【課題】 ピストンが傾斜することを防止できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１で入口２と弁口５と出口３を形成する。弁口５に対向して主弁６を配置する。主弁６がピストン７と協働して弁口５を開閉せしめる。弁口５とピストン７の間の出口側空間８と出口３とを隔てる隔壁筒１０を設ける。隔壁筒１０に総開口面積が弁口面積と同等となる連通孔１１を等間隔に複数個形成する。連通孔１１は出口３と直角方向の両側のみに形成する。弁口５から出口３に向かう高圧流体が隔壁筒１０内でピストン７に均等に作用しながら連通孔１１から出口３に排出されるので、ピストン７が傾斜することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 小形で、出力ロッドを押し出す出力圧力を応答性良く制御できる小形押圧レギュレータを提供すること。
【解決手段】 内部空間１７を有するシリンダブロック１４と、前記内部空間１７に配置されて圧力制御室１７ａを形成するダイアフラム１８と、前記シリンダブロック１４に往復直線運動可能に保持され、前記ダイアフラム１８に連結される出力ロッド１５と、を有するエアシリンダ部１０と、前記エアシリンダ部１０に連結されるものであって、前記圧力制御室１７ａの圧力を制御する圧力制御部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】 オリフィスに付着する異物を自動的に排除できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 上面と下面を連通するオリフィス２７を開けたピストン７の上面に設定圧力と二次側圧力との偏差に基づいて一次側流体を導入することによりピストン７を変位せしめてピストン７に連結した主弁６を開閉操作する。ピストン７上方のピストン室９の頂壁に異物排除部材２８をねじ結合する。異物排除部材２８はピストン室９を垂下して設けられ、ピストン７の上方への変位によりオリフィス２７内に進入してオリフィス２７に付着した異物を下方の出口３側に排除する。これにより、オリフィス２７に付着する異物を自動的に排除できる。 （もっと読む）

【課題】内部パイロット式減圧弁の組立作業性とダイヤフラムの交換作業性を向上させる。
【解決手段】内部パイロット式減圧弁１０は、一次側ポート１１に供給された圧縮空気を減圧して二次側ポート１２に流出する。二次側に流入される圧力は、ハンドル６１を回転させてパイロットダイヤフラム４９に加わるばね力を調整することにより設定される。パイロットダイヤフラム４９と調圧ばね部材５９が組み込まれるボンネット４７は、調圧アダプター２８に挿入した後に回転させると、外方突起部７１が内方突起部７３に当接して装着される。調圧アダプター２８とボンネット４７との間にロック部材７７を挿入すると、調圧アダプター２８はロックされる。 （もっと読む）

【課題】微細な加工精度の違いによって、個々の調圧弁の調圧性能にばらつきが生ずることを回避することが可能な調圧弁を提供する。
【解決手段】流体が流れる管路１１内に弁体１２を配してなる弁本体１と、流体圧を利用して前記弁体１２を開閉方向に駆動するための開側、閉側アクチュエータ２、３と、前記弁本体１と前記閉側アクチュエータ３との間に前記閉側アクチュエータ３が利用する流体圧を伝達し得るフィードバック経路４とを具備してなる調圧弁Ｖに圧力調整機構Ａを具備することとした。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式や制御のための各種パラメータの設定変更を自動的に行わせる。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂおよび使用パラメータ選択機能１Ｃを設ける。記憶部６に正動作パラメータと逆動作パラメータを記憶させておく。ポジショナ動作型式判別機能１Ｂは、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とからポジショナ１００の動作型式を判別し、その判別結果をポジショナ１００の現在の動作型式として自動設定する。使用パラメータ選択機能１Ｃは、判別されたポジショナ１００の現在の動作型式に応じ、正動作型である場合には正動作パラメータを、逆動作型である場合には逆動作パラメータを記憶部６から使用パラメータとして選択し、選択した使用パラメータを自動設定する。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式を簡単に知ることができるようにする。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂを設ける。単動パイロットリレー３からの増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの圧力値を圧力センサ５によって検出し、演算部１へ送る。演算部１は、ポジショナ動作型式判別機能１Ｂによって、制御出力Ｋの変化に対応する増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化を監視し、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが同方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を正動作型と判別する。制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが異なる方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を逆動作型と判別する。この判別結果は表示部７の画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】 ピストン及び主弁が傾斜し難い減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１で入口２と弁口５と出口３を形成し、弁口５を開閉する主弁６を弁ケーシング１内に配置し、主弁６を操作するピストン７を弁ケーシング１内に配置し、ピストン７の上面に一次側圧力を作用させ下面に二次側圧力を作用させてピストン７を変位させることにより主弁６を操作して弁口５を開閉することにより二次側圧力を設定圧力に保つものであって、主弁６の下部弁軸６ａを軸方向に案内する案内孔１ｂを弁ケーシング１に設け、ピストン７の下面の弁口５から噴出した流体が直進する噴出流体の中心軸上に下方に突出した半球部７ｂを設けたものにおいて、ピストン７の半球部７ｂの中心軸上に凹部７ａを設け、ピストン７の半球部７ｂの凹部７ａに主弁６の上部弁軸６ｂを嵌め合わせたる。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】扉が開扉されたときに空気を高圧室から低圧室に向かって流動させることができる空調システムを提供する。
【解決手段】空調システムは、室１０，１１，１２の室内気圧を目標室内気圧に維持する第１室内気圧調節手段、人の存在を検出する人検出手段、室１０，１１，１２の間の目標室内気圧の差を拡大させる第２室内気圧調節手段、扉１８，１９，２０の開閉を識別しつつ扉１８，１９，２０の実際の開き度合いを複数の段階に区分して識別する扉開閉識別手段、扉１８，１９，２０の開扉中に高圧室から低圧室に向かって空気を流動させる気流方向規制手段を実行する。気流方向規制手段は、扉の実際の開き度合を仮想開き度合のいずれかに当て嵌め、当て嵌めた仮想開き度合に対応する扉開放空間空気通過量を決定し、決定した扉開放空間空気通過量に等しい空気量が開放空間を通過し得るように、室につながるダンパ４１，４２，４３の空気通過量を調節する。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の流量特性を維持しつつ、圧力特性を向上させることにある。
【解決手段】一次側ポート１１と二次側ポート１２を連通させる連通孔１３に装着された主弁軸１４には、連通孔１３を閉じる方向に一次側圧力が加えられる一次側受圧部２４が形成されている。二次側圧力室２６とパイロット圧室２７は主弁ダイヤフラム２５により区画され、パイロット圧調整室３９と大気開放室４２はリリーフ孔４４が形成されたパイロットダイヤフラム４３により区画される。パイロット弁軸５１のパイロット弁体５３にはパイロット孔４８を開く方向に一次側圧力が加えられるパイロット受圧部５６が形成されている。一次側の圧力変動は一次側受圧部２４に加わる圧力とパイロット圧室２７の圧力とにより相殺される。 （もっと読む）

