【課題】 可動子のストロークを高い精度で算出し、可動子の他の部位への衝突を防止することが可能なリニアモータ制御システムおよびそれが用いられたスターリング冷凍システムを提供する。
【解決手段】 マイクロコンピュータは、モータ電圧ｖ（ｔ）、モータ電流ｉ（ｔ）、およびリニアモータに生じる誘起電圧のそれぞれが同一の角速度ωを有する正弦波であると仮定し、リニアモータのモータ電圧ｖ（ｔ）を示す電圧信号およびモータ電流ｉ（ｔ）を示す電流信号を用いて、正弦波の一周期における誘起電圧の実効値Ｅを算出する。その後、誘起電圧の実効値Ｅ、角速度ω、および誘起電圧係数（推力係数）αを用いて、前述の一周期における可動子のストロークＳＴを算出する。 （もっと読む）

【課題】 バネ力などの機械的な駆動力を用いることに起因する不具合の無いアクチュエータを提供する。
【解決手段】 アクチュエータ１００は、磁石２００と、磁石２００に対して反対向きの電磁駆動力を同時に印加する第１及び第２のコイル１００Ａ１，１００Ａ２とを備える。アクチュエータの制御装置は、第１及び第２のコイルへの電流量を調整して、磁石と第１及び第２のコイルとの間に反対向きの電磁駆動力を同時に印加し、これによって、磁石と第１及び第２のコイルの相対位置の制御を行う。
を備える （もっと読む）

【課題】リニアモータのスケール部材に設ける被検出部を削減し、高精度な位置決めが必要な領域（高精度領域）以外の領域（低精度領域）であっても低い精度ではあるが適切な位置に可動子を停止させることが可能なリニアモータの位置決め装置及びリニアモータの位置決め方法を提供する。
【解決手段】固定子の長手方向に対して平行に設けたスケール部材と可動子に設けた検出手段とで構成され、固定子に対して可動子を所定位置に停止させるリニアモータの位置決め装置である。スケール部材には、検出手段にて検出可能な複数の被検出部が、固定子の長手方向に沿って一方の端部から他方の端部に設けられ、高精度な位置決め精度を必要とする高精度領域では隣り合う被検出部の間隔が要求精度に応じて狭く設定されており、高精度領域よりも低い精度でよい低精度領域では隣り合う被検出部の間隔が高精度領域よりも広く設定されている。 （もっと読む）

【課題】 可動子の速度に関らず常に安定したトルクを発生できる電磁ダンパ装置及び電磁ダンパモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 制御力ｆ３及びモータ動作速度ｖ３で定まる要求点（Ｃ点）がモータ動作範囲外領域境界速度内領域５に存在する場合、Ｃ点指定指令に代えてＣ´点指定指令をドライバ１６に送り、モータ１２を動作させるようにする。モータ動作範囲１内にモータ動作の指令を収めるので、モータの動作速度に関らず、安定した発生力（トルク）をモータが発生することができ、モータや制御対象、負荷などに衝撃的な力が加わることを抑制できる。また、制御力ｆ４及びモータ動作速度ｖ４で定まるＤ点が非制御第１領域７に存在する場合、電機子１９への通電を停止しモータ１２の発生力をゼロとする。このため、逆起電力により所望の発生力（トルク）と正負反対の発生力となることが防止できるので、モータ制御性、ひいては、振動抑制性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、ホルダの移動を精度良く制御することができる駆動装置及びレンズ駆動装置を得ることにある。
【解決手段】 本発明のレンズ駆動装置１は、被駆動体２を保持するレンズホルダ４と、レンズホルダ４の移動を案内する案内部材５、６と、コイル１５と、マグネット７と、コイル１５に電圧を印加してレンズホルダ４の移動を制御する駆動制御手段３３とを備え、コイル１５に電圧を印加して駆動力を付与し、案内部材５、６とレンズホルダ４との間の摩擦によりレンズホルダ４を減速させており、駆動制御手段３３はレンズホルダ４を駆動させる電圧とレンズホルダ４の慣性駆動を抑える電圧とを交互に印加させており、レンズホルダ４の慣性駆動を抑える電圧印加時間よりもレンズホルダ４を駆動させる電圧印加時間を大きくしている。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御方法及びそれに適した装置を提供する。
【解決手段】プラントの所望のレファレンス軌跡を表す多項式及びその導関数を準備するステップと、プラント入力に対するプラント出力をサンプリングするステップと、サンプル間の相対時間を参照してレファレンス信号及びその導関数信号を発生させるステップと、発生したレファレンス信号及びその導関数信号、遅延されたプラント入力、そして遅延されたプラント出力を使用してサンプリング時点でのプラント入力を決定するステップと、を含むことを特徴とするサーボ制御方法である。これにより、レファレンス信号以外にもその導関数信号を利用して、プラントが高い精度でレファレンス軌跡を追従するよう制御できる。 （もっと読む）

