【課題】ボイスコイルアクチュエータ内に組み込むことが可能であり、ボイスコイルアクチュエータ内の強い磁界による影響を実質的に受けることがない、非接触型センサを提供する。
【解決手段】磁石ハウジング１６が、少なくとも１つの磁石２０を収容し、第１の空隙を画定する壁を有する。磁心１８が磁石ハウジング１６に連結されており、磁石ハウジング１６の壁の中心軸線の方向に磁石ハウジング１６の内側表面から延びる。コイルアセンブリが、磁心１８を少なくとも部分的に包む第２の空隙を画定する壁を有し、少なくとも部分的に第１の空隙の内側に位置しており、前記磁石ハウジング１６に対して相対的に直線移動するようになっている。このコイルアセンブリは磁心１８と共に容量性センサを形成し、この容量性センサは、磁石ハウジング１６に対するコイルアセンブリの相対的な位置と速度と加速度の少なくとも１つを測定するようになっている。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御方法及びそれに適した装置を提供する。
【解決手段】プラントの所望のレファレンス軌跡を表す多項式及びその導関数を準備するステップと、プラント入力に対するプラント出力をサンプリングするステップと、サンプル間の相対時間を参照してレファレンス信号及びその導関数信号を発生させるステップと、発生したレファレンス信号及びその導関数信号、遅延されたプラント入力、そして遅延されたプラント出力を使用してサンプリング時点でのプラント入力を決定するステップと、を含むことを特徴とするサーボ制御方法である。これにより、レファレンス信号以外にもその導関数信号を利用して、プラントが高い精度でレファレンス軌跡を追従するよう制御できる。 （もっと読む）

【課題】本発明のリニア駆動ドライバー回路は、発熱を抑えて、入力電圧ＶＩＮの急激な変化にＢＴＬドライバー部の出力電圧差が対応できるように、降圧型ＤＣ−ＤＣコンバータ部の出力信号ＶＣの応答性能を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明のリニア駆動ドライバー回路は、リニア駆動ドライバー部からの制御信号を微分処理する微分回路と、及び微分回路からの微分信号の電位が所定値を超えたとき、異常動作時であるとして異常動作駆動信号を生成する波形整形回路とを有し、波形整形回路の異常動作駆動信号により降圧型ＤＣ−ＤＣコンバータ部のスイッチング・トランジスタを駆動制御するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルモータのようなコイルを有する駆動源を高精度に駆動制御することができる駆動制御用半導体集積回路を提供する。
【解決手段】コイル駆動回路１２１，１２２と、コイルに流れる電流を検出する電流検出回路１２３と、電流指令値をアナログ信号に変換するＡＤ変換回路１５０と、電流検出回路１２３の出力とＡＤ変換回路１５０の出力に基づいて駆動回路１２１，１２２を駆動制御するための信号を生成する電圧入力−電流出力型の増幅回路１２５とを備えた駆動制御回路１２０において、ＡＤ変換回路１５０に所定の電流指令値を与えて上記コイルの端子に所定の電圧を印加しかつコイルに電流が流れないようにした状態で、電流検出回路１２３の出力とＡＤ変換回路１５０の出力に基づいて、電流検出回路１２３の出力のずれを判定し、電流検出回路１２３の電流値もしくは抵抗値を調整して制御系のオフセットをキャンセルする。 （もっと読む）

