【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ポンプの最適な運用を行う運転計画を立てることができるポンプ運転計画装置を提供する。
【解決手段】揚水ポンプ井から水を汲み上げる複数の揚水ポンプ２ｅの運転計画を立案するポンプ運転計画装置であって、目的関数ｆを設定し、時刻i（i＝０，…，２３）毎の揚水ポンプ井への流入量予測値Ｑｉｎ（i）と、揚水ポンプ井の初期水位Ｈ（０）と、揚水ポンプ井の断面積Ｓと、揚水ポンプ井の上限水位Ｈ_ｈｉｇｈおよび下限水位Ｈ_ｌｏｗとを用いて、動的計画法により目的関数ｆを満たす複数の揚水ポンプ２ｅによる時刻i（i＝０，…，２３）毎の揚水量Ｑｏｕｔ（i）を求める揚水量計画演算部１１を備えるポンプ運転計画装置。 （もっと読む）

【課題】流体圧アクチュエータの圧力制御のために設けられた電磁式可変リリーフ弁のリリーフ設定圧力に対するリリーフ圧精度の向上を図る。
【解決手段】アタッチメントシリンダ15に供給する作動油の圧力を電気的に指令可能な設定圧力に制御するために設けられている電磁式可変リリーフ弁33をコントローラ31により制御する。コントローラ31には、電磁式可変リリーフ弁33のリリーフ設定圧力およびリリーフ弁通過流量に関する入力信号に基づき上記電磁式可変リリーフ弁33のオーバーライド圧力特性を補正したリリーフ設定圧力に関する指令信号を上記電磁式可変リリーフ弁33に出力することを可能とする制御ロジックを盛り込み、このコントローラ31により制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】配水バルブ制御装置に故障等の不具合が生じた際にも、需要家に対して良好な配水制御が可能となる配水バルブ制御装置を提供する。
【解決手段】配水バルブ制御装置１００は、制御部１と、制御部１から目標開度Ｓ２及び正常信号Ｓ１が入力される信号入出力部２と、信号入出力部２に接続されたバルブ調節部３とを備える構成とする。そして、配水バルブ制御装置１００に不具合が生じた場合には、信号入出力部２は、バルブ調節部３への正常信号Ｓ１の出力を停止して配水バルブ２０２の開度を該不具合発生時の開度に維持する。 （もっと読む）

【課題】循環配管を施した常時一定の動力で水を供給する水供給設備において、各ユースポイントでの送水圧力を一定に保つ様にし、又水供給設備の系内に水処理機器が有る場合でも、水量が増えた時に水処理機器に処理能力以上の過負荷を掛ける事がないようにする。
【解決手段】循環配管を施した水供給設備において、ユースポイントでの水使用量の増減により、前記課題の状況が生じるので、その変動を自動制御システムにより制御し、送り側送水圧力と送水量を粗一定に保つ様に調節する事により、各ユースポイントでの圧力を一定に保ち、又水処理機器４に過負荷が掛らない様にする。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、子調整器１５０のみを介して流れる燃料ガスの最大流量値以下の流量範囲において計測された圧力値と、所定値との差に基づいて子調整器１５０の異常を診断する異常診断部を備えている。 （もっと読む）

【課題】子調整器の診断を行うことが可能な調整器診断システム、調整器診断装置及び調整器診断方法を提供する。
【解決手段】調整器診断システム１００は、ガスボンベ１１０から複数の住宅２側に燃料ガスを供給するメイン流路１２１と、メイン流路１２１をバイパスするバイパス流路１２２と、メイン流路１２１に設けられた親調整器１４０と、バイパス流路１２２に設けられ、親調整器１４０の調整圧力よりも調整圧力が高く設定された子調整器１５０と、子調整器１５０を診断する調整器診断装置１６０と、を備えている。調整器診断装置１６０は、バイパス流路１２２における燃料ガスの圧力又は流量に応じた計測信号を出力する計測センサと、計測センサにより出力された計測信号の所定以上の変化時からの微小時間中に得られる振動波形に基づいて、子調整器１５０の異常を診断する異常診断部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】小風量の場所にも容易に適用できると共に、ハンチングの発生を確実に抑制する。
【解決手段】本発明は、高圧側から低圧側へ流通する空気量の変化に関係無く該両側間の差圧を一定に保持するための差圧保持ダンパ１０であって、前記高圧側に連通する下側開口１１から前記低圧側に連通する上側開口１２に向かって拡幅された筒状のテーパー管１３と、テーパー管１３内に設けられたガイド棒１６に沿って上下方向に浮遊可能な浮き子１７とを備え、浮き子１７の上下方向の浮遊によって浮き子１７とテーパー管１３の内面との隙間の面積が変化することにより下側開口１１から上側開口１２へテーパー管１３内を流通する空気量の変化に関係無く差圧を一定に保持可能なように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ１６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計１２で計測した流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成すると共に、流入流量と圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値とに基づいて等温化圧力容器１３から流出する流出流量を推定するオブザーバを構成し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】分解作業を必要とせずに中圧減圧室の異常圧力状態が確認でき、ダイヤフラムなどの劣化を未然に防ぐことを可能にする圧力調整器を提供する。
【解決手段】中圧ダイヤフラム１１側に直接接して、ダイヤフラムの変位に追従して動作する検出用レバー４０の他端４２ａを目視できる目視窓４６をカバー４５に設けた。中圧ダイヤフラム１１の異常を、中圧ダイヤフラム１１側に直接接している検出用レバー４０の端部４２ａの変位を見ることで容易に検知できるようにした。 （もっと読む）

