【課題】位置を検出するエンコーダから出力される９０度位相差を持った位置信号の各位相差間の誤差を低減して、位置検出や速度制御を高精度で行う搬送装置を提供する。
【解決手段】直線上を往復搬送するリニアモータ２の位置をロータリーエンコーダＲＥにより検出し、フィードバック制御により制御する搬送装置１において、ロータリーエンコーダＲＥから出力される９０度の位相差を持った位置信号の各位相差間の誤差を低減する位置補正・速度検出部４７を備えた。 （もっと読む）

【課題】駆動制御時にコイル電流の立ち上がり遅れや可動子に発生する渦電流の影響で制御力が遅れるが、フィードバック制御に加えて適切な補償を行うことで高速、高精度、低振動、低騒音を達成し信頼性の高い電磁式アクチュエータを得る。
【解決手段】制御コントローラはエンジンの吸気排気のタイミングに合わせて目標変位ｘ＊を生成する。変位センサ出力はＡ／Ｄ変換器を通して制御コントローラへ取り込まれる。そして制御力指令値Ｆｍ＊を算出し、上記の演算手順に基づいて電流指令値ｉ＊を求める。可動子と鉄心のギャップ距離ｚ（ｘ）≦ｚminであり、かつ電流指令値ｉ＊＜ｉminのとき、最低電流指令値ｉminを出力する。そうでない場合はそのまま電流指令値を与える。そして電流指令値ｉ＊を駆動アンプへ出力する。 （もっと読む）

【課題】 交流電力生成装置により安定した交流電力を供給することができる交流電力生成装置を提供する。
【解決手段】 直流電圧、すなわちインバータ回路１００への入力電圧Ｖｄｃ（ｔ）の変動に対応して、直後のキャリア周期の電圧パルスのデューティ比Ｄ（ｔ）を変更する。つまり、キャリア周期１周期ごとにデューティ比Ｄ（ｔ）を修正する処理が実行される。この処理により、入力される直流電圧が変動しても、電圧パルスのデューティ比Ｄ（ｔ）は、交流波形が理想的なサインカーブを描くように、修正される。 （もっと読む）

【課題】脱調検出用のセンサを必要とせずに可動子を駆動している固定子数を判別し、可動子を駆動している固定子数と位置生成部で生成された位置より可動子の脱調を検出することができるリニアモータの脱調検出方法を提供する。
【解決手段】ストローク方向へ分割された複数の巻線群を巻線切替装置により励磁するリニアモータの脱調検出方法において、速度指令４と電流指令７、８と電圧指令１０、１１とモータ定数を用いて、固定子数判別部３で可動子を駆動している固定子の数を判別し、固定子数の判別結果と位置生成部５より生成された位置１８を用いて、脱調検出部１でリニアモータ１６の脱調を検出するものである。 （もっと読む）

【課題】 可動子のストロークが長く、複数に分割し連続して配置された固定子を備えたリニアモータにおいてアンプ切替の際に推力ショックのないセンサレス駆動を可能とするリニアモータの制御装置を提供する。
【解決手段】 複数の固定子に供給する電圧指令値と電流検出値から推定位置に基づき磁極位置を基準とする直交座標系における電圧、電流を演算する手段と前記電圧、電流から位置と速度を推定する手段と推定位置に基づき制御基準位置を調整する位置調整器とを備え、一つの速度制御器から出力される電流指令値を制御基準軸に基づき各固定子へ分配し、各固定子の駆動アンプへ適当な電圧を指令することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルモータのようなコイルを有する駆動源を高精度に駆動制御することができる駆動制御用半導体集積回路を提供する。
【解決手段】コイル駆動回路１２１，１２２と、コイルに流れる電流を検出する電流検出回路１２３と、電流指令値をアナログ信号に変換するＡＤ変換回路１５０と、電流検出回路１２３の出力とＡＤ変換回路１５０の出力に基づいて駆動回路１２１，１２２を駆動制御するための信号を生成する電圧入力−電流出力型の増幅回路１２５とを備えた駆動制御回路１２０において、ＡＤ変換回路１５０に所定の電流指令値を与えて上記コイルの端子に所定の電圧を印加しかつコイルに電流が流れないようにした状態で、電流検出回路１２３の出力とＡＤ変換回路１５０の出力に基づいて、電流検出回路１２３の出力のずれを判定し、電流検出回路１２３の電流値もしくは抵抗値を調整して制御系のオフセットをキャンセルする。 （もっと読む）

