【課題】リソグラフィ装置の位置決めするためのモータ制御システムにおいて、永久磁石の温度変化によって生じるモータ定数の変化を補償すること。
【解決手段】位置決めシステムはパターニング支持体および基板支持体を位置決めする。この位置決めシステムは、ステータと支持体に連結されたムーバとを備えるモータと、モータに印加される電流を制御するための出力を提供するコントローラを備えたモータ制御システムとを有する。モータ制御システムは、ムーバおよび関連支持体の重量を補償するのに必要なコントローラ出力を決定し、このコントローラ出力の、ムーバおよび関連支持体にかかる重力を補償するのに必要な出力からの偏差を決定し、この偏差に基づいてモータに印加される電流を補正する。 （もっと読む）

【課題】回生制動を行わせるモータ制御装置に関し、衝撃的な急制動ではなく、且つ完全停止までの時間を短縮可能とする減速特性で回生制動を行わせる。
【課題を解決するための手段】
直流モータや交流モータ等のモータ１の駆動電源装置２の障害発生時に、モータ１を回生制動するモータ制御装置に於いて、駆動電源装置２からモータ１に駆動電圧を印加できない障害発生を検出する障害検出部５と、この障害検出部５による障害検出時にオンとするトランジスタ等から構成されたスイッチ回路３と、このスイッチ回路３をオンとした時に、モータ１と並列に接続し、モータ１の回生電圧を印加して、予め設定した定電流が流れる特性とした定電流回路４とを備えている。 （もっと読む）

本発明は製紙産業などで用いられる線形トラバースキャリッジに関し、空隙誘導モチベーターを組み込んで電力供給とトラバース機構の間の全ての機械装置を除去する。
特に、本発明は電気固定子巻線を有する誘導型線形モーターと、装置のトラバース長全体に渡って伸びる導電プラテンと、導電プラテンに取り付けられた強磁性体と、固定子巻線と導電プラテンとの間の空隙を維持し装置を支持するための支持手段と、前記装置を駆動するためのユーザーに選択されたフィードフォワード速度マップと、ユーザーに選択されたフィードフォワード速度マップに従って装置の動きを制御するコントローラとを備える線形トラバース装置に関する。
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【課題】 シャフト型リニアモータの位置決め制御システムにおける大幅なコストダウンを可能にし、シャフト型リニアモータの用途を飛躍的に拡張することができるだけでなく、シャフト型リニアモータにおける位置検出装置の一体化を容易にし、コンパクト化が求められる分野での利用を促進する。
【解決手段】 複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフト２と、該シャフト２にスライド自在に外嵌する可動子３とを備え、該可動子３の内部に設けられるコイルの励磁により、可動子３を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータ１の位置検出装置４であって、可動子３に、シャフト２の磁束を検出する磁気センサＳを設けると共に、該磁気センサＳの検出信号に基づいて可動子３の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はボイスコイルモーターに磁気弾性力を発生させる方法と、その磁気弾性力を利用して位置決め制御する方法である。
【解決手段】磁気回路部品と電気回路部品を含み、該磁気回路部品は少なくとも一つの磁界を発生する。電気回路部品は少なくとも一つのコイルと少なくとも一つの磁気導体を含み、該コイルに電流を流す時、移動方向に推力が生じ、該磁気導体と前記磁気回路の間に、正方向のカップル力を発生させ、且つ前記移動方向に磁気弾性力を持たせる。更に前記ボイスコイルモーターに設置した懸架機構が、前記正方向のカップル力による予圧を受け、移動時のあそびを解消できる。前記推力と前記磁気弾性力とのバランスを利用するのみで板ばねのような弾性体を一切使わずに、位置決め制御ができる。 （もっと読む）

