【課題】 ケーブル重量を考慮してアクチュエータに推力を分配することで、位置決め精度を高め、整定時間を短縮し、高性能な制御が可能な可動テーブル制御装置を提供する。
【解決手段】 固定部との間に電力線などのケーブルによって接続された可動テーブル１０７を駆動するアクチュエータ１０５及び１０６と、該アクチュエータの発生する推力を制御するアクチュエータ推力制御器１０３及び１０４と、可動テーブル１０７の位置指令から重心まわり推力指令を算出する制御器１０１と、重心まわり推力指令をアクチュエータ推力指令に変換する推力指令変換器１０とを備えた可動テーブル制御装置において、推力指令変換器１０が可動テーブル１０７のみの重心位置をケーブル込み重心位置に換算する重心位置変換器１２と、可動テーブル１０７の位置指令値またはフィードバック値を用いてケーブルのテンションを算出するケーブルテンション算出器１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 リニアモータの運転には一般的に回転振動（ヨーイング、ピッチング、ローリング）を伴い、速度・位置の精度を保つことが難しいので、リニアモータの推力の変化に連続して対応できる制振制御手段を得て、ハイゲイン化された高速で高精度の駆動が行える方法と装置を求める。
【解決手段】 リニアモータの可動部１０６の重心点１３における位置および速度の情報１０を、位置もしくは速度センサ８の情報１０と速度制御器１０２から出力された信号( 推力指令値１１) より推定する推定手段( オブザーバ１０７)を有し、この推定手段１０７から得られた位置および速度の推定情報１６，１７をそれぞれの制御器１０２，１０４へフィードバックすることで、位置および速度制御を行うリニアモータの制御方法とその装置から成る。 （もっと読む）

【課題】電源部とモ−タ駆動回路部等が一体的に筐体に配置されている回路構成と配線を、筐体のみそれぞれ別途分離したアンプラックを構成すると、分離された複数の電源部と複数のモ−タ駆動回路部等が、無秩序に配置され、散乱し、配線の引き回し等の無駄を生じる。
【解決手段】複数のモ−タにより駆動される駆動対象物と、モ−タを駆動するモ−タ駆動装置と、モ−タ駆動装置に電力を供給する電源部アンプユニットと、を備える露光装置であって、駆動対象物を駆動する複数のモ−タは、モ−タごとに各々一のモ−タ駆動回路を備え、モ−タ駆動回路は、駆動対象物の用途及び／又は目的ごとに、一の電源部アンプユニットに接続される露光装置とする。 （もっと読む）

【課題】スライドマス型の起振機を採用するに当たり、今までにない駆動装置を採用し、且つ分解簡易にして持ち運びが容易となるものを提供する。
【解決手段】スライドマス型の起振機において、中空の箱体２と、該箱体２内に収納された多数個の錘８を持つ可動体３と、該可動体３を箱体２内で往復動させるリニアモータ１２と、前記可動体３の振巾、振動数を制御する制御手段２０，２２，２３とより成っている。 （もっと読む）

【課題】 多軸で構成される機械（ステージ）を制御する場合、機械パラメータ（重心位置、質量、慣性モーメント）がずれている軸ならびにそのずれ量を容易に把握することができ、その機械パラメータ（重心位置、質量、慣性モーメント）を補正して機械（ステージ）を正確に制御することができるステージ制御装置とその重心位置補正方法並びに機械パラメータ調整方法を提供する。
【解決手段】 複数軸のうち、ある１軸の重心位置指令から他の１軸の重心位置偏差までのボード線図ゲイン特性を用いて、前記ある１軸の重心位置ずれを調整または補正する手段２，３，１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールによる高精度な位置決めを行うものでありながら、その検出区間を限定して磁気スケールの設置範囲を小さくすることにより、コンパクト化が求められる分野でも利用することができるようになり、しかも、磁気スケールが設置されていない区間においても、可動子の位置検出を可能にする。
【解決手段】 可動子３の直線駆動範囲に部分的に設定された検出区間で位置検出を行う第一位置検出手段４Ａと、直線駆動範囲全域で位置検出を行う第二位置検出手段４Ｂとを備え、第一位置検出手段４Ａは、精密な位置検出が可能なリニアスケールで構成し、第二位置検出手段４Ｂは、可動子３に設けられる磁気センサＳでシャフト２の磁束を検出することにより可動子３の位置検出を行うものとする。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ部材の等速運動時のヨーイング角を抑制する姿勢フィードバック制御手段を利用して、機械的な共振に起因する振動を抑制する機能を備えたステージを実現する。
【解決手段】 所定距離を隔てて平行に配置されたマスタ軸リニアモータ及びスレーブ軸リニアモータと、これらリニアモータの軸方向にスライドして位置制御されるマスタスライダ及びスレーブスライダと、これらスライダ間を結合し前記軸方向と同一軸方向に移動制御されるブリッジ部材と、このブリッジ部材の高さ方向の軸に対する回転角を検出してこれを抑制する姿勢フィードバック制御手段と、を有するステージにおいて、
前記ブリッジ部材上の前記マスタスライダ及びスレーブスライダとの結合部近傍に取り付けられた一対の加速度センサと、
これら一対の加速度センサの検出値の差分値を積算して算出された角度信号を入力する角度フィードバック手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】外乱などに起因する変動を効果的に抑えること。
【解決手段】制御装置は、制御対象を駆動する駆動部と、前記制御対象の位置を計測する位置計測部と、前記制御対象の位置と前記制御対象を駆動するための駆動制御値とが関連付けられた参照テーブルを作成するテーブル生成部と、前記参照テーブルを参照して前記位置計測部で計測された前記制御対象の位置に対応する参照値を出力する参照部と、前記参照部から出力された前記参照値を補正するための補正係数を生成する補正係数生成ユニットと、前記補正係数を用いて前記参照値を補正し補正指令値を生成する補正部と、前記補正指令値を前記駆動制御値に加算する加算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】任意の方向に揺動可能で小型に製作可能なアクチュエータを提供することにある。
【解決手段】可動部５は、中央脚部５０ａ及び各外側脚部５０ｂを、固定部４の中央脚部４０ａ及び各外側脚部５０ｂの端面で対向するようにして揺動自在にケース２に支持され、固定部４の中央脚部４０ａは永久磁石からなり、固定部４の４つの外側脚部５０ａはコイル部６１〜６４を巻回している。そしてコイル部６１〜６４に励磁電流を流すことにより生成される磁束が固定部４の両側の外側脚部４０ｂにおいて互いに逆方向に磁束の流れるように励磁されることで、可動部５を所定の方向に揺動させるようになっている。 （もっと読む）