生産機械、工作機械、ロボット等は、電気的位置決め駆動部（４、１０）を持つ。該駆動部は、固定子（１１）と、少なくとも１つの走行方向に移動可能な可動子（１２）を持ち、可動子は、固定子に対し走行方向と異なる少なくとも１つの支持方向において磁場で非接触支持される。位置決め駆動部にセンサ装置（１４）が付属し、該装置で支持方向における可動子の固定子に対する変位量を非接触で検出する。位置決め駆動部に制御装置（１７）も付属し、制御装置にセンサ装置で検出した可動子の固定子に対する変位量が供給される。制御装置で、支持方向における可動子の固定子に対する変位量と、支持方向での可動子の固定子に対する目標支持位置とに基づき、位置決め磁石システムに対する調整信号を求め、これを磁石システムに供給し、磁石システムにより少なくとも１つの支持方向での可動子の固定子に対する支持位置を非接触に追跡する。
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【課題】 特に、組立時に駆動コイルの極性を気にする事無く、組立後に、前記駆動コイルの極性を簡単且つ適切に判別することが出来るアクチュエータ及び前記アクチュエータを用いた回転台駆動装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明では、アクチュエータを組立てた後に、アクチュエータに設けられた駆動コイルの極性判別手段を用いて前記駆動コイルの極性を設定するから、駆動コイルの極性を簡単且つ的確に制御でき、従来のように組立時に駆動コイルの極性を間違えて前記駆動コイルを取り付けるといった不具合を防止できる。本発明では、アクチュエータの組立時に前記駆動コイルの極性やマグネットの極性を気にする必要性はないので、前記アクチュエータの組立作業は非常に簡単になり、作業性を向上させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】 推力ムラを取り除き、精度の良い推力直接制御を可能とするリニアモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 リニアモータの位置ｘに対するリニアモータの電流分布Ｄ（ｘ）を予め求めておく。目標推力に対応する計算制御電流Ｉに対し、リニアモータの実際の制御電流をＩ・Ｄ（ｘ）とする。リニアモータの位置ｘに対するリニアモータの電流分布Ｄ（ｘ）は、速度一定制御を行って求める。 （もっと読む）

【課題】 コストの増大と大型化を伴わずに、輻射ノイズと消費電力を低減することができるリニアモータ用通電制御回路を提供する。
【解決手段】 リニアモータ用通電制御回路は、２つのスイッチ素子Ｓ１、Ｓ２を交互にオン・オフ制御することによりＰＷＭパルスを発生するスイッチ回路１と負荷６が接続される出力端子４ａ、４ｂとの間に、磁気的に結合されたインダクタンスＬ１、Ｌ２とコンデンサＣ２を含む平滑回路５を設けると共に、スイッチ素子Ｓ１、Ｓ２と並列に回生ダイオードＤ５、Ｄ６を接続することにより構成される。 （もっと読む）

【課題】追加の判断システムを必要とせず、平面モータを初期化する初期化方法を提供する。
【解決手段】表面に交番磁極を有した磁気プレート１２に対向したコイルアセンブリ２に三相交流電流を供給する平面モータにおいて、磁界の電流によって生じる力の方向を決定するための各コイル２，４，６を流れる電流のコミュテーションオフセット角は、生成される力が水平摩擦力を超過しないようにしながら、生成される力が磁気プレート１２に垂直に導かれる時を判断することで決定される。コイルアセンブリ２のエンドストップ２２の最大圧縮、もしくは、最大圧力を判断することにより、生成される力がいつ磁気プレートに垂直に導かれるかを判断することができる。 （もっと読む）

【課題】、磁性体に供給される信号の極性を制御して、磁性体を被駆動体を駆動させるための駆動源として利用した駆動機構を提供する。
【解決手段】駆動機構は、複数の磁性体を備える組と、この組に周波数信号を供給する手段と、上記磁性体間の吸引―反発による運動を形成する手段と、を備える。この運動が駆動機構の駆動源となる。
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【課題】 ３相リニアモータの使用中に、そのコイルの異常を検出する。
【解決手段】 Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相に印加されている電圧を検出し、それぞれ入力抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を介して演算増幅器（加算器）ＯＰ１に入力する。演算増幅器ＯＰ１により加算された各相の印加電圧値は、２つのコンパレータＣＰ１、ＣＰ２に入力される。コンパレータＣＰ１の出力は、演算増幅器ＯＰ１の出力が第１の基準電圧（プラス）より高いときに０Ｖ（Lowレベル）となるようにされ、それ以外のときは供給電圧(Hiレベル)とされるようになっている。一方、コンパレータＣＰ２の出力は、演算増幅器ＯＰ１の出力が第２の基準電圧より低いときに０Ｖ（Lowレベル）となるようにされ、それ以外のときは供給電圧(Hiレベル)とされるようになっている。ＣＰ１、ＣＰ２の出力側電圧がLowレベルとなったときに、Ｗ相コイルが異常であると判断することができる。 （もっと読む）