【課題】 複数のセンサを用いて簡単かつ正確に６自由度移動体の位置・姿勢を計測する。
【解決手段】 固定子と、固定子に対して６自由度変位する移動子と、複数のセンサとを備えた６自由度移動体の位置・姿勢計測装置において、適当な移動座標系と固定座標系を設定し、一定順番の回転座標変換を含む座標変換を行い、複数のギャップセンサ１、２、３、及び二次元センサ５、６を適切な場所に設置し、複数のセンサの検出情報および与えられた初期位置情報に基づいて可動子が変位した後の位置および姿勢を計算する。 （もっと読む）

【課題】スイベルテーブルを駆動する電磁アクチュエータにおいて、微小な角度調整を精度良く行えるようにすること。
【解決手段】本発明は、ベース１０に形成された曲面１１に沿って移動可能に設けられるスイベルテーブル２０と、スイベルテーブル２０の駆動源として多極のマグネット３１と複数のコイル３２とが対向配置されて成る電磁駆動手段３０とを備える電磁アクチュエータ１において、この電磁駆動手段３０のコイル３２として円筒形状に巻回したものを用いている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で良好な制振効果を得ることができる制振装置を提供する。
【解決手段】 制振装置は、主系質量に接続される動吸振器を備えている。動吸振器は、補助質量と、主系質量及び補助質量のうち少なくとも一方の状態を検出するセンサと、センサの検出結果に基づいて駆動する第１リニアアクチュエータとを備えている。第１リニアアクチュエータは、コイルを有する第１部材と、移動可能に設けられた第２部材と、第１部材の第１領域に、第２部材に対向する磁極が互いに逆になるように第１の方向に並んで設けられた第１の一対の永久磁石と、第１部材の第２領域に、第２部材に対向する磁極が互いに逆になるように第１の方向に並んで設けられた第２の一対の永久磁石とを備えている。 （もっと読む）

マイクロステッピングで、または全ステップモードで作動するリニアステッパモーターに基づくリニアアクチュエータと、補正表に基づく制御アルゴリズムと、補正表を得るための較正装置を使用しての、対象物の正確な位置決めのための方法と装置。
（もっと読む）

【課題】速度制御から位置制御へ切替えた場合でも速度が急変しないリニアモータ制御装置と制御方法を提供する。
【解決手段】スケール部（４）と固定子（２）、スケール部（４）を読み取るセンサ（３）と可動子（１）により構成されるリニアモータであって、固定子（２）の移動方向に沿って、固定子（２）の少なくとも両端部に可動子（１）の位置決めを行う位置決め領域と、可動子（１）が常に通過するだけの走行領域とを設け、位置決め領域のみにスケール部（４）を設け、走行領域はスケールを用いることなしに速度制御を行うようにしたリニアモータ制御装置において、位置制御手段は比例器と積分器（６）、速度制御手段は比例器で構成し、速度制御からセンサを用いた位置制御への切り替え時に、積分器の出力を速度制御の速度指令にするようにした。 （もっと読む）

【課題】 複数枚のプラテンを配置しフォーサの移動領域を大きくした場合においても、高精度位置決めが可能な平面サーボモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 フォーサ３とプラテンを有し、フォーサ３は、Ｘ方向に２個のモータ７１，７３と、Ｙ方向に２個のモータ７２，７４と、および各モータをそれぞれ駆動する各駆動装置１０１，１０２と、各モータの位置信号を得て各駆動装置１０１，１０２に出力する各エンコーダヘッド４１〜４４と、エンコーダヘッドの出力信号の出力先を切替えるための切替回路８とを備え、かつ、プラテンは複数枚結合されて成る二次元エンコーダスケールを表面に備え、エンコーダヘッド４１〜４４のいずれかが二次元エンコーダスケールの境界を検出したとき、そのエンコーダヘッド以外のエンコーダヘッドの出力信号を用いるように切替える。 （もっと読む）

【課題】構造体の振動を抑制する制振手段のための格別な設置空間を要せず、しかも製造費の低廉なステージ駆動制御方式を提供する。
【解決手段】ステージ駆動制御方式は駆動制御回路１、振動検出器１１、リニアモータ１２及び位置検出器１３でなる。駆動制御回路１は、リニアモータ１２の駆動を制御する。リニアモータ１２は、固定子及びステージ（可動子）を有し、位置指令信号１０１で指令される位置にステージを搬送する。このステージ駆動制御方式は、ステージを錘として作用させ、また固定子をアクチュエータとして作用させるので、アクティブマスダンパ機能を有する制振手段であって、しかも制振のための格別な錘及びアクチュエータを要しない。 （もっと読む）

