【課題】ブローバルブ機構の構造を簡素化し、もって部品点数を削減するとともに弁を小型化する減圧弁を提供する。
【解決手段】ブローバルブ機構４１は、シャフト２３の外周側に同軸上に配置されたピストン４２と、ピストン４２の内周側および外周側に配置された内周側シール部材４３および外周側シール部材４４と、復帰スプリングとを有する。ピストン４２の外周面には１次圧開放流路として作用する切り欠き溝が設けられる。減圧弁１の弁開時、切り欠き溝は外周側シール部材４４の２次側に達しておらずブローバルブ機構４１は閉じている。減圧弁の弁閉時であって流入側１次圧が所定値未満のときにも、切り欠き溝は外周側シール部材４４の２次側に達しておらずブローバルブ機構４１は閉じている。流入側１次圧が所定値に達するとピストン４２がシャフト２３に対しストロークして切り欠き溝が外周側シール部材の２次側に達し、ブローバルブ機構４１が開弁する。 （もっと読む）

【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微細な加工精度の違いによって、個々の調圧弁の調圧性能にばらつきが生ずることを回避することが可能な調圧弁を提供する。
【解決手段】流体が流れる管路１１内に弁体１２を配してなる弁本体１と、流体圧を利用して前記弁体１２を開閉方向に駆動するための開側、閉側アクチュエータ２、３と、前記弁本体１と前記閉側アクチュエータ３との間に前記閉側アクチュエータ３が利用する流体圧を伝達し得るフィードバック経路４とを具備してなる調圧弁Ｖに圧力調整機構Ａを具備することとした。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】弁機構部のほかに第二弁機構部を設けることなく、一次圧力が所定値を超えて上昇した場合に二次側へ圧力を逃がすことの可能な構造とする。
【解決手段】ボディ１と、このボディ１内に配置された弁機構部３からなり、ボディ１は、一次側通路Ａと、二次側通路Ｂと、一次側及び二次側通路Ａ，Ｂの境界に位置する弁孔Ｄと、二次側通路Ｂ側にあって弁孔Ｄと同軸上に開設されたシリンダ部Ｅを有し、弁機構部３は、シリンダ部Ｅ及び弁孔Ｄを貫通して軸方向往復動可能に配置された弁ロッド３１と、二次側通路Ｂ側にあって弁ロッド３１の一端に取り付けられ弁孔Ｄに形成された弁座１５に接離可能に対向された弁体３２と、弁ロッド３１における弁体３２と反対側の端部に結合され二次側通路Ｂ側の圧力によって弁ロッド３１を弁座１５に対する弁体３２の接近方向へ変位させるダイアフラム３３を備えており、弁体３２と弁座１５の互いのシール径φ２が、シリンダ部Ｅと弁ロッド３１の互いのシール径φ１より大きい。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁軸の一端部が連結され、減圧室に通じる弁孔を中央部に開口させた弁座に着座し得るシート面を有する弁体が、弁室に収容されるようにして弁軸の軸方向中間部に固定される減圧弁において、合成樹脂から成る弁体の加工コストを低減する。
【解決手段】弁体２６には同軸の中央孔３０が設けられ、弁軸２５Ａは、挿入軸３３を同軸に有する第１軸部材３１と、挿入軸３３を圧入もしくは螺合せしめる有底の挿入孔３４を同軸に有する第２軸部材３２とが、それらの軸部材３１，３２の少なくとも一方を中央孔３０に挿通せしめつつ同軸に結合されて成り、弁体２６が、中央孔３０よりも大径の外周を有しつつ半径方向外方に突出するようにして第１および第２軸部材３１，３２にそれぞれ設けられる第１および第２係止突部３５，３６で軸方向両側から挟まれて弁軸２５Ａに固定される。 （もっと読む）