【課題】エアーベアリング等の制御対象に供給される流体圧力を高安定かつ高感度に制御する。
【解決手段】差圧計７にて基準圧力６と測定圧力４との差圧を測定し、制御コントローラ８の制御指令に従い、ノズルフラッパ弁３を開閉することで、制御対象２に供給される流体圧力を制御する。差圧計７に耐圧以上の圧力がかかり破損することを防ぐため、基準圧力６と測定圧力４との過大圧力差から差圧計７を保護するための電磁弁９を設ける。圧力制御部１の圧力値と、基準圧力発生装置５の基準圧力６と、電磁弁９を開閉するリレー１１を作動させる圧力スイッチ１０ａ、１０ｂによる圧力閾値とを同期して制御することで、低圧から高圧まで高感度な制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁を分解することなくフィルタにより捕捉した異物を排除する。
【解決手段】 本体１に入口５と出口６を形成する。入口５と出口６を連通する弁口８を開閉する弁体９を弁口８の下方に弁体ばね１９で閉弁方向に付勢して配置する。ベローズ４の変位により操作棒１１を介して弁体９を駆動して弁口８を開閉する。弁体９と弁体ばね１９を囲う円筒状のフィルタ２０を弁座７と本体１の底部との間に配置する。本体１の底部にフィルタ２０の内周を摺接する異物排除部材３０をねじ進退可能にねじ結合する。異物排除部材３０と弁体９との間に弁体ばね１９を配置する。フィルタ２０の外側下方に異物溜空間３１を形成する。異物溜空間３１の異物を系外に排除するブローバルブ３４を設ける。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁を分解することなくフィルタにより捕捉した異物を排除する。
【解決手段】 本体１に入口５と出口６を形成する。入口５と出口６を連通する弁口８を開閉する弁体９を弁口８の下方に弁体ばね１９で閉弁方向に付勢して配置する。ベローズ４の変位により操作棒１１を介して弁体９を駆動して弁口８を開閉する。弁体９と弁体ばね１９を囲う円筒状のフィルタ２０を弁座７と本体１の底部との間に配置する。本体１の底部にフィルタ２０の内周を摺接する異物排除部材３０をねじ進退可能にねじ結合する。異物排除部材３０と弁体９との間に弁体ばね１９を配置する。フィルタ２０に異物排除孔３１を設けると共に異物排除部材３０に系外に連通する異物排除通路３２を設ける。異物排除部材３０をねじ前進させたときに弁体ばね１９を圧縮して弁体９で弁口８を閉じると共にフィルタ２０の異物排除孔３１と異物排除部材３０の異物排除通路３２を連通させる。 （もっと読む）

本発明は、特に商用車両にある空気処理装置用の複合圧力制限−あふれ弁に関し、複合圧力制限−あふれ弁（３０）がハウジング（１８）、蓋（１９）、入口（４）、第１の出口（７）、ピストン（１０）、あふれ弁座（１）及び圧力制限弁座（２）を持っており、調節ばね（１１）により、あふれ弁座（１）の開放圧力及び閉鎖圧力も、圧力制限弁座（２）の開放圧力及び閉鎖圧力も調節可能である。 （もっと読む）

【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ４０は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁４３と、電磁弁４３の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁４４とを備える。エア通路３５に導出されるエアの圧力センサ７２による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁４３，４４を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてＰＩＤ演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁４３，４４が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、ＰＩＤ演算により生成されるパルス信号を変更する。 （もっと読む）