【課題】 出力電流にノイズやビートがないＰＷＭ駆動アンプ、それを用いたステージ装置、及び露光装置を提供する
【解決手段】 電源回路３０のクロック発生器ＣＬＫから出力されるクロック信号が、ドライバＤＲに入力され、この周波数に基づいて、ＦＥＴ１とＦＥＴを交互にオン／オフし、三相交流２００Ｖから直流電圧５６０Ｖを得る。Ｕ相回路４０、Ｖ相回路５０、Ｗ相回路６０は、前記クロック信号をＤ型フリップフロップＤＦＦで１／２分周した周波数に基づいて、電源回路の出力を各相の指令値に適合するように、出力を制御する。したがって、電源回路におけるクロック信号の周波数と、Ｕ相回路４０等において基準となるクロック信号の周波数との間に、比例関係があるため、互いの高調波の影響によって、電源を介するノイズやビートを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 同期電動機１の磁極位置の推定処理とブレーキ１８の開放タイミングを合わせ、推定処理の誤動作や、可動子６の暴走（垂直駆動では落下）を防止する。
【解決手段】 垂直方向に設置されたリニアモータ１での、磁極位置推定処理の開始タイミングを、ブレーキ開放指令後、所定時間だけ遅らせる。例えば、（１）ＡＳＲ制御系２１の推力指令値Ｔ^＊が所定値Ｔｒまで増加したこと、（２）可動子６の移動（落下）距離θ_Ｍ、（３）又は可動子６の移動（落下）速度ω_Ｍからブレーキの釈放状態を検出し、さらに所定時間後に磁極位置の推定処理を開始させる。 （もっと読む）

【課題】 トランジスタのＯＮ抵抗に起因した発熱による悪影響が低減された単相用の交流電力生成装置を提供する。
【解決手段】 三相交流電力を生成するために使用可能な三相用ＩＰＭ（Inteligent Power Module）において、配線Ｕから分岐し、Ｕ相コントロールとトランジスタＧｗのゲート電極とを接続する配線Ｗ、および、配線Ｘから分岐し、Ｖ相コントロールとトランジスタＧｚのゲート電極とを接続する配線Ｚを設ける。また、トランジスタＧｕとトランジスタＧｘとの間のノードに接続された出力端子と、トランジスタＧｗとトランジスタＧｚとの間のノードに接続された出力端子とを配線Ｋで接続する。 （もっと読む）

【課題】 迅速に精度良く磁極合わせを行う。
【解決手段】 門型ステージ１と、門型ステージを移動させる二つのリニアモータ３０ａ，３０ｂとを備える門型ステージ装置の制御方法であって、一方のリニアモータ３０ａのみに対して通電を行うことで、その可動子３２ａを少なくとも一回ずつ以上正逆それぞれの方向へ移動させ、各移動について、そのリニアモータの固定子３１ａに対する可動子の通電位相角を求めると共に、各正逆方向のそれぞれの移動ごとに求められた通電位相角を統計処理により一の通電位相角に決定し、同様に、他方のリニアモータ３０ｂのみに対する通電により、当該リニアモータについても一の通電位相角を決定する。 （もっと読む）