【課題】位置を検出するエンコーダから出力される９０度位相差を持った位置信号の各位相差間の誤差を低減して、位置検出や速度制御を高精度で行う搬送装置を提供する。
【解決手段】直線上を往復搬送するリニアモータ２の位置をロータリーエンコーダＲＥにより検出し、フィードバック制御により制御する搬送装置１において、ロータリーエンコーダＲＥから出力される９０度の位相差を持った位置信号の各位相差間の誤差を低減する位置補正・速度検出部４７を備えた。 （もっと読む）

【課題】電力により駆動する搬送手段の速度制御を高精度で行う搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、リニアモータで駆動し、直線移動する可動子２０の移動量をロータリーエンコーダＲＥで検出し、所定の位置周期でのトルク指令及び／又は速度エラーをＦＦＴ演算して算出される所定の位置周期における変動を補正する補正手段により補正して搬送制御を行う。さらに、補正値算出時に平均化処理を行うフィルターを備え、突発的な変動による影響を防止する。 （もっと読む）

磁石（２）及びｊ個（ｊ＝１，．．．，Ｎ）のコイル（３）を有するプレーナモータ（１）の高精度制御を確実にするために、電流Ｔ７は、磁石（２）と相互作用する力及びモーメントが生成されるようにコイル（３）を通って流れることが可能であり、現位置から好ましい位置に磁石（２）及びコイルの相対的位置を変えるために必要な力及びモーメントを決定すること、そして電動モータ（１）の制御ユニット（４）の演算手段（４３）にこの力及びモーメントを生成するために必要な電流Ｔ７を決定することが提案されている。コイル電流は、その場合、調節手段（４４）により調節される。磁石（２）及びコイル（３）の相対的位置は測定手段（５）により測定され、制御ユニット（４）の第１入力手段（４１）に供給される。
（もっと読む）

【課題】 リニアモータとリニアスケールとを備えたリニアサーボシステムにおいて、高精度な磁極位置検出ができるリニアサーボシステムの磁極位置検出方法を得る。
【解決手段】 リニアモータと、絶対位置データ、位置信号としてのＡ，Ｂ相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、電源投入時に、一定の電圧指令で直流励磁する段階と、停止した位置の絶対位置を基に磁極位置を作成する段階と、再び励磁し、右側および左側へ移動させる段階と、停止した位置の絶対位置を記憶する段階と、この記憶した右側移動時の絶対位置と左側移動時の絶対位置との中心を真の磁極位置として作成する段階と、を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】駆動制御時にコイル電流の立ち上がり遅れや可動子に発生する渦電流の影響で制御力が遅れるが、フィードバック制御に加えて適切な補償を行うことで高速、高精度、低振動、低騒音を達成し信頼性の高い電磁式アクチュエータを得る。
【解決手段】制御コントローラはエンジンの吸気排気のタイミングに合わせて目標変位ｘ＊を生成する。変位センサ出力はＡ／Ｄ変換器を通して制御コントローラへ取り込まれる。そして制御力指令値Ｆｍ＊を算出し、上記の演算手順に基づいて電流指令値ｉ＊を求める。可動子と鉄心のギャップ距離ｚ（ｘ）≦ｚminであり、かつ電流指令値ｉ＊＜ｉminのとき、最低電流指令値ｉminを出力する。そうでない場合はそのまま電流指令値を与える。そして電流指令値ｉ＊を駆動アンプへ出力する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な機構で、可動部分を係止することができるアクチュエータ、及びそれを備えたレンズユニット及びカメラを提供する。
【解決手段】 この目的を達成するために、本発明のアクチュエータ（１０）は、固定側部材（１２）と、係止部（１４ａ）を備えた可動側部材（１４）と、この可動側部材を、固定側部材に対して平行な平面上の任意の位置に移動できるように支持する可動側部材支持手段（１８）と、可動側部材を、固定側部材に対して並進運動させ、且つ回転運動させる駆動手段（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２２）と、可動側部材が所定の位置まで回転されると、係止部と係合して可動側部材を係止する係合部材（１５）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 一対のリニアモータのスライダ間をアーム部材で結合するリニアモータで発生する各モータ間の位置誤差を補正して高精度の位置決め制御を可能とするリニアアクチュエータを実現する。
【解決手段】 位置検出手段を備えた一対のリニアモータのステータを所定距離を隔てて平行に配置し、前記リニアモータのスライダ間をアーム部材で結合したリニアアクチュエータにおいて、
前記一対の位置検出手段の出力の和に基づき前記スライダ間の中点位置信号を算出する中点位置検出手段と、
前記一対の位置検出手段の出力の差に基づき前記スライダ間の位置誤差信号を算出する位置誤差検出手段と、
前記中点位置信号と目標位置信号との偏差に基づく推力指令によりドライバを介して前記リニアモータのスライダを駆動する中点位置制御手段と、
前記位置誤差信号を演算した補正信号を前記推力指令に差動的に重畳させる姿勢制御手段と、
を備える。 （もっと読む）