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Fターム[5H316FF22]の内容

流体圧力の制御 (4,764) | 検出変量、検出手段 (314) | 被制御流体の圧力以外の各種変量の検出 (47) | 流量を検出するもの (27)

Fターム[5H316FF22]に分類される特許

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【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁5は、バルブ室12を有するボディ11と、高圧流体をバルブ室12に導入する導入口17と、減圧された流体をバルブ室12から第2水素供給流路3bに送り出す送出口15と、バルブ室12内に収容されるシャトル弁体13と、送出口15の一端に設けられシャトル弁体13が離接可能な弁座18と、シャトル弁体13の背面22とバルブ室12の壁面12aにより囲繞されシャトル弁体13とバルブ室12の壁面12aとの隙間20を介して導入口17に連通する背圧室25と、背圧室25に連通し背圧室25の流体を排出する背圧流路26と、シャトル弁体13を弁座18に接近する方向に付勢するスプリング14と、背圧流路26を介して排出された背圧室25の流体を断続時間間隔を調整して第2水素供給流路3bに送出するインジェクタ30と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ポンプの最適な運用を行う運転計画を立てることができるポンプ運転計画装置を提供する。
【解決手段】揚水ポンプ井から水を汲み上げる複数の揚水ポンプ2eの運転計画を立案するポンプ運転計画装置であって、目的関数fを設定し、時刻i(i=0,…,23)毎の揚水ポンプ井への流入量予測値Qin(i)と、揚水ポンプ井の初期水位H(0)と、揚水ポンプ井の断面積Sと、揚水ポンプ井の上限水位Hhighおよび下限水位Hlowとを用いて、動的計画法により目的関数fを満たす複数の揚水ポンプ2eによる時刻i(i=0,…,23)毎の揚水量Qout(i)を求める揚水量計画演算部11を備えるポンプ運転計画装置。 (もっと読む)


【課題】流体圧アクチュエータの圧力制御のために設けられた電磁式可変リリーフ弁のリリーフ設定圧力に対するリリーフ圧精度の向上を図る。
【解決手段】アタッチメントシリンダ15に供給する作動油の圧力を電気的に指令可能な設定圧力に制御するために設けられている電磁式可変リリーフ弁33をコントローラ31により制御する。コントローラ31には、電磁式可変リリーフ弁33のリリーフ設定圧力およびリリーフ弁通過流量に関する入力信号に基づき上記電磁式可変リリーフ弁33のオーバーライド圧力特性を補正したリリーフ設定圧力に関する指令信号を上記電磁式可変リリーフ弁33に出力することを可能とする制御ロジックを盛り込み、このコントローラ31により制御を行なう。 (もっと読む)


【課題】配水バルブ制御装置に故障等の不具合が生じた際にも、需要家に対して良好な配水制御が可能となる配水バルブ制御装置を提供する。
【解決手段】配水バルブ制御装置100は、制御部1と、制御部1から目標開度S2及び正常信号S1が入力される信号入出力部2と、信号入出力部2に接続されたバルブ調節部3とを備える構成とする。そして、配水バルブ制御装置100に不具合が生じた場合には、信号入出力部2は、バルブ調節部3への正常信号S1の出力を停止して配水バルブ202の開度を該不具合発生時の開度に維持する。 (もっと読む)


【課題】循環配管を施した常時一定の動力で水を供給する水供給設備において、各ユースポイントでの送水圧力を一定に保つ様にし、又水供給設備の系内に水処理機器が有る場合でも、水量が増えた時に水処理機器に処理能力以上の過負荷を掛ける事がないようにする。
【解決手段】循環配管を施した水供給設備において、ユースポイントでの水使用量の増減により、前記課題の状況が生じるので、その変動を自動制御システムにより制御し、送り側送水圧力と送水量を粗一定に保つ様に調節する事により、各ユースポイントでの圧力を一定に保ち、又水処理機器4に過負荷が掛らない様にする。 (もっと読む)


【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ41は、サーボ弁11によって、気体供給源10から供給される気体の等温化圧力容器13への流入流量を規制し、等温化圧力容器13内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁11を操作する圧力制御手段(コンピュータ46)は、圧力計14で計測した等温化圧力容器13内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計15で計測した等温化圧力容器13内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器13における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 (もっと読む)


【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム100は、ガスボンベ110から複数の住宅2側に燃料ガスを供給するメイン流路121と、メイン流路121をバイパスするバイパス流路122と、メイン流路121に設けられた親調整器140と、バイパス流路122に設けられ、親調整器140の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器150と、子調整器150を診断する調整器診断装置160と、を備えている。調整器診断装置160は、子調整器150のみを介して流れる燃料ガスの最大流量値以下の流量範囲において計測された圧力値と、所定値との差に基づいて子調整器150の異常を診断する異常診断部を備えている。 (もっと読む)


【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム100は、ガスボンベ110から複数の住宅2側に燃料ガスを供給するメイン流路121と、メイン流路121をバイパスするバイパス流路122と、メイン流路121に設けられた親調整器140と、バイパス流路122に設けられ、親調整器140の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器150と、子調整器150を診断する調整器診断装置160と、を備えている。調整器診断装置160は、バイパス流路122における燃料ガスの圧力又は流量に応じた計測信号を出力する計測センサと、計測センサにより出力された計測信号の所定以上の変化時からの微小時間中に得られる振動波形に基づいて、子調整器150の異常を診断する異常診断部とを備えている。 (もっと読む)


【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源8から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ10により検出し、検出された圧力値Pと、予め記憶されている目標負圧Pとが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Fを第1の制御装置13で求め、第2の制御装置14が、目標気体流量Fに基づいて流量コントローラ9による流量を目標気体流量Fとし、かつ負圧発生装置2に現に供給されている気体流量を流量センサ11で検出し、第2の制御装置14において、検出された気体流量Fと目標気体流量Fとを比較し、気体流量Fが気体流量Fとなるように流量コントローラ9の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 (もっと読む)