【課題】振動除去装置において、振動がない基台を基準として用いることなく、対象物の振動を抑制または除去することである。
【解決手段】振動除去装置１０は、振動除去対象物である定盤８の加速度を検出する加速度センサ１２と、慣性体と慣性体を移動駆動するアクチュエータ機構を含む装置本体部２０と、加速度センサ１２の検出値に応じて装置本体部２０のアクチュエータ機構を駆動制御する制御部１６と、装置本体部２０において慣性体を流体支持等するための流体を供給する流体供給部１４とを含んで構成される。装置本体部２０は、振動特性的に弱いバネ定数を有する保持バネによって保持される慣性体を含み、定盤８に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】ベアリングにかかわるトラブルを生じることなく低摩擦、高精度であるシャフトモータおよびその制御システムを提供する。
【解決手段】筒状をなすコイル９の中心軸上に設けられたシャフト２を軸方向移動可能に支持する流体軸受け４を備え、流体軸受け４は、シャフト２の表面に対しラジアル方向に流体を噴射する複数個のノズル15を備えている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 回転時にモータの磁極位置とセンサの示す磁極位置のずれを正確に補正することで、θ制御に必要な推力を発生させることができ、回転時の推力不足に伴うトルク不足を解消し、静止保持することができる二次元位置決め装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 二次元位置決め装置において、フォーサ回転時に生じる各モータの磁極位置と各センサの示す磁極位置とのずれを算出する磁極位置補正量演算器６を備え、磁極位置補正量演算器６で、磁極位置補正量δ_x1，δ_x2，δ_y1，δ_y2を算出し、磁極位置補正量を推力制御器Ｘ₁，Ｘ₂，Ｙ₁，Ｙ₂に入力し、補正後の磁極位置にて各モータ１１〜１４を駆動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ軽量な構成で高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】移動部材３の両端近傍をスライダ３ｄ、３ｄと支持部３ｂとでそれぞれ支持することで、移動部材３をガイドレール２，２に沿って精度良く移動させることができると共に、移動部材３に熱膨張が生じた場合でも、その熱膨張分を静圧軸受３ａを介して基台１に対して非接触状態で支持される支持部３ｂの変位により吸収し、移動部材３に歪みを与えない。更に、リニアモータ５、５が、基台１に対して、移動部材３の両端側を駆動するので、スライダ３ｄ、３ｄと支持部３ｂとで移動時の抵抗が異なる場合でも、リニアモータ５、５による駆動を相対的に調整することで、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ高精度な位置決めを実現できる。又、移動部材３の両端側を駆動することで移動部材３の剛性を低くでき、移動部材３の軽量化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ部材の等速運動時のヨーイング角を抑制する姿勢フィードバック制御手段を利用して、機械的共振に起因する振動を抑制する。
【解決手段】 平行に配置されたマスタ軸リニアモータ１０及びスレーブ軸リニアモータ２０と、リニアモータの軸方向にスライドして位置制御されるマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１と、スライダ間を結合し軸方向と同一方向に移動制御されるブリッジ部材３０と、ブリッジ部材３０の高さ方向の軸に対する回転角を検出してこれを抑制する姿勢フィードバック制御手段とを有するステージにおいて、ブリッジ部材３０上のマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１との結合部近傍に取り付けられた一対の加速度センサ１０２と、姿勢フィードバック制御手段のフィードバックループ内に設けられ、一対の加速度センサの検出値の差分値に基づく角加速度信号を入力して演算する角加速度フィードバック手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロックリング等の特別な部材及びこれを駆動するアクチュエータを設けずに可動部を係止することができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明は、撮像用レンズを並進移動させ、像振れを防止するアクチュエータ（１０）であって、固定部（１２）と、撮像用レンズが取り付けられた可動部（１４）と、この可動部を移動可能に支持する可動部支持手段（１８）と、可動部を並進移動及び回転移動させるための駆動手段（２０、２２）と、可動部に設けられた少なくとも３つの係合部（１７）と、可動部が所定の係止位置へ回転移動されると各係合部に夫々当接される少なくとも３つの係合部受け部（１５）と、固定部及び可動部に夫々配置され、接近すると互いに吸着力を及ぼし合って可動部に回転力を作用させ、各係合部を各係合部受け部に押し付けて可動部を係止する磁力吸着手段（２２、２３）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ピストンのストロークを検出することができないことに起因する不具合の発生が抑制されたリニアモータ制御システムを提供する。
【解決手段】ストローク制御部は、リニアモータが起動した後、相対的に低いキャリア周波数の指令値を出力するとともに、予め実験結果から決定された値であってピストンのストロークを算出することができる所定値まで変調率を大きくする。その後、ストローク制御部は、実際のストロークの値がストローク指令値以下の値である場合に、変調率を増加させ、一方、実際のストロークの値がストローク指令値よりも大きい場合に、変調率を減少させる。さらに、ストローク制御部は、変調率が所定値と所定値よりも大きな特定値との間の値である場合に、相対的に低いキャリア周波数の指令値を出力し、一方、変調率が特定値以上である場合に、相対的に高いキャリア周波数の指令値を出力する。 （もっと読む）