【課題】ガス流路に配設した流路弁が供給側ガス圧の影響を受けず、出口側ガス圧を安定的に維持できるとともに、構造が簡単で、部品点数が少なく低コストの減圧装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路に配設した流路弁２２を有天筒状の弁体で構成し、この流路弁２２の周壁２２ａをガス供給口２１ａ１、２１ａ２の開口面と平行に摺動させることによって、流路弁２２の摺動方向に長いスリット状の複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２を開閉するようにするとともに、流路弁２２によるガス供給口２１ａ１、２１ａ２の閉鎖側のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の長さを複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の間で異なるように形成する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整ネジの誤操作を防止できながら、低廉化を図り得る圧力制御装置を提供する。
【解決手段】モータＭがステッピングモータ１７にて構成され、ステッピングモータ１７の駆動軸１７ａが圧力調整ネジ３に直結されて、ステッピングモータ１７の回転駆動力が直接圧力調整ネジ３に伝動されるように構成され、制御部４が、手動操作を行わない通常操作状態において、ステッピングモータ１７に通電して、励磁状態でステッピングモータ１７が働く通常制御状態と、手動操作を行う手動操作状態において、ステッピングモータ１７への通電を停止して、非励磁状態でステッピングモータ１７の回転を許容する非制御状態とに切り換え自在に構成され、制御部４の制御状態を通常制御状態と非制御状態とに切り換える制御切換手段２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】弁軸方向と直角な面に対するダイヤフラムの傾き、ならびにダイヤフラム側の軸心および弁体側の軸心のずれを許容しつつ、製造コストを安価とした単純な構造で弁軸をダイヤフラムロッドに連結する。
【解決手段】ダイヤフラムロッド６８に、挿入凹部７２が弁機構１５側に開放するようにして同軸に設けられ、弁機構１５側に開放した有底の連結凹部７３を有して挿入凹部７２に緩く嵌合される笠部材７４が、挿入凹部７２の開口端内周にかしめもしくは圧入によって固定される環状の保持プレート７５と端壁７２ａとの間に保持され、連結凹部７３に嵌合される弁軸３０の一端部外周ならびに連結凹部７３の内周に環状の係合溝７６，７７がそれぞれ設けられ、弁軸３０の半径方向に沿う拡縮を可能とした係合リング７８が両係合溝７６，７７に係合される。 （もっと読む）

【課題】弁軸方向と直角な面に対するダイヤフラムの傾き、ならびにダイヤフラム側の軸心および弁体側の軸心のずれを許容しつつ、製造コストを安価とした単純な構造で弁軸をダイヤフラムロッドに連結する。
【解決手段】弁機構側に開放した挿入凹部７２がダイヤフラムロッド６８に同軸に設けられ、弁軸３０の一端部に、縮径軸部３０ａと、該縮径軸部３０ａの軸方向両側で縮径軸部３０ａよりも大径となる一対の拡径軸部３０ｂ，３０ｃとが設けられ、一側方に開く係合凹部７３を有して横断面略Ｕ字状に形成される保持プレート７４が、係合凹部７３に縮径軸部３０ａを緩く挿入せしめ状態で挿入凹部７２に挿入され、保持プレート７４の外周に設けられる円弧状の第１係合溝７６ならびに挿入凹部７２の内周に設けられる環状の第２係合溝７７に、弁軸３０の半径方向に沿う拡縮を可能とした係合リング７８が係合される。 （もっと読む）

【課題】 減圧弁の閉弁時に一次圧が上昇した場合に、一次側通路から直接減圧弁外へ排水することなく前記一次圧を低減できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 一次側通路と、二次側通路と、シリンダとシリンダに摺動可能に挿通されたピストンとピストンの一端に固定された第一弁体とピストンの他端に固定されて二次圧を受圧するダイヤフラムとダイヤフラムを第一弁体の開弁方向へ付勢する第一バネとを有し、一次側通路と二次側通路との間の第一連通部の流路面積を可変調整する第一弁機構とを備える減圧弁であって、第二弁体と第二弁体を閉弁方向に付勢する第二バネとを有し一次側通路と二次側通路との間の第二連通部を開閉する第二弁機構を備え、第二弁機構は第一弁機構のピストン内に収容されており、前記第一弁機構が一次側通路と二次側通路との間の第一連通部を閉じている時に、前記第二弁機構は所定の一次圧で一次側通路と二次側通路との間の第二連通部を開く。 （もっと読む）

【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ独立して制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力がそれぞれ独立して制御される。 （もっと読む）