【課題】給気の停止過程又は開始過程や排気の停止過程又は開始過程において、室圧を設定値に保つことが可能な室圧制御システムを提供する。
【解決手段】回転数をインバータ制御可能な空調機１０によって空気が供給される各区画からの、定風量の排気ファン２３及び還気ファン２６による排気量を、ＶＡＶ弁２によって制御して、各区画の室圧を設定値に維持する。各区画への給気量を停止する場合では、給気通路１０１に設けられたＶＳＴ弁３を、給気通路１０１における通気量の変化の速度がＶＡＶ弁２による通気量の変化の速度を下回るような所要時間をかけて閉じる。 （もっと読む）

【課題】 高温高圧の流体や固形物が混入した流体が流通する場合であっても、開度を調節しながら流量や圧力を制御することができるバルブ構造を提供する。
【解決手段】 複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆをパラレルに接続し、いずれのオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆを開弁させるかによって、当該回路の圧力を制御する。
また、特定の１または複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆの下流側に、制御オリフィス１５，１６を設けるとともに、この制御オリフィス１５，１６の開度によって、回路中の流量制御あるいは圧力制御を行う。
さらに、複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆを、ニードルバルブによって構成する。 （もっと読む）

【課題】連結部に回転を入力して連結部を屈曲又は湾曲させることができる駆動機構を提供する。
【解決手段】ガスの圧力をより低い圧力に調整するガス供給機器１は、複数の密閉室２９、複数の密閉室２９の圧力差によって生じる回転力により回転駆動される回転体２２、複数の密閉室２９のうちいずれかの密閉室２９に連通し、回転体２２の回転に伴って連通する密閉室２９が変更される流入ポート３０、及び、複数の密閉室２９のうち流入ポート３０が連通している密閉室２９以外の密閉室２９に連通し、回転体２２の回転に伴って連通する密閉室２９が変更される流出ポート３１を有するガスモータ５を有し、流入ポート３０にガスが供給され、流出ポート３１からより低い圧力に調整されたガスを排出する。 （もっと読む）

チェンバ（１０５）内における流体の圧力を制御する圧力制御システムは、チェンバ内における流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサ（１１０）と、チェンバから流出する流体の流量を規制することによって、チェンバにおける流体の圧力を制御するように構成されている弁（１２０）とを含む。圧力制御システムは、更に、コントローラ（１４０）も含む。コントローラは、チェンバの容積を推定し、弁の圧出速度曲線を発生するように構成されている。更に、コントローラは、圧出速度曲線の傾きを少なくとも最小値に維持するように、圧出速度曲線を監視し修正し、チェンバにおける圧力を所望の圧力設定点に維持するように、圧力センサによる圧力測定に応答して、弁の位置を調節するために、修正した圧出速度曲線を用いるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

【課題】ＬＰガスの再液化によるドレーンの進入により下流側の機器の故障を誘発しないようにレイアウトし、下流側の機器に対する配管を簡略化できる調整器を提供すること。
【解決手段】超音波計量部によりＬＰガスの流量を計量する計量通路を上下方向に配置した超音波式ガスメータ３のハウジング３１の下方に配置したＬＰガス流入口３２に、超音波式ガスメータ３の下方に配置される自動切換調整器１を、ハウジング１１の下方に高圧ＬＰガス流入口１２が配置され、ハウジング１１の上方には、ユニオンナット２８によって超音波式ガスメータ３のＬＰガス流入口３２に直接連結可能な低圧ＬＰガス排出口１３が配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体のモニタを行うことができ、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流量を計測する流量計測器とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）