックコントローラへの速度指令値として出力する第１のフィルタ手段ＶＦＦ２と、前記指令出力に対して、モータトルクから負荷速度までの伝達特性の逆特性に基づくフィルタ処理を行う第２のフィルタ手段ＶＦＦ１とを有する。これにより、前記速度指令値を前記速度フィードバックコントローラへの速度フィードバック値に加算すると共に、前記第２のフィルタ手段の処理結果を、前記速度フィードバックコントローラを通して与えられるモータトルク指令値に加算する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 モータと機械負荷間の結合剛性が十分でない動力伝達機構を含むフィードバック制御系の制御性能の向上を実現できる位置又は速度制御装置を提供する。
【解決手段】 減速器１２を介してモータ１０と接続された機械負荷１１の速度を制御する速度制御装置の場合、負荷速度コントローラ１６は、負荷速度指令値と負荷速度の算出値との差に基づいて負荷軸トルク指令値を算出し、算出された値を基にねじり角指令値θｒｅｆを出力する。そして、負荷速度コントローラのマイナーループに、ねじり角指令値とねじり角Δθの算出値との差に基づいてモータトルク指令値を出力するねじり角コントローラ１７を備えた。 （もっと読む）

【課題】非線形ばね特性をモデル化し、最適なパラメータを事前に把握することを可能とし、そのため簡単な調整作業によって高精度な位置制御を行うことが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】転がりガイド５によってガイドされるステージ４の位置制御を行う位置制御装置である。ステージ４の速度に基づき転がりガイドの非線形ばね特性から求めた摩擦力によって、制御系におけるステージの推力を補正する。指令位置と実際位置との位置偏差に基づいてステージの位置制御を行うフィードバック制御系を有し、この制御系に転がりガイド５の摩擦力をフィードフォワードゲインとして組み込む。転がりガイド５の非線形ばね特性はブラシモデルを用いて構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、停止時の電流検出の分解能を上げるとともに、停止時の振動を抑えることができる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ΔΣ方式のＡ／Ｄ変換器による電流検出手段を備えたサーボ制御装置の電流検出方法において、前記サーボ制御装置は、フィルタ１０のフィルタリング時間が切替えられる切換手段１１を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ロッドの位置と移動速度を簡単な構成で制御することができる小型電動アクチュエータを提供すること。
【解決手段】駆動源である電動モータ３の回転を減速機構によって減速してねじ軸４に伝達し、該ねじ軸４に進退可能に螺合するロッド５をねじ軸４の回転によって往復直線移動させる小型電動アクチュエータ１において、前記ロッド５の移動方向に沿ってポテンショメータ（可変抵抗器）１０を配設するとともに、該ポテンショメータ１０の摺動子１０ａを前記ロッド５に固定し、該摺動子１０ａの移動に伴うポテンショメータ１０の抵抗変化による電圧変化に基づいてロッド５の位置を制御する。又、前記電動モータ３をＤＣモータ（可変速モータ）で構成し、前記ポテンショメータ１０の抵抗変化による電圧の変化率に基づいてロッド５の移動速度を制御する。 （もっと読む）