【課題】１次圧室６と２次圧室７とを連通する主弁孔８を形成した主ケーシング４に、主弁孔を開閉する主弁１２が連結される主ダイヤフラム９を組み付けた主圧力制御部１と、主背圧室１０とパイロット室１６とを連通するパイロット弁孔１７を形成した副ケーシング１５に、パイロット弁孔を開閉するパイロット弁２１が連結されるパイロットダイヤフラム１８を組み付けたパイロット圧力制御部２とを備えるサーボ式圧力制御器において、１次圧を主背圧室に導入する１次圧導入路用と、２次圧をパイロット室に導入する２次圧導入路用の外部配管を不要にする。
【解決手段】主弁１２に１次圧導入路１１が形成される。副ケーシング１５は主背圧室１０に対し偏心して設けられ、主背圧室１０の投影空間の側方に張出す副ケーシング１５の一側部に、２次圧導入路２０が形成される。 （もっと読む）

【課題】減圧弁からダイヤフラムを取り外すことなく、減圧弁の内部を容易にメンテナンスすることができるようにする。
【解決手段】減圧弁１０は、一次室１６と、これに連通孔１８を介して連通する二次室２２と、ダイヤフラム２６により二次室２２と区画され、外部に連通する大気室２４とを形成するハウジング１２を有する。ハウジング１２には、一次室１６と連通孔１８を形成し、ハウジング１２に対して着脱可能な着脱部材３６が設けられている。着脱部材３６をハウジング１２から取り外すことで、ダイヤフラム２６を取り外すことなく、減圧弁１０の内部を用意にメンテナンスすることができる。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構を収容するボディに、減圧室の圧力が所定圧以上となるのに応じて開弁して減圧室の圧力を外部に解放するリリーフ弁が配設されるガス用減圧弁において、ガスの排出位置を任意に設定することを可能としつつ部品点数および組付工数の増大を回避した安価な構成で、リリーフ弁をボディに配設する。
【解決手段】リリーフ弁２１が、摺動孔７５を有してボディ１６に一体に設けられる円筒状の継手部７４と、摺動孔７５に摺動可能に嵌合されるリリーフ弁体７６と、摺動孔７５の外端部に嵌合、固定されるキャップ７７と、リリーフ弁体７６およびキャップ７７間に設けられるコイルばね７８とを備え、リリーフ弁体７６を着座させることを可能とした環状のリリーフ弁座８１が、減圧室に通じるリリーフ弁孔８０を中央部に開口させて前記摺動孔７５の内端に形成される。 （もっと読む）

車両の自動変速装置の圧力調整弁（２０）は、ハウジング（２８）と、当該ハウジング（２８）内に案内され複数の隣接する部分（３４、３６、３８）を有する弁スプール（３２）と、を有し、第１の部分（３４）は第１の直径（Ｄ１）を有し、第１の部分（３４）に隣接する第２の部分（３６）は、第１の直径（Ｄ１）よりも小さい第２の直径（Ｄ２）を有し、第２の部分（３６）に隣接する第３の部分（３８）は、第１の直径（Ｄ１）を有する。第１の部分（３４）には流入圧力孔（５８）が割り当てられ、第２の部分（３６）には調整圧力孔（６０）が割り当てられ、第３の部分（３８）には逆流孔（６２）が割り当てられる。電磁アクチュエータ（２６）は、第１の端面（５０）と接触しハウジング（２８）内に気密に案内されるプランジャ（７２）を介して、第１の作用方向（７８）に弁スプール（３２）に力を加える。圧力素子（５３）は、第１の作用方向（７８）に逆らって弁スプール（３２）に力を加える。弁スプール（３２）の第１の端面（５０）が第１の圧力室（８２）を画定し、反対側の第２の端面（５２）が第２の圧力室（８０）を画定し、第１の圧力室（８２）と第２の圧力室（８０）はそれぞれ調整圧力孔（６０）と流体連結されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】止水時において減圧弁体によるゴミ等の異物の噛込みを防止できる小型で安価な減圧弁装置を提供する。
【解決手段】減圧弁装置１０において、減圧弁体２２には止水用弁部９２と調圧用弁部９０とを設ける一方、弁シート７２には対応する止水用シート部７４と調圧用シート部７６とを設けて、１つの減圧弁機構に、ダイヤフラム３６と２次圧調節ばね３８とを含む駆動機構３４にて共通に駆動される、止水用弁部９２と止水用シート部７４とを含んで構成される止水弁機構と、調圧用弁部９０と調圧用シート部７６とを含んで構成される調圧弁機構とを具備させ、調圧時には調圧用弁隙間Ｓを止水用弁隙間よりも小さく保持し、止水動作時には減圧弁体２２を閉弁させた後に止水用弁部９２を止水用シート部７４に当接させて閉弁させ、止水を行う。 （もっと読む）