【課題】混合ガスの濃度および流量を高速かつ正確に制御できる混合ガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】各原料ガス供給源１ａ〜１ｄに原料ガス供給管路２ａ〜２ｄが接続され、原料ガス供給管路にガス混合管路３が接続される。各原料ガス供給管路に第１の流量制御バルブ４ａ〜４ｄが設けられる。ガス混合管路に第２の流量制御バルブ５の入口が接続される。ガス混合管路にオーバーフロー管路６が分岐接続される。第２の流量制御バルブの出口に混合ガス供給管路７が接続される。制御部８が、混合ガス供給管路に供給すべき混合ガスの濃度及び流量設定値に従って、第１の流量制御バルブの開度を調整すると同時に、第１の流量制御バルブの開度と第１の流量制御バルブの原料ガスに対するコンバージョンファクタとから算出した第２の流量制御バルブの混合ガスに対するコンバージョンファクタに基づき、第２の流量制御バルブの開度を調整する。 （もっと読む）

【課題】刺激感応物質を制御流体に含有させ、該制御流体に瞬間的な刺激を与えることによって、該制御流体と合流させた被制御流体の流れを高速且つ高精度に制御する方法等を提供すること。
【解決手段】主流路と副流路に分岐した被制御流体流路を有するマイクロシステムにおいて被制御流体の流れを制御する方法であって、刺激感応物質を含む制御流体を合流させ、合流後に該被制御流体と並行する該制御流体に刺激を与えることによって主流路における被制御流体の流量を一時的に制御し、それによって該被制御流体の副流路における流量を間接的に制御する方法、及び該方法を用いるマイクロシステム。 （もっと読む）

【課題】ポンプされていない状態にある圧力チャンバにガスを供給するために圧力チャンバに接続されたマスフローコントローラー（ＭＦＣ）を監視し、適切に機能させる。
【解決手段】試験期間の間、連続的な充填サイクルを生成すべくＭＦＣを循環的に切り替えることと、試験期間の間、所定の間隔を置いてチャンバの圧力を測定することとを含み、ＭＦＣの全切替時間が充填サイクルのうちの少なくとも１０％であり、さらに、圧力の測定値の平均値を得て、ＭＦＣが適切に機能しているかどうかを判定すべく平均値を過去のデータと比較する。 （もっと読む）

【課題】腐食性ガスを対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行え、安価で、流量制御精度が高く、耐食性を有する基準圧力式流量制御器を提供する。
【解決手段】オリフィスの上流側に設けたコントロール弁と，コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と，圧力検出器の検出圧力から流量を演算すると共に、流量指令信号と前記演算した流量信号との差を制御信号として前記コントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから構成され、オリフィスの上流側圧力と下流側圧力との比を被制御流体の臨界圧比以下に保持した状態で前記コントロール弁の開閉によりオリフィス上流側圧力を調整してオリフィス下流側の流体流量を制御するようにした、圧力制御式流量基準器に用いる基準圧力式流量制御器に於いて、当該基準圧力式流量制御器の内部の流体が接する部分の全面に金メッキ皮膜を形成し、基準圧力式流量制御器を耐食性圧力式流量制御器９とする。 （もっと読む）

【課題】一次圧や二次圧に圧力損失を生じさせることなく、減圧装置を装備した流体導管の流量を計測可能にした。
【解決手段】流体導管１に装備され、上流側流体導管１ｕにおける一次圧を減圧して下流側流体導管１ｄにおける二次圧を得る減圧装置１０であって、二次圧を検出する二次圧検出部１３と、二次圧検出部１３で検出された二次圧に基づいて流量抵抗を可変調整する可変抵抗部１１と、可変抵抗部１１の下流側に設けられ、一定の流量抵抗を有する固定抵抗部１２とを備え、可変抵抗部１１と固定抵抗部１２との合成流量抵抗によって、一次圧を二次圧に減圧する。固定抵抗部１２による発生差圧を検出することで、流体導管１の流量を計測できる。 （もっと読む）

少なくとも１つのポンプと、質量流量センサと、周囲温度センサと、周囲圧力センサと、前記質量流量センサの温度を測定する温度補償センサと、制御システムとを備える安定した空気流量を維持するための流量調整システムが開示され、前記流量調整システムを用いて流量を測定するための方法、サンプリング装置と、濃縮トラップ１と、較正およびチューニングモジュールと、ブランクモジュールと、前記流量調整システムと、クロマトグラフィーユニットと、検出ユニットとを備える気相と粒子相との両方における空気中に存在する空気により運ばれる化合物を監視するための装置、ならびに前記監視装置を用いて空気流中の空気により運ばれる化合物を検出するための方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】刺激感応物質を制御流体に含有させ、該制御流体に瞬間的な刺激を与えることによって、該制御流体と合流させた被制御流体の流れを高速且つ高精度に制御する方法等を提供すること。
【解決手段】主流路と副流路に分岐した被制御流体流路を有するマイクロシステムにおいて被制御流体の流れを制御する方法であって、刺激感応物質を含む制御流体を合流させ、合流後に該被制御流体と並行する該制御流体に刺激を与えることによって主流路における被制御流体の流量を一時的に制御し、それによって該被制御流体の副流路における流量を間接的に制御する方法、及び該方法を用いるマイクロシステム。 （もっと読む）