【課題】加減速時に重心軸周りに回転（ヨーイング）を起こしてもコイルと磁石の位置関係を正確に求め位相を補正することができ、カウンタマスを搭載したステージ装置に容易に対応可能で、大加速で駆動しても推力誤差による振動が発生しない、高精度な位置決めできるリニアモータ、ステージ装置およびリニアモータの位相補正方法、露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】多相コイルユニットと、磁石ユニットと、を備えるリニアモータであって、前記多相コイルユニットおよび前記磁石ユニットの各々の位置を検出するための位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記多相コイルに与える電流の位相を補正する補正手段と、を備えるリニアモータ。このリニアモータを用いるステージ装置およびリニアモータの位相補正方法。このステージ装置を用いる露光装置。この露光装置を用いるデバイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】 プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ装置１の制御系は、ＰＩＤ制御要素１３、力・位相シフト変換要素１４、位相・電流変換要素１５、電流・推力変換要素１６およびステージ可動体動力学要素１７が閉ループを構成している。加えてＸＹステージ装置１の制御系は、位置（角度）指令からプラテン補正量を算出するプラテンスケーリング要素１８と、プラテン補正量と検出したステージ可動体位置（角度）とから補償量に対応した位相を算出する位置・位相変換要素１９を備えている。これにより、プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【構成】 力覚提示装置１０はデスクトップ装置１２を含み、デスクトップ装置１２はデスクプレート１４およびリニアインダクションモータ（ＬＩＭ）１６を備える。ＬＩＭ１６は、複数の固定子コア１６ａを含み、それぞれ、個別の固定子コイルＬが巻かれている。各固定子コイルＬには、個別にコントローラ２４が接続され、コントローラ２４はコンピュータ２０の指令情報に従って固定子コイルＬを駆動するか否かを判断する。固定子コイルＬを駆動する場合には、コントローラ２４は、指令情報が示す基準位置および力に応じて、位相およびパルス幅の調整された駆動電圧を生成して、固定子コイルＬに付与する。各コントローラ２４でこのような駆動処理が実行され、局所的に進行磁界が生成される。この進行磁界に従ってデスクプレート１４上の磁性体１８ａが移動され、磁性体１８ａを含むポインティング装置１８を把持するユーザに力が提示される。
【効果】 複数の場所で進行磁界を発生させれば、異なる力を同時に提示できる。 （もっと読む）

【課題】可動部分を固定部分に対して平行に、安定して支持することができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、画像安定化用レンズを移動させるアクチュエータ（１０）であって、固定側部材（１２）と、画像安定化用レンズが取り付けられた可動側部材（１４）と、この可動側部材を支持する可動側部材支持手段（１８）と、可動側部材に取り付けられ、画像安定化用レンズの光軸を中心とする円周上に配置された少なくとも３つの駆動用磁石（２２）と、固定側部材に各駆動用磁石に対応して取り付けられた駆動用コイル（２０）と、固定側部材に取り付けられ、駆動用磁石の磁力によって、可動側部材を固定側部材に吸着させる吸着用ヨーク（２６）と、可動側部材の位置を検出する位置検出手段と、検出された位置情報に基づいて、各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段（３６）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】モーターによって生成される出力の力から直線移動の位置成分を除去し、ステッピングモーターの出力を線形化することのできるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るシステムは、ステッピングモーターの出力を線形化するシステムであって、モーターに対して力の入力を供給するコントローラと、連続増分ステップ間における移動に続いてモーターの位置を判定する手段と、位置誤差を出力の力の要求に変換する手段と、現在のモーター位置において要求された力を生成するモーター電圧パターンを算出し、これにより、モーターによって生成される出力の力から直線移動の位置成分を除去する手段と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 トラッキング時における磁気ヘッドの位置決め制御の高精度化とシーク時間の短縮によるアクセスの高速化を同時に達成可能にするボイスコイルモータの駆動制御技術を提供する。
【解決手段】 磁気ヘッドを移動させるボイスコイルモータ（１０８）と、該ボイスコイルモータの駆動電流をＰＷＭ方式で駆動しコイルの電流を検出してフィードバック制御することにより上記磁気ヘッドの位置決め制御を行なうボイスコイルモータ駆動回路（１１０）とを有する磁気ディスク記憶装置において、上記ボイスコイルモータのコイル電流を検出するアンプ（１１３）の出力をサンプル・ホールドせずに誤差アンプ（１１４）に供給する。また、ＰＷＭ駆動時にボイスコイルモータのコイルの端子に印加される駆動電圧のスルーレートを制御する回路（ＰＷＭコンパレータ）を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置に高精度で位置決めでき、かつ、迅速に整定できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のオープンループ制御によりステージ３は所望位置まで迅速に駆動され、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のクローズドループ制御によりステージ３は所望位置に高精度に整定される。 （もっと読む）

【課題】 より簡単かつ安価な構成でステージの駆動反力を低減できるＸＹステージを提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ１０は、定盤１２とステージ１６とからなる。定盤１２にはカウンタマス収容部３２が設けられており、定盤下面３４にはカウンタマス３６が摺動自在に設けられる。カウンタマス３６には、突起状の磁性区域５８と非磁性区域６０とが格子状に配置された平面部材であるカウンタマスプラテン４０が設けられている。定盤下面３４には、カウンタマスフォーサ４２，４４，４６が設けられており、それぞれはカウンタマスプラテン４０に面し、相互に特定の位相角だけ位相をずらすことが可能な一対の磁極面５６を複数有する制御電子素子である。このようなリニアパルスモータによってカウンタマス３６は駆動されるため、簡単かつ安価な構成でステージの駆動による反力を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置まで高速度で円滑に駆動できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、ステージ３の瞬時目標位置と速度フィードフォワード出力値と加速度フィードフォワード出力値との合算値によりフォーサをフィードフォワード制御するため、フォーサは、その瞬時目標位置に対し遅れを発生することなく、しかも振動を発生することなく円滑に駆動される。その結果、ステージは、所望位置まで高速度で円滑に駆動される。 （もっと読む）