【課題】 所定のストローク長Ｓに対し、モータ全長を短くできるとともに、移動子の位置を検出するためのセンサ手段を軸方向に付加することなく動作させることができるシリンダ型リニアモータを提供する。
【解決手段】 複数（ｎ個）のリング状コイル２２・・・２７を並設して形成するコイル組立体２８と磁性材料よりなるヨーク部材２１とを備えてなる固定子２０と、
上記固定子２０の軸線上に、設けられた直動軸１１と、軸方向に磁化された永久磁石を１個以上有する永久磁石組立体１５とを備えてなる移動子１０とを具備し、
ストロークＳは、（ｎ×Ｃ−Ｍ）以下であり、上記ヨーク部材の軸方向長さYは（Ｍ＋Ｓ＋０．８×Ｄ）以上に設定され、上記リング状コイル２２は所定の相順に並び、同相のリング状コイルは互いに結線されて一つの相巻線を形成しているシリンダ型リニアモータ。 （もっと読む）

【課題】 特に、組立時に駆動コイルの極性を気にする事無く、組立後に、前記駆動コイルの極性を簡単且つ適切に判別することが出来るアクチュエータ及び前記アクチュエータを用いた回転台駆動装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明では、アクチュエータを組立てた後に、アクチュエータに設けられた駆動コイルの極性判別手段を用いて前記駆動コイルの極性を設定するから、駆動コイルの極性を簡単且つ的確に制御でき、従来のように組立時に駆動コイルの極性を間違えて前記駆動コイルを取り付けるといった不具合を防止できる。本発明では、アクチュエータの組立時に前記駆動コイルの極性やマグネットの極性を気にする必要性はないので、前記アクチュエータの組立作業は非常に簡単になり、作業性を向上させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】可動子が移動している場合のみならず、可動子が移動していないにも拘らず高い通電率で通電される不具合発生時の異常発熱時にも対処できるリニア直流モータの過熱防止方法を提供する。
【解決手段】。可動子２の移動が無い場合は、フローチャートのステップＳ５５に示すように、ＰＷＭ値６０％の通電が２０秒を超えた段階で通電が停止される。また、可動子２の移動が有る場合は、ステップＳ５０に示すように、これまで積算されたＰＷＭ時間積分値が設定値を超えた段階で通電が停止される。この通電停止の際の薄型コイル５の発熱温度は、何れも実験により９０〜１０５℃であることが確認されている。従って、温度ヒューズ６の溶断温度１２０〜１２５℃よりも低い。 （もっと読む）

【課題】 弾性体および該弾性体により支持された質量を有する可動子を具備して弾性体の弾性エネルギーと可動子の運動エネルギーとを保存可能、且つ弾性エネルギーと運動エネルギーとを互いに変換可能な共振系を高効率で駆動可能な駆動装置、および駆動方法を提供する。
【解決手段】 コイルばね１４およびコイルばね１４により支持された可動子１０を具備してコイルばね１４の弾性エネルギーと可動子１０の運動エネルギーとを保存可能且つ弾性エネルギーと運動エネルギーとを互いに変換可能な共振系と、可動子１０に設けた永久磁石１１と、電磁石２と、電磁石２の固定子巻線３に電流を流すことで電磁石２に発生する磁束が永久磁石１１に作用して可動子１０に加振力を与える制御部３０とを備え、制御部３０は、共振系の運動の状態に応じて、固定子巻線３に流す電流の波形を制御する。 （もっと読む）

【課題】 一対のリニアモータのスライダ間を結合するアーム部材の中点位置の制御性を向上すると共に、ドライバの構成を簡素化できるリニアアクチュエータを実現する。
【解決手段】 位置検出手段を備えた一対のリニアモータを有し、このリニアモータのステータを所定距離を隔てて平行に配置し、前記リニアモータのスライダ間をアーム部材で結合したリニアアクチュエータにおいて、
前記一対の位置検出手段の出力に基づき前記スライダ間の中点位置信号を算出する中点位置検出手段と、
前記中点位置信号と目標位置信号との偏差に基づき前記スライダを共通のドライバにより駆動する位置制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