【課題】微少な吐出量を制御可能な液体流量制御装置を提供すること。
【解決手段】電気制御装置２００は、第２バルブ４を閉弁状態に維持しながら第１バルブ３を開弁することによって第１通路１３をダイアフラムポンプ２に連通し、ダイアフラムポンプ２に通電することによって第１通路１３内の液体をダイアフラムポンプ２内に吸引し、その後、第１バルブ３を閉弁することによって第１通路１３を遮断するとともにダイアフラムポンプ２への通電を停止することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰可能な停止状態に維持し、第２バルブ４を開弁開始することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰開始させ、ダイアフラムポンプ２の原状への復帰途中で第２バルブ４を閉弁する制御を行う。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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【目的】 流体の微小流量を正確に制御し、流体流動の不安定を誘起することなく所望の弁特性を実現し、前記流体流量を制御する絞り溝が簡単な形状を有する微小流量制御装置の設計方法を提供することである。
【構成】 流体を導入する流入路１２と、導入された流体を始端から終端に向けて流動させるメイン絞り溝６が形成された弁体２と、流量調整部材により任意断面で開口される流体流出口２０と、この流体流出口２０から流出する流体を導出する流出路１４から構成される微小流量制御装置において、前記メイン絞り溝６の始端位置に連通的に先行するエントランス絞り溝８を設け、前記エントランス絞り溝８及びメイン絞り溝６を流動する流体の運動量方程式から導出された関係式に基づいて所望の流動抵抗を発揮するようにエントランス絞り溝８の寸法を決定するエントランス絞り溝付微小流量制御装置の設計方法である。 （もっと読む）

【課題】少ない刺激によって高速かつ高精度に微粒子を分別できる微粒子分別マイクロシステムおよび微粒子分別方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微粒子分別マイクロシステム１は、刺激感応物質としてのゾル-ゲル転移物質が添加された微粒子含溶液11が流れる微粒子含溶液流路３と、所定位置で当該微粒子含溶液流路３と合流するシース溶液12が流れるシース溶液流路４と、微粒子含溶液流路３とシース溶液流路４とが合流した合流流路９と、当該合流流路９に設けられた導入された微粒子10を計測するための微粒子計測部５と、合流流路９の下流に設けられ、分岐点６を介して分岐する微粒子10を分別するための微粒子回収流路７ａ及び微粒子廃棄流路７ｂとが、基板２上に設けられるとともに、当該微粒子廃棄流路７ｂ上に刺激付与手段としての赤外線照射装置８が設けられた構成を有する。 （もっと読む）

本発明は、流量圧力の緩慢低減を経時的に測定可能な流量に変える磁気式流量制御装置に関する。閾値差圧に到達すると、流量制御装置を通る流路は、相対的に大きな開口部に向け急激に開き、その結果、特に、従来の水量計における流体容量の測定を可能にするために流路を通る高流量にて流体容量が生成される。本発明の装置は、この低流量を統合して、測定可能な流体流量に変えることで、流体を流量計によって最適な誤差範囲で測定することができるようにする。これは、許容標準値内である流量計の圧力降下を維持しながら達成される。したがって、本発明は、パルスと同様の方法で、実質的に高流量と無流量との間で相対的に著しい変化を実現する。
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総合的な流体流量制御を提供するプロセス装置（１０、１００）が提供される。装置（１０、１００）は、流導管（１６、１０４）中に設けられた閉止機構（１２、１０６）を含む。好ましくはアイリス型ダイヤフラムである閉止機構（１２、１０６）は可変性の内径を提供する。装置（１０、１００）は、ダイヤフラムの両側での差圧を感知するための差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）を含む。制御装置（１１２）が差圧の指示を受信し、制御信号をアクチュエータに発すると、そのアクチュエータが閉止機構（１２、１０６）を作動させる。閉止機構（１２、１０６）、差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）及び制御装置（１１２）が一つのプロセス装置（１０、１００）の中で閉ループ流量制御装置を形成する。
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【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。
【解決手段】 超小型減圧流量制御装置１００は、流体を流して流体の圧力を低減させる第１微細流体流路１と、第１微細流体流路１に連結され、第１微細流体流路１からの流体を流すためのＮ本（Ｎは２以上の整数）の第２微細流体流路３と、各第２微細流体流路３にそれぞれ設けられたマイクロバルブ２と、各第２微細流体流路３からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 複雑なバルブ構造を用いることなく、マイクロシステムにおける流体の流れを簡便に制御する方法を提供する。
【解決手段】 マイクロシステムの微小流路を流れる流体に、刺激によりゾル−ゲル転移する物質を添加し、微小流路上の所望の箇所に刺激を与え、流体をゲル化させて流れを制御する。 （もっと読む）