【課題】 平面モータを用いたステージ装置において、位置サーボが切れた場合でもステージを位置サーボが可能な状態まで自力で戻す方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 多相コイルを備えたベースと、複数の磁石を備えたステージを備え、前記多相コイルに通電することによって、前記ステージが前記ベースの上面に沿って移動するステージ装置の制御方法であって、第１のコイル相を構成するコイルのうち、少なくとも前記複数の磁石と対向する位置に存在するコイルに一定電流を供給することによって、前記ステージを回転させる第１工程と、第２のコイル相を構成するコイルのうち、少なくとも前記複数の磁石と対向する位置に存在するコイルに一定電流を順次供給することによって、前記ステージを回転させる第２工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 制御量と操作量とが非線形な関係にあるアクチュエータに関して、制御量の目標値を達成するための制御技術を提供する。
【解決手段】 電磁アクチュエータ機構の制御装置は、電磁アクチュエータ機構の位置偏差Ａ４に応じて基準電流値ＣＶref を決定する基準電流値決定部と、この基準電流値ＣＶref に基づいて電磁コイルを駆動する駆動部と、を備える。基準電流値ＣＶref は、位置偏差が負値、ゼロ、正値の場合に正値、ゼロ、負値にそれぞれ決定される。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルアクチュエータ内に組み込むことが可能であり、ボイスコイルアクチュエータ内の強い磁界による影響を実質的に受けることがない、非接触型センサを提供する。
【解決手段】磁石ハウジング１６が、少なくとも１つの磁石２０を収容し、第１の空隙を画定する壁を有する。磁心１８が磁石ハウジング１６に連結されており、磁石ハウジング１６の壁の中心軸線の方向に磁石ハウジング１６の内側表面から延びる。コイルアセンブリが、磁心１８を少なくとも部分的に包む第２の空隙を画定する壁を有し、少なくとも部分的に第１の空隙の内側に位置しており、前記磁石ハウジング１６に対して相対的に直線移動するようになっている。このコイルアセンブリは磁心１８と共に容量性センサを形成し、この容量性センサは、磁石ハウジング１６に対するコイルアセンブリの相対的な位置と速度と加速度の少なくとも１つを測定するようになっている。 （もっと読む）

【課題】相互に干渉する機構で連結された２軸を構成するリニアモータについて電子サーマル方式による過負荷保護が適切に行えるリニアモータ制御装置を得ること。
【解決手段】第２軸駆動装置６では、自軸速度と上位コントローラ８から取得し他軸速度とから合成速度を求めて第１軸リニアモータが駆動中である場合に当該第２軸リニアモータの運転状態を判断し、当該第２軸リニアモータが運転停止中であるときは自然対流時用の熱伝達率を選択し、運転中であるときは強制対流時用の熱伝達率を選択する。そして、当該第２軸リニアモータの発熱量がゼロである場合は自然対流時用の熱伝達率を用いて温度上昇値を求め、その発熱量がゼロ以外である場合は強制対流時用の熱伝達率を用いて温度上昇値を求め、求めた温度上昇値が許容温度上昇値を超えるときに過負荷処理を実施する。不要な保護が掛からずモータ性能を十分に引き出して使用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】異常検出手段を駆動装置に具備することなく、２軸間の捩れを生じることなく、磁極検出ができる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１モータおよび第２モータとも同じ位相で同時にトルクの出力応答を検出し、磁極を検出する手段により、前記第１モータおよび前記第２モータの磁極を検出するものである。或いは２軸のうち１軸ずつ同期して１軸に追従しながら、前記第１モータおよび前記第２モータの磁極を検出するものである。 （もっと読む）

【課題】 可動子のストロークを高い精度で算出し、可動子の他の部位への衝突を防止することが可能なリニアモータ制御システムおよびそれが用いられたスターリング冷凍システムを提供する。
【解決手段】 マイクロコンピュータは、モータ電圧ｖ（ｔ）、モータ電流ｉ（ｔ）、およびリニアモータに生じる誘起電圧のそれぞれが同一の角速度ωを有する正弦波であると仮定し、リニアモータのモータ電圧ｖ（ｔ）を示す電圧信号およびモータ電流ｉ（ｔ）を示す電流信号を用いて、正弦波の一周期における誘起電圧の実効値Ｅを算出する。その後、誘起電圧の実効値Ｅ、角速度ω、および誘起電圧係数（推力係数）αを用いて、前述の一周期における可動子のストロークＳＴを算出する。 （もっと読む）