ディスクドライブ・システムのボイスコイルモーター（２２）のためのデュアルモード位置決めドライバが開示される。リニア前段ドライバ及びパルス幅変調された前段ドライバ（４６）は、両方とも、ボイスコイルモーター（２２）を駆動するため「Ｈ」ブリッジに配置されるパワー・トランジスタ（５０ＰＨ、５０ＮＨ、５０ＰＬ、５０ＮＬ）に結合される。このため、位置決めドライバは、リニア・モード又はパルス幅変調されたＤ級モードのいずれかでパワー・トランジスタ（５０）を駆動するように作動する。遷移期間において、パルス幅変調されたモードからリニア・モードにスイッチングする間、コンパレータ（５６Ｈ、５６Ｌ）は、「Ｈ」ブリッジの位相電圧を参照電圧と比較する。コンパレータ（５６Ｈ、５６Ｌ）の出力は、位相電圧がそれらのリニア・バイアス点に向かって事前調整されるように、パワー・トランジスタ（５０）を駆動するようにＰＷＭ出力増幅器（５４Ｈ、５４Ｌ）に供給される。その結果、電流ボイスコイルモーター（２２）を介する駆動電流の中断は最小限となる。
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ディスクドライブ・システムのボイスコイルモーター（２２）の位置決めドライバ（３２）が開示される。パルス幅変調される前段ドライバ（４６）が、ボイスコイルモーター（２２）を駆動するため「Ｈ」ブリッジに配置されるパワー・トランジスタ（５０ＰＨ、５０ＮＨ、５０ＰＬ、５０ＮＬ）に結合され、電力供給電圧（Ｖ_Ｍ）でバイアスがかけられる。パルス幅変調される前段ドライバ（４６）は、エラー増幅器（３６）からのエラー信号とランプ・クロック生成器（４８）で生成されるランプ・クロック信号（ＲＭＰ）との比較に従ってパワー・トランジスタ（５０ＰＨ、５０ＮＨ、５０ＰＬ、５０ＮＬ）を駆動する。ランプ・クロック生成器（４８）は、電力供給電圧（Ｖ_Ｍ）の変動に応答してランプ・クロック信号（ＲＭＰ）の高及び低限界を変調する制御回路を含む。高及び低限界のこの変調が、電力供給電圧（Ｖ_Ｍ）の変動に起因するパワー・トランジスタ（５０）の利得の変動を補償する。制御回路は、例えば、一定の周波数を維持するため、電力供給電圧（Ｖ_Ｍ）の変動に従ってランプ・クロック信号（ＲＭＰ）の勾配も変調し得る。
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ペイロード（４）を動かす複数のローレンツモータ（１、２）を制御するための制御構成及び方法であって、ペイロードが重心（１２）を有する、制御構成及び方法について開示している。高さ信号（ｚ１、ｚ２）は前記ペイロードの高さを検出するセンサから受信される。水平方向の軸の周りの重心の少なくとも１つの回転角度はそれらの高さ信号（ｚ１、ｚ２）から計算され、ペイロード（４）を支持するための所定の回転剛性が達成されるように、この少なくとも１つの回転角度から、ローレンツモータ（１、２）のための制御信号（Ｃ１、Ｃ２）が計算される。典型的なアプリケーションは電子顕微鏡又はリソグラフィ装置の床免震用緩衝部である。

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【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。 （もっと読む）