【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 (もっと読む)


【課題】小風量の場所にも容易に適用できると共に、ハンチングの発生を確実に抑制する。
【解決手段】本発明は、高圧側から低圧側へ流通する空気量の変化に関係無く該両側間の差圧を一定に保持するための差圧保持ダンパ10であって、前記高圧側に連通する下側開口11から前記低圧側に連通する上側開口12に向かって拡幅された筒状のテーパー管13と、テーパー管13内に設けられたガイド棒16に沿って上下方向に浮遊可能な浮き子17とを備え、浮き子17の上下方向の浮遊によって浮き子17とテーパー管13の内面との隙間の面積が変化することにより下側開口11から上側開口12へテーパー管13内を流通する空気量の変化に関係無く差圧を一定に保持可能なように構成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ1は、サーボ弁11によって、気体供給源10から供給される気体の等温化圧力容器13への流入流量を規制し、等温化圧力容器13内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁11を操作する圧力制御手段(コンピュータ16)は、圧力計14で計測した等温化圧力容器13内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計12で計測した流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成すると共に、流入流量と圧力微分計15で計測した等温化圧力容器13内の圧力微分値とに基づいて等温化圧力容器13から流出する流出流量を推定するオブザーバを構成し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 (もっと読む)


【課題】分解作業を必要とせずに中圧減圧室の異常圧力状態が確認でき、ダイヤフラムなどの劣化を未然に防ぐことを可能にする圧力調整器を提供する。
【解決手段】中圧ダイヤフラム11側に直接接して、ダイヤフラムの変位に追従して動作する検出用レバー40の他端42aを目視できる目視窓46をカバー45に設けた。中圧ダイヤフラム11の異常を、中圧ダイヤフラム11側に直接接している検出用レバー40の端部42aの変位を見ることで容易に検知できるようにした。 (もっと読む)


【課題】給気の停止過程又は開始過程や排気の停止過程又は開始過程において、室圧を設定値に保つことが可能な室圧制御システムを提供する。
【解決手段】回転数をインバータ制御可能な空調機10によって空気が供給される各区画からの、定風量の排気ファン23及び還気ファン26による排気量を、VAV弁2によって制御して、各区画の室圧を設定値に維持する。各区画への給気量を停止する場合では、給気通路101に設けられたVST弁3を、給気通路101における通気量の変化の速度がVAV弁2による通気量の変化の速度を下回るような所要時間をかけて閉じる。 (もっと読む)


【課題】 高温高圧の流体や固形物が混入した流体が流通する場合であっても、開度を調節しながら流量や圧力を制御することができるバルブ構造を提供する。
【解決手段】 複数のオンオフ弁Va〜Vfをパラレルに接続し、いずれのオンオフ弁Va〜Vfを開弁させるかによって、当該回路の圧力を制御する。
また、特定の1または複数のオンオフ弁Va〜Vfの下流側に、制御オリフィス15,16を設けるとともに、この制御オリフィス15,16の開度によって、回路中の流量制御あるいは圧力制御を行う。
さらに、複数のオンオフ弁Va〜Vfを、ニードルバルブによって構成する。 (もっと読む)


【課題】連結部に回転を入力して連結部を屈曲又は湾曲させることができる駆動機構を提供する。
【解決手段】ガスの圧力をより低い圧力に調整するガス供給機器1は、複数の密閉室29、複数の密閉室29の圧力差によって生じる回転力により回転駆動される回転体22、複数の密閉室29のうちいずれかの密閉室29に連通し、回転体22の回転に伴って連通する密閉室29が変更される流入ポート30、及び、複数の密閉室29のうち流入ポート30が連通している密閉室29以外の密閉室29に連通し、回転体22の回転に伴って連通する密閉室29が変更される流出ポート31を有するガスモータ5を有し、流入ポート30にガスが供給され、流出ポート31からより低い圧力に調整されたガスを排出する。 (もっと読む)


チェンバ(105)内における流体の圧力を制御する圧力制御システムは、チェンバ内における流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサ(110)と、チェンバから流出する流体の流量を規制することによって、チェンバにおける流体の圧力を制御するように構成されている弁(120)とを含む。圧力制御システムは、更に、コントローラ(140)も含む。コントローラは、チェンバの容積を推定し、弁の圧出速度曲線を発生するように構成されている。更に、コントローラは、圧出速度曲線の傾きを少なくとも最小値に維持するように、圧出速度曲線を監視し修正し、チェンバにおける圧力を所望の圧力設定点に維持するように、圧力センサによる圧力測定に応答して、弁の位置を調節するために、修正した圧出速度曲線を用いるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室2にその圧力によりピストン作用するプランジャー6を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体6を作動させる。プランジャーはコイルスプリング8の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口3を導入すべき流体供給源、出口4を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 (もっと読む)


【課題】LPガスの再液化によるドレーンの進入により下流側の機器の故障を誘発しないようにレイアウトし、下流側の機器に対する配管を簡略化できる調整器を提供すること。
【解決手段】超音波計量部によりLPガスの流量を計量する計量通路を上下方向に配置した超音波式ガスメータ3のハウジング31の下方に配置したLPガス流入口32に、超音波式ガスメータ3の下方に配置される自動切換調整器1を、ハウジング11の下方に高圧LPガス流入口12が配置され、ハウジング11の上方には、ユニオンナット28によって超音波式ガスメータ3のLPガス流入口32に直接連結可能な低圧LPガス排出口13が配置された構成とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体のモニタを行うことができ、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流量を計測する流量計測器とを具備することを特徴としている。 (もっと読む)


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