【課題】磁束密度を検出するセンサを用いることなく可動子を正確に移動制御することが可能なリニアモータ、リニアモータを搬送装置として備えた画像読取装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】リニアモータ１に、直線状に複数の磁石が配列された固定子４と、位相補正値を含む三角関数に基づく電力が供給される電磁コイルが固定子４に沿って可動なように設けられた可動子７と、可動子７が固定子４の原点に移動するときに供給される電流値の基準となる基準電流値が記憶された記憶部１８と、初期動作の際に可動子７への供給電流が基準電流値以上であるときは位相補正値を変更する制御部１７と、可動子７の移動状態を検出するリニアエンコーダ１３を備え、制御部１７はリニアモータ１の電源投入時又は初期動作の開始時に可動子７が移動しているときは可動子７を停止させてから初期動作を行う。 （もっと読む）

本発明は機械装置の機械的振動の振幅を最小化するための方法および装置であり、この機械装置は駆動される機械の往復運動する質量に結合されて駆動振動数で往復運動に駆動する自由に直線往復運動する原動機を含む。結合された原動機および駆動される機械は、主な系の往復運動の共振振動数を有する主な共振系を形成するように往復運動する質量に力を加えるバネを有する。駆動される機械が許容可能な作動効率で作動する駆動振動数の範囲が決定され保存される。振動の振幅または作動温度等の機械装置の作動のパラメータが感知され、原動機は感知したパラメータに応じて、駆動振動数で駆動されるが、この駆動振動数は、主な系の往復運動の共振振動数からずれており、作動効率が許容可能な駆動振動数の範囲内であり、既存の作動条件下で機械装置の機械的振動の振幅を減少または最小化させる振動数である。
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差動ボイスコイルモータ制御機能を備えるディスクドライブコントローラが開示される。差動ボイスコイルモータ制御機能は、内部制御ループのための、直列接続された１以上のＭＯＳトランジスタから成る抵抗器を含む、オンチップ補償ネットワークを備える。補償ネットワークにおけるＭＯＳトランジスタのゲートは、調整電流に基づいてバイアス電圧で駆動される。調整電流は、集積回路における過程及び温度変化、例えばオンチップコンデンサ内の変化などに伴って変化するよう、得られる。オンチップ補償ネットワークは、内部制御ループを適切に補償するよう、ディスクドライブ内のボイスコイルモータの駆動において所望の周波数応答を与えるよう、十分正確に調整可能である。 （もっと読む）

【課題】各ドア間で高出力トルクを出力しているかの情報を伝達できない場合でも電源電圧の低下を招くことなく、各ドアで高出力トルクを出力してドアを動作させることができ、ドアの施錠も確実に行うこと。
【解決手段】個々にリニアモータ２で駆動される複数のドア１の開閉駆動を各ドア１の実装位置を識別して制御する際に、ドア１の駆動速度が所定速度以下となった場合、ドア１の開閉駆動用のトルクを高出力トルクに切り替えてドアの閉駆動を行う。この場合、運転指令演算部４１によって、高出力トルクでのドア１の閉駆動の時間が各ドアＱ又は予め定められた駆動組のドアで重ならないようにドア毎にドア高出力設定時間Ｓ６を設定し、この設定時間にのみ高出力トルクでドア１の閉駆動を行うように指令する。 （もっと読む）