ディスクドライブ・システムのボイスコイルモーター（２２）のためのデュアルモード位置決めドライバが開示される。リニア前段ドライバ及びパルス幅変調された前段ドライバ（４６）は、両方とも、ボイスコイルモーター（２２）を駆動するため「Ｈ」ブリッジに配置されるパワー・トランジスタ（５０ＰＨ、５０ＮＨ、５０ＰＬ、５０ＮＬ）に結合される。このため、位置決めドライバは、リニア・モード又はパルス幅変調されたＤ級モードのいずれかでパワー・トランジスタ（５０）を駆動するように作動する。遷移期間において、パルス幅変調されたモードからリニア・モードにスイッチングする間、コンパレータ（５６Ｈ、５６Ｌ）は、「Ｈ」ブリッジの位相電圧を参照電圧と比較する。コンパレータ（５６Ｈ、５６Ｌ）の出力は、位相電圧がそれらのリニア・バイアス点に向かって事前調整されるように、パワー・トランジスタ（５０）を駆動するようにＰＷＭ出力増幅器（５４Ｈ、５４Ｌ）に供給される。その結果、電流ボイスコイルモーター（２２）を介する駆動電流の中断は最小限となる。
（もっと読む）

リニアモータ（１０）と、リニア圧縮機（１００）と、リニア圧縮機（１００）を制御する方法と、冷却システム（２０）と、リニア圧縮機（１００）をその運転の間じゅうできるだけ最高効率で共振で運転するように、リニア圧縮機（１００）を制御するシステムとが記載される。これらの目的を達成するやり方の一つが、冷却システム（２０）に適用し得ると共にリニアモータ（１０）によって駆動されるピストン（１）を備えるリニア圧縮機（１００）によるものである。ピストン（１）は、被制御電圧（Ｖ_Ｍ）によって制御される変位範囲を有し、又、被制御電圧（Ｖ_Ｍ）は、リニアモータ（１０）に印加されると共に処理ユニット（２２）によって調整される電圧周波数（ｆ_Ｐ）を有する。ピストン（１）の変位範囲は、冷却システム（２０）の可変要求量の関数として動的に制御されて、リニア圧縮機（１００）は共振周波数を有する。処理ユニット（２２）がピストン（１）の変位範囲を調整することにより、リニア圧縮機（１００）が、冷却システム（２０）の要求量の変動の間じゅう共振に動的に保持される。
（もっと読む）

【課題】 駆動電源電圧を高めることなく、モータの各相のコイルに必要な電流を流すことを可能とする多相モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】電流指令値１０８、１０９、１１０に基づき、電流制御方式のドライバ回路１０５、１０６、１０７を使用して、Ｕ相コイル１０１、Ｖ相コイル１０２、Ｗ相コイル１０３からなるリニアモータを駆動する。このとき、電流指令値１０８、１０９、１１０の中から、各タイミングにおける最大値および最小値を最大値検出回路１１１および最小値検出回路１１２で抽出する。抽出した最大値および最小値の中点に比例する信号を加算アンプ１１３により求め、その出力をモータ中性点１０４に接続して、モータ中性点１０４の電位を制御する。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で製造コストの安い振動防止装置を備えたリニアモータを提供する。
【解決手段】 固定ベース１１上に交互に異極が配列され、表面が平板状の界磁部１３と、界磁部１３に対向して移動磁界を形成する電機子１４を有する第１の移動部１７とを備えて、第１の移動部１７を往復移動させるリニアモータ１０であって、界磁部１３に対向して移動磁界を形成する電機子２１を有する第２の移動部２４を備え、第２の移動部２４は第１の移動部１７の移動方向に対して逆方向に移動し、負荷を含む第１の移動部１７から発生する反力を相殺するようにしている。 